專利名稱：一種基板涂布機(jī)的管路排泡方法、裝置及相應(yīng)的涂布機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及薄膜晶體管液晶顯示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display, TFT-1XD)的制程技術(shù)，特別涉及一種基板涂布機(jī)的管路排泡方法、裝置及相應(yīng)的 涂布機(jī)。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有的TFT-1XD產(chǎn)品的生產(chǎn)制程中，一般需要對(duì)上版及下版進(jìn)行處理，下版為 TFT陣列(TFT Array)制程玻璃，而上版則是彩色濾光片(Color Filter, CF)制程玻璃。在 這兩種玻璃上均需要進(jìn)行涂布的過程，需要將光阻涂布于所述兩種玻璃基板上。由于涂布 機(jī)(Coater)的管路中或多或少會(huì)存在氣泡，故首先需要進(jìn)行排泡處理。
在現(xiàn)有涂布機(jī)中對(duì)管道進(jìn)行排泡處理一般采用多次排泡和分段排泡的方式來完 成，其中排泡次數(shù)通常由經(jīng)驗(yàn)值進(jìn)行確定，但是這兩種方式通常可以將大顆氣泡排出，但是 微小氣泡通常聚集與管路系統(tǒng)的接口和附著在管壁上無法排出。因此，在現(xiàn)有的方式中，會(huì) 出現(xiàn)排泡不盡的情形或者需要很多次的排泡過程才能將氣泡排盡，在第一種情形中，如果 管道中排泡不盡通常會(huì)導(dǎo)致通過噴嘴向基板最終的涂布效果不均勻，使得產(chǎn)品品質(zhì)發(fā)生異 常，甚至導(dǎo)致產(chǎn)品失敗，而處理這些異常無疑會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)能下降；在另一種情形中，如果需而 很多次的排泡過程，則需要進(jìn)行多次的排泡過程，每次的排泡過程均需要光阻在管道中流 動(dòng)，故會(huì)導(dǎo)致光阻的浪費(fèi)。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于，提供一種基板涂布機(jī)的管路排泡方法、裝置及 相應(yīng)的涂布機(jī)，可以在對(duì)基板涂布機(jī)的管路進(jìn)行排泡時(shí)，提聞光阻的利用效率。
為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的實(shí)施例的一方面提供一種基板涂布機(jī)的管路排 泡裝置，所述管路排泡裝置包括注射泵，用于將光阻從儲(chǔ)存容器注射到涂布機(jī)的涂布機(jī)管道中；控制單元，用于啟動(dòng)注射泵持續(xù)一第一時(shí)間，驅(qū)動(dòng)所述光阻在所述涂布機(jī)的涂布機(jī)管 道中流動(dòng)，進(jìn)行一次排泡處理過程；以及在一次排泡處理過程結(jié)束后，關(guān)閉所述注射泵持續(xù) 一第二時(shí)間；并在所述涂布機(jī)管道中的小氣泡在該第二時(shí)間內(nèi)積聚后，再次啟動(dòng)注射泵，重 復(fù)排泡過程，直至所述涂布機(jī)管道中的所有小氣泡排泡完成。
其中,所述控制單元進(jìn)一步包括注射泵啟動(dòng)控制子單元，用于啟動(dòng)注射泵持續(xù)一第一時(shí)間，驅(qū)動(dòng)所述光阻在所述涂布 機(jī)的涂布機(jī)管道中流動(dòng)；注射泵關(guān)閉控制子單元，用于在一次排泡處理過程結(jié)束后，關(guān)閉所述注射泵持續(xù)一第 二時(shí)間；判斷處理子單元，用于判斷排泡是否完成，如果判斷結(jié)果為排泡尚未完成，則在所述注 射泵關(guān)閉控制子單元關(guān)閉所述注射泵并持續(xù)第二時(shí)間后，控制所述注射泵啟動(dòng)控制子單元重新啟動(dòng)所述注射泵。
