專利名稱：濾光器器件及濾光器器件的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及濾光器器件及濾光器器件的制造方法。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)中已知如下的干涉濾波器:在一對(duì)基板互相對(duì)置的面上分別隔著規(guī)定的間隙而相對(duì)配置有反射膜。另外，已知有將這種干涉濾波器收容在殼體內(nèi)的濾光器器件(例如，參照專利文獻(xiàn)I以及專利文獻(xiàn)2)。該專利文獻(xiàn)I中記載的紅外線式氣體檢測(cè)器(濾光器器件)具備板狀的基座(底部基板)和具有圓筒狀的蓋帽的外殼(殼體)。在該殼體中，底部基板的周邊部分與蓋帽的圓筒一端部通過(guò)焊接或者粘結(jié)而連接，在底部基板與蓋帽之間設(shè)有收容法布里-珀羅濾波器(干涉濾波器)的空間。在該濾光器器件中，干涉濾波器被粘結(jié)固定于檢測(cè)部，該檢測(cè)部被粘結(jié)固定在罐狀外殼(can package)的基座上。在專利文獻(xiàn)2中記載有如下的濾光器器件(光電子器件):將可調(diào)光學(xué)濾波器(干涉濾波器)固定并收容在外殼(殼體)內(nèi)部。在該濾光器器件中，干涉濾波器被配置在安裝于殼體的頭部(header)(底部基板)上面的垂直管組(stack)內(nèi)。在先技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2008-70163號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 :日本特開(kāi)2005-510756號(hào)公報(bào)如上所述，雖然在專利文獻(xiàn)I以及專利文獻(xiàn)2中記載有將干涉濾波器收容以及固定在殼體內(nèi)部的內(nèi)容，但具體的方法尚未記載。例如，有可能因?yàn)橛筛缮鏋V波器與成為固定對(duì)象的底部基板之間的熱膨脹系數(shù)的差異所產(chǎn)生的影響而使反射膜翹曲、或者在用粘結(jié)劑進(jìn)行固定的情況下，由于由粘結(jié)劑硬化時(shí)的收縮所產(chǎn)生的影響而使反射膜翹曲。如果干涉濾波器的反射膜翹曲，則就具有對(duì)干涉濾波器的光學(xué)特性造成影響的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種可以抑制干涉濾波器的反射膜的翹曲的濾光器器件以及濾光器器件的制造方法。本發(fā)明的濾光器器件具備:干涉濾波器以及收容所述干涉濾波器的殼體，所述干涉濾波器具備第一基板、第二基板、第一反射膜以及第二反射膜，所述第二基板與所述第一基板相對(duì)配置且與所述第一基板接合，所述第一反射膜設(shè)置在所述第一基板上，所述第二反射膜設(shè)置在所述第二基板上且隔著反射膜間間隙與所述第一反射膜相對(duì)，所述殼體具備能配置所述干涉濾波器的底部基板，在所述第二基板與所述底部基板之間配置有將所述第二基板固定在所述底部基板上的固定部件，在從基板厚度方向俯視觀察所述第二基板的情況下，所述第二基板在除了設(shè)置有所述第二反射膜的區(qū)域以外的一處通過(guò)所述固定部件固定。依照本發(fā)明，具備干涉濾波器和收容該干涉濾波器的殼體。該殼體具備能配置所述干涉濾波器的底部基板。在從基板厚度方向俯視觀察第二基板的情況下，干涉濾波器的第二基板在除了設(shè)有第二反射膜的區(qū)域以外的一處通過(guò)固定部件被固定。在本發(fā)明中，基于固定部件的固定地點(diǎn)為一處這種情況被作為除了遍及第二基板與底部基板之間的整個(gè)面配置固定部件并固定的情況、在互相分離的多處進(jìn)行固定的情況以外的情況。例如，在上述俯視觀察中，在被配置在隔著第二反射膜相對(duì)的位置的情況下，就成為在互相離散的多處的固定。另外，在本發(fā)明中，基于固定部件的固定地點(diǎn)為一處這種情況包括多點(diǎn)的固定部件被集中配置在一處并固定的情況。在第二基板與底部基板之間的整個(gè)面上配置固定部件、或者在分離的多處配置固定部件的濾光器器件中，由于由第二基板與底部基板的熱膨脹系數(shù)的差異所產(chǎn)生的應(yīng)力就易于作用于整個(gè)第二基板上。另外，在使用粘結(jié)劑作為固定部件的一個(gè)示例時(shí)，由使粘結(jié)劑硬化時(shí)的收縮所產(chǎn)生的應(yīng)力易于作用于第二基板。并且，由于第二基板與第一基板接合，因而應(yīng)力也易于作用于第一基板。如果應(yīng)力如此地進(jìn)行作用，則第二基板的第二反射膜、第一基板的第一反射膜就會(huì)翹曲，干涉濾波器的光學(xué)特性就會(huì)受到影響。另一方面，依照本發(fā)明的濾光器器件，如上所述，第二基板與底部基板通過(guò)固定部件固定在一處。因此，由熱膨脹系數(shù)的差異所產(chǎn)生的應(yīng)力、粘結(jié)劑硬化時(shí)的收縮應(yīng)力就難以作用于第二基板、第一基板。其結(jié)果，濾光器器件就能夠抑制第二反射膜、第一反射膜的翹曲。在本發(fā)明的濾光器器件中，優(yōu)選在從基板厚度方向俯視觀察所述第二基板的情況下，所述第二基板在與所述底部基板相對(duì)的面的外周部被固定。在本發(fā)明中，在從基板厚度方向俯視觀察第二基板的情況下，第二基板與底部基板相對(duì)的面的外周部被固定。因此，基于固定部件 的固定地點(diǎn)就能夠變?yōu)榕c第二反射膜、第一反射膜分離的位置。因此，能夠進(jìn)一步抑制由于上述那樣的部件間(第二基板與底部基板)的熱膨脹系數(shù)的差異所產(chǎn)生的應(yīng)力、粘結(jié)劑硬化時(shí)的收縮應(yīng)力而引起的第二反射膜、第一反射膜的翹曲。在本發(fā)明的濾光器器件中，優(yōu)選在從基板厚度方向俯視觀察所述第二基板的情況下，所述第二基板在與所述底部基板相對(duì)的面的角部被固定。在本發(fā)明中，在從基板厚度方向俯視觀察第二基板的情況下，第二基板在與底部基板相對(duì)的面的角部被固定。因此，基于固定部件的固定地點(diǎn)就能夠變?yōu)榕c第二反射膜、第一反射膜進(jìn)一步分離的位置。因此，由于上述那樣的部件間(第二基板與底部基板)的熱膨脹系數(shù)的差異所產(chǎn)生的應(yīng)力、粘結(jié)劑硬化時(shí)的收縮應(yīng)力能夠進(jìn)一步抑制第二反射膜、第一反射膜的翹曲。本發(fā)明的濾光器器件具備:干涉濾波器以及收容所述干涉濾波器的殼體，所述干涉濾波器具備第一基板、第二基板、第一反射膜以及第二反射膜，所述第二基板與所述第一基板相對(duì)配置且與所述第一基板接合，所述第一反射膜設(shè)置在所述第一基板上，所述第二反射膜設(shè)置在所述第二基板上且隔著反射膜間間隙與所述第一反射膜相對(duì)，所述殼體具備能配置所述干涉濾波器的底部基板，所述第二基板具有未接合于所述第一基板的非接合部，在所述非接合部與所述底部基板之間配置有將所述第二基板固定在所述底部基板上的固定部件。依照本發(fā)明，第二基板的非接合部通過(guò)固定部件固定在底部基板上。也就是說(shuō)，固定部件在與第一基板和第二基板被接合的區(qū)域(基板接合區(qū)域)分離的位置，固定第二基板的非接合部與底部基板。如果在與該基板接合區(qū)域相對(duì)應(yīng)的位置通過(guò)固定部件固定，則由上述那樣的部件間的熱膨脹系數(shù)差異所產(chǎn)生的應(yīng)力、用作固定部件的粘結(jié)劑硬化時(shí)的收縮應(yīng)力也會(huì)易于作用于第一基板。所謂與該基板接合區(qū)域相對(duì)應(yīng)的位置是指例如在從厚度方向俯視觀察第二基板的情況下，與第一基板和第二基板接合的區(qū)域重疊的位置。依照本發(fā)明，非接合部與底部基板的固定地點(diǎn)與第一基板和第二基板接合的區(qū)域分離。因此，與上述同樣地由部件間的熱膨脹系數(shù)的差異所產(chǎn)生的應(yīng)力、粘結(jié)劑硬化時(shí)的收縮應(yīng)力就尤其是難以作用于第一基板。另外，依照本發(fā)明，非接合部與底部基板的固定地點(diǎn)與設(shè)有第一反射膜和第二反射膜的位置分離。其結(jié)果，依照本發(fā)明的濾光器器件，能夠抑制第一反射膜、第二反射膜的翹曲。此外，在本發(fā)明中，固定第二基板的非接合部與底部基板的地點(diǎn)也可以是多處。這是因?yàn)?能夠?qū)⒐潭ú考墓潭ǖ攸c(diǎn)變?yōu)榕c基板接合區(qū)域分離的位置，與在基板接合區(qū)域固定在多處的情況相比，能夠減小應(yīng)力的影響。但是，如后述那樣，即使是固定非接合部與底部基板的情況，固定地方也優(yōu)選為一處。在本發(fā)明的光學(xué)濾波器中，優(yōu)選所述第二基板在所述非接合部的一處通過(guò)所述固定部件固定。在本發(fā)明中，第二基板在非接合部的一處被固定在底部基板上。也就是說(shuō)，固定地點(diǎn)為最小的一處，且固定地點(diǎn)與基板接合區(qū)域分離。因此，與上述同樣地由熱膨脹系數(shù)的差異所產(chǎn)生的應(yīng)力、粘結(jié)劑硬化時(shí)的收縮應(yīng)力就更加難以作用于第二基板、第一基板。因此，依照本發(fā)明的濾光器器件，能夠更加可靠地抑制第一反射膜、第二反 射膜的翹曲。在本發(fā)明的濾光器器件中，優(yōu)選在從基板厚度方向俯視觀察所述第二基板的情況下，所述非接合部是所述第二基板的配置為比所述第一基板更向外側(cè)突出的突出部分。在本發(fā)明中，第二基板的突出部分被作為非接合部。因此，能夠?qū)⒎墙雍喜康奈恢米優(yōu)閺牡谝换迮c第二基板接合的區(qū)域更加可靠地分離的位置。因此，與上述同樣地由熱膨脹系數(shù)的差異所產(chǎn)生的應(yīng)力、粘結(jié)劑硬化時(shí)的收縮應(yīng)力就更加難以作用于第二基板、第一基板。因此，依照本發(fā)明的濾光器器件，能夠更加可靠地抑制第一反射膜、第二反射膜的翹曲。在本發(fā)明的濾光器器件中，優(yōu)選所述濾光器器件具備致動(dòng)器，所述致動(dòng)器通過(guò)電壓的施加而使所述第二基板撓曲來(lái)變更所述反射膜間間隙的間隙量，所述致動(dòng)器具備:設(shè)置在所述第一基板上的第一電極、以及設(shè)置在所述第二基板上且與所述第一電極相對(duì)的第二電極，與所述第二電極連接的第二端子取出部形成于所述突出部分。在本發(fā)明中，由于上述濾光器器件還具備致動(dòng)器，因而濾光器器件就成為具備波長(zhǎng)可變干涉濾波器的結(jié)構(gòu)。在這種具備波長(zhǎng)可變干涉濾波器的濾光器器件中，也與上述同樣，能夠抑制第一反射膜、第二反射膜的翹曲。另外，構(gòu)成致動(dòng)器的第二電極與第二端子取出部連接，該第二端子取出部形成在作為非接合部的突出部分上。
因此，不必另外在第二基板上形成用于形成第二端子取出部的部位，第二基板(非接合部)與底部基板的固定地點(diǎn)、以及第二端子取出部的形成地點(diǎn)可以兼用。因此，能夠抑制第二基板的尺寸增加，實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)可變干涉濾波器的小型化。因此，在收容有這種波長(zhǎng)可變干涉濾波器的濾光器器件中，能夠在抑制第一反射膜、第二反射膜的翹曲的同時(shí)實(shí)現(xiàn)小型化。在本發(fā)明的濾光器器件中，優(yōu)選在所述第二基板的與所述底部基板相對(duì)的面上的與所述固定部件相對(duì)應(yīng)的位置形成有基板凹部。在本發(fā)明中，在第二基板的與底部基板相對(duì)的面、即對(duì)應(yīng)于配置有固定部件的地點(diǎn)的位置上形成有基板凹部。因此，固定部件的位置由基板凹部限制，進(jìn)而能夠?qū)⒌诙迮c底部基板更加可靠地固定在所期望的地點(diǎn)。例如，在使用具有流動(dòng)性的部件(例如粘結(jié)齊U)作為固定部件時(shí)，通過(guò)基板凹部能夠抑制固定部件從涂覆位置溢出。因而，依照本發(fā)明的濾光器器件，由于能夠?qū)⒐潭ú考煽康嘏渲迷谒谕牡攸c(diǎn)，因而能夠使品質(zhì)以及成品率得以提聞。在本發(fā)明的濾光器器件中，優(yōu)選在所述底部基板的與所述第二基板相對(duì)的面上的與所述固定部件相對(duì)應(yīng)的位置形成有底部凹部。在本發(fā)明中，在底部基板的與第二基板相對(duì)的面、即對(duì)應(yīng)于配置有固定部件的地點(diǎn)的位置上形成有底部凹部。因此，固定部件的位置由底部凹部限制，進(jìn)而能夠?qū)⒌诙迮c底部基板更加可靠地固定在所期望的地點(diǎn)。例如，在底部基板上固定第二基板時(shí)，只要在先將固定部件配置在底部基板側(cè)時(shí)以底部凹部 為目標(biāo)而配置固定部件即可，因而固定部件的定位變得容易。另外，例如，在使用具有流動(dòng)性的材料(例如粘結(jié)劑)作為固定部件時(shí)，通過(guò)底部凹部能夠抑制固定部件從涂覆位置溢出。因而，依照本發(fā)明的濾光器器件，由于能夠?qū)⒐潭ú考煽康嘏渲迷谒谕牡攸c(diǎn)，因而能夠使品質(zhì)以及成品率得以提聞。在本發(fā)明的濾光器器件中，優(yōu)選所述濾光器器件具備蓋板，所述蓋板與所述底部基板接合，且在所述蓋板與所述底部基板之間形成能收容所述干涉濾波器的內(nèi)部空間。在本發(fā)明中，干涉濾波器被收容在由底部基板與蓋板形成的殼體的內(nèi)部空間。因此，將濾光器器件的殼體內(nèi)部變?yōu)檎婵?