低驅(qū)動(dòng)電壓高透過(guò)率的藍(lán)相液晶顯示器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明為一種低驅(qū)動(dòng)電壓高透過(guò)率的藍(lán)相液晶顯示器，其組成包括：第一基板層、中間部分和第二基板層；第一基板層的組成為第一偏光片、第一玻璃基板和第一絕緣層；第二基板層的組成為第二絕緣層、第二玻璃基板和第二偏光片；中間部分包括：第三透明層、藍(lán)相液晶層，其中，第三透明層包括劈形凸起、電極層和第三絕緣層，在劈形的斜側(cè)上有電極層，電極層外側(cè)有第三絕緣層，第三透明層連接了第一和第二基板層，藍(lán)相液晶充滿第三透明層中的空隙。本發(fā)明設(shè)計(jì)的電極貼附于直角劈形有機(jī)物凸起的斜面上，所以電極結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，不會(huì)因?yàn)樗{(lán)相液晶中在驅(qū)動(dòng)過(guò)程中的拉伸作用發(fā)生斷裂等現(xiàn)象而影響到顯示效果，并且會(huì)有效的降低驅(qū)動(dòng)電壓。
【專利說(shuō)明】低驅(qū)動(dòng)電壓高透過(guò)率的藍(lán)相液晶顯示器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示領(lǐng)域，提出一種低驅(qū)動(dòng)電壓、高透過(guò)率的聚合物穩(wěn)定藍(lán)相液晶顯示器及其制作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在當(dāng)今的顯示領(lǐng)域，液晶顯示在市場(chǎng)份額上已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超越其它種類的顯示器，成為顯示領(lǐng)域當(dāng)仁不讓的領(lǐng)頭羊，可以說(shuō)是只要有顯示的地方就會(huì)有液晶的存在，它不僅廣泛由于我們所熟悉的手機(jī)、電腦、電視等領(lǐng)域，而且隨著液晶生產(chǎn)技術(shù)的提高和研究人員的努力，它還在超大屏幕顯示和軍工產(chǎn)品等多領(lǐng)域中展示著自己所獨(dú)有的優(yōu)勢(shì)。
[0003]現(xiàn)在市場(chǎng)上所應(yīng)用的液晶顯示器主要應(yīng)用的向列相液晶。在液晶顯示器與其它顯示器的競(jìng)爭(zhēng)中，其在起初階段存在的如視角窄，對(duì)比度不足和色彩不夠等諸多問(wèn)題已經(jīng)被研究者們逐一解決。
[0004]但是，液晶是被動(dòng)發(fā)光的，其顯示原理是由于加電場(chǎng)后液晶分子的轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)光產(chǎn)生了相位延遲，再通過(guò)液晶盒上方和下方的偏光片對(duì)光的調(diào)制達(dá)到了顯示的目的。所以，液晶顯示器的響應(yīng)時(shí)間是由液晶的轉(zhuǎn)動(dòng)速度所決定的。響應(yīng)時(shí)間直接與液晶顯示器的顯示質(zhì)量相關(guān)，主要是圖像的拖尾和粘滯現(xiàn)象，其次是液晶顯示器的光利用率問(wèn)題，如需要具有較好的顯不效果，則要求液晶顯不器的響應(yīng)時(shí)間為亞暈秒量級(jí)。現(xiàn)有使用向列相液晶材料的液晶顯示器，響應(yīng)時(shí)間均在毫秒和十毫秒量級(jí)以上，因此要想達(dá)到亞毫秒的響應(yīng)時(shí)間，就強(qiáng)烈要求有新的液晶材料被開(kāi)發(fā)出來(lái)。
[0005]隨著研究人員們的努力，藍(lán)相液晶被科學(xué)家們提了出來(lái)，最初的藍(lán)相液晶的存在溫度差范圍為0.5?2°C內(nèi)，但經(jīng)過(guò)聚合物穩(wěn)定處理后，藍(lán)相液晶可以存在的溫度范圍變?yōu)?10?50°C。藍(lán)相液晶作為顯示器所用材料與向列相液晶相比，其優(yōu)點(diǎn)在于:(1)具有亞毫秒級(jí)的響應(yīng)速度，不但是液晶顯示器有可能實(shí)現(xiàn)場(chǎng)序彩色顯示模式，還可能大大降低動(dòng)態(tài)偽像，而彩色顯示模式顯示器的分辨率和光學(xué)效率是常規(guī)的3倍；(2)由于聚合物穩(wěn)定藍(lán)相液晶在關(guān)態(tài)時(shí)是各向同性介質(zhì)，因此藍(lán)相液晶顯示器在制作時(shí)可以不需要取向?qū)樱@樣就大大減少了液晶盒的制作工藝；(3)由于在暗態(tài)時(shí)藍(lán)相液晶是光學(xué)各向同性相介質(zhì)，所以加偏光片后液晶盒的視角還是非常大的，而且暗態(tài)的視角非常對(duì)稱；(4)藍(lán)相液晶的結(jié)構(gòu)是雙螺旋的，所以其透過(guò)率對(duì)盒厚就不再要求那么嚴(yán)格，所以當(dāng)盒厚大于一個(gè)定值時(shí)，其透過(guò)率對(duì)液晶盒厚不敏感，所以特別適合制作大顯示屏。
[0006]由以上的分析我們可以得出結(jié)論，藍(lán)相液晶具有發(fā)展成為下一代顯示器的可能性，但是現(xiàn)在阻止其大規(guī)模生產(chǎn)的制約是其驅(qū)動(dòng)電壓太大，現(xiàn)有的電極材料無(wú)法在滿足壽命要求的情況下達(dá)到其驅(qū)動(dòng)電壓要求。介于原因，我們提出來(lái)了這種減小驅(qū)動(dòng)電壓和提高透過(guò)率的顯示器。