其中,所述控制單元進(jìn)一步包括設(shè)置子單元，用于設(shè)置所述第一時(shí)間和所述第二時(shí)間值。
其中，進(jìn)一步包括振動(dòng)裝置，用于在所述第二時(shí)間內(nèi)，為所述涂布機(jī)管道提供震動(dòng)波。
其中，所述控制單元進(jìn)一步包括振動(dòng)裝置控制子單元，用于在所述判斷處理子單元判斷到所述排泡尚未完成時(shí)，驅(qū)動(dòng) 所述振動(dòng)裝置向所述涂布機(jī)管道提供震動(dòng)波。
本發(fā)明實(shí)施例的另一方面，提供一種基板涂布機(jī)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)管道的排泡，其至少 包括涂布機(jī)管道以及連接在所述涂布機(jī)管道上的噴頭，進(jìn)一步包括前述的管路排泡裝置。
本發(fā)明實(shí)施例的再一方面，提供一種基板涂布機(jī)的管路排泡方法，至少包括如下 步驟啟動(dòng)注射泵持續(xù)一第一時(shí)間，所述注射泵將光阻從儲(chǔ)存容器注射到涂布機(jī)的涂布機(jī)管 道中；驅(qū)動(dòng)所述光阻在所述涂布機(jī)的涂布機(jī)管道中流動(dòng)，進(jìn)行一次排泡處理過程；在該次排泡處理過程結(jié)束后，關(guān)閉所述注射泵并持續(xù)一第二時(shí)間；待所述涂布機(jī)管道中的小氣泡在所述第二時(shí)間內(nèi)積聚后，再次啟動(dòng)注射泵，重復(fù)排泡 過程，直至所述涂布機(jī)管道中的所有小氣泡排泡完成。
其中，進(jìn)一步包括預(yù)先設(shè)置所述第一時(shí)間與所述第二時(shí)間。
其中，所述排泡過程包括分段排泡過程。
其中，所述涂布機(jī)管道中的小氣泡在該第二時(shí)間積聚的步驟具體為在所述第二時(shí)間內(nèi)，靜置所述涂布機(jī)管道，使所述小氣泡積聚；或者在所述第二時(shí)間內(nèi)，向所述涂布機(jī)管道提供震動(dòng)波，使所述小氣泡積聚。
實(shí)施本發(fā)明實(shí)施例，具有如下有益效果本發(fā)明實(shí)施例中，通過在一次排泡完成后，增加一個(gè)第二時(shí)間的間隔設(shè)定，使微小氣泡 在此時(shí)間間隔內(nèi)可以積聚為大顆氣泡，之后再進(jìn)行排泡的步驟，可在相同光阻用量下提高 排泡效率，從而很好地將基板涂布機(jī)的管路中的氣泡排盡，并能節(jié)省光阻，提高光阻的利用 效率。


為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn) 有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本 發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以 根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
圖1為本發(fā)明的一種涂布機(jī)第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1中的控制單元的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明的一種涂布機(jī)第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是圖3中的控制單元的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是本發(fā)明的一種基板涂布機(jī)的管路排泡方法的一個(gè)實(shí)施例的流程圖；圖6是本發(fā)明中進(jìn)行多次排泡過程的時(shí)間周期示意圖。
具體實(shí)施方式
下面參考附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行描述。