，能夠減少空氣對(duì)反射膜的位移的阻力、或者能夠抑制在空氣中飄蕩的帶電粒子向反射膜附著。本發(fā)明的濾光器器件的制造方法實(shí)施:在第一基板上成膜第一反射膜的工序；在第二基板上成膜第二反射膜的工序；以使所述第一反射膜與所述第二反射膜隔著反射膜間間隙而相對(duì)配置的方式接合所述第一基板與所述第二基板，以制造干涉濾波器的工序；在底部基板上配置固定部件的工序；使所述干涉濾波器的所述第二基板側(cè)朝向所述底部基板并在從基板厚度方向俯視觀察所述第二基板的情況下，在除了成膜有所述第二反射膜的區(qū)域以外的一處，通過(guò)所述固定部件將所述第二基板固定在所述底部基板上的工序；以及將蓋板與所述底部基板接合的工序，在所述蓋板與所述底部基板之間形成能收容所述干涉濾波器的內(nèi)部空間。依照通過(guò)本發(fā)明制造的濾光器器件，底部基板與第二基板被固定在配置有固定部件的一處。而且，依照這種濾光器器件，由上述那樣的部件間的熱膨脹系數(shù)的差異所產(chǎn)生的應(yīng)力、用作固定部件的粘結(jié)劑硬化時(shí)的收縮應(yīng)力難以作用于第二基板、第一基板。因此，通過(guò)本發(fā)明的制造方法制造的濾光器器件能夠抑制第二反射膜、第一反射膜的翹曲。本發(fā)明的濾光器器件的制造方法實(shí)施:在第一基板上成膜第一反射膜的工序；在第二基板上成膜第二反射膜的工序；以使所述第一反射膜與所述第二反射膜隔著反射膜間間隙而相對(duì)配置的方式接合所述第一基板與所述第二基板，以制造干涉濾波器的工序；在底部基板上配置固定部件的工序；使所述干涉濾波器的所述第二基板側(cè)朝向所述底部基板并通過(guò)所述固定部件將所述第二基板固定在所述底部基板上的工序；以及將蓋板與所述底部基板接合的工序，在所述蓋板與所述底部基板之間形成能收容所述干涉濾波器的內(nèi)部空間，其中，在接合所述第一基板與所述第二基板來(lái)制造干涉濾波器的工序中，在接合所述第一基板與所述第二基板時(shí)，在所述第二基板上形成未接合于所述第一基板的非接合部，在將所述第二基板固定在所述底部基板的工序中，在所述非接合部固定所述第二基板。依照通過(guò)本發(fā)明制造的濾光器器件，第二基板的非接合部通過(guò)固定部件固定在底部基板上。即，固定部件在與第一基板和第二基板接合的區(qū)域(基板接合區(qū)域)分離的位置上固定第二基板的非接合部與底部基板。因此，與上述同樣地由部件間的熱膨脹系數(shù)的差異所產(chǎn)生的應(yīng)力、粘結(jié)劑硬化時(shí)的收縮應(yīng)力尤其難以作用于第一基板。另外，非接合部與底部基板的固定地點(diǎn)與設(shè)有第一反射膜和第二反射膜的位置分離。因此，通過(guò)本發(fā)明的制造方法制造的濾光器器件能夠抑制第二反射膜、第一反射膜的翹曲。


圖1是表示根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的光濾波器裝置的概略結(jié)構(gòu)的立體圖。圖2是表示第一實(shí)施方式的光濾波器裝置的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。圖3是表示第一實(shí)施方式的被收容在濾光器器件中的干涉濾波器的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖3是進(jìn)一步說(shuō)明干涉濾波器與固定部件的位置關(guān)系的圖。圖4是表示第一實(shí)施方式的干涉濾波器的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。圖5是表示第一實(shí)施方式的濾光器器件的制造工序的工序圖。圖6是表示第二實(shí)施方式的被收容在濾光器器件中的干涉濾波器的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖6是進(jìn)一步說(shuō)明干涉濾波器與固定部件的位置關(guān)系的圖。圖7是表示第二實(shí)施方式的光濾波器裝置的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。圖8是表示第三實(shí)施方式的光濾波器裝置的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。圖9是表示第三實(shí)施方式的被收容在濾光器器件中的干涉濾波器的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖9是進(jìn)一步說(shuō)明干涉濾波器與固定部件的位置關(guān)系的圖。圖10是表示第四實(shí)施方式的光濾波器裝置的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。圖11是表示第五實(shí)施方式的被收容在濾光器器件中的干涉濾波器的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖11是進(jìn)一步說(shuō)明干涉濾波器與固定部件的位置關(guān)系的圖。圖12是表示第六實(shí)施方式的測(cè)色裝置的概略結(jié)構(gòu)的框圖。圖13是表示具備本發(fā)明的濾光器器件的氣體檢測(cè)裝置的示意圖。圖14是表示圖13的氣體檢測(cè)裝置的控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的框圖。圖15是表示具備本發(fā)明的濾光器器件的食物分析裝置的概略結(jié)構(gòu)的圖。圖16是表示具備本發(fā) 明的濾光器器件的分光照相機(jī)的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖17是表示被收容在濾光器器件中的干涉濾波器的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖17是進(jìn)一步說(shuō)明干涉濾波器與固定部件的位置關(guān)系的圖。
具體實(shí)施例方式[第一實(shí)施方式]下面，將根據(jù)附圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明涉及的第一實(shí)施方式。[1.濾光器器件的結(jié)構(gòu)]圖1是表不根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的濾光器器件600的概略結(jié)構(gòu)的立體圖。圖2是濾光器器件600的截面圖。濾光器器件600是從射入的檢查對(duì)象光中取出規(guī)定的目標(biāo)波長(zhǎng)的光并使其射出的裝置，濾光器器件600具備:殼體601和收容在殼體601的內(nèi)部的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5(參照?qǐng)D2以及圖3)。這種濾光器器件600能夠組裝到例如測(cè)色傳感器等光模塊、測(cè)色裝置或者氣體分析裝置等電子設(shè)備中。此外，將在后述的第六實(shí)施方式中說(shuō)明具備濾光器器件600的光模塊、電子設(shè)備的結(jié)構(gòu)。[2.波長(zhǎng)可變干涉濾波器的結(jié)構(gòu)]波長(zhǎng)可變干涉濾波器5構(gòu)成本發(fā)明的干涉濾波器。圖3是表示設(shè)置在濾光器器件600中的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖4是表示沿圖3中的IV-1V線截面時(shí)的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。如圖3所示，波長(zhǎng)可變干涉濾光器5是例如矩形板狀的光學(xué)部件。該波長(zhǎng)可變干涉濾光器5具備作為本發(fā)明的第一基板的固定基板51和作為本發(fā)明的第二基板的可動(dòng)基板52。這些固定基板51和可動(dòng)基板52分別由例如鈉玻璃、結(jié)晶性玻璃、石英玻璃、鉛玻璃、鉀玻璃、硼硅玻璃、無(wú)堿玻璃等各種玻璃或者水晶等形成。而且，這些固定基板51和可動(dòng)基板52通過(guò)使固定基板51的第一接合部513和可動(dòng)基板的第二接合部523由接合膜53 (第一接合模531和第二接合膜532)接合而構(gòu)成為一體,該接合膜53由以例如娃氧燒為主要成分的等離子體聚合膜等構(gòu)成。此外，在以后的說(shuō)明中，將從固定基板51或者可動(dòng)基板52的基板厚度方向觀察到的俯視圖、即從固定基板51、接合膜53以及可動(dòng)基板52的層疊方向觀察波長(zhǎng)可變干涉濾波器5而得到的俯視圖稱為濾波器俯視圖。如圖4所示，在固定基板51上設(shè)有構(gòu)成本發(fā)明的第一反射膜的固定反射膜54。如圖4所示，在可動(dòng)基板52上設(shè)有構(gòu)成本發(fā)明的第二反射膜的可動(dòng)反射膜55。這些固定反射膜54和可動(dòng)反射膜55隔著反射膜間間隙Gl而相對(duì)配置。而且，在波長(zhǎng)可變干涉濾波器5上設(shè)有作為本發(fā)明的致動(dòng)器的靜電致動(dòng)器(electrostatic actuator) 56。該靜電致動(dòng)器56被用于調(diào)整反射膜間間隙Gl的距離(尺寸)。該靜電致動(dòng)器56由設(shè)在固定基板51上的固定電極561和設(shè)在可動(dòng)基板52上的可動(dòng)電極562構(gòu)成。這些固定電極561、可動(dòng)電極562隔著電極間間隙G2 (G2 > Gl)對(duì)置。在這里，這些電極561、562可以是分別被直接設(shè)置在固定基板51和可動(dòng)基板52的基板表面上的結(jié)構(gòu)，也可以是通過(guò)其他膜部件而設(shè)置的結(jié)構(gòu)。此外，在本實(shí)施方式中，雖然例示了反射膜間間隙Gl形成得比電極間間隙G2小的結(jié)構(gòu)，但也可以 根據(jù)例如由波長(zhǎng)可變干涉濾波器5透過(guò)的波長(zhǎng)區(qū)域的不同，將反射膜間間隙Gl形成得比電極間間隙G2大。在濾波器俯視圖中，固定基板51的一邊側(cè)(例如，圖3中的頂點(diǎn)Cl-頂點(diǎn)C2間的邊)比可動(dòng)基板52更向外側(cè)突出。該固定基板51的突出部分是不與可動(dòng)基板52接合的非接合部516。該固定基板51的非接合部516中的從可動(dòng)基板52側(cè)觀察波長(zhǎng)可變干涉濾波器 5 時(shí)露出的面構(gòu)成第一電裝面(first electrical installation surface) 514。另外，在濾波器俯視圖中，可動(dòng)基板52的邊中的與第一電裝面514相對(duì)的一邊側(cè)(頂點(diǎn)C3-頂點(diǎn)C4間的邊)比固定基板51更向外側(cè)突出。該可動(dòng)基板52的突出部分是不與固定基板51接合的非接合部526。該可動(dòng)基板52的非接合部526中的從固定基板51側(cè)觀察波長(zhǎng)可變干涉濾波器5時(shí)露出的面構(gòu)成第二電裝面524。(2-1.固定基板的結(jié)構(gòu))固定基板51通過(guò)加工厚度形成為例如500 μ m的玻璃基材而形成。具體而言,如圖4所示，在固定基板51上，通過(guò)蝕刻形成有電極配置槽511和反射膜設(shè)置部512。該固定基板51的厚度尺寸形成得比可動(dòng)基板52的厚度尺寸大，從而不存在由在固定電極561和可動(dòng)電極562之間施加電壓時(shí)的靜電引力、或者固定電極561的內(nèi)部應(yīng)力引起的固定基板51的撓曲。在濾光器的俯視圖中，電極配置槽511形成為以波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的平面中心點(diǎn)O為中心的環(huán)狀。反射膜設(shè)置部512以從上述俯視圖中的電極配置槽511的中心部如圖4所示地向可動(dòng)基板52側(cè)突出的方式形成。在此，電極配置槽511的槽底面成為配置有固定電極561的電極設(shè)置面511A。另外，反射膜設(shè)置部512的突出前端面成為反射膜設(shè)置面 512A。另外，在固定基板51上，設(shè)有從電極配置槽511向第一電裝面514和第二電裝面524延伸的電極引出槽511B。