[0007]在現(xiàn)在提出的液晶盒電極結(jié)構(gòu)中，最早的共面轉(zhuǎn)換結(jié)構(gòu)由于其電壓滲透深度比較低，所以驅(qū)動(dòng)電壓比較高；提到的梯形電極由于在下玻璃基板上面做凸起，對(duì)降低驅(qū)動(dòng)電壓有些幫助，但不能徹底解決驅(qū)動(dòng)電壓偏高的缺點(diǎn)；提出的墻狀電極能夠很好的減小驅(qū)動(dòng)電壓，但在墻狀電極的上方?jīng)]有液晶存在，因此這種結(jié)構(gòu)會(huì)嚴(yán)重影響顯示器的透過(guò)率；最近提出的斜向電極結(jié)構(gòu)，透過(guò)率可以很高，但是以現(xiàn)在的制造技術(shù)很難實(shí)現(xiàn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明鑒于現(xiàn)在所存在藍(lán)相液晶顯示器存在驅(qū)動(dòng)電壓高和透過(guò)率低的缺點(diǎn)，我們?cè)O(shè)計(jì)了一種有效降低驅(qū)動(dòng)電壓并且具有較高透過(guò)率的聚合物穩(wěn)定藍(lán)相液晶顯示器。通過(guò)在基板上設(shè)置直角劈形的凸起，并在直角劈形凸起的斜邊上制作ITO電極，直角劈形凸起的材料具有較高的介電常數(shù)，從而達(dá)到降低驅(qū)動(dòng)電壓和提高透過(guò)率的效果。
[0009]本發(fā)明的技術(shù)方案為:
[0010]一種低驅(qū)動(dòng)電壓高透過(guò)率的藍(lán)相液晶顯示器，該顯示器組成包括:
[0011]所述的顯示器從下到上依次為:第一基板層、中間部分和第二基板層；其中，第一基板層的組成從下到上依次為第一偏光片、第一玻璃基板和第一絕緣層；第二基板層的組成從下到上依次為第二絕緣層、第二玻璃基板和第二偏光片；中間部分包括:第三透明層、藍(lán)相液晶層，其中，第三透明層包括劈形凸起、電極層和第三絕緣層，劈形凸起截面的形狀為直角劈形，在劈形的斜側(cè)上有電極層，電極層外側(cè)有第三絕緣層，第三透明層連接了第一和第二基板層，藍(lán)相液晶充滿第三透明層中的空隙；所述的相鄰的兩個(gè)直角劈形凸起是成鏡面對(duì)稱放置的；劈形凸起貫穿于整個(gè)藍(lán)相液晶層。
[0012]所述的第一偏光片 和第二偏光片均為高偏光度的偏光片，以便獲得高對(duì)比度液晶顯示器；
[0013]所述的第一、第二和第三絕緣層材質(zhì)為二氧化硅(SiO2)或氮化硅(SiNx);厚度范圍為Ο.?μηι~0.2μ m,介電常數(shù)為3~4。
[0014]所述的貫穿于整個(gè)藍(lán)相液晶層的劈形凸起為絕緣材料，該絕緣材料為摻雜納米級(jí)金屬粒子的有機(jī)物，或者為摻雜納米級(jí)具有金屬特性化合物粒子的有機(jī)物；所述的金屬具體為金、銀或銅；所述的具有金屬特性化合物為氧化鋁或鈦酸鋇；有機(jī)物為聚酰亞胺類高分子聚合物材料。
[0015]所述的劈形凸起優(yōu)選為鈦酸鋇和聚酰亞胺的有機(jī)混合物，其中鈦酸鋇的體積含量為50%，其介電常數(shù)為30。
[0016]所述的電極層為透明氧化銦錫(ITO)薄膜(透明電極層)，厚度為0.05~0.3μπι，分別為像素電極(Pixel)和公共電極(common)，依次間隔分布在不同的透明有機(jī)凸起。
[0017]所述的第三透明層中有機(jī)物凸起底寬、電極層和第三絕緣層之和的寬度范圍為2~10 μ m，凸起的頂寬、電極層和第三絕緣層之和的寬度范圍為0.5~2μπι ;凸起的截面形狀為直角劈形，其直角壁互相緊鄰，間隔寬度范圍為2~20 μ m，并且凸起的排列為周期性排列，兩個(gè)斜邊之間的最小距離為直角壁之間的距離，斜邊之間的最大距離跟凸起的寬度相關(guān)，其范圍為4~22 μ m。電極層和第三絕緣層在凸起的斜面上，第三絕緣層覆蓋在電極層上面，隔開(kāi)液晶和電極層。
[0018]所述藍(lán)相液晶層厚度與直角劈形有機(jī)物凸起的高度相同，厚度范圍為5~20 μ m。
[0019]所述的低驅(qū)動(dòng)電壓高透過(guò)率的藍(lán)相液晶顯示器的制造方法，包括以下步驟:在第一基板層上形成至少兩個(gè)成鏡面對(duì)稱的直角劈形有機(jī)物凸起，并且在凸起的斜面上鋪上電極層，在電極的外側(cè)貼附第三絕緣層，再在凸起的間隙中灌注進(jìn)藍(lán)相液晶，經(jīng)過(guò)UV照射形成聚合物穩(wěn)定藍(lán)相液晶層，在做好的藍(lán)相液晶層上面加上第二基板層，就形成了一個(gè)聚合物穩(wěn)定藍(lán)相液晶顯示器。
[0020]所述的直角劈形凸起的制備方法，包括如下步驟:
[0021]I)如上所述的藍(lán)相液晶顯示器的第一基板層的第一絕緣層上涂覆第一層光刻膠，并覆蓋上第一掩膜板；利用紫外光沿第一斜向方向進(jìn)行照射曝光，第一斜向方向與第一基板的垂直方向成一定角度，角度的大小等于直角劈形的頂角，其范圍為45?85度；再利用同一掩膜板利用紫外光線沿第二斜向方向照射曝光，第二斜向方向與第一斜向方向相對(duì)于第一基板層的垂直方向?qū)ΨQ；
[0022]2)應(yīng)用顯影液剝離發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)的光刻膠，在基板上留下了正梯形溝槽和倒梯形光刻膠凸起；
[0023]3)利用噴嘴將摻雜納米級(jí)金屬粒子的有機(jī)物，或者為摻雜納米級(jí)具有金屬特性化合物粒子的有機(jī)物涂布到上面得到的正梯形溝槽里，然后通過(guò)旋轉(zhuǎn)的方式將聚酰胺酸填充到正梯形溝槽中，最后使整體的平面均勻平滑，并加熱將聚酰胺酸進(jìn)行聚酰亞胺化；
[0024]4)將整個(gè)平面用紫外光曝光，應(yīng)用顯影液剝離發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)的光刻膠，則在基板上留下了正梯形的摻雜納米級(jí)金屬粒子的有機(jī)物，或者為摻雜納米級(jí)具有金屬特性化合物粒子的有機(jī)物，還有與之相對(duì)應(yīng)的倒梯形的溝槽；