請(qǐng)參照?qǐng)D1和圖2所示，示出了本發(fā)明的一種涂布機(jī)第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。從 中可以看出，本發(fā)明的涂布機(jī)I至少包括涂布機(jī)管道11，是供光阻通過的管道，其中會(huì)因各種原因殘存有氣泡；噴頭12，設(shè)置在所述涂布機(jī)管道11的端部，用于向待涂布的玻璃基板上均勻涂布光阻；管路排泡裝置10，與所述涂布機(jī)管道11相連，用于為所述涂布機(jī)管道11進(jìn)行排泡，其 包括注射泵100，用于將光阻從儲(chǔ)存容器2中注射到涂布機(jī)I的涂布機(jī)管道11中；控制單元101，用于啟動(dòng)注射泵持續(xù)一第一時(shí)間，驅(qū)動(dòng)所述光阻在所述涂布機(jī)的涂布機(jī) 管道中流動(dòng)，進(jìn)行一次排泡處理過程；以及在一次排泡處理過程結(jié)束后，關(guān)閉所述注射泵持 續(xù)一第二時(shí)間；并在所述涂布機(jī)管道中的小氣泡在該第二時(shí)間積聚后，再次啟動(dòng)注射泵，重 復(fù)前述排泡過程，直至所述涂布機(jī)管道中的所有小氣泡排泡完成。
其中，所述控制單元101進(jìn)一步包括注射泵啟動(dòng)控制子單元102，用于啟動(dòng)注射泵100持續(xù)一第一時(shí)間，驅(qū)動(dòng)所述光阻在所 述涂布機(jī)的涂布機(jī)管道中流動(dòng)；注射泵關(guān)閉控制子單元103，用于在一次排泡處理過程結(jié)束后，關(guān)閉所述注射泵100持 續(xù)一第二時(shí)間；判斷處理子單元104，用于判斷排泡是否完成，如果判斷結(jié)果為排泡尚未完成，則在所 述注射泵關(guān)閉控制子單元103關(guān)閉所述注射泵100并持續(xù)第二時(shí)間后，控制所述注射泵啟 動(dòng)控制子單元102啟動(dòng)所述注射泵，重新進(jìn)行排泡；設(shè)置子單元105，用于設(shè)置所述第一時(shí)間和所述第二時(shí)間值。
請(qǐng)參照?qǐng)D3和圖4所示，示出了本發(fā)明的一種涂布機(jī)第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。 從中可以看出，與圖1和圖2示出的第一實(shí)施例相比，所述第二實(shí)施例中的涂布機(jī)的區(qū)別在 于，其中，管路排泡裝置10進(jìn)一步包括有振動(dòng)裝置106，用于在所述第二時(shí)間內(nèi)，為所述涂布機(jī)管道11提供震動(dòng)波，以加快涂布 機(jī)管道11中的小氣泡的聚集，在一個(gè)實(shí)施例中，該震動(dòng)波可以為諸如超聲波。
相應(yīng)地,所述控制單元101中進(jìn)一步包括振動(dòng)裝置控制子單元107，用于在所述判斷處理子單元104判斷到所述排泡尚未完成 時(shí)，驅(qū)動(dòng)所述振動(dòng)裝置106向所述涂布機(jī)管道11提供震動(dòng)波。
如圖5所示，是本發(fā)明的一種基板涂布機(jī)的管路排泡方法的一個(gè)實(shí)施例的流程 圖；從圖中可以看出，該方法至少包括如下步驟步驟S60，啟動(dòng)注射泵持續(xù)一第一時(shí)間，所述注射泵將光阻從儲(chǔ)存容器中注射到涂布機(jī) 的涂布機(jī)管道中；步驟S61，驅(qū)動(dòng)所述光阻在所述涂布機(jī)的涂布機(jī)管道中流動(dòng)，進(jìn)行一次排泡處理過程； 步驟S62，在該次排泡處理過程結(jié)束后，關(guān)閉所述注射泵并持續(xù)一第二時(shí)間；步驟S63，判斷排泡過程是否完成，如果判斷結(jié)果為是，則流程結(jié)束；如果判斷結(jié)果是 否，則轉(zhuǎn)至步驟S64;步驟S64，使所述涂布機(jī)管道中的小氣泡在該第二時(shí)間積聚，具體地，在所述第二時(shí)間 內(nèi)，靜置所述涂布機(jī)管道，使所述小氣泡積聚；或者在所述第二時(shí)間內(nèi)，向所述涂布機(jī)管道 提供震動(dòng)波，使所述小氣泡積聚。