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在電極配置槽511的電極設(shè)置面51IA上有固定電極561。該固定電極561被設(shè)置在電極設(shè)置面51IA中的、與后述的可動(dòng)部512的可動(dòng)電極562相對(duì)的區(qū)域。另外，在固定電極561上,也可以是層疊用于確保固定電極561和可動(dòng)電極562之間的絕緣性的絕緣膜的結(jié)構(gòu)。而且,在固定基板51上設(shè)有固定引出電極563,該固定引出電極563從固定電極561的外周邊緣通過(guò)電極引出槽511B延伸至第一電裝面514。該固定引出電極563的延伸前端部(位于固定基板51的頂點(diǎn)C2的部分)在第一電裝面514上構(gòu)成固定電極墊563P。固定電極墊563P被作為第一端子取出部。此外,在本實(shí)施方式中，雖然不出了在電極設(shè)置面511A上設(shè)置一個(gè)固定電極561的結(jié)構(gòu)，但是也可以是例如設(shè)置有呈以平面中心點(diǎn)O為中心的同心圓的兩個(gè)電極的結(jié)構(gòu)(雙重電極結(jié)構(gòu))等。如上所述，反射膜設(shè)置部512在與電極配置槽511同軸上，形成為直徑尺寸比電極配置槽511小的大致圓柱狀，該反射膜設(shè)置部512具備該反射膜設(shè)置部512與可動(dòng)基板52相對(duì)的反射膜設(shè)置面512A。如圖4所示，在該反射膜設(shè)置部512上設(shè)置有固定反射膜54。作為該固定反射膜54，能夠采用例如Ag等金屬膜或者Ag合金等合金膜。另外，也可以采用例如將TiO2作為高折射層、將SiOJt為低折射層的電介質(zhì)多層膜。并且，也可以采用在電介質(zhì)多層膜上層疊了金屬膜(合金膜)而成的反射膜、在金屬膜(或者合金膜)上層疊了電介質(zhì)多層膜而成的反射膜、以及層疊了單層的折射膜(TiO2或者SiO2等)與金屬膜(或者合金膜)而成的反射膜等。另外,如圖4所不，固定基板51的未設(shè)有固定反射膜54的面是光射入面51A。在光射入面51A上，可以在對(duì)應(yīng)于固定反射膜54的位置上形成防止反射膜。該防止反射膜能夠通過(guò)交替地層疊低折射率膜和高折射率膜而形成，該防止反射膜使可見(jiàn)光在固定基板51的表面上的反射率下降,使透過(guò)率增大。并且，如圖4所示，在固定基板51的光射入面51A上設(shè)有由例如Cr等形成的非透光性部件515 (此外，在圖3中省略了非透光性部件515的圖示)。該非透光性部件515形成為環(huán)狀，優(yōu)選被形成為圓環(huán)狀。而且，非透光性部件515的環(huán)內(nèi)周徑被設(shè)定為用于通過(guò)固定反射膜54和可動(dòng)反射膜55而進(jìn)行光干涉的有效直徑。由此，非透光性部件515作為縮小入射至光學(xué)濾波器裝置600的入射光的孔闌(aperture)而發(fā)揮作用。而且，在固定基板51的與可動(dòng)基板52相對(duì)的面中，通過(guò)蝕刻未形成電極配置槽511、反射膜設(shè)置部512以及電極引出槽511B的面構(gòu)成第一接合部513。在該第一接合部513上設(shè)有第一接合膜531，如上所述，通過(guò)使該第一接合膜531與設(shè)在可動(dòng)基板52上的第二接合膜532接合，從而接合固定基板51和可動(dòng)基板52。(2-2.可動(dòng)基板的結(jié)構(gòu))可動(dòng)基板52通過(guò)加工厚度形成為例如200 μ m的玻璃基材而形成。具體而言，可動(dòng)基板52具備:圓形狀的可動(dòng)部521，其在圖3所示的濾光器俯視圖中，以平面中心點(diǎn)O為中心；保持部522，設(shè)在可動(dòng)部521的外側(cè)，保持可動(dòng)部521 ；以及基板外周部525，設(shè)在保持部522的外側(cè)。可動(dòng)部521的厚度尺 寸形成得比保持部522的厚度尺寸大，例如在本實(shí)施方式中，形成為與可動(dòng)基板52的厚度尺寸相同的尺寸。在濾光器俯視圖中，該可動(dòng)部521至少形成為比反射膜設(shè)置面512A的外周邊緣的直徑尺寸大的直徑尺寸。而且，在該可動(dòng)部521上設(shè)有可動(dòng)電極562和可動(dòng)反射膜55。此外，與固定基板51同樣，在可動(dòng)部521的與固定基板51相反一側(cè)的面上也可以形成有防止反射膜。這種防止反射膜能夠通過(guò)交替地層疊低折射率膜和高折射率膜而形成，其能夠使可見(jiàn)光在可動(dòng)基板52的表面上的反射率下降，使透過(guò)率增大。另外，在本實(shí)施方式中，可動(dòng)基板521的與固定基板51相對(duì)的面是可動(dòng)面521A?？蓜?dòng)基板562隔著電極間間隙G2與固定電極561對(duì)置，可動(dòng)基板562被形成為與固定電極561相同形狀的環(huán)狀。另外，在可動(dòng)基板52上具備從可動(dòng)電極562的外周邊緣向第二電裝面524延伸的可動(dòng)引出電極564。該可動(dòng)引出電極564的延伸前端部(位于可動(dòng)基板52的頂點(diǎn)C3的部分)在第二電裝面524構(gòu)成可動(dòng)電極墊564P。該可動(dòng)電極墊564P被作為本發(fā)明的第二端子取出部。可動(dòng)反射膜55在可動(dòng)部521的可動(dòng)面521A的中心部，隔著反射膜間間隙Gl與固定反射膜54相對(duì)設(shè)置。作為該可動(dòng)反射膜55，可以使用與上述固定反射膜54相同的結(jié)構(gòu)的反射膜。保持部522是包圍可動(dòng)部521的周圍的隔膜(diaphragm)，保持部522的厚度尺寸形成得比可動(dòng)部521的厚度尺寸小。這樣的保持部522比可動(dòng)部521更易于撓曲，通過(guò)微小的靜電引力就能夠使可動(dòng)部521向固定基板51側(cè)位移。此時(shí)，由于可動(dòng)部521的厚度尺寸比保持部522的厚度尺寸大，剛性變大。因此，即使在保持部522由于靜電引力而被拉向固定基板51側(cè)的情況下，也不會(huì)引起可動(dòng)部521的形狀變化。因此，設(shè)在可動(dòng)部521上的可動(dòng)反射膜55也不會(huì)產(chǎn)生撓曲，進(jìn)而能夠?qū)⒐潭ǚ瓷淠?4和可動(dòng)反射膜55始終維持為平行狀態(tài)。此外，在本實(shí)施方式中，雖然例示隔膜狀的保持部522，但不限定于此，例如，也可以形成為設(shè)有以平面中心點(diǎn)為中心，以等角度間隔配置的梁狀的保持部的結(jié)構(gòu)等。如上所述，基板外周部525在濾波器俯視圖中被設(shè)在保持部522的外側(cè)。該基板外周部525的與固定基板51相對(duì)的面具備與第一接合部513相對(duì)的第二接合部523。而且，在該第二接合部523上設(shè)有第二接合膜532，如上所述，通過(guò)使第二接合膜532與第一接合膜531接合，從而接合固定基板51和可動(dòng)基板52。[3.殼體的結(jié)構(gòu)]返回至圖1和圖2，殼體601具備:底部基板610、蓋板(lid)620、底部側(cè)玻璃基板630 (透光基板)以及蓋板側(cè)玻璃基板640 (透光基板)。底部基板610由例如單層陶瓷基板構(gòu)成。在該底部基板610上設(shè)置有波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的可動(dòng)基板52。在本實(shí)施方式中，固定部件7被配置在可動(dòng)基板52與底部基板610之間。而且，在從基板厚度方向俯視觀察可動(dòng)基板52的情況下，可動(dòng)基板52在除了設(shè)有可動(dòng)反射膜55的區(qū)域以外的一處，由固定部件7固定在底部基板610上。如圖2所示，固定部件7被配置在可動(dòng)基板52的突出部分(非接合部526)的內(nèi)側(cè)(靠近平面中心點(diǎn)O)且對(duì)應(yīng)于第一接合部513以及第二接合部523的位置上。并且，固定部件7的與可動(dòng)基板52相對(duì)的相對(duì)位置在圖3的濾波器俯視圖中由點(diǎn)劃線表示。正如圖3所示那樣，固定部件7被·配置在第一接合部513和第二接合部523重疊的位置、即連結(jié)頂點(diǎn)Cl與頂點(diǎn)C2的一邊側(cè)(可動(dòng)基板52的外周部)。這樣，固定部件7不是被配置在跨越底部基板610與可動(dòng)基板52之間的整個(gè)面上，而被配置在上述的規(guī)定的一處?；诠潭ú考?的固定地點(diǎn)為一處，優(yōu)選考慮可動(dòng)基板52與底部基板610的固定強(qiáng)度、由部件間的熱膨脹系數(shù)差所產(chǎn)生的應(yīng)力傳遞的程度而適當(dāng)?shù)卦O(shè)定固定部件7的形狀(設(shè)置面積或高度等)。作為固定部件7，只要是能夠固定可動(dòng)基板52與底部基板610的部件，則就不被限定。例如，可以列舉出環(huán)氧類或者硅(silicon)類粘結(jié)劑。在使用粘結(jié)劑作為固定部件7時(shí)，優(yōu)選使用硬化時(shí)收縮小的粘結(jié)劑。另外，在該情況下，優(yōu)選用配合器(dispenser)等涂覆裝置對(duì)底部基板610僅涂覆一點(diǎn)粘結(jié)劑，并將可動(dòng)基板52固定在該一點(diǎn)。除此之外，作為固定部件7，也可以是例如對(duì)可動(dòng)基板52與底部基板610進(jìn)行物理性卡合、嵌合的部件。在底部基板610，在與波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的反射膜(固定反射膜54、可動(dòng)反射膜55)相對(duì)的區(qū)域上，開(kāi)口地形成有光通過(guò)孔611。在該底部基板610的與蓋板620相對(duì)的底部?jī)?nèi)側(cè)面612 (蓋板相對(duì)面)設(shè)有與波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的第一電裝面514、第二電裝面524上的各電極墊563P、564P連接的內(nèi)側(cè)端子部615。此外，各電極墊563P、564P與內(nèi)側(cè)端子部615之間的連接能夠使用例如FPC (Flexible Printed Circuits,柔性印刷電路板)615A,由例如 Ag 膏(Ag paste)、ACF(Anisotropic Conductive Film,異方性導(dǎo)電膜)、ACP (Anisotropic Conductive Paste,異方性導(dǎo)電膏)等接合。此外，為了將內(nèi)部空間650維持為真空狀態(tài)，優(yōu)選使用脫氣(degas)(氣體放出)少的Ag膏。此外，并不僅限于FPC615A連接，也可以實(shí)施例如引線接合法等布線連接。另外，底部基板610與設(shè)有各內(nèi)側(cè)端子部615的位置相對(duì)應(yīng)地形成有貫通孔614，各內(nèi)側(cè)端子部615經(jīng)由貫通孔614與設(shè)置在底部基板610的底部?jī)?nèi)側(cè)面612相反一側(cè)的底部外側(cè)面613上的外側(cè)端子部616連接。在此，在貫通孔614中，填充連接內(nèi)側(cè)端子部615和外側(cè)端子部616的金屬部件(例如Ag嘗等)，以維持殼體601的內(nèi)部空間650的密封性。而且，在底部基板610的外周部設(shè)有與蓋板620接合的底部接合部617。如圖1和圖2所示，蓋板620具備:蓋板接合部624，與底部基板610的底部接合部617接合；側(cè)壁部625，從蓋板接合部624連續(xù)，并沿從底部基板610分離的方向立起；頂面部626，從側(cè)壁部625連續(xù)，并覆蓋波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的固定基板51 —側(cè)。該蓋板620能夠由例如科瓦鐵鎳鈷合金(kovar)等合金或者金屬形成。通過(guò)使蓋板接合部624與底部基板61的底部接合部616接合，該蓋板620被緊貼接合在底部基板610上。作為該接合方法，例如，除了激光焊接以外，還可以列舉出:使用了銀釬焊等的焊錫、使用了共晶合金層(eutectic alloy layer)的密封、使用了低熔點(diǎn)玻璃的熔敷、玻璃粘接(glass adhesion)、玻璃介質(zhì)鍵合(glass frit bonding)、環(huán)氧樹(shù)脂的粘結(jié)等。這些接合方法能夠根據(jù)底部基板610以及蓋板620的材料或者接合環(huán)境等不同，適當(dāng)?shù)剡x擇。在本實(shí)施方式中，在底部基板610的底部接合部617上，形成由例如Ni和Au等構(gòu)成的接合用圖案(pattern)617A。然后，通過(guò)對(duì)該形成的接合用圖案617A以及蓋板接合部624照射高功率激光(例如YAG激光等)而進(jìn)行激光焊接。蓋板620的頂面部626相對(duì)于底部基板610平行。在該頂面部626上,在與波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的各反射膜54、55相對(duì)的區(qū)域，開(kāi)口地形成有光通過(guò)孔621。在此，在本實(shí)施方式中，光從蓋板620的光通過(guò)孔621入射，由波長(zhǎng)可變干涉濾波器5取出的光從底部基板610的光通過(guò)孔611射出。在這種結(jié)構(gòu)中，在從光通過(guò)孔621射入的光中，只有被設(shè)在波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的光入射面51A上的非透光性部件515的有效直徑的光入射固定反射膜54、可動(dòng)反射膜55。尤其是，波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的各基板51、52通過(guò)蝕刻形成形狀，蝕刻部分由于側(cè)蝕刻的影響而形成曲面部。如果光入射這種曲面部，則有時(shí)該光會(huì)成為雜散光(stray light)而從光通過(guò)孔611射出。對(duì)此，在本發(fā)明中，通過(guò)非透光性部件515，能夠防止這種雜散光的產(chǎn)生，進(jìn)而能夠提取所期望的目標(biāo)波長(zhǎng)的光。底部側(cè)玻璃基板630是在底部基板610的底部外側(cè)面613側(cè)覆蓋光通過(guò)孔611并接合的玻璃基板。底部側(cè)玻璃基板630形成為比光通過(guò)孔611大的尺寸。該底部側(cè)玻璃基板630的平面中心O與光通過(guò)孔611的平面中心點(diǎn)O被配置為一致。此外，該平面中心點(diǎn)O與波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的平面中心點(diǎn)O —致，并與固定反射膜54以及可動(dòng)反射膜55、非透光性部件515的環(huán)內(nèi)邊緣的平面中心點(diǎn)O —致。而且，在從底部基板610 (底部側(cè)玻璃基板630)的厚度方向俯視觀察濾光器器件600的情況下，底部側(cè)玻璃基板630在光通過(guò)孔611的外周邊緣61IA外側(cè)的區(qū)域(從外周邊緣61IA至底部側(cè)玻璃基板630的基板端緣631的區(qū)域)與底部基板610 接合。
