激光測(cè)量裝置及其磁力傳感器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種激光測(cè)量裝置及其磁力傳感器，包括激光發(fā)生器、光束準(zhǔn)直器、平面反射鏡及光電檢測(cè)器，激光發(fā)生器包括激光二極管，光束準(zhǔn)直器包括用于覆蓋激光二極管的透明封裝的底管，底管向上凸起形成具有豎直孔道的準(zhǔn)直管；準(zhǔn)直管對(duì)準(zhǔn)激光二極管發(fā)射面的中心部分，這部分光線的光強(qiáng)及傳播路徑不會(huì)被改變；其余部分的光線則以一定的角度照射在底管內(nèi)壁或者準(zhǔn)直管內(nèi)壁上，這部分光線在內(nèi)壁上多次反射，其光強(qiáng)一方面隨反射的次數(shù)而衰減，另一方面隨光程的增加而衰減，使得這部分光線在沒有到達(dá)平面反射鏡時(shí)已消失完盡，從而保留了中心部分的直線光束，達(dá)到了準(zhǔn)直的目的。
【專利說明】激光測(cè)量裝置及其磁力傳感器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種測(cè)量裝置及其應(yīng)用，特別涉及一種激光測(cè)量裝置及其磁力傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]微位移測(cè)量在測(cè)量技術(shù)中，通過檢測(cè)位移量，可以測(cè)量振動(dòng)、旋轉(zhuǎn)角度、壓力、應(yīng)變、加速度和流量等多種物理量。所有氣體在磁場中都表現(xiàn)出順磁性或逆磁性，而氧氣的順磁性很強(qiáng)，其它氣體除NO、NO2外，表現(xiàn)為很弱的順磁性或逆磁性，利用氧氣的這一特性，可用磁力機(jī)械式結(jié)構(gòu)來測(cè)量氧氣的濃度，利用這一原理的傳感器叫磁力機(jī)械式氧傳感器。現(xiàn)有的磁力機(jī)械式氧傳感器由兩強(qiáng)磁極的測(cè)量池池體、吊掛彈簧、啞鈴形磁敏元件、吊掛張絲、反饋線圈及微位移測(cè)量系統(tǒng)等組成，其中啞鈴形磁敏元件通常為兩個(gè)充滿氮?dú)獾牟Ａ?，兩球固定在一個(gè)可以轉(zhuǎn)動(dòng)的同軸支架上，被測(cè)氣體中的氧氣被吸入磁場中后將產(chǎn)生對(duì)球體的作用力，從而對(duì)轉(zhuǎn)軸產(chǎn)生一個(gè)力矩，這個(gè)力矩大小和氧氣的含量具有線性關(guān)系。微位移測(cè)量系統(tǒng)一般包括光發(fā)生器、反射鏡及光電檢測(cè)器，安裝在支架中間的反射鏡把光發(fā)生器發(fā)出的光反射到光電傳感器上，讀出支架的偏轉(zhuǎn)位移，傳感器將信號(hào)反饋到支架周圍的線圈，產(chǎn)生一個(gè)反饋電流，線圈在電流作用下對(duì)支架產(chǎn)生一個(gè)恢復(fù)原來平衡的扭矩，反饋電流的大小與被測(cè)氣體的體積磁化率成正比，因此，通過計(jì)算，直接形成與氧氣分壓的比例關(guān)系，這樣氧氣含量就可以通過測(cè)量電流大小而精確得知。
[0003]在現(xiàn)有磁力傳感器中的微位移測(cè)量系統(tǒng)中，光發(fā)生器一般采用白光燈或者激光燈。當(dāng)采用白光燈時(shí)，由于光束發(fā)散大，為避免影響測(cè)量效果，需配置透鏡準(zhǔn)直裝置將發(fā)散光束改變?yōu)槠叫泄馐?，但是透鏡準(zhǔn)直裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜且機(jī)械強(qiáng)度差，增加使用成本且在使用時(shí)需調(diào)節(jié)光焦，增大了測(cè)量的繁雜性。當(dāng)采用激光燈時(shí)，由于激光的定向發(fā)光特性較強(qiáng)，一般無需配置準(zhǔn)直裝置，但是在使用激光二極管發(fā)射激光時(shí)則不可避免地存在一定的發(fā)射角，如不配置準(zhǔn)直裝置，激光光束仍存在發(fā)散現(xiàn)象，影響測(cè)量效果。