轉(zhuǎn)至步驟S60，再次啟動(dòng)注射泵，重復(fù)前述過程，直至所述涂布機(jī)管道中的所有小 氣泡全部被排出。
可以理解的是，需要首先預(yù)先設(shè)置所述第一時(shí)間與所述第二時(shí)間。
如圖6所示，是本發(fā)明中進(jìn)行多次排泡過程的時(shí)間周期示意圖。在一個(gè)實(shí)施例中， 假設(shè)需要對(duì)涂布機(jī)的管道進(jìn)行多次排泡操作。在圖6中的注射泵的啟動(dòng)時(shí)間周期圖中，高 位線段代表注射泵啟動(dòng)，低位線段代表注射泵關(guān)閉。在排泡的時(shí)間周期圖中，高位線段代表 排泡操作在進(jìn)行中，低位線段代理排泡操作停止。
其中，時(shí)間Tl代表注射泵單次啟動(dòng)的時(shí)間；時(shí)間T2代表在涂布機(jī)管路中進(jìn)行一次 排泡的時(shí)間，其開始時(shí)間與注射泵開始啟動(dòng)時(shí)間存在一定的時(shí)間差；時(shí)間T3代表注射泵一 次啟動(dòng)完成至涂布機(jī)管路完成一次排泡的延遲時(shí)間，時(shí)間T4為兩次排泡之間新增加的時(shí) 間間隔(即前述提及的第二時(shí)間)，在該新增的時(shí)間間隔中，通過對(duì)涂布機(jī)管道進(jìn)行靜置，或 者向涂布機(jī)管道提供震動(dòng)波，可以使在涂布機(jī)管道中殘存的微小氣泡有時(shí)間進(jìn)行凝結(jié)增大 體積，在下次進(jìn)行排泡操作時(shí)，可以增加排泡的成功率。
實(shí)施本發(fā)明實(shí)施例，具有如下有益效果本發(fā)明實(shí)施例中，通過在一次排泡完成后，增加一個(gè)第二時(shí)間的間隔設(shè)定，使微小氣泡 在此時(shí)間間隔內(nèi)可以積聚為大顆氣泡，之后再次進(jìn)行排泡的步驟，可在相同光阻用量下提 高排泡效率，從而很好地將基板涂布機(jī)的管路中的氣泡排盡，并能節(jié)省光阻，提高光阻的利 用效率。
以上所揭露的僅為本發(fā)明較佳實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來限定本發(fā)明之權(quán)利范 圍，因此等同變化，仍屬本發(fā)明所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求
1.一種基板涂布機(jī)的管路排泡裝置，其特征在于，所述管路排泡裝置包括 注射泵，用于將光阻從儲(chǔ)存容器注射到涂布機(jī)的涂布機(jī)管道中； 控制單元，用于啟動(dòng)注射泵持續(xù)一第一時(shí)間，驅(qū)動(dòng)所述光阻在所述涂布機(jī)的涂布機(jī)管道中流動(dòng)，進(jìn)行一次排泡處理過程；以及在一次排泡處理過程結(jié)束后，關(guān)閉所述注射泵持續(xù)一第二時(shí)間；并在所述涂布機(jī)管道中的小氣泡在該第二時(shí)間內(nèi)積聚后，再次啟動(dòng)注射泵，重復(fù)排泡過程，直至所述涂布機(jī)管道中的所有小氣泡排泡完成。
2.如權(quán)利要求1所述的管路排泡裝置，其特征在于，所述控制單元進(jìn)一步包括 注射泵啟動(dòng)控制子單元，用于啟動(dòng)注射泵持續(xù)一第一時(shí)間，驅(qū)動(dòng)所述光阻在所述涂布機(jī)的涂布機(jī)管道中流動(dòng)； 注射泵關(guān)閉控制子單元，用于在一次排泡處理過程結(jié)束后，關(guān)閉所述注射泵并持續(xù)一第二時(shí)間； 判斷處理子單元，用于判斷排泡是否完成，如果判斷結(jié)果為排泡尚未完成，則在所述注射泵關(guān)閉控制子單元關(guān)閉所述注射泵并持續(xù)第二時(shí)間后，控制所述注射泵啟動(dòng)控制子單元重新啟動(dòng)所述注射泵。