[0025]5)在固化好的聚酰亞胺表面涂覆電極層，使電極與摻有金屬粒子的有機(jī)物完全接觸，然后在電極層的上面涂覆第二光刻膠層，使光刻膠的厚度大于梯形電極層的厚度，使整個(gè)基板上表面變?yōu)榱似交鶆颍?br> [0026]6)在均勻的平面上覆蓋上第二掩膜板，曝光和顯影后露出部分電極層，用酸液刻蝕掉露出部分，形成在透明有機(jī)物表面的斜透明電極，并用顯影液剝離掉剩余的光刻膠；
[0027]7)在整個(gè)平面上制作絕緣膜，并涂覆第三光刻膠層，使光刻膠的厚度大于梯形絕緣物的厚度，使整個(gè)基板上表面變?yōu)槠交鶆颍?br> [0028]8)再在上表面覆蓋第三掩膜板，使掩膜板的漏光部分設(shè)置在正梯形透明有機(jī)物的上表面和倒梯形光刻膠的下表面，使其透過(guò)部分的寬度為正梯形有機(jī)物上表面的寬度；設(shè)置好后用紫外線垂直照射曝光；
[0029]9)應(yīng)用顯影液剝離掉發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)的光刻膠，露出了絕緣層，然后使用等離子刻蝕方法刻蝕掉露出絕緣層，并同時(shí)將摻雜有納米金屬粒子或鈦酸鋇粒子的聚酰亞胺膜刻蝕出圖案；
[0030]10)曝光剩余的光刻膠，并用顯影液剝離剩余的光刻膠，在基板上剩下直角劈形的摻雜金屬粒子的有機(jī)層、在直角劈形斜面上方的電極層和在電極的外側(cè)的絕緣層。
[0031]本發(fā)明的有益效果為:
[0032]由于在本實(shí)施例中，會(huì)有效的降低驅(qū)動(dòng)電壓并且會(huì)得到比較高的透過(guò)率。由于電極貼附在直角劈形凸起的斜面上，在斜面的上面存在藍(lán)相液晶，當(dāng)加電壓時(shí)，在斜向電極的上方的液晶分子也會(huì)產(chǎn)生雙折射效應(yīng)，這些都會(huì)對(duì)藍(lán)相液晶顯示器的透過(guò)率有貢獻(xiàn)，我們?cè)O(shè)計(jì)中所涉及到的直角劈形凸起和電極均為透明材料，因此這種直角劈形凸起結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與墻狀電極結(jié)構(gòu)的藍(lán)相液晶顯示器相比透過(guò)率會(huì)有較大的提高。由于我們?cè)O(shè)計(jì)的電極貼附于直角劈形有機(jī)物凸起的斜面上，所以電極結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，不會(huì)因?yàn)樗{(lán)相液晶中在驅(qū)動(dòng)過(guò)程中的拉伸作用發(fā)生斷裂等現(xiàn)象而影響到顯示效果。與其它的凸起結(jié)構(gòu)相比，我們的直角劈形凸起所使用的材料為摻雜金屬粒子的透明有機(jī)物，在加電壓時(shí)金屬粒子中的電子會(huì)成為極化電子對(duì)，所以其介電常數(shù)會(huì)變得很大，所以驅(qū)動(dòng)時(shí)在透明凸起中的電壓降就會(huì)減小很多，因此與其它的凸起結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)相比，會(huì)有效的降低驅(qū)動(dòng)電壓。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0033]圖1為實(shí)施例的結(jié)構(gòu)縱剖面圖。
[0034]圖2為在第二基板層上涂第一光刻膠。
[0035]圖3為在光刻膠層上覆蓋第一掩膜板并用紫外光沿第一斜向方向照射。
[0036]圖4為用紫外光線沿第二斜向方向照射。
[0037]圖5為用顯影液剝離與紫外光發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的第一光刻膠所留下的梯形凹槽。
[0038]圖6為在圖5中形成的光刻膠凹槽上涂上一層摻有鈦酸鋇的聚酰胺酸的透明有機(jī)物。
[0039]圖7為用紫外光垂直照射圖6所形成涂層。
[0040]圖8為用顯影液剝離與紫外光發(fā)生反應(yīng)的第一光刻膠所留下的梯形透明有機(jī)物凸起。
[0041]圖9為在圖8所形成的梯形透明有機(jī)物凸起上制作一層氧化銦錫(ITO)薄膜。
[0042]圖10為在圖9所形成的氧化銦錫薄膜上涂上一層第二光刻膠。
[0043]圖11為覆蓋第二掩膜板并用紫外光照射圖10中涂上的光刻膠層。
[0044]圖12為用顯影液剝離掉與光發(fā)生反應(yīng)的第二光刻膠所留下的圖形。
[0045]圖13為用酸液刻蝕顯露出來(lái)的ITO薄膜，并用紫外線垂直照射剩余的第二光刻膠。
[0046]圖14為用顯影液剝離與紫外光發(fā)生反應(yīng)的第二光刻膠層所留下的圖形。
[0047]圖15為在圖14所形成的圖形上制作第三絕緣保護(hù)層。
[0048]圖16為在第三絕緣層上制作第三光刻膠層。
[0049]圖17為在第三光刻膠層上覆蓋第三掩膜板，并用紫外光垂直照射。
[0050]圖18為去除掩膜板并用顯影液剝離與紫外線發(fā)生反應(yīng)的第三光刻膠所留下的圖形。
[0051]圖19為刻蝕掉第三絕緣層暴漏在外側(cè)的部分所留下的圖形。
[0052]圖20為刻蝕暴漏在外側(cè)的透明有機(jī)物層。
[0053]圖21為用紫外光垂直照射圖20留下的圖形。
[0054]圖22為用顯影液剝離與紫外光發(fā)生反應(yīng)的第三光刻膠層留下的圖形。
[0055]圖23為在22所留下的凸起中間加入藍(lán)相液晶層。
[0056]圖24為用紫外光垂直照射形成聚合物穩(wěn)定藍(lán)相液晶層。
[0057]圖25為雙TFT驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電壓和透過(guò)率關(guān)系圖
【具體實(shí)施方式】