[0004]因此，就需要對(duì)現(xiàn)有的激光測(cè)量裝置進(jìn)行改進(jìn)，其增設(shè)了用于準(zhǔn)直激光發(fā)生器發(fā)射的激光束的光束準(zhǔn)直器，而且該光束準(zhǔn)直器結(jié)構(gòu)簡單、機(jī)械強(qiáng)度高，節(jié)省使用成本而且避免了透鏡準(zhǔn)直裝置的調(diào)節(jié)光焦過程，簡單實(shí)用，保證測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]有鑒于此，本實(shí)用新型的目的在于提供一種激光測(cè)量裝置及其磁力傳感器，增設(shè)了用于準(zhǔn)直激光發(fā)生器發(fā)射的激光束的光束準(zhǔn)直器，而且該光束準(zhǔn)直器結(jié)構(gòu)簡單、機(jī)械強(qiáng)度高，節(jié)省使用成本而且避免了透鏡準(zhǔn)直裝置的調(diào)節(jié)光焦過程，簡單實(shí)用，保證測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
[0006]本實(shí)用新型的激光測(cè)量裝置，包括:激光發(fā)生器，用于發(fā)射激光束；光束準(zhǔn)直器，用于準(zhǔn)直所述激光發(fā)生器發(fā)射的激光束；平面反射鏡，用于反射所述光束準(zhǔn)直器準(zhǔn)直后的激光束；以及光電檢測(cè)器，用于接收所述平面反射鏡反射的激光束并輸出電信號(hào)；其中，所述激光發(fā)生器包括激光二極管，所述光束準(zhǔn)直器包括用于覆蓋所述激光二極管的透明封裝的底管，所述底管向上凸起形成具有豎直孔道的準(zhǔn)直管。
[0007]進(jìn)一步，所述準(zhǔn)直管的軸線與所述透明封裝的軸線在同一直線上。
[0008]進(jìn)一步，所述準(zhǔn)直管的內(nèi)壁與所述底管的內(nèi)壁之間垂直過渡，任一垂直過渡的交點(diǎn)與所述激光二極管的發(fā)光點(diǎn)的連線與所述準(zhǔn)直管的軸線之間的夾角小于9.0°。
[0009]進(jìn)一步，所述準(zhǔn)直管和/或所述底管的內(nèi)壁光滑。
[0010]進(jìn)一步,所述準(zhǔn)直管的長度為8.0mm-18.0mm,所述準(zhǔn)直管的內(nèi)徑為1.0mm-2.6mm。
[0011]進(jìn)一步，所述平面反射鏡的鍍膜面鍍有用于選擇性反射所述激光發(fā)生器所發(fā)射的激光束的介質(zhì)膜。
[0012]進(jìn)一步，所述介質(zhì)膜由氧化硅膜及氧化鋯膜交替沉積而成。
[0013]進(jìn)一步，激光測(cè)量裝置還包括用于固定所述光電檢測(cè)器及用于調(diào)整所述光電檢測(cè)器的位置以形成等光程檢測(cè)的安裝組件，所述安裝組件至少包括設(shè)有橫向滑槽的安裝支架，所述光電檢測(cè)器連接在所述安裝支架上并可沿所述橫向滑槽移動(dòng)。
[0014]進(jìn)一步，所述安裝組件還包括底板及用于固定所述安裝支架的過渡板，所述過渡板連接在所述底板上并且二者可以相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0015]進(jìn)一步，所述過渡板設(shè)有弧形滑槽，穿過所述弧形滑槽設(shè)有用于固定所述過渡板和底板的固定件。
[0016]本實(shí)用新型還公開了一種磁力傳感器，所述激光測(cè)量裝置安裝于磁力傳感器。