3.如權(quán)利要求2所述的管路排泡裝置，其特征在于，所述控制單元進(jìn)一步包括 設(shè)置子單元，用于設(shè)置所述第一時(shí)間和所述第二時(shí)間值。
4.如權(quán)利要求2所述的管路排泡裝置，其特征在于，進(jìn)一步包括 振動(dòng)裝置，用于在所述第二時(shí)間內(nèi)，為所述涂布機(jī)管道提供震動(dòng)波。
5.如所述權(quán)利要求4所述的管路排泡裝置，其特征在于，所述控制單元進(jìn)一步包括 振動(dòng)裝置控制子單元，用于在所述判斷處理子單元判斷到所述排泡尚未完成時(shí)，驅(qū)動(dòng)所述振動(dòng)裝置向所述涂布機(jī)管道提供震動(dòng)波。
6.一種基板涂布機(jī)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)管道的排泡，其至少包括涂布機(jī)管道以及連接在所述涂布機(jī)管道上的噴頭，其特征在于，進(jìn)一步包括如權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的管路排泡裝置。
7.一種基板涂布機(jī)的管路排泡方法，其特征在于，至少包括如下步驟 啟動(dòng)注射泵持續(xù)一第一時(shí)間，所述注射泵將光阻從儲(chǔ)存容器注射到涂布機(jī)的涂布機(jī)管道中； 驅(qū)動(dòng)所述光阻在所述涂布機(jī)的涂布機(jī)管道中流動(dòng)，進(jìn)行一次排泡處理過程； 在該次排泡處理過程結(jié)束后，關(guān)閉所述注射泵并持續(xù)一第二時(shí)間； 待所述涂布機(jī)管道中的小氣泡在所述第二時(shí)間內(nèi)積聚后，再次啟動(dòng)注射泵，重復(fù)排泡過程，直至所述涂布機(jī)管道中的所有小氣泡排泡完成。
8.如權(quán)利要求7所述的管路排泡方法，其特征在于，進(jìn)一步包括 預(yù)先設(shè)置所述第一時(shí)間與所述第二時(shí)間。
9.如權(quán)利要求8所述的管路排泡方法，其特征在于，所述排泡過程包括分段排泡過程。
10.如權(quán)利要求7至9任一項(xiàng)所述的管路排泡方法，其特征在于，所述涂布機(jī)管道中的小氣泡在該第二時(shí)間積聚的步驟具體為 在所述第二時(shí)間內(nèi)，靜置所述涂布機(jī)管道，使所述小氣泡積聚；或者 在所述第二時(shí)間內(nèi)，向所述涂布機(jī)管道提供震動(dòng)波，使所述小氣泡積聚。
全文摘要
本發(fā)明實(shí)施例公開了一種基板涂布機(jī)的管路排泡方法，至少包括如下步驟啟動(dòng)注射泵持續(xù)一第一時(shí)間，所述注射泵將光阻從儲(chǔ)存容器注射到涂布機(jī)的涂布機(jī)管道中；驅(qū)動(dòng)所述光阻在所述涂布機(jī)的涂布機(jī)管道中流動(dòng)，進(jìn)行一次排泡處理過程；在該次排泡處理過程結(jié)束后，關(guān)閉所述注射泵持續(xù)一第二時(shí)間；待所述涂布機(jī)管道中的小氣泡在該第二時(shí)間積聚后，再次啟動(dòng)注射泵，重復(fù)排泡過程，直至所述涂布機(jī)管道中的所有小氣泡排泡完成。本發(fā)明實(shí)施例相應(yīng)公開了一種基板涂布機(jī)的管路排泡裝置及涂布機(jī)。實(shí)施本發(fā)明實(shí)施例，可以提高管路的排泡效率，并能節(jié)省光阻。
文檔編號(hào)G02F1/1333GK103048822SQ20131000956
公開日2013年4月17日 申請(qǐng)日期2013年1月11日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月11日
發(fā)明者李良, 柯智勝, 徐彬 申請(qǐng)人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司