[0058]為了更具體的說(shuō)明本發(fā)明想要達(dá)目的效果和【具體實(shí)施方式】，在下面將詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明中聚合物穩(wěn)定藍(lán)相液晶顯示器的具體制作過(guò)程和所要達(dá)到的效果。
[0059]通過(guò)以上的說(shuō)明和講述，我們已經(jīng)對(duì)本發(fā)明有了比較概括的了解，下面我們將結(jié)合具體實(shí)施例和附圖更加詳細(xì)的將本發(fā)明呈現(xiàn)，但以下的附圖只是作為本發(fā)明的參照和具體說(shuō)明之用，并不能說(shuō)明對(duì)本次發(fā)明的限制。
[0060]實(shí)施例
[0061]圖1是本專利中所提到的聚合物穩(wěn)定藍(lán)相液晶的具體實(shí)施例的縱剖面圖，如圖1所示，在該實(shí)施例中，包括第一基板層11、中間部分13、13(1)和14和第二基板層12 ;其中，第一基板層的組成從下到上依次為第一偏光片113、第一玻璃基板112和第一絕緣層111 ；第二基板層的組成從下到上依次為第二絕緣層121、第二玻璃基板122和第二偏光片123 ；中間部分包括:第三透明層13和13 (I)、藍(lán)相液晶層14，其中，第三透明層包括劈形凸起131和131 (I)、電極層132和132 (I)、第三絕緣層133和133(1)。在圖中我們可以清楚的看到，第一基板層11和第二基板層12平行放置，第三透明層13貼附于第一基板上的第一絕緣層111上方，凸起13呈正立的直角劈形，其斜面朝一個(gè)確定的方向，與其相對(duì)應(yīng)的直角劈形凸起13(1)斜面斜向另一方向，且凸起13與13(1)是鏡面對(duì)稱放置。
[0062]在本發(fā)明中，根據(jù)像素點(diǎn)的尺寸、工藝和顯示質(zhì)量的要求范圍內(nèi)，可以任意多次在一個(gè)像素上循環(huán)設(shè)置13和13⑴對(duì)稱對(duì)。貼附在直角劈形透明有機(jī)物凸起13和13⑴斜側(cè)的電極132設(shè)置為像素電極(pixel),另一個(gè)設(shè)置為公共電極(common)。聚合物穩(wěn)定藍(lán)相液晶層貫穿在第一基板層11和第二基板層12之間，為了使整個(gè)液晶盒固定，在兩個(gè)基板的邊緣用邊框膠粘合。在液晶工藝的要求范圍內(nèi)，我們優(yōu)選藍(lán)相液晶層的厚度為5μπι?20 μ m0
[0063]本發(fā)明的縱向剖面圖(圖1)，第一基板層11包括三部分，中間112為玻璃基板層，在112的上側(cè)靠近藍(lán)相液晶層14的是第一絕緣層111，在中間玻璃基板層112下側(cè)遠(yuǎn)離藍(lán)相液晶層14的是偏光片113。第一絕緣層111和偏光片113均平行于中間的玻璃基板層112，并且貼附在中間的玻璃基板層112上。同樣，在第二基板層12中也包括三部分，中間為玻璃基板層122，在玻璃基板層112的下側(cè)靠近藍(lán)相液晶層14的是第二絕緣層121，在中間玻璃層112的上側(cè)遠(yuǎn)離藍(lán)相液晶層14的是偏光片123。第二絕緣層121和偏光片123均平行于中間的玻璃基板層122,并且貼附于中間的玻璃基板層。第一基板層11和第二基板層相互平行。由此可知，藍(lán)相液晶層14位于第一基板層11和第二基板層12之間。在本發(fā)明中，第一絕緣層111和第二絕緣層121均為透明絕緣物質(zhì)，如二氧化硅(Si02)或者氮化硅(SiNx)等材料制成，在本專利中優(yōu)選的厚度為0.1ym?0.2 μπι。偏光片113和偏光片123我們選用的為G1220DU型號(hào)的高偏光度偏光片，但是本發(fā)明不局限于使用這種偏光片，凡是能起偏光作用的偏光片都在本權(quán)利要求范圍內(nèi)。偏光片113為起偏片，偏光片123為檢光片。優(yōu)選的，我們?cè)O(shè)置起偏片的吸收光軸角度為45°，檢光片的光軸角度設(shè)置為135°，并與透明電極的長(zhǎng)方向成45度角，兩個(gè)偏光片的吸收光軸角度設(shè)置成90°，構(gòu)成不加電壓情況下的暗態(tài)。
[0064]在本實(shí)施例中，第三透明層13包括摻雜金屬粒子的有機(jī)物凸起131、中間的電極132和第三絕緣保護(hù)層133。如圖1所示，凸起131為直角劈形，在其斜面上為電極132，在電極外側(cè)貼附第三絕緣層133。第三透明層整體貼附于第一基板層的第一絕緣層111上面，并且在凸起的頂層為第三絕緣保護(hù)層133與第二基板層中的第二絕緣層121相接。在本專利中，中間的電極層132完全被摻有金屬粒子的有機(jī)物直角劈形凸起131和第三絕緣層所包圍，不與外部的藍(lán)相液晶相接觸。第三透明層還包括13(1)，13 (I)與第三透明層13呈鏡面對(duì)稱放置。13(1)也包括摻雜金屬粒子的透明有機(jī)物凸起131(1)，中間電極132(1)和第三絕緣保護(hù)層133 (I)。同樣的，凸起131 (I)設(shè)置為直角劈形，在其斜面上貼附電極132 (I)，在電極外側(cè)貼附第三絕緣層133(1)。第三透明層整體貼附于第一基板層的絕緣層111上面，并且在凸起的頂層為第三絕緣保護(hù)層133(1)與第二基板層中的絕緣層121相接。在本專利中，中間的電極層132(1)完全被摻有金屬粒子的有機(jī)物直角劈形凸起131(1)和第三絕緣層所包圍，不與外部的藍(lán)相液晶相接觸。在實(shí)施例中，13和13(1)是成對(duì)存在的，但本專利所保護(hù)的范圍不限于它們是否成對(duì)存在，在邊緣處有單個(gè)直角劈形凸起為13或13(1)中的一個(gè)也是本專利的要求范圍內(nèi)。