蓋板側(cè)玻璃基板640是在與蓋板620的、與底部基板610相對(duì)的光通過(guò)孔621相反一側(cè)的蓋板內(nèi)側(cè)面622側(cè)，覆蓋光通過(guò)孔621并接合的玻璃基板。蓋板側(cè)玻璃基板640被形成為比光通過(guò)孔621大的尺寸。該蓋板側(cè)玻璃基板640的平面中心O與光通過(guò)孔621的平面中心點(diǎn)O被配置為一致。而且,在從底部基板610 (蓋板側(cè)玻璃基板640)的厚度方向俯視觀察濾光器器件600的情況下，蓋板側(cè)玻璃基板640的、光通過(guò)孔621的外周邊緣621A的外側(cè)區(qū)域(從外周邊緣621A至蓋板側(cè)玻璃基板640的基板端緣641的區(qū)域)與蓋板620接合。作為底部基板610與底部側(cè)玻璃基板630的接合、蓋板620與蓋板側(cè)玻璃基板640的接合，例如能夠采用玻璃介質(zhì)鍵合，該玻璃介質(zhì)鍵合法在高溫下將玻璃原料熔解，并使用作為驟冷后的玻璃碎片的玻璃料(frit)。在這種玻璃介質(zhì)鍵合中，在接合部分上不會(huì)產(chǎn)生間隙，另外，通過(guò)使用脫氣(氣體放出)少的玻璃料，從而能夠?qū)?nèi)部空間650維持為真空狀態(tài)。此外，并不僅限于玻璃介質(zhì)鍵合，也可以進(jìn)行使用了低熔點(diǎn)玻璃的熔敷、玻璃密封等接合。另外，雖然不適于維持內(nèi)部空間650的真空狀態(tài)，但是，如果例如只是為了抑制異物侵入內(nèi)部空間650，則也可以用環(huán)氧樹(shù)脂等進(jìn)行粘結(jié)。如上所述,在 本實(shí)施方式的濾光器器件600中，殼體601通過(guò)底部基板610與蓋板620的接合、底部基板610與底部側(cè)玻璃基板630的接合、蓋板620與蓋板側(cè)玻璃基板640的接合，從而密封地維持殼體601的內(nèi)部空間650。而且，在本實(shí)施方式中，內(nèi)部空間650被維持為真空狀態(tài)。這樣，通過(guò)將內(nèi)部空間650維持為真空狀態(tài)，從而在使波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的可動(dòng)部521移動(dòng)時(shí)，不會(huì)產(chǎn)生空氣阻力，進(jìn)而能夠改善響應(yīng)性。[濾光器器件的制造方法]接下來(lái)，將根據(jù)附圖來(lái)說(shuō)明上述那樣的濾光器器件600的制造方法。圖5是表示制造濾光器器件600的制造工序的工序圖。在濾光器器件600的制造中，首先，分別實(shí)施制造構(gòu)成濾光器器件600的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的濾波器準(zhǔn)備工序(SI)、底部基板準(zhǔn)備工序(S2 )、以及蓋板準(zhǔn)備工序(S3 )。(濾波器準(zhǔn)備工序)在SI的濾波器準(zhǔn)備工序中，首先，實(shí)施制造波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的濾波器形成工序(SI I)。在該Sll中，通過(guò)適當(dāng)?shù)奈g刻處理等形成固定基板51以及可動(dòng)基板52。然后，針對(duì)固定基板51,將固定電極561和固定引出電極563成膜之后,將非透光性部件515成膜，然后，將固定反射膜54成膜。另外，針對(duì)可動(dòng)基板52，在將可動(dòng)電極562成膜之后，將可動(dòng)反射膜55成膜。然后，通過(guò)經(jīng)由接合膜53將固定基板51和可動(dòng)基板52接合，可以得到波長(zhǎng)可變干涉濾波器5。在本實(shí)施方式中，在該濾波器形成工序(Sll)中，以形成非接合部515和非接合部526的方式接合固定基板51和可動(dòng)基板52。然后，對(duì)通過(guò)Sll得到的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的固定電極墊563P、可動(dòng)電極墊564P實(shí)施連接FPC615A的FPC連接工序(S12)。在FPC615A與各電極墊563P、564P的連接中，使用脫氣少的Ag膏。(底部基板準(zhǔn)備工序)
在S2的底部基板準(zhǔn)備工序中，首先，實(shí)施底部外形形成工序(S21)。在該S21中，將層疊了作為陶瓷基板的形成材料的片材(sheet)的鍛燒前基板進(jìn)行適當(dāng)切削等，將具有光通過(guò)孔611的底部基板619的形狀成型。然后，通過(guò)將鍛燒前基板進(jìn)行鍛燒，從而形成底部基板610。此外，對(duì)鍛燒形成的底部基板610，可以通過(guò)利用了例如YAG激光等高功率激光的加工，以形成光通過(guò)孔611。接下來(lái)，實(shí)施在底部基板610上形成貫通孔614的貫通孔形成工序(S22)。在該S22中，為了形成微細(xì)的貫通孔614，實(shí)施采用了例如YAG激光等的激光加工。另外，在形成的貫通孔614中，填充對(duì)底部基板610的緊貼性高的導(dǎo)電性部件。然后，實(shí)施在底部基板610上形成內(nèi)側(cè)端子部615、外側(cè)端子部616的布線形成工序(S23)。在該S23中，通過(guò)實(shí)施例如使用了 Ni/Au等金屬的電鍍加工，形成內(nèi)側(cè)端子部615以及外側(cè)端子部616。另外，在通過(guò)激光焊接而接合底部接合部617和蓋板接合部624的情況下，對(duì)底部接合部617實(shí)施Ni等的電鍍，以形成接合用圖案617A。然后，實(shí)施在底部基板610上接合覆蓋光通過(guò)孔611的底部側(cè)玻璃基板630的光學(xué)窗口接合工序(S24)。在S24中，以使底部側(cè)玻璃基板630的平面中心與光通過(guò)孔611的平面中心一致的方式實(shí)施校準(zhǔn)調(diào)整(alignment adjustment),通過(guò)使用了玻璃料的玻璃介質(zhì)鍵合而將底部側(cè)玻璃基板630接合在底部基板610上。(蓋板準(zhǔn)備工序)在S3的蓋板準(zhǔn) 備工序中，首先，實(shí)施形成蓋板620的蓋板形成工序(S31)。在該S31中，通過(guò)對(duì)由科瓦鐵鎳鈷合金等構(gòu)成的金屬基板進(jìn)行壓制加工(press process),以形成具有光通過(guò)孔621的蓋板620。然后，實(shí)施在蓋板620上接合覆蓋光通過(guò)孔621的蓋板側(cè)玻璃基板640的光學(xué)窗口接合工序(S32)。在S32中，以使蓋板側(cè)玻璃基板640的平面中心與光通過(guò)孔621的平面中心一直的方式實(shí)施校準(zhǔn)調(diào)整，通過(guò)使用了玻璃料的玻璃介質(zhì)鍵合而將蓋板側(cè)玻璃基板640與蓋板620接合。(裝置組裝工序)接下來(lái)，將實(shí)施接合通過(guò)上述Sf S3得到的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5、底部基板610、蓋板620而形成濾光器器件600的裝置組裝工序。在該S4中，首先，對(duì)底部基板610實(shí)施由固定部件7固定波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的濾波器固定工序(S41)。在本實(shí)施方式中，如上述那樣，在圖2和圖3所示的位置，使用固定部件7而將可動(dòng)基板52的基板外周部525固定在底部基板610上。在本實(shí)施方式中，使用粘結(jié)劑作為固定部件7。首先，在該S41中，在底部基板610的規(guī)定位置上，在一點(diǎn)涂覆粘結(jié)劑。然后，以使固定反射膜54、可動(dòng)反射膜55的平面中心點(diǎn)O與光通過(guò)孔611的平面中心點(diǎn)O —致的方式實(shí)施校準(zhǔn)調(diào)整。在該校準(zhǔn)調(diào)整之后，使可動(dòng)基板52與底部基板610貼合，再使粘結(jié)劑硬化。如此地可以使波長(zhǎng)可變干涉濾波器5固定在底部基板610上。然后，實(shí)施布線連接工序(S42)。在該S42中，通過(guò)將利用S12而與波長(zhǎng)可變干涉濾波器5連接的FPC615A的另一端部粘貼于底部基板610的內(nèi)側(cè)端子部615。這樣，將內(nèi)側(cè)端子部615、固定電極墊563P以及可動(dòng)電極墊564P連接。在該連接中，也優(yōu)選使用脫氣少的Ag膏。然后，實(shí)施接合底部基板610和蓋板620的接合工序(S43)。在該S43中，在例如真空腔室裝置等中，在被設(shè)定為真空氣氛的環(huán)境下重疊底部基板610和蓋板620，再通過(guò)使用了 YAG激光等的激光焊接而將底部基板610和蓋板620接合。在這種激光焊接中，由于只對(duì)接合部進(jìn)行局部地高溫化而接合，因而能夠抑制內(nèi)部空間650的溫度上升。因此，能夠防止波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的各反射膜54、55由于高溫而劣化的不良情況。通過(guò)上述，可以制造濾光器器件600。[實(shí)施方式的作用效果]在本實(shí)施方式中，濾光器器件600具備波長(zhǎng)可變干涉濾波器5、以及收容該波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的殼體601。該殼體601具備底部基板610、以及與底部基板610接合的蓋板620。波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的可動(dòng)基板52與底部基板610由固定部件7固定在一處。在遍及可動(dòng)基板52與底部基板610之間的整個(gè)面而配置固定部件7或者在兩點(diǎn)以上配置固定部件7的濾光器器件中，由可動(dòng)基板52與固定部件7之間的熱膨脹系數(shù)的差、底部基板610與固定部件7之間的熱膨脹系數(shù)的差所產(chǎn)生的應(yīng)力就會(huì)易于作用于整個(gè)可動(dòng)基板52。另外，在使用粘結(jié)劑作為固定部件7時(shí)，由使其硬化時(shí)的收縮所產(chǎn)生的應(yīng)力也易于作用于整個(gè)可動(dòng)基板52。另外，由于可動(dòng)基板52與固定基板51接合，因而應(yīng)力也易于向固定基板51作用。如果應(yīng)力作用，則固定基板51的固定反射膜54、可動(dòng)基板52的可動(dòng)反射膜55就會(huì)翹曲，波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的光學(xué)特性就會(huì)受到影響。另一方面，如上所述，依照濾光器器件600,可動(dòng)基板52與底部基板610由固定部件7固定在一處。因此，由熱膨脹系數(shù)的差所產(chǎn)生的應(yīng)力、粘結(jié)劑硬化時(shí)的收縮應(yīng)力就難以作用于可動(dòng)基板52、固定基板 51。其結(jié)果,濾光器器件600能夠抑制固定基板51的固定反射膜54、可動(dòng)基板52的可動(dòng)反射膜55的翹曲。[第二實(shí)施方式]接下來(lái)，將根據(jù)附圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的第二實(shí)施方式。在上述第一實(shí)施方式的濾光器器件600中，可動(dòng)基板52相對(duì)于底部基板610由固定部件7固定在一處。與此相對(duì)，在第二實(shí)施方式的濾光器器件600A (參照?qǐng)D7)中，波長(zhǎng)可變干涉濾波器5相對(duì)于底部基板610由固定部件7固定在兩處(參照?qǐng)D6)。下面，將詳細(xì)說(shuō)明這種濾光器器件600A的結(jié)構(gòu)。圖6是表示被收容在第二實(shí)施方式的濾光器器件中的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖6是進(jìn)一步說(shuō)明波長(zhǎng)可變干涉濾波器5與固定部件7的位置關(guān)系的圖。圖7是表不第二實(shí)施方式的濾光器器件600A的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。此外,對(duì)于與上述第一實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu),將標(biāo)以相同的符號(hào)，并省略或者簡(jiǎn)化其說(shuō)明。如圖7所不,在濾光器器件600A中，固定部件7被配置在非接合部526與底部基板610之間。另外，在從基板厚度方向俯視觀察可動(dòng)基板52的情況下，固定部件7在可動(dòng)基板52的角部將可動(dòng)基板52固定在底部基板610上。