[0017]本實(shí)用新型的有益效果:本實(shí)用新型的激光測(cè)量裝置及其磁力傳感器，準(zhǔn)直管對(duì)準(zhǔn)激光二極管發(fā)射面的中心部分，這部分光線的光強(qiáng)及傳播路徑不會(huì)被改變；發(fā)射面的其余部分的光線則以一定的角度照射在底管內(nèi)壁或者準(zhǔn)直管內(nèi)壁上，這部分光線的傳播方向會(huì)被改變，其在內(nèi)壁上多次反射，其光強(qiáng)一方面隨反射的次數(shù)而衰減，另一方面隨光程的增加而衰減，使得這部分光線在沒有到達(dá)平面反射鏡時(shí)已消失完盡，從而保留了中心部分的直線光束，達(dá)到了準(zhǔn)直的目的；本實(shí)用新型使用管式準(zhǔn)直器取代透鏡準(zhǔn)直器，不僅結(jié)構(gòu)簡單、機(jī)械強(qiáng)度高，而且節(jié)省使用成本、避免了的調(diào)節(jié)光焦過程，簡單實(shí)用，能夠保證測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述:
[0019]圖1為本實(shí)用新型的激光測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為本實(shí)用新型的光電檢測(cè)量器及安裝組件的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖3為本實(shí)用新型的磁力傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]圖1為本實(shí)用新型的激光測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為本實(shí)用新型的光電檢測(cè)量器及安裝組件的結(jié)構(gòu)示意圖，圖3為本實(shí)用新型的磁力傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖所示:本實(shí)施例的激光測(cè)量裝置，包括:激光發(fā)生器，用于發(fā)射激光束；光束準(zhǔn)直器，用于準(zhǔn)直所述激光發(fā)生器發(fā)射的激光束；平面反射鏡3，用于反射所述光束準(zhǔn)直器準(zhǔn)直后的激光束；以及光電檢測(cè)器4，用于接收所述平面反射鏡3反射的激光束并輸出電信號(hào)；其中，所述激光發(fā)生器包括激光二極管I，所述光束準(zhǔn)直器包括用于覆蓋所述激光二極管I的透明封裝的底管21，所述底管21向上凸起形成具有豎直孔道的準(zhǔn)直管22。激光發(fā)生器、光束準(zhǔn)直器、平面反射鏡3及光電檢測(cè)器4沿激光光路設(shè)置；激光發(fā)生器可為現(xiàn)有的激光發(fā)射二極管，根據(jù)所需的中心波長及發(fā)射角等參數(shù)進(jìn)行選擇；光電檢測(cè)器4可使用硅光電池對(duì)，光子照射在其上，使電路中產(chǎn)生電流或使電導(dǎo)特性發(fā)生變化；激光二極管I與常見的發(fā)光二極管形狀、結(jié)構(gòu)相同，均包括LED芯片、引線架及環(huán)氧樹脂透明封裝，在此不再贅述；光束準(zhǔn)直器的縱截面呈“凸”字形，下部管徑較大的為底管21，上部管徑較小的為準(zhǔn)直管22 ;底管21足以包裹圍合激光二極管I的透明封裝，準(zhǔn)直管22從底管21頂面中心凸起，因而二者同軸；準(zhǔn)直管22對(duì)準(zhǔn)激光二極管I發(fā)射面的中心部分，因此激光二極管I發(fā)射面的中心部分光線的光強(qiáng)及傳播路徑不會(huì)被改變；發(fā)射面的其余部分的光線則以一定的角度照射在底管21內(nèi)壁或者準(zhǔn)直管22內(nèi)壁上，這部分光線的傳播方向會(huì)被改變，其在內(nèi)壁上多次反射，其光強(qiáng)一方面隨反射的次數(shù)而衰減，另一方面隨光程的增加而衰減，使得這部分光線在沒有到達(dá)平面反射鏡3時(shí)已消失完盡，從而保留了中心部分的直線光束，達(dá)到了準(zhǔn)直的目的；使用管式準(zhǔn)直器取代透鏡準(zhǔn)直器并應(yīng)用于激光測(cè)量系統(tǒng)中為本實(shí)用新型的重大改進(jìn)之處，使得本實(shí)用新型不僅結(jié)構(gòu)簡單、機(jī)械強(qiáng)度高，而且節(jié)省使用成本、避免了的調(diào)節(jié)光焦過程，簡單實(shí)用，能夠保證測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