[0065]本實(shí)施例中，采用鈦酸鋇和聚酰亞胺的有機(jī)混合物，其中鈦酸鋇的體積含量為50%，可使有機(jī)膜的介電常數(shù)為35，同時(shí)保證該有機(jī)物為絕緣特性和透光特性(朱寶庫(kù)等，高介電常數(shù)聚酰亞胺/鈦酸鋇復(fù)合膜的制備與性能研究，功能材料，2005年第4期，546-548)。由這種摻雜金屬粒子的透明有機(jī)物制作的直角劈形凸起的厚度應(yīng)該與藍(lán)相液晶厚度相當(dāng)，最優(yōu)的范圍為5 μ m?20 μ m，本實(shí)施例中我們選擇的是20 μ m。在中間的電極132和132 (I)材料為氧化銦錫(ITO)，電極層的厚度范圍為0.05 μ m?0.3 μ m，本實(shí)施例的厚度設(shè)置為0.1ym0在透明電極的上側(cè)起保護(hù)作用的絕緣物為二氧化硅(SiO2)或者氮化硅(SiNx)，其厚度范圍為0.1ym?0.2 μπι，在本實(shí)施例中我們選擇的是0.1 μπι。
[0066]直角劈形凸起131和131(1)的垂直側(cè)的距離范圍為2 μ m?10 μ m，在本實(shí)施例中我們選擇的是6.5 μ m，在透明凸起上側(cè)的透明電極132和132(1)在直角劈形頂側(cè)基板上的距離為2 μ m?10 μ m，透明電極132和132 (I)在直角劈形凸起下側(cè)基板上的距離為4μπι?20 μ m，在本實(shí)施例中，我們選擇的是12.5μπι。
[0067]實(shí)施例的藍(lán)相液晶顯示器的制作過(guò)程。
[0068]下面我們介紹本實(shí)施例中液晶顯示器的制造方法，但應(yīng)該說(shuō)明的是，在顯示器的制作過(guò)程中，實(shí)施的工藝步驟不應(yīng)以下面的說(shuō)明為限制。并且，為方便制作方法的實(shí)施，在每一步中我們都給出了具體的工藝制作中的參數(shù)，但對(duì)于熟知本專業(yè)知識(shí)的認(rèn)識(shí)來(lái)說(shuō)，這些參數(shù)可以在適當(dāng)范圍為調(diào)控，因此我們專利中并不只局限于所給出的實(shí)施參數(shù)，只要在適當(dāng)范圍內(nèi)都是我們權(quán)利要求的內(nèi)容。
[0069]圖2至圖22為實(shí)施例中藍(lán)相液晶顯示器的制造方法。
[0070]下面我們根據(jù)示圖來(lái)具體說(shuō)明本實(shí)施例的制作過(guò)程:
[0071]步驟1，如圖2所示，在第一基板層11中的第一絕緣層111的上方均勻的鋪上一層光刻膠301，光刻膠的厚度設(shè)置為20 μ m
[0072]步驟2，如圖3和圖4所示，在涂好的均勻光刻膠薄膜301上覆蓋上第一掩膜板303,在第一掩膜板303上有排列均勻的矩形漏光間隙和矩形遮光條,在本實(shí)施例中，所選用的第一掩膜板的矩形漏光空隙為6.5 μ m,矩形遮光條為13 μ m,將第一掩膜板在第一光刻膠上掩合好后，利用紫外光(UV光)沿第一斜線方向201照射(傾斜角度為8.5度)，透過(guò)第一掩膜板的矩形漏光孔被UV光照射到的第一光刻膠發(fā)生曝光，為得到倒梯形凹槽，我們?cè)谙虻谝谎谀ぐ逖氐诙毕?02照射UV光進(jìn)行曝光，但這次的照射方向?yàn)榕c均勻第一光刻膠層的法線所成的夾角與第一斜向方向與第一光刻膠層的法線所成夾角相同，也就是說(shuō)第一斜向方向與第二斜向方向相對(duì)于中間的第一光刻膠法線對(duì)稱。當(dāng)選擇的第一掩膜板的漏光間隙比較大或者斜向的光的夾角比較小時(shí)，會(huì)導(dǎo)致在在第一掩膜板矩形間隙的中間會(huì)有部分光刻膠不被UV光照射，無(wú)法形成完整的倒梯形凹槽，因此，我們可以在垂直方向上照一次UV光進(jìn)行曝光，使被兩次斜向方向上照射的部分及中間的第一光刻膠完全曝光。
[0073]步驟3，如圖5中所示，使用顯影液剝離發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)的第一光刻膠，則在第一絕緣層111上方形成了倒梯形的光刻膠凸起302和正梯形凹槽。在本實(shí)施例中梯形凹槽的上底寬度為6.5 μ m,下底寬度為12.5 μ m ;倒梯形凸起的上底寬度為12.5 μ m,下底寬度為
6.5 μ m，梯形光刻膠凸起302和倒梯形凹槽的厚度均為20 μ m。
[0074]步驟4，在所形成的光刻膠凸起和凹槽的上面涂上一層摻有鈦酸鋇粒子的聚酰胺酸304，透明有機(jī)物的成分和性能我們已在前面加以說(shuō)明，在這里就不再贅述。在制作過(guò)程中，將鈦酸鋇粒子和聚酰胺酸材料混合均勻后，采用Slit coater的方式將摻有鈦酸鋇粒子的聚酰胺酸304涂布到第一光刻膠凸起的上表面。其實(shí)際操作方法為將摻有鈦酸鋇粒子的聚酰胺酸304通過(guò)噴嘴將其噴到整個(gè)絕緣層111的表面上，然后通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)的方式將噴到第一絕緣層111上的摻有鈦酸鋇粒子的聚酰胺酸304均勻的分布在整個(gè)第一絕緣層111平面上，結(jié)果如圖6所示。最優(yōu)的，我們選擇的摻雜鈦酸鋇粒子的聚酰胺酸304噴涂量剛好滿足填充倒梯形凹槽的量，過(guò)多的話會(huì)導(dǎo)致不必要的浪費(fèi)，所形成的有機(jī)物膜的厚度為20 μ m。加熱使聚酰胺酸進(jìn)行聚酰亞胺化，形成固體膜。
[0075]步驟5，如圖7所示，對(duì)整個(gè)光刻膠用UV曝光，光線垂直照射，使剩余的第一光刻膠302全部發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)，使用顯影液剝離第一光刻膠層，如圖8所示，則在第一絕緣層111上表面只留下一層摻有鈦酸鋇粒子聚酰亞胺的梯形凸起和倒梯形的凹槽。
[0076]步驟6，如圖9中所示，在形成正梯形有機(jī)物304凸起上使用磁控濺射技術(shù)制作一層氧化銦錫透明電極305，電極的厚度為0.1 μ m，并且電極層在整個(gè)平面內(nèi)。