如圖6所示，固定部件7被配置在波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的頂點(diǎn)C3附近和頂點(diǎn)C4附近共兩處。這樣，在本實(shí)施方式中，固定部件7將可動(dòng)基板52的非接合部526和底部基板610固定在兩處。此外，在可動(dòng)基板52為矩形狀時(shí)，兩處的固定部件7優(yōu)選沿可動(dòng)基板52的外周部的短邊配置。這是因?yàn)槟軌蚩s短固定處之間的間隔。關(guān)于本實(shí)施方式的濾光器器件600A，除了固定部件7的配置地點(diǎn)如上述那樣不同以外，也能夠與第一實(shí)施方式的制造方法同樣地進(jìn)行制造。例如，在上述第一實(shí)施方式的S41中，將作為固定部件7的粘結(jié)劑涂覆在底部基板610表面的兩處。具體而言，粘結(jié)劑的涂覆地點(diǎn)是在進(jìn)行校準(zhǔn)調(diào)整之后，將可動(dòng)基板52固定在底部基板610上時(shí)，粘結(jié)劑與非接合部526接觸的地方。[實(shí)施方式的作用效果]依照濾光器器件600A,可動(dòng)基板52與底部基板610由配置在兩處的固定部件7固定。因此，與遍及可動(dòng)基板52與底部基板610之間的整個(gè)面而配置固定部件7的情況相比，與第一實(shí)施方式的情況同樣，由部件間的熱膨脹系數(shù)的差異所產(chǎn)生的應(yīng)力或者粘結(jié)劑硬化時(shí)的收縮應(yīng)力就難以作用于可動(dòng)基板52或者固定基板51。其結(jié)果,依照濾光器器件600A,能夠抑制固定反射膜54、可動(dòng)反射膜55的翹曲。在濾光器器件600A中，可動(dòng)基板52的非接合部526與底部基板由固定部件7固定在兩處。這樣，在濾光器器件600A中，雖然固定地點(diǎn)與第一實(shí)施方式相比增加，但是該固定地點(diǎn)是非接合部526。也就是說(shuō)，該固定地點(diǎn)是與第一接合部513和第二接合部523分離的位置。因此，與上述同樣地由熱膨脹系數(shù)的差異所產(chǎn)生的應(yīng)力或者粘結(jié)劑硬化時(shí)的收縮應(yīng)力就不僅難以作用于可動(dòng)基板52，而且尤其是難以對(duì)固定基板51作用。另外，在濾光器器件600A中，該固定地點(diǎn)與設(shè)有固定反射膜54和可動(dòng)反射膜55的位置分離。

因此，依照濾光器器件600A，能夠抑制固定反射膜54、可動(dòng)反射膜55的翹曲。在濾光器器件600A中，可動(dòng)基板52與底部基板610由固定部件7固定在兩處。因此，由在兩處的固定所產(chǎn)生的力矩的影響可能會(huì)向可動(dòng)基板52和固定基板51波及。例如，如果固定部件7的配置地點(diǎn)為頂點(diǎn)Cl和頂點(diǎn)C3的附近的兩處，則該兩處間的距離變長(zhǎng)，上述的力矩的影響變大，就易于發(fā)生反射膜54、55的翹曲。另外，由于在該兩處間形成有保持部522，因而由于上述的力矩的影響，保持部522撓曲，有可能不能夠高精度地控制反射膜間間隙Gl。然而，在濾光器器件600A中，固定部件7被配置在波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的固定部件的頂點(diǎn)C3和頂點(diǎn)C4附近。如圖6所示，由于波長(zhǎng)可變干涉濾波器5是例如矩形板狀的光學(xué)部件，因而固定部件7就會(huì)被配置在由頂點(diǎn)C3和頂點(diǎn)C4連結(jié)的一邊的兩端側(cè)。因此，能夠減小上述力矩的影響。[第三實(shí)施方式]接下來(lái)，將根據(jù)附圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的第三實(shí)施方式。在上述第二實(shí)施方式的濾光器器件600A中，波長(zhǎng)可變?yōu)V波器5相對(duì)于底部基板610由固定部件7固定在兩處。第三實(shí)施方式的濾光器器件600B (參照?qǐng)D8)也與第二實(shí)施方式同樣，波長(zhǎng)可變?yōu)V波器5相對(duì)于底部基板610由固定部件7固定在兩處。但是，在濾光器器件600B中，如圖8所示，在可動(dòng)基板52的與底部基板610相對(duì)的面上形成有基板凹部527，在這點(diǎn)上與濾光器器件600A不同。下面，將詳細(xì)說(shuō)明這種濾光器器件600B的結(jié)構(gòu)。圖8是表不第三實(shí)施方式的濾光器器件600B的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。圖9是表示被收容在第三實(shí)施方式的濾光器器件中的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖9是進(jìn)一步說(shuō)明波長(zhǎng)可變干涉濾波器5與固定部件7的位置關(guān)系的圖。此外，對(duì)與上述第一實(shí)施方式或者第二實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)以相同的符號(hào)，并省略或者簡(jiǎn)化其說(shuō)明。在本實(shí)施方式中，如圖8所示，基板凹部527被形成在非接合部526的與底部基板610相對(duì)的面上?；灏疾?27沿可動(dòng)基板52的厚度方向凹陷規(guī)定尺寸?；灏疾?27能夠與保持部522的形成同樣地通過(guò)蝕刻等來(lái)形成。另外，該基板凹部527被形成在非接合部526上。具體而言，如圖9所示那樣，被形成在波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的頂點(diǎn)C3附近和頂點(diǎn)C4附近共兩處。在本實(shí)施方式中，固定部件7與形成有上述基板凹部527的兩處相對(duì)應(yīng)地配置。因此，固定部件7在與第二實(shí)施方式大致同樣的位置固定可動(dòng)基板52與底部基板610。對(duì)于本實(shí) 施方式的濾光器器件600B，除了需要形成基板凹部527這點(diǎn)、以及固定部件7的配置地點(diǎn)如上述不同這點(diǎn)以外，也能夠與第一實(shí)施方式的制造方法同樣地進(jìn)行制造?；灏疾?27能夠在例如上述第一實(shí)施方式的Sll的濾波器形成工序中形成。也可以在進(jìn)行可動(dòng)基板52的蝕刻處理時(shí)一并形成基板凹部527。[實(shí)施方式的作用效果]依照濾光器器件600B，除了取得與第二實(shí)施方式的濾光器器件600A同樣的作用效果以外，還將取得如下這樣的作用效果。依照濾光器器件600B，在可動(dòng)基板52上形成有基板凹部527。因此，由基板凹部527限制固定部件7的位置，因而能夠?qū)⒖蓜?dòng)基板52與底部基板610更加可靠地固定在所期望的地方。例如，在使用具有流動(dòng)性的材料(例如粘結(jié)劑)作為固定部件7時(shí)，能夠通過(guò)基板凹部527抑制固定部件7從涂覆位置溢出。因而，依照濾光器器件600B，由于能夠?qū)⒐潭ú考?可靠地配置在所期望的地方，因而能夠使品質(zhì)以及成品率得以提聞。[第四實(shí)施方式]接下來(lái)，將根據(jù)附圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的第四實(shí)施方式。在上述第三實(shí)施方式的濾光器器件600B中，在可動(dòng)基板52的與底部基板610相對(duì)的面上形成有基板凹部527。另一方面，在本實(shí)施方式的濾光器器件600C (參照?qǐng)D10)中沒(méi)有形成該基板凹部527，但是在底部基板610的底部?jī)?nèi)側(cè)面612上形成有底部凹部618。下面，將詳細(xì)說(shuō)明這種濾光器器件600B的結(jié)構(gòu)。圖10是表示第四實(shí)施方式的濾光器器件600B的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。此外，對(duì)與從上述第一實(shí)施方式至第三實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)以相同的符號(hào)，并省略或者簡(jiǎn)化其說(shuō)明。濾光器器件600C中的固定部件7的配置地點(diǎn)與第二實(shí)施方式的濾光器器件600A同樣。也就是說(shuō)，固定部件7被配置在非接合部526與底部基板610之間。另外，固定部件7被配置在兩處(對(duì)應(yīng)于波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的頂點(diǎn)C3附近以及頂點(diǎn)C4附近的位置)。在濾光器器件600C中，與這種固定部件7的配置地點(diǎn)相對(duì)應(yīng)地形成有底部凹部618。底部凹部618在底部基板610的底部?jī)?nèi)側(cè)面612上，沿底部基板610的厚度方向凹陷規(guī)定尺寸。底部凹部618對(duì)應(yīng)每個(gè)固定部件7的配置地點(diǎn)而形成。在本實(shí)施方式中，底部凹部618分別對(duì)應(yīng)于兩處的固定部件7的各個(gè)配置地點(diǎn)而形成。在本實(shí)施方式中，底部凹部618是以包圍固定部件7的方式而形成的槽。對(duì)于本實(shí)施方式的濾光器器件600C，除了需要形成底部凹部618這點(diǎn)以及固定部件7的配置地點(diǎn)如上述那樣不同這點(diǎn)以外，也能夠與第一實(shí)施方式的制造方法同樣地進(jìn)行制造。底部凹部618能夠在例如上述第一實(shí)施方式的S2的底部基板準(zhǔn)備工序中形成。可以在通過(guò)利用了例如YAG激光等高功率激光的加工對(duì)煅燒形成的底部基板610形成光通過(guò)孔611時(shí)一并形成底部凹部618。另外，也可以在形成貫通孔614時(shí)一并形成底部凹部618。[實(shí)施方式的作用效果]
依照濾光器器件600C，除了取得 與第二實(shí)施方式的濾光器器件600A同樣的作用效果以外，還將取得如下這樣的作用效果。依照光學(xué)濾波器600C，槽狀的底部凹部618以包圍固定部件7的方式形成在底部基板610上。因此，在使用具有流動(dòng)性的材料(例如粘結(jié)劑)作為固定部件7時(shí)，能夠通過(guò)底部凹部618抑制固定部件7從涂覆位置溢出。因而，依照濾光器器件600C，由于能夠?qū)⒐潭ú考?可靠地配置在所期望的地方，因而能夠使品質(zhì)以及成品率得以提聞。[第五實(shí)施方式]接下來(lái)，將根據(jù)附圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的第五實(shí)施方式。在上述第二實(shí)施方式的濾光器器件600A中，可動(dòng)基板52的非接合部526與底部基板610由固定部件7固定在兩處。另一方面，在本實(shí)施方式的濾光器器件中，可動(dòng)基板52的非接合部526與底部基板610由固定部件7固定在一處。圖11是表示被收容在第五實(shí)施方式的濾光器器件中的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖11是進(jìn)一步說(shuō)明波長(zhǎng)可變干涉濾波器5與固定部件7的位置關(guān)系的圖。此外，對(duì)與從上述第一實(shí)施方式至第四實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)以相同的符號(hào)，并省略或者簡(jiǎn)化其說(shuō)明。在本實(shí)施方式中，如圖11所示，固定部件7相對(duì)于波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的非接合部526，在頂點(diǎn)C4附近配置一處，而在作為第二端子取出部的可動(dòng)電極墊564P部分上沒(méi)有配置。這樣，在本實(shí)施方式中，可動(dòng)基板52在角部的一處被固定在底部基板上。[實(shí)施方式的作用效果]依照本實(shí)施方式的濾光器器件，將取得如下這樣的作用效果。在本實(shí)施方式的濾光器器件中，可動(dòng)基板52的非接合部526與底部基板610由固定部件7固定在一處。這樣，固定地點(diǎn)只有與第一接合部513和第二接合部523分離的一處。因此，由上述那樣的熱膨脹系數(shù)的差異所產(chǎn)生的應(yīng)力或者粘結(jié)劑硬化時(shí)的收縮應(yīng)力就更加難以作用于可動(dòng)基板52、固定基板51。因此，依照本實(shí)施方式的濾光器器件，能夠更加可靠地抑制固定反射膜54、可動(dòng)反射膜55的翹曲。[第六實(shí)施方式]接下來(lái)，將根據(jù)附圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的第六實(shí)施方式。