[0023]本實(shí)施例中，所述準(zhǔn)直管22的軸線22a與所述透明封裝的軸線Ila在同一直線上；準(zhǔn)直管22的軸線22a與透明封裝的軸線Ila在同一直線上，即軸線22a與軸線Ila的延長線重合，使得準(zhǔn)直管22對(duì)準(zhǔn)激光二極管I發(fā)射面的中心部分，因此激光二極管I發(fā)射面的中心部分光線的光強(qiáng)及傳播路徑不會(huì)被改變。
[0024]本實(shí)施例中，所述準(zhǔn)直管22的內(nèi)壁與所述底管21的內(nèi)壁之間垂直過渡，任一垂直過渡的交點(diǎn)23與所述激光二極管I的發(fā)光點(diǎn)12的連線與所述準(zhǔn)直管22的軸線22a之間的夾角Y小于9.0° ;垂直過渡即準(zhǔn)直管22的內(nèi)壁與底管21的內(nèi)壁相垂直，以最大限度地阻擋散射光束；夾角Y的具體數(shù)值根據(jù)激光發(fā)射二極管的發(fā)射角而定，以有效阻擋散射光束為準(zhǔn)；本實(shí)施例將夾角Y確定為7.0°，既能有效阻擋散射光束，又能避免光束發(fā)生衍射。
[0025]本實(shí)施例中，所述準(zhǔn)直管22和所述底管21的內(nèi)壁光滑；光滑的管壁能使激光光束的反射更具有規(guī)律性，便于將發(fā)射面的除中心部分外其余部分的光線控制在光束準(zhǔn)直器內(nèi)。
[0026]本實(shí)施例中，所述準(zhǔn)直管22的長度為8.0mm-18.0mm，所述準(zhǔn)直管22的內(nèi)徑為
1.0mm-2.6mm ;準(zhǔn)直管22長度及內(nèi)徑將依據(jù)具體的激光發(fā)生器類型和激光發(fā)生器到平面反射鏡3的距離來設(shè)計(jì)；例如，當(dāng)使用中心波長為950nm、發(fā)射角為±7°的激光發(fā)射二極管時(shí)，使用長度為13.0mm、內(nèi)徑為1.8mm的準(zhǔn)直管22最為適合。
[0027]本實(shí)施例中，所述平面反射鏡3的鍍膜面鍍有用于選擇性反射所述激光發(fā)生器所發(fā)射的激光束的介質(zhì)膜31 ;現(xiàn)有的微位移測(cè)量系統(tǒng)一般采用玻璃鍍銀或鉬的內(nèi)反射鏡或金屬平面鏡，這些反射鏡由于反射波長較寬，對(duì)所有波長的光線都會(huì)達(dá)到90%以上的反射率，因此容易受到雜散光的干擾；使用介質(zhì)膜反射鏡取代普通反射鏡并應(yīng)用于激光測(cè)量系統(tǒng)中為本實(shí)用新型又一重大改進(jìn)之處，介質(zhì)膜反射鏡的反射波長按所采用的激光發(fā)生器的中心波長來設(shè)計(jì)，只對(duì)激光發(fā)生器對(duì)應(yīng)的波長的光反射，而對(duì)其它波長的光不反射或反射率極低；所以光電檢測(cè)器4不易敏感到其它波長的光線，從而使本實(shí)用新型在微位移測(cè)量中受到雜散光的干擾小；至于介質(zhì)膜31的類型，則根據(jù)激光發(fā)生器的中心波長及入射光與平面反射鏡3的入射角來設(shè)計(jì)。
[0028]本實(shí)施例中，所述介質(zhì)膜31由氧化硅膜及氧化鋯膜交替沉積而成；平面反射鏡3背面的鍍膜面蒸鍍多層很薄的氧化硅膜、氧化鋯膜，其中氧化硅膜和氧化鋯膜交替沉積，優(yōu)選為二十層；這一結(jié)構(gòu)的介質(zhì)膜31對(duì)應(yīng)中心波長為950nm的激光發(fā)射二極管，入射光與平面反射鏡3的入射角為23.0°，對(duì)該中心波長的光反射率能夠達(dá)到98%，較好地排除雜散光的干擾。