[0077]步驟7，在圖10中所示，在電極的上面均勻涂覆第二光刻膠206，光刻膠的厚度為22 μ m，在光刻膠的上面覆蓋第二掩膜板307，第二掩膜板上有著排列均勻的矩形漏光間隙和矩形遮光條。使用的掩膜板的矩形漏光間隙寬度為6.5 μ m，且放置位置正好與有機(jī)物梯形凸起204的上底和倒梯形凹槽的下底重合，掩膜板的遮光矩形條寬度也為3 μ m,且位置與正梯形有機(jī)物凸起的兩個(gè)斜邊位置重合放置。將第二掩膜板放置好后，垂直的用UV光照射，則第二光刻膠306在第二掩膜板307的漏光部分發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)，結(jié)果如圖11所示，使用顯影液顯影后，形成如圖12所示的光刻膠圖形，再使用酸液刻蝕掉露出的電極，形成其保護(hù)作用光刻膠308下面的斜邊電極309的形狀，如圖13所示，則現(xiàn)在第一絕緣層111上存留下來(lái)的依次為正梯形有機(jī)物凸起304，在梯形凸起上面是經(jīng)刻蝕后留下的電極和還有沒(méi)被剝離掉的第二光刻膠層308，使用紫外光照射剩余的第二光刻膠層308，發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)，使用顯影液將剩余的光刻膠剝離掉，形成如圖14所示，在第一絕緣層111上面存在著梯形有機(jī)物凸起304，被刻蝕后所留下的透明導(dǎo)電電極層309，電極層309貼附在梯形凸起的兩個(gè)斜面上。
[0078]步驟8，如圖15所示，在經(jīng)過(guò)以上工序的基板上用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法制作第三絕緣層310，第三絕緣層310的材質(zhì)和性質(zhì)已在前面有詳細(xì)的說(shuō)明，在這里不再贅述。第三絕緣層的厚度設(shè)置為0.1 μ m。然后，在上面涂覆第三光刻膠層311，第三光刻膠層的厚度為22 μ m，如圖16所示。
[0079]步驟9，在第三光刻膠層311的上面覆蓋第三掩膜板312，第三掩膜板上面整齊均勻的排列著矩形漏光間隙和矩形遮光條，在第三掩膜板的上面，矩形漏光間隙的寬度為6.5 μ m，并且其位置與梯形有機(jī)物凸起304的上表面和倒梯形的下底重合放置；第三掩膜板312上的矩形遮光條的寬度為3 μ m,其放置位置與梯形有機(jī)物凸起304的兩個(gè)斜邊重合，其放置情況如圖17所示。
[0080]步驟10，用UV光垂直照射第三掩膜板層，使第三掩膜板層312漏光部分的第三光刻膠層311發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)，如圖17所示；使用顯影液將發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)的光刻膠剝離，如圖18所示，則在第一絕緣層的上面依次存在著梯形有機(jī)物凸起314，在梯形有機(jī)物凸起314的斜面上是電極層309，在電極層的上面是一層第三絕緣物310，并且第三絕緣層在正梯形凸起的上底和在倒梯形下底的部分暴漏出來(lái)，其它部分被第三光刻膠層保護(hù)著。采用等離子刻蝕技術(shù)將第三絕緣層310中沒(méi)有倍光刻膠層保護(hù)的部分刻蝕掉，如圖19所示，在梯形有機(jī)物凸起的上底部分露出了摻雜了鈦酸鋇粒子的聚酰亞胺304，在倒梯形凹槽的下底部分露出了第一絕緣層111。
[0081]步驟11，如圖20所示，再用等離子體刻蝕方法將摻雜了鈦酸鋇粒子的聚酰亞胺凸起304沒(méi)有光刻膠保護(hù)的部分刻蝕掉，這樣正梯形有機(jī)物凸起就被刻蝕為具有垂直邊緣的直角劈形凸起，則在第一絕緣層111上依次為直角劈形有機(jī)物凸起314，貼附在直角劈形透明有機(jī)物凸起的斜面上的電極層309，在電極層的外側(cè)是起保護(hù)作用的第三絕緣層310，第三絕緣層310貼附在電極的外面，在第三絕緣層310的外側(cè)是第三光刻膠層313 ;如圖21所示，用UV光垂直照射第三光刻膠層313，將剩下的第三光刻膠層313發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)，并使用顯影液將光刻膠313剝離，如圖22所示，則在第一絕緣層111的上面依次存在的為:直角劈形有機(jī)物凸起314，在直角劈形有機(jī)物凸起314的斜面上貼附的是電極層309，在電極層外側(cè)起保護(hù)作用的是第三絕緣層310。
[0082]步驟12，在做好凸起的第一基板11上面用ODF技術(shù)灌注藍(lán)相液晶316，藍(lán)相液晶的厚度與凸起的厚度相同，形成厚度為20 μ m藍(lán)相液晶層，如圖23所示；控制藍(lán)相液晶所處的溫度范圍，通過(guò)UV光照射使藍(lán)相液晶中的聚合物單體進(jìn)行聚合，形成聚合物穩(wěn)定的藍(lán)相液晶層317,如圖24所示。
[0083]最后在圖24所示的基礎(chǔ)上覆蓋上第二基板12，并使用封框膠將兩個(gè)基板粘合密封，并在第一玻璃基板11的外側(cè)貼合第一偏光片113，在第二玻璃基板12的外側(cè)貼合第二偏光片123，就得到了本發(fā)明所述的藍(lán)相液晶顯示器，如圖1中所示。
[0084]由于在本實(shí)施例中，電極132貫穿于整個(gè)液晶層，在施加一個(gè)比較低的驅(qū)動(dòng)電壓的情況下就會(huì)形成很強(qiáng)的橫向電場(chǎng)，因此會(huì)有效的降低驅(qū)動(dòng)電壓并且會(huì)得到比較高的透過(guò)率。由于電極132貼附在直角劈形凸起的斜面上，在斜面的上面存在藍(lán)相液晶，當(dāng)加電壓時(shí)，在斜向電極的上方的液晶分子也會(huì)產(chǎn)生雙折射效應(yīng)，這些都會(huì)對(duì)藍(lán)相液晶顯示器的透過(guò)率有貢獻(xiàn)，我們?cè)O(shè)計(jì)中所涉及到的直角劈形凸起和電極均為透明材料，因此這種直角劈形凸起結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與墻狀電極結(jié)構(gòu)的藍(lán)相液晶顯示器相比透過(guò)率會(huì)有較大的提高。