在第六實(shí)施方式中，將說(shuō)明組裝有上述第一實(shí)施方式的濾光器器件600的作為光模塊的測(cè)色傳感器3、以及組裝有濾光器器件600的作為電子設(shè)備的測(cè)色裝置I。[1.測(cè)色裝置的概略結(jié)構(gòu)]圖12是表示第六實(shí)施方式的測(cè)色裝置I的概略結(jié)構(gòu)的框圖。測(cè)色裝置I是本發(fā)明的電子設(shè)備。如圖12所示，該測(cè)色裝置I具備:向檢查對(duì)象X射出光的光源裝置2、測(cè)色傳感器3以及控制測(cè)色裝置I的整體動(dòng)作的控制裝置4。而且，該測(cè)色裝置I是如下的裝置:使檢查對(duì)象X反射由光源裝置2射出的光，由測(cè)色傳感器3接收被反射的檢查對(duì)象光，根據(jù)從測(cè)色傳感器3輸出的檢測(cè)信號(hào)來(lái)分析并測(cè)定檢查對(duì)象光的色度、即檢查對(duì)象X的顏色。[2.光源裝置的結(jié)構(gòu)]光源裝置2具備光源21和多個(gè)透鏡22 (在圖12中僅示出一個(gè))，對(duì)檢查對(duì)象X射出白色光。另外，在多個(gè)透鏡22中可以含有準(zhǔn)直透鏡，在這種情況下，光源裝置2通過(guò)準(zhǔn)直透鏡將從光源21射出的白色光變?yōu)槠叫泄?，再?gòu)奈磮D示的投射透鏡向檢查對(duì)象X射出。此外，在本實(shí)施方式中，雖然例示了具備光源裝置2的測(cè)色裝置I，但是在例如檢查對(duì)象X為液晶面板等發(fā)光元件時(shí)，也可以是不設(shè)置光源裝置2的結(jié)構(gòu)。。[3.測(cè)色傳感器的結(jié)構(gòu)]測(cè)色傳感器3構(gòu)成本發(fā)明的光模塊，測(cè)色傳感器3具備上述第一實(shí)施方式的濾光器器件600。如圖12所示，該測(cè)色傳感器3具備:濾光器器件600 ;檢測(cè)部31，接收透過(guò)了光濾光器器件600的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的光；以及電壓控制部32，使在波長(zhǎng)可變干涉濾波器5中透過(guò)的光的波長(zhǎng)可變。另外，測(cè)色傳感器3在與波長(zhǎng)可變干涉濾波器5相對(duì)的位置上具備將在檢查對(duì)象X上反射來(lái)的反射光(檢查對(duì)象光)導(dǎo)入至內(nèi)部的未圖示的入射光學(xué)透鏡。于是，該測(cè)色傳感器3通過(guò)濾光器器件600內(nèi)的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5，將從入射光學(xué)透鏡射入的檢查對(duì)象光中的規(guī)定波長(zhǎng)的光分光，并由檢測(cè)部31接收分光后的光。檢測(cè)部31由多個(gè)光電轉(zhuǎn)換兀件構(gòu)成,檢測(cè)部31生成對(duì)應(yīng)于受光量的電信號(hào)。在此，檢測(cè)部31經(jīng)由例如電路基板311與控制裝置4連接，將生成的電信號(hào)作為受光信號(hào)輸出至控制裝置4。另外，在該電路基板311連接有形成在底部基板610的底部外側(cè)面613上的外側(cè)端子部616，通過(guò)形成在電路基板311上的電路，與電壓控制部32連接。

在這種結(jié)構(gòu)中，能夠通過(guò)電路基板311，一體地構(gòu)成濾光器器件600以及檢測(cè)部31，進(jìn)而能夠簡(jiǎn)化測(cè)色傳感器3的結(jié)構(gòu)。電壓控制部32經(jīng)由電路基板311與濾光器器件600的外側(cè)端子部616連接。于是，電壓控制部32根據(jù)從控制裝置4輸入的控制信號(hào)，向固定電極墊563P和可動(dòng)電極墊564P之間施加規(guī)定的步進(jìn)電壓，從而使靜電致動(dòng)器56驅(qū)動(dòng)。由此，在電極間間隙G2產(chǎn)生靜電引力，保持部522撓曲，從而使可動(dòng)部521向固定基板51側(cè)位移，進(jìn)而能夠?qū)⒎瓷淠らg間隙Gl設(shè)定為所期望的尺寸。[4.控制裝置的結(jié)構(gòu)] 控制裝置4控制測(cè)色裝置I的整體動(dòng)作。作為該控制裝置4，能夠使用例如通用個(gè)人計(jì)算機(jī)、便攜式信息終端以及其它測(cè)色專用計(jì)算機(jī)等。而且，如圖12所示，控制裝置4構(gòu)成為包括光源控制部41、測(cè)色傳感器控制部42以及測(cè)色處理部43等。光源控制部41與光源裝置2連接。并且，光源控制部41根據(jù)例如用戶的設(shè)定輸入，將規(guī)定的控制信號(hào)輸出至光源裝置2，進(jìn)而使規(guī)定亮度的白色光從光源裝置2射出。測(cè)色傳感器控制部42與測(cè)色傳感器3連接。并且，測(cè)色傳感器42根據(jù)例如用戶的設(shè)定輸入，設(shè)定由測(cè)色傳感器3接收的光的波長(zhǎng)，并將表示檢測(cè)該波長(zhǎng)的光的受光量的控制信號(hào)輸出至測(cè)色傳感器3。由此，測(cè)色傳感器3的電壓控制部32根據(jù)控制信號(hào)，以僅使用戶所期望的光的波長(zhǎng)透過(guò)的方式設(shè)定向靜電致動(dòng)器56施加的電壓。測(cè)色處理部43根據(jù)由檢測(cè)部31檢測(cè)到的受光量，分析檢查對(duì)象X的色度。[5.實(shí)施方式的作用效果]本實(shí)施方式的測(cè)色裝置I具備上述第一實(shí)施方式那樣的濾光器器件600。如上所述，依照濾光器器件600，即使將使用了固定部件7的可動(dòng)基板52與底部基板610固定，由熱膨脹系數(shù)的差異所產(chǎn)生的應(yīng)力等也難以作用于可動(dòng)基板52、固定基板51。因此，能夠抑制固定基板51的固定反射膜 54、可動(dòng)基板52的可動(dòng)反射膜55的翹曲。因此，能夠防止由這些反射膜54、55的翹曲所引起的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的光學(xué)特性的變化。另外，濾光器器件600由于內(nèi)部空間650的氣密性高，沒(méi)有水粒等異物的侵入，因而也能夠防止由這些異物引起的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的光學(xué)特性的變化。因此，即使在測(cè)色傳感器3中，也能夠由檢測(cè)部31檢測(cè)以高分辨率取出的目標(biāo)波長(zhǎng)的光，進(jìn)而能夠?qū)λ谕哪繕?biāo)波長(zhǎng)的光檢測(cè)準(zhǔn)確的光量。由此，測(cè)色裝置I能夠?qū)嵤z查對(duì)象X的準(zhǔn)確的顏色分析。另外，檢測(cè)部31與底部基板610相對(duì)設(shè)置，該檢測(cè)部31以及設(shè)在底部基板610的底部外側(cè)面613上的外側(cè)端子部616與一個(gè)電路基板311連接。S卩，由于濾光器器件600的底部基板610被配置在光射出一側(cè)，因而能夠與檢測(cè)從濾光器器件600射出的光的檢測(cè)部31臨近配置。因此，如上所述，通過(guò)在一個(gè)電路基板311上進(jìn)行布線，從而能夠簡(jiǎn)化布線結(jié)構(gòu)，且也能夠減少基板數(shù)量。另外，可以將電壓控制部32配置在電路基板311上，在此情況下，能夠?qū)崿F(xiàn)結(jié)構(gòu)的進(jìn)一步的簡(jiǎn)化。[變形例]此外，本發(fā)明并不僅限于上述實(shí)施方式，在能夠達(dá)到本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)進(jìn)行的變型、改良等應(yīng)該被包含在本發(fā)明之中。例如，在上述第一實(shí)施方式中，雖然通過(guò)在真空中接合底部基板610和蓋板620而制造了內(nèi)部空間650被維持為真空狀態(tài)的濾光器器件600，但并不僅限于此。例如，在蓋板、底部基板上，形成連通內(nèi)部空間與外部的孔部。在大氣壓下將蓋板與底部基板接合之后，能夠從內(nèi)部空間抽取空氣以變?yōu)檎婵諣顟B(tài)，再用密封件密封該孔部。作為密封件，例如可以列舉出金屬球。在金屬球的密封中，優(yōu)選在使金屬球嵌入到孔部?jī)?nèi)之后，在孔部?jī)?nèi)使其高溫化而熔敷在孔部的內(nèi)壁上。另外，作為收容在濾光器器件600中的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5，并不僅限于在上述實(shí)施方式中所示的例子。在上述實(shí)施方式中，波長(zhǎng)可變干涉濾波器5示出了通過(guò)向固定電極561和可動(dòng)電極562施加電壓，從而利用靜電引力使反射膜間間隙Gl的大小可變的類型。除了這種類型的以外，例如，作為變更反射膜間間隙Gl的致動(dòng)器，也可以是使用配置了第一感應(yīng)線圈來(lái)代替固定電極561、配置了第二感應(yīng)線圈或者永久磁鐵來(lái)代替可動(dòng)電極562的感應(yīng)致動(dòng)器的結(jié)構(gòu)。并且，可以是使用壓電致動(dòng)器來(lái)代替靜電致動(dòng)器56的結(jié)構(gòu)。在這種情況下，例如使下部電極層、壓電膜以及上部電極層層疊配置在保持部522上，并通過(guò)將施加在下部電極層和上部電極層之間的電壓作為輸入值使其可變，從而能夠使壓電膜伸縮而使保持部522撓曲。另外，作為收容在內(nèi)部空間650中的干涉濾波器，雖然例示了波長(zhǎng)可變干涉濾波器5，但是，例如也可以是反射膜間間隙Gl的大小被固定的干涉濾波器。在這種情況下，無(wú)需通過(guò)蝕刻形成用于使可動(dòng)部521位移的保持部522、用于設(shè)置固定電極561的電極配置槽511等，能夠簡(jiǎn)化干涉濾波器的結(jié)構(gòu)。另外，由于反射膜間間隙Gl的大小是固定的，因而沒(méi)有響應(yīng)性的問(wèn)題，無(wú)需將內(nèi)部空間650維持為真空，進(jìn)而能夠?qū)崿F(xiàn)結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)化、制造性的提高。但是，即使在這種情況下，在例如溫度變化大的地方使用濾光器器件600時(shí)，由于內(nèi)部空間650內(nèi)的空氣膨脹等，底部側(cè)玻璃基板630、蓋板側(cè)玻璃基板640有可能受到應(yīng)力而撓曲。因此，即使在使用這種干涉濾波器的情況，也優(yōu)選將內(nèi)部空間650維持為真空或者減壓狀態(tài)。另外，雖然示出·了蓋板620具備蓋板接合部624、側(cè)壁部625以及頂面部626，且頂面部626與底部基板610平行的結(jié)構(gòu)，但并不僅限于此。作為蓋板620的形狀，只要是能夠在與底部基板610之間形成可以收容波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的內(nèi)部空間650即可，其可以是任意的形狀，例如頂面部626可以被形成為曲面形狀。但是，該情況一般認(rèn)為制造會(huì)變得繁雜。這是因?yàn)槔鐬榱司S持內(nèi)部空間650的氣密性，需要配合蓋板620而將與蓋板620接合的蓋板側(cè)玻璃基板640形成為曲面狀，且只有閉塞光通過(guò)孔621的部分形成為平面狀，以免產(chǎn)生折射等。因此，優(yōu)選使用如上述第一實(shí)施方式那樣頂面部626成為與底部基板610平行的蓋板620。在上述實(shí)施方式中，雖然示出了底部側(cè)玻璃基板630和蓋板側(cè)玻璃基板640與框體601的外面、即底部基板610的底部外側(cè)面613和蓋板620的蓋板外側(cè)面623接合的例子，但并不僅限于此。例如，也可以是接合在框體601的內(nèi)部空間650側(cè)的結(jié)構(gòu)。另外，作為干涉濾波器，在將使由第一反射膜和第二反射膜多重干涉后的光反射的反射型濾波器收容在內(nèi)部空間650的情況下，也可以是不設(shè)置光通過(guò)孔611和底部側(cè)玻璃基板630的結(jié)構(gòu)。在這種情況下，通過(guò)與濾光器器件600的光通過(guò)孔621相對(duì)地設(shè)置例如光束分離器等，從而將向?yàn)V光器器件600照射的入射光與從濾光器器件600射出的射出光分離，通過(guò)形成為這種結(jié)構(gòu)，能夠通過(guò)檢測(cè)部檢測(cè)分離后的射出光。在上述實(shí)施方式中，例示了在被設(shè)于底部基板610的貫通孔614內(nèi)經(jīng)由導(dǎo)電性部件連接內(nèi)側(cè)端子部615和外側(cè)端子部616的結(jié)構(gòu)，但并不僅限于此。例如，也可以是如下這樣的結(jié)構(gòu):向底部基板610的貫通孔614壓入棒狀的端子,并連接端子的前端部與固定電極墊563P、可動(dòng)電極墊564P等。在上述實(shí)施方式中，作為設(shè)在波長(zhǎng)可變干涉濾波器5上的本發(fā)明的電極部，雖然例示了構(gòu)成靜電致動(dòng)器的固定電極561和可動(dòng)電極562 (以及與這些電極561、562連接的電極墊563P、564P)，但并不僅限于此。作為本發(fā)明的電極的其它示例，例如可以列舉出:用于根據(jù)固定反射膜54和可動(dòng)反射膜55的電荷保持量的變化而測(cè)定反射膜間間隙Gl的大小的靜電電容檢測(cè)電極；用于使被各基板51、52或者固定反射膜54、可動(dòng)反射膜55保持的電荷逃逸，進(jìn)而除去基板間的庫(kù)侖力的帶電除去電極等。在這種情況下，在第一電裝面514和第二電裝面524上，配置從上述靜電容量檢測(cè)電極、帶電除去電極等引出的引出電極。而且，即使在配置有這種多個(gè)電極的情況下，例如通過(guò)將FPC615A粘貼在第一電裝面514上，從而在例如圖5的S12中，能夠容易地實(shí)施布線連接，而不用對(duì)各電極單獨(dú)地實(shí)施連接作業(yè)。在上述實(shí)施方式中，雖然是在固定基板51的光入射面上設(shè)置非透光性部件515的結(jié)構(gòu)，但是，例如也可以是在作為入射側(cè)的透光基板的蓋板側(cè)玻璃基板640上設(shè)置非透光性部件515的結(jié)構(gòu)等。另外，在上述實(shí)施方式中，雖然例示了使從蓋板620側(cè)射入的光在波長(zhǎng)可變干涉濾波器5中進(jìn)行多重干涉，從底部側(cè)玻璃基板630射出透過(guò)了波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的光的濾光器器件600，但也可以是例如使光從底部基板610側(cè)射入的結(jié)構(gòu)。在這種情況下，可以在可動(dòng)基板52上設(shè)置作為孔闌而發(fā)揮作用的非透光性部件、或者也可以是將設(shè)有非透光性部件的固定基板51固定在底部基板610上的結(jié)構(gòu)等。另外，作為本發(fā)明的電子設(shè)備，雖然在第六實(shí)施方式中例示了測(cè)色裝置1，但是除此之外，根據(jù)各種領(lǐng)域不同， 也能夠使用本發(fā)明的濾光器裝置、光模塊、電子設(shè)備。例如，能夠用作用于檢測(cè)指定物質(zhì)存在的光基板的系統(tǒng)。作為這種系統(tǒng)，例如，能夠例示采用使用了本發(fā)明的濾光器器件所具備的波長(zhǎng)可變干涉濾波器的分光測(cè)量方式而高靈敏度檢測(cè)指定氣體的車載用漏氣檢測(cè)器或者呼吸檢查用的光聲稀有氣體檢測(cè)器等氣體檢測(cè)裝置。下面，將根據(jù)

這種氣體檢測(cè)裝置的一例。圖13是表示具備波長(zhǎng)可變干涉濾波器的氣體檢測(cè)裝置的一例的示意圖。圖14是表示圖13的氣體檢測(cè)裝置的控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的框圖。如圖13所示，該氣體檢測(cè)裝置100構(gòu)成為包括傳感器芯片110、流道120以及主體部130，該流道120具備吸引口 120A、吸引流道120B、排出流道120C以及排出口 120D。主體部130由檢測(cè)裝置、處理被檢測(cè)的信號(hào)并控制檢測(cè)部的控制部138、以及供電的供電部139等構(gòu)成，其中，該檢測(cè)裝置包括:具有可裝卸流道120的開(kāi)口的傳感器部蓋131、排出單元133、框體134、光學(xué)部135、濾光器136、濾光器器件600以及受光元件137(檢測(cè)部)。另外，光學(xué)部135構(gòu)成為包括:射出光的光源135A;將從光源135A射入的光向傳感器芯片110側(cè)反射，并使從傳感器芯片側(cè)射入的光向受光元件137側(cè)透過(guò)的光束分離器 135B ;以及透鏡 135C、135D、135E。另外，如圖14所示，在氣體檢測(cè)裝置100的表面上設(shè)置有操作面板140、顯示部141、用于與外部的接口的連接部142、供電部139。在供電部139是蓄電池的情況下，也可以具備用于充電的連接部143。并且，如圖14所示，氣體檢測(cè)裝置100的控制部138具備如下部件等:信號(hào)處理部144，由CPU等構(gòu)成；光源驅(qū)動(dòng)器電路145，用于控制光源135A ;電壓控制部146，用于控制濾光器器件600的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5 ;受光電路147，接收來(lái)自受光元件137的信號(hào)；傳感器芯片檢測(cè)電路149，接收來(lái)自傳感器芯片檢測(cè)器148的信號(hào)，該傳感器芯片檢測(cè)器148讀取傳感器芯片110的代碼，并檢測(cè)有無(wú)傳感器芯片110 ;以及排出驅(qū)動(dòng)器電路150，控制排出單元133。接下來(lái)，將在下面說(shuō)明上述那樣的氣體檢測(cè)裝置100的動(dòng)作。在主體部130的上部傳感器部蓋131的內(nèi)部設(shè)置有傳感器芯片檢測(cè)器148，并通過(guò)該傳感器芯片檢測(cè)器148檢測(cè)有無(wú)傳感器芯片110。信號(hào)處理部144如果檢測(cè)到來(lái)自傳感器芯片檢測(cè)器148的檢測(cè)信號(hào)，則判斷處于安裝有傳感器芯片110的狀態(tài)，并向顯示部141發(fā)出表示能實(shí)施檢測(cè)操作的旨意的顯示信號(hào)。并且，當(dāng)例如通過(guò)使用者操作操作面板140，并將來(lái)自操作面板140的表示開(kāi)始檢測(cè)處理的指示信號(hào)輸出給信號(hào)處理部144時(shí)，首先，信號(hào)處理部144向光源驅(qū)動(dòng)器電路145輸出光源動(dòng)作的信號(hào)以使光源135A動(dòng)作。如果驅(qū)動(dòng)光源135A，則從光源135A輸出單波長(zhǎng)且直線偏振的穩(wěn)定的激光。此外，在光源135A中內(nèi)置有溫度傳感器和光量傳感器，該信息被輸出給信號(hào)處理部144。然后，信號(hào)處理部144根據(jù)從光源135A輸入的溫度和光量，判斷光源135A已穩(wěn)定操作，從而控制排出驅(qū)動(dòng)器電路150以使排出單元133動(dòng)作。由此，包括應(yīng)該檢測(cè)的目標(biāo)物質(zhì)(氣體分子)的氣體試樣從吸引口 120A被導(dǎo)向吸引流道120B、傳感器芯片110內(nèi)、排出流道120C 、排出口 120D。此外，在吸引口 120A設(shè)置有除塵過(guò)濾器120A1，除去比較大的粉塵、一部分水蒸氣等。此外，傳感器芯片110是安裝有多個(gè)金屬納米構(gòu)造體、利用了局部表面等離子體共振的傳感器。在這樣的傳感器芯片110中，通過(guò)激光在金屬納米構(gòu)造體間形成增強(qiáng)電場(chǎng)，當(dāng)氣體分子進(jìn)入該增強(qiáng)電場(chǎng)內(nèi)時(shí)，會(huì)產(chǎn)生包括分子振動(dòng)信息的拉曼散射光及瑞利散射光。這些瑞利散射光、拉曼散射光通過(guò)光學(xué)部135入射到濾波器136，通過(guò)濾波器136分離瑞利散射光，從而拉曼散射光入射到濾光器器件600。并且,信號(hào)處理部144控制電壓控制部146，調(diào)整施加給濾光器器件600的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的電壓，通過(guò)濾光器器件600的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5分光與作為檢測(cè)對(duì)象的氣體分子相對(duì)應(yīng)的拉曼散射光。然后，當(dāng)通過(guò)受光元件137接收到分光后的光時(shí)，通過(guò)受光電路147將與受光量相對(duì)應(yīng)的受光信號(hào)輸出給信號(hào)處理部144。信號(hào)處理部144將上述獲得的與作為檢測(cè)對(duì)象的氣體分子相對(duì)應(yīng)的拉曼散射光的光譜數(shù)據(jù)和存儲(chǔ)在ROM中的數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，并判斷是否是目標(biāo)氣體分子，從而指定物質(zhì)。然后，信號(hào)處理部144在顯示部141上顯示該結(jié)果信息、或從連接部142向外部輸出。此外，在上述圖13及圖14中，雖然例示了通過(guò)濾光器器件600的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5分光拉曼散射光并根據(jù)分光后的拉曼散射光進(jìn)行氣體檢測(cè)的氣體檢測(cè)裝置100的例子，但作為氣體檢測(cè)裝置，還可以用作通過(guò)檢測(cè)氣體固有的吸光度以指定氣體種類的氣體檢測(cè)裝置。在這種情況下，可以使用在傳感器內(nèi)部流入氣體且檢測(cè)入射光中的被氣體吸收的光的氣體傳感器作為本發(fā)明的光模塊。此外，可以將通過(guò)這樣的氣體傳感器分析、判斷流入傳感器內(nèi)的氣體的氣體檢測(cè)裝置作為本發(fā)明的電子設(shè)備。即使在這樣的結(jié)構(gòu)中，也可以使用波長(zhǎng)可變干涉濾波器來(lái)檢測(cè)氣體成分。此外，作為用于檢測(cè)指定物質(zhì)存在的系統(tǒng)，并不僅限于檢測(cè)上述這樣的氣體，還可以例示基于紅外線分光的糖類的非侵入式測(cè)量裝置、食物和生物、礦物等的信息的非侵入式測(cè)量裝置等物質(zhì)成分分析裝置。下面，作為上述物質(zhì)成分分析裝置的一例，將說(shuō)明食品分析裝置。圖15是表示作為利用了濾光器器件600的電子設(shè)備的一例的食品分析裝置的概略結(jié)構(gòu)的圖。如圖15所示，該食物分析裝置200包括檢測(cè)器(濾光器模塊)210、控制部220、顯示部230。檢測(cè)器210包括用于射出光的光源211、導(dǎo)入來(lái)自檢測(cè)對(duì)象物的光的攝像透鏡212、對(duì)從攝像透鏡212導(dǎo)入的光進(jìn)行分光的濾光器器件600、以及檢測(cè)分光后的光的攝像部(受光部)213。并且，控制部220包括:光源控制部221，用于實(shí)施光源211的點(diǎn)燈、滅燈控制、點(diǎn)燈時(shí)的亮度控制；電壓控制部222，用于控制濾光器器件600的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5 ;檢測(cè)控制部223，用于控制攝像部213，并取得通過(guò)攝像部213拍攝到的分光圖像；信號(hào)處理部224 ;以及存儲(chǔ)部225。該食物分析裝置200當(dāng)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)時(shí)，通過(guò)光源控制部221控制光源211，從光源211向檢測(cè)對(duì)象物照射光。并且，被檢測(cè)對(duì)象物反射的光通過(guò)攝像透鏡212入射到濾光器器件600。濾光器器件600的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5在電壓控制部222的控制下被施加能對(duì)想要的波長(zhǎng)進(jìn)行分光的電壓，并通過(guò)由例如CDD攝像機(jī)等構(gòu)成的攝像部213對(duì)分光后的光進(jìn)行拍攝。并且，將拍攝到的光作為分光圖像存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部225中。并且，信號(hào)處理部224控制電壓控制部222使施加給波長(zhǎng)可 變干涉濾波器5的電壓值變化，并取得針對(duì)各波長(zhǎng)的分光圖像。并且，信號(hào)處理部224對(duì)存儲(chǔ)部225存儲(chǔ)的各圖像中的各像素的數(shù)據(jù)進(jìn)行運(yùn)算處理，以求得各像素中的光譜。并且，在存儲(chǔ)部225中存儲(chǔ)有例如與光譜相對(duì)的有關(guān)食物成分的信息，信號(hào)處理部224根據(jù)存儲(chǔ)部225所存儲(chǔ)的有關(guān)食物的信息，對(duì)求得的光譜的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，并求得檢測(cè)對(duì)象中包括的食物成分及其含量。并且，可以根據(jù)獲得的食物成分及含量計(jì)算食物卡路里和新鮮度等。此外，通過(guò)分析圖像內(nèi)的光譜分布，從而可以實(shí)施檢查對(duì)象的食物中新鮮度降低的部分的提取出等，且可進(jìn)一步實(shí)施食物內(nèi)所包括的異物等的檢測(cè)。此外，信號(hào)處理部224進(jìn)行以下的處理:在顯示部230上顯示獲得的檢查對(duì)象的食物成分和含量、卡路里和新鮮度等信息。并且，在圖15中，雖然例示了食物分析裝置200的例子，但通過(guò)大致相同的結(jié)構(gòu)也能夠用作上述那樣的其他信息的非侵入式測(cè)量裝置。例如，可以用作作為進(jìn)行血液等體液成分的測(cè)量、分析等的分析生物成分的生物分析裝置。作為這樣的生物分析裝置，例如作為對(duì)血液等體液成分進(jìn)行測(cè)量的裝置，如果是檢測(cè)乙醇的裝置，則可以用作檢測(cè)駕駛員的飲酒狀態(tài)的防止酒后駕駛裝置。此外，也可以用作包括這樣的生物分析裝置的電子內(nèi)視鏡系統(tǒng)。此外，還可以用作實(shí)施礦物成分分析的礦物分析裝置。并且，作為本發(fā)明的波長(zhǎng)可變干涉濾波器、光模塊、電子設(shè)備，能夠適用于如下這樣的裝置。