由于我們?cè)O(shè)計(jì)的電極貼附于直角劈形有機(jī)物凸起的斜面上，所以電極結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，不會(huì)因?yàn)樗{(lán)相液晶中在驅(qū)動(dòng)過(guò)程中的拉伸作用發(fā)生斷裂等現(xiàn)象而影響到顯示效果。與其它的凸起結(jié)構(gòu)相比，我們的直角劈形凸起所使用的材料為摻雜金屬粒子的透明有機(jī)物，在加電壓時(shí)金屬粒子中的電子會(huì)成為極化電子對(duì)，所以其介電常數(shù)會(huì)變得很大，所以驅(qū)動(dòng)時(shí)在透明凸起中的電壓降就會(huì)減小很多，因此與其它的凸起結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)相比，會(huì)有效的降低驅(qū)動(dòng)電壓。
[0085]下面我們通過(guò)具體的模擬計(jì)算來(lái)驗(yàn)證這種結(jié)構(gòu)能夠獲得較低的驅(qū)動(dòng)電壓和較高的透過(guò)率。
[0086]我們?cè)诒緦?shí)施例中，直角劈形凸起131和與其相對(duì)應(yīng)的直角劈形電極131⑴的垂直面的距離為6 μ m，直角劈形凸起的底邊寬為3 μ m，透明導(dǎo)電電極132的厚度為0.1 μ m，在電極上面的絕緣層為0.1 μ m。藍(lán)相液晶層14的厚度為20 μ m，在本實(shí)施例中我們使用的藍(lán)相液晶的參數(shù)為ε π = 97, ε ±=3, Δ ε =94, Ans=0.14, Es=4.3V/ym。在第一基板層下面偏光片111和第二基板層上面的偏光片121均為G1220DU型號(hào)的偏光片。偏光片111設(shè)置為起偏片，透光軸角度設(shè)置為45°，偏光片121設(shè)置為檢偏片，透光軸角度設(shè)置為135°。采用雙薄膜晶體管(Thin film Transistor TFT)驅(qū)動(dòng)，即在其中一個(gè)凸起上的電極132上加正電壓，在其相對(duì)應(yīng)的凸起上的電極132(1)加負(fù)電壓，模擬計(jì)算得到的電壓與透過(guò)率(VT)關(guān)系圖如圖25所示。從圖中可以清楚的看到在本發(fā)明專利中驅(qū)動(dòng)電壓可以降到5.8V，并且最高透過(guò)率達(dá)到78%。繼續(xù)優(yōu)化液晶顯示器參數(shù)，可以獲得更高的透過(guò)率和較低的驅(qū)動(dòng)電壓。
[0087]在上述的實(shí)施例中，我們假設(shè)的第三透明層13和13(1)為對(duì)稱放置，這是一種比較理想的放置方式，但本專利的要求保護(hù)范圍并不限制于兩個(gè)直角劈形凸起的對(duì)稱放置，只要是直角劈形凸起，并且其材料為摻雜了金屬粒子的透明有機(jī)物，能在凸起的上方經(jīng)過(guò)驅(qū)動(dòng)獲得透光的特性，凸起的一切放置方式均在本專利的保護(hù)范圍內(nèi)。
[0088]本專利中應(yīng)用直角劈形凸起，將導(dǎo)電電極貫穿于整個(gè)藍(lán)相液晶層，并且應(yīng)用了摻有金屬粒子的透明有機(jī)物作為凸起材料，使凸起的透明有機(jī)物的介電常數(shù)達(dá)到30，有效的降低了藍(lán)相液晶顯示器驅(qū)動(dòng)電壓高的難題，并且本設(shè)計(jì)在直角劈形凸起的上方的液晶也在驅(qū)動(dòng)范圍內(nèi)，所以提高了透過(guò)率。
[0089]上面所述只為本專利的一個(gè)具體實(shí)施例，而不能成為本發(fā)明的限制，所有熟知本領(lǐng)域的人員在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)范圍內(nèi)容做出些許改動(dòng)或修飾，可視為等同變化的等效實(shí)施例，凡未脫離本發(fā)明技術(shù)方案內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明技術(shù)方案內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡(jiǎn)單修改，等同變化和修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)。
[0090]在本專利中未提到的一些制作技術(shù)、材料參數(shù)、結(jié)構(gòu)參數(shù)或過(guò)程說(shuō)明均為公知技術(shù)，在上面的說(shuō)明中我們沒(méi)有再贅述。
【權(quán)利要求】
1.一種低驅(qū)動(dòng)電壓高透過(guò)率的藍(lán)相液晶顯示器，其特征為該顯示器組成包括: 所述的顯示器從下到上依次為:第一基板層、中間部分和第二基板層；其中，第一基板層的組成從下到上依次為第一偏光片、第一玻璃基板和第一絕緣層；第二基板層的組成從下到上依次為第二絕緣層、第二玻璃基板和第二偏光片；中間部分包括:第三透明層、藍(lán)相液晶層，其中，第三透明層包括劈形凸起、電極層和第三絕緣層，劈形凸起截面的形狀為直角劈形，在劈形的斜側(cè)上有電極層，電極層外側(cè)有第三絕緣層，第三透明層連接了第一和第二基板層，藍(lán)相液晶充滿第三透明層中的空隙；所述的相鄰的兩個(gè)直角劈形凸起是成鏡面對(duì)稱放置的；劈形凸起貫穿于整個(gè)藍(lán)相液晶層； 所述的第一偏光片和第二偏光片均為高偏光度的偏光片； 所述的第一、第二和第三絕緣層材質(zhì)為二氧化硅(SiO2)或氮化硅(SiNx);厚度范圍為.0.1 μ m~0.2 μ m,介電常數(shù)為3~4。