例如，通過(guò)經(jīng)時(shí)變化各波長(zhǎng)的光強(qiáng)度，從而還可以通過(guò)各波長(zhǎng)的光傳送數(shù)據(jù)，在這種情況下，通過(guò)設(shè)置在光模塊中的波長(zhǎng)可變干涉濾波器對(duì)指定波長(zhǎng)的光進(jìn)行分光，并通過(guò)受光部接收，從而可以提取出通過(guò)指定波長(zhǎng)的光傳送的數(shù)據(jù)，并可通過(guò)包括這樣的數(shù)據(jù)選出用光模塊的電子設(shè)備處理各波長(zhǎng)的光的數(shù)據(jù)，從而可以實(shí)施光通信。另外，作為電子設(shè)備，也能夠適用于通過(guò)利用本發(fā)明的濾光器器件所具備的波長(zhǎng)可變干涉濾波器將光進(jìn)行分光并拍攝分光圖像的分光照相機(jī)、分光分析儀等。作為這樣的分光照相機(jī)的一例，可以列舉有內(nèi)置了波長(zhǎng)可變干涉濾波器的紅外線照相機(jī)。圖16是示出分光攝像機(jī)的簡(jiǎn)要構(gòu)成的模式圖。如圖16所示，分光攝像機(jī)300包括照相機(jī)主體310、攝像透鏡單元320以及攝像部330。攝像機(jī)主體310是由使用者把持、操作的部分。攝像透鏡單元320設(shè)置在攝像機(jī)主體310上，其將入射的圖像光導(dǎo)向攝像部330。并且，如圖16所示，該攝像透鏡單元320構(gòu)成為包括物鏡321、成像透鏡322以及設(shè)置在這些透鏡間的濾光器器件600。攝像部330由受光元件構(gòu)成，其對(duì)通過(guò)攝像透鏡單元320導(dǎo)入的圖像光進(jìn)行拍攝。在這樣的分光攝像機(jī)300中，通過(guò)濾光器器件600的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5使作為攝像對(duì)象的波長(zhǎng)的光透過(guò)，從而可以對(duì)想要的波長(zhǎng)的光的分光圖像進(jìn)行拍攝。此外，也可以將本發(fā)明的濾光器器件所具備的波長(zhǎng)可變干涉濾波器用作帶通濾波器，例如，也可以被用作僅將發(fā)光元件輸出的規(guī)定波段的光中的以規(guī)定波長(zhǎng)為中心的狹窄波段的光通過(guò)波長(zhǎng)可變干涉濾波器進(jìn)行分光并使其透過(guò)的光學(xué)式激光裝置。并且，也可以將本發(fā)明的濾光器器件所具備的波長(zhǎng)可變干涉濾波器用作生物認(rèn)證裝置，例如，可以適用于使用近紅外區(qū)域或可見(jiàn)光區(qū)域的光的血管、指紋、視網(wǎng)膜和虹膜等的認(rèn)證裝置。并且，能夠?qū)⒐饽K和光分析裝置用作濃度檢測(cè)裝置。在該情況下，利用波長(zhǎng)可變干涉濾波器，對(duì)從物質(zhì)射出的紅外能量(紅外光)進(jìn)行分光后分析，并測(cè)量采樣中的被檢體濃度。如上所述，本發(fā)明的濾光器器件以及電子設(shè)備還可以適用于從入射光中分光規(guī)定的光的任意裝置。并且，如上所述，本發(fā)明的波長(zhǎng)可變干涉濾波器由于可以通過(guò)一臺(tái)設(shè)備對(duì)多個(gè)波長(zhǎng)進(jìn)行分光，所以可以高精度地實(shí)施多個(gè)波長(zhǎng)的光譜的測(cè)量、對(duì)多個(gè)成分進(jìn)行檢測(cè)。因此，與通過(guò)多臺(tái)設(shè)備取出想要的波長(zhǎng)的現(xiàn)有的裝置相比，可以促進(jìn)光模塊、電子設(shè)備的小型化，且可例如優(yōu)選作為便攜用或車載用的光學(xué)設(shè)備。在上述測(cè)色裝置1、氣體檢測(cè)裝置100、食物分析裝置200以及分光照相機(jī)300的說(shuō)明中，雖然顯示了適用第一實(shí)施方式的濾光器器件600的示例，但并不限定于此。當(dāng)然，其它實(shí)施方式的濾光器器件、其它本發(fā)明的濾光器器件也能夠同樣地適用于測(cè)色裝置I等。在上述第三實(shí)施方式中，雖然示出了固定部件7被配置在基板凹部527內(nèi)的方式，但并不僅限于這種方式。例如，也可以將基板凹部527如底部凹部618那樣形成為槽狀。另一方面，也可以是底部 凹部618也如基板凹部527那樣地形成且在其內(nèi)部配置有固定部件7的方式。
另外,在第一實(shí)施方式中,可動(dòng)基板52與底部基板610由被配置在一點(diǎn)的固定部件7固定在一處。如第一實(shí)施方式那樣，雖然由固定部件固定在一點(diǎn)的情況包括在固定在一處中，但在本發(fā)明中，固定在一處的情況并不僅限于這種方式。例如，圖17所示那樣的由固定部件7的配置進(jìn)行的固定也包括在固定在一處的情況中。圖17是表示波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖。在圖17中示出了被配置在多點(diǎn)上的固定部件7。多點(diǎn)的固定部件7并不是被互相離散地配置，而是如圖17所示那樣，被集中地配置在與可動(dòng)反射膜55相比更在頂點(diǎn)C4附近的區(qū)域7A。像該區(qū)域7A那樣，多點(diǎn)的固定部件7被集中地配置的地點(diǎn)也作為一處而被包括在內(nèi)。如上所述地在多點(diǎn)的固定部件被集中配置的一處固定第二基板與底部基板的情況下，由熱膨脹系數(shù)的差異所產(chǎn)生的應(yīng)力或者粘結(jié)劑硬化時(shí)的收縮應(yīng)力也難以作用于第二基板、第一基板。其結(jié)果，濾光器器件能夠抑制第二反射膜、第一反射膜的翹曲。另外，在上述實(shí)施方式中，雖然以濾光器器件具備蓋板的方式為例進(jìn)行了說(shuō)明，但并不限于這種方式。也可以是不具有蓋板，相對(duì)于底部基板，將干涉濾波器固定在上述規(guī)定的地點(diǎn)的濾光器器件。此外，本發(fā)明實(shí)施時(shí)的具體的結(jié)構(gòu)在能夠達(dá)到本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)能夠適當(dāng)?shù)刈兏鼮槠渌Y(jié)構(gòu)等。符號(hào)說(shuō)明5波長(zhǎng)可變干涉濾波器(干涉濾波器)51固定基板(第一基板)52可動(dòng)基板(第二基板)54固定反射膜(第一反射膜)55可動(dòng)反射膜(可動(dòng)反射膜)56靜電致動(dòng)器(致動(dòng)器)526非接合部527基板凹部561固定電極(第一電極)562可動(dòng)電極(第二電極)564可動(dòng)電極墊(第二端子取出部)600、600A、600B、600C 濾光器器件601殼體610底部基板618底部凹部650內(nèi)部空間7固 定部件Gl反射膜間間隙G2電極間間隙
權(quán)利要求
1.一種濾光器器件，其特征在于，具備: 干涉濾波器以及收容所述干涉濾波器的殼體， 所述干涉濾波器具備第一基板、第二基板、第一反射膜以及第二反射膜，所述第二基板與所述第一基板相對(duì)配置且與所述第一基板接合，所述第一反射膜設(shè)置在所述第一基板上，所述第二反射膜設(shè)置在所述第二基板上且隔著反射膜間間隙與所述第一反射膜相對(duì)， 所述殼體具備能配置所述干涉濾波器的底部基板， 在所述第二基板與所述底部基板之間配置有將所述第二基板固定在所述底部基板上的固定部件， 在從基板厚度方向俯視觀察所述第二基板的情況下，所述第二基板在除了設(shè)置有所述第二反射膜的區(qū)域以外的一處通過(guò)所述固定部件固定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光器器件，其特征在于， 在從基板厚度方向俯視觀察所述第二基板的情況下，所述第二基板在與所述底部基板相對(duì)的面的外周部被固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光器器件，其特征在于， 在從基板厚度方向俯視觀察所述第二基板的情況下，所述第二基板在與所述底部基板相對(duì)的面的角部被固定。
4.一種濾光器器件，其特征在于，具備: 干涉濾波器以及收容所 述干涉濾波器的殼體， 所述干涉濾波器具備第一基板、第二基板、第一反射膜以及第二反射膜，所述第二基板與所述第一基板相對(duì)配置且與所述第一基板接合，所述第一反射膜設(shè)置在所述第一基板上，所述第二反射膜設(shè)置在所述第二基板上且隔著反射膜間間隙與所述第一反射膜相對(duì)， 所述殼體具備能配置所述干涉濾波器的底部基板， 所述第二基板具有未接合于所述第一基板的非接合部， 在所述非接合部與所述底部基板之間配置有將所述第二基板固定在所述底部基板上的固定部件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的濾光器器件，其特征在于， 所述第二基板在所述非接合部的一處通過(guò)所述固定部件固定。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的濾光器器件，其特征在于， 在從基板厚度方向俯視觀察所述第二基板的情況下，所述非接合部是所述第二基板的配置為比所述第一基板更向外側(cè)突出的突出部分。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的濾光器器件，其特征在于， 所述濾光器器件具備致動(dòng)器，所述致動(dòng)器通過(guò)電壓的施加而使所述第二基板撓曲來(lái)變更所述反射膜間間隙的間隙量， 所述致動(dòng)器具備:設(shè)置在所述第一基板上的第一電極、以及設(shè)置在所述第二基板上且與所述第一電極相對(duì)的第二電極， 與所述第二電極連接的第二端子取出部形成于所述突出部分。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中的任一項(xiàng)所述的濾光器器件，其特征在于， 在所述第二基板的與所述底部基板相對(duì)的面上的與所述固定部件相對(duì)應(yīng)的位置形成有基板凹部。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至7中的任一項(xiàng)所述的濾光器器件，其特征在于， 在所述底部基板的與所述第二基板相對(duì)的面上的與所述固定部件相對(duì)應(yīng)的位置形成有底部凹部。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中的任一項(xiàng)所述的濾光器器件，其特征在于， 所述濾光器器件具備蓋板，所述蓋板與所述底部基板接合，且在所述蓋板與所述底部基板之間形成能收容所述干涉濾波器的內(nèi)部空間。
11.一種濾光器器件的制造方法，其特征在于，實(shí)施: 在第一基板上成膜第一反射膜的工序； 在第二基板上成膜第二反射膜的工序； 以使所述第一反射膜與所述第二反射膜隔著反射膜間間隙而相對(duì)配置的方式接合所述第一基板與所述第二基板，以制造干涉濾波器的工序； 在底部基板上配置固定部件的工序； 使所述干涉濾波器的所述第二基板側(cè)朝向所述底部基板并在從基板厚度方向俯視觀察所述第二基板的情況下，在除了成膜有所述第二反射膜的區(qū)域以外的一處，通過(guò)所述固定部件將所述第二基板固定在所述底部基板上的工序；以及 將蓋板與所述底部基板接合的工序，在所述蓋板與所述底部基板之間形成能收容所述干涉濾波器的內(nèi)部空間。
12.一種濾光器器件的制造方法，其特征在于，實(shí)施:` 在第一基板上成膜第一反射膜的工序； 在第二基板上成膜第二反射膜的工序； 以使所述第一反射膜與所述第二反射膜隔著反射膜間間隙而相對(duì)配置的方式接合所述第一基板與所述第二基板，以制造干涉濾波器的工序； 在底部基板上配置固定部件的工序； 使所述干涉濾波器的所述第二基板側(cè)朝向所述底部基板并通過(guò)所述固定部件將所述第二基板固定在所述底部基板上的工序；以及 將蓋板與所述底部基板接合的工序，在所述蓋板與所述底部基板之間形成能收容所述干涉濾波器的內(nèi)部空間，其中，在接合所述第一基板與所述第二基板來(lái)制造干涉濾波器的工序中，在接合所述第一基板與所述第二基板時(shí)，在所述第二基板上形成未接合于所述第一基板的非接合部，在將所述第二基板固定在所述底部基板的工序中，在所述非接合部固定所述第二基板。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種濾光器器件及濾光器器件的制造方法，該濾光器器件具備干涉濾波器和殼體。干涉濾波器具備固定基板、與固定基板接合的可動(dòng)基板、設(shè)置在固定基板上的固定反射膜以及設(shè)置在可動(dòng)基板上且隔著反射膜間間隙與所述固定反射膜相對(duì)的可動(dòng)反射膜。殼體具備能配置干涉濾波器的底部基板。在可動(dòng)基板與底部基板之間配置有固定部件。在從基板厚度方向俯視觀察可動(dòng)基板的情況下，可動(dòng)基板在除了設(shè)置有所述可動(dòng)反射膜的區(qū)域以外的一處通過(guò)固定部件被固定在底部基板上。
文檔編號(hào)G02B5/28GK103245998SQ20131004595
公開(kāi)日2013年8月14日 申請(qǐng)日期2013年2月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月14日
發(fā)明者松野靖史, 佐野朗 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社