2.如權(quán)利要求1所述的低驅(qū)動(dòng)電壓高透過(guò)率的藍(lán)相液晶顯示器，其特征為所述的貫穿于整個(gè)藍(lán)相液晶層的劈形凸起為絕緣材料，該絕緣材料為摻雜納米級(jí)金屬粒子的有機(jī)物，或者為摻雜納米級(jí)具有金屬特性化合物粒子的有機(jī)物；所述的金屬具體為金、銀或銅；所述的具有金屬特性化合物為氧化鋁或鈦酸鋇；有機(jī)物為聚酰亞胺類高分子聚合物材料。
3.如權(quán)利要求2所述的低驅(qū)動(dòng)電壓高透過(guò)率的藍(lán)相液晶顯示器，其特征為所述的劈形凸起的材料優(yōu)選為鈦酸鋇和聚酰亞胺的有機(jī)混合物，其中鈦酸鋇的體積含量為50%，其介電常數(shù)為30。
4.如權(quán)利要求1所述的低驅(qū)動(dòng)電壓高透過(guò)率的藍(lán)相液晶顯示器，其特征為所述的電極層為透明氧化銦錫(ITO)薄膜(透明電極層)，厚度為0.05~0.3 μ m，分別為像素電極(pixel)和公共電極(common),依次間隔分布在不同的透明有機(jī)凸起。
5.如權(quán)利要求1所述的低驅(qū)動(dòng)電壓高透過(guò)率的藍(lán)相液晶顯示器，其特征為所述的第三透明層中有機(jī)物凸起底寬、電極層和第三絕緣層之和的寬度范圍為2~10 μ m，凸起的頂寬、電極層和第三絕緣層之和的寬度范圍為0.5~2 μ m ;凸起的截面形狀為直角劈形，其直角壁互相緊鄰，間隔寬度范圍為2~20 μ m，并且凸起的排列為周期性排列，兩個(gè)斜邊之間的最小距離為直角壁之間的距離，斜邊之間的最大距離跟凸起的寬度相關(guān)，其范圍為4~22 μ m ;電極層和第三絕緣層在凸起的斜面上，第三絕緣層覆蓋在電極層上面，隔開(kāi)液晶和電極層。
6.如權(quán)利要求1所述的低驅(qū)動(dòng)電壓高透過(guò)率的藍(lán)相液晶顯示器，其特征為所述藍(lán)相液晶層厚度與直角劈形有機(jī)物凸起的高度相同，厚度范圍為5~20 μ m。
7.如權(quán)利要求1所述的低驅(qū)動(dòng)電壓高透過(guò)率的藍(lán)相液晶顯示器的制造方法，其特征為包括以下步驟:在第一基板層上形成至少兩個(gè)成鏡面對(duì)稱的直角劈形有機(jī)物凸起，并且在凸起的斜面上鋪上電極層，在電極的外側(cè)貼附第三絕緣層，再在凸起的間隙中灌注進(jìn)藍(lán)相液晶，經(jīng)過(guò)UV照射形成聚合物穩(wěn)定藍(lán)相液晶層，在做好的藍(lán)相液晶層上面加上第二基板層，就形成了一個(gè)聚合物穩(wěn)定藍(lán)相液晶顯示器。
8.如權(quán)利要求7所述的低驅(qū)動(dòng)電壓高透過(guò)率的藍(lán)相液晶顯示器的制造方法，其特征為所述的直角劈形凸起的制備方法，包括如下步驟: I)如上所述的藍(lán)相液晶顯示器的第一基板層的第一絕緣層上涂覆第一層光刻膠，并覆蓋上第一掩膜板；利用紫外光沿第一斜向方向進(jìn)行照射曝光，第一斜向方向與第一基板的垂直方向成一定角度，角度的大小等于直角劈形的頂角，其范圍為45~85度；再利用同一掩膜板利用紫外光線沿第二斜向方向照射曝光，第二斜向方向與第一斜向方向相對(duì)于第一基板層的垂直方向?qū)ΨQ； 2)應(yīng)用顯影液剝離發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)的光刻膠，在基板上留下了正梯形溝槽和倒梯形光刻膠凸起； 3)利用噴嘴將摻雜納米級(jí)金屬粒子的有機(jī)物，或者為摻雜納米級(jí)具有金屬特性化合物粒子的有機(jī)物涂布到上面得到的正梯形溝槽里，然后通過(guò)旋轉(zhuǎn)的方式將聚酰胺酸填充到正梯形溝槽中，最后使整體的平面均勻平滑，并加熱將聚酰胺酸進(jìn)行聚酰亞胺化； 4)將整個(gè)平面用紫外光曝光，應(yīng)用顯影液剝離發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)的光刻膠，則在基板上留下了正梯形的摻雜納米級(jí)金屬粒子的有機(jī)物，或者為摻雜納米級(jí)具有金屬特性化合物粒子的有機(jī)物，還有與之相對(duì)應(yīng)的倒梯形的溝槽； 5)在固化好的聚酰亞胺表面涂覆電極層，使電極與摻有金屬粒子的有機(jī)物完全接觸，然后在電極層的上面涂覆第二光刻膠層，使光刻膠的厚度大于梯形電極層的厚度，使整個(gè)基板上表面變?yōu)榱似交鶆颍? 6)在均勻的平面上覆蓋上第二掩膜板，曝光和顯影后露出部分電極層，用酸液刻蝕掉露出部分，形成在透明有機(jī)物表面的斜透明電極，并用顯影液剝離掉剩余的光刻膠； 7)在整個(gè)平面上制作絕緣膜，并涂覆第三光刻膠層，使光刻膠的厚度大于梯形絕緣物的厚度，使整個(gè)基板上表面變?yōu)槠交鶆颍? 8)再在上表面覆蓋第三掩膜板，使掩膜板的漏光部分設(shè)置在正梯形透明有機(jī)物的上表面和倒梯形光刻膠的下表面，使其透過(guò)部分的寬度為正梯形有機(jī)物上表面的寬度；設(shè)置好后用紫外線垂直照射曝光； 9)應(yīng)用顯影液剝離掉發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)的光刻膠，露出了絕緣層，然后使用等離子刻蝕方法刻蝕掉露出絕緣層，并同時(shí)將摻雜有納米金屬粒子或鈦酸鋇粒子的聚酰亞胺膜刻蝕出圖案； 10)曝光剩余的光刻膠，并用顯影液剝離剩余的光刻膠，在基板上剩下直角劈形的摻雜金屬粒子的有機(jī)層、在直角劈形斜面上方的電極層和在電極的外側(cè)的絕緣層。
【文檔編號(hào)】G02F1/1333GK103529601SQ201310554650
【公開(kāi)日】2014年1月22日 申請(qǐng)日期:2013年11月8日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月8日
【發(fā)明者】孫玉寶, 趙彥禮, 李巖鋒, 栗鵬 申請(qǐng)人:河北工業(yè)大學(xué)