[0029]本實(shí)施例中，激光測(cè)量裝置還包括用于固定所述光電檢測(cè)器4及用于調(diào)整所述光電檢測(cè)器4的位置以形成等光程檢測(cè)的安裝組件，所述安裝組件至少包括設(shè)有橫向滑槽51的安裝支架5，所述光電檢測(cè)器4連接在所述安裝支架5上并可沿所述橫向滑槽51移動(dòng)；等光程檢測(cè)即光點(diǎn)中的所有光線從激光發(fā)生器到光電檢測(cè)器4的光程相等，當(dāng)然，受制于測(cè)量精度，光程相等也允許在小范圍內(nèi)存在的小許誤差；現(xiàn)有的微位移測(cè)量系統(tǒng)中，光電檢測(cè)器4的感光位置固定或者僅可在一維空間上進(jìn)行調(diào)節(jié)，因此不能達(dá)到等光程檢測(cè)的效果，致使光電檢測(cè)器4敏感的信號(hào)噪音大，影響測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性；如圖1所示，α是平面反射鏡3與水平面的夾角，β是對(duì)應(yīng)的光電檢測(cè)器4需調(diào)整到的與水平面的夾角，兩個(gè)夾角的關(guān)系取決于檢測(cè)的氣體環(huán)境，例如在氮?dú)猸h(huán)境中，β=2α ;如圖2所示，安裝支架5為一長方體，其與水平面的夾角可自由調(diào)節(jié)即β可調(diào)節(jié)；當(dāng)然，安裝支架5也可以是其它便于調(diào)節(jié)的形狀如半圓柱體；長方體的中心開有沿長度方向設(shè)置的橫向滑槽51，光電檢測(cè)器4通過調(diào)節(jié)螺栓83固定在橫向滑槽51之上，使得光電檢測(cè)器4可沿橫向滑槽51即圖中X方向移動(dòng)；光束從激光發(fā)生器發(fā)出，通過平面反射鏡3反射后到達(dá)光電檢測(cè)器4上所有的光線光程相等，所以光電檢測(cè)器4檢測(cè)的信號(hào)噪音小。
[0030]本實(shí)施例中，所述安裝組件還包括底板7及用于固定所述安裝支架5的過渡板6，所述過渡板6連接在所述底板7上并且二者可以相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)；底板7與過渡板6通過一緊固螺釘81連接，形成以緊固螺釘81為轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，便于調(diào)節(jié)安裝支架5與水平面的夾角。
[0031]本實(shí)施例中，所述過渡板6設(shè)有弧形滑槽61，穿過所述弧形滑槽61設(shè)有用于固定所述過渡板6和底板7的固定件82 ;固定件82優(yōu)選為調(diào)節(jié)螺釘；當(dāng)擰緊調(diào)節(jié)螺釘時(shí)，緊固螺釘81與調(diào)節(jié)螺釘可將過渡板6固定在底板7上，增強(qiáng)安裝組件的穩(wěn)固度；當(dāng)松開調(diào)節(jié)螺釘時(shí)，過渡板6則可以緊固螺釘81為轉(zhuǎn)軸并沿弧形滑槽61方向即Y方向移動(dòng)，增加調(diào)節(jié)的準(zhǔn)確性。
[0032]本實(shí)用新型還公開了一種磁力傳感器，所述激光測(cè)量裝置安裝于磁力傳感器；所述磁力傳感器為磁力機(jī)械式氧傳感器，如圖3所示磁力機(jī)械式氧傳感器的張絲94吊掛一對(duì)充氮的玻璃球92，玻璃球92中間固定平面反射鏡3，反饋線圈93固定在玻璃球92外圍中心線位置；玻璃球92、反饋線圈93、平面反射鏡3處于一對(duì)磁極91的中間位置；當(dāng)磁場中有氧氣時(shí)，就會(huì)對(duì)玻璃球92產(chǎn)生推力帶動(dòng)平面鏡3旋轉(zhuǎn)一定的角度，從而引起反射光束在光電檢測(cè)器4上位移變化，本激光測(cè)量裝置正是檢測(cè)這一微小位移變化的測(cè)量系統(tǒng)；磁極91在磁力傳感器用于導(dǎo)磁，反饋線圈93在磁力機(jī)械式氧傳感器中用于平衡氧氣產(chǎn)生的推力，使啞鈴帶動(dòng)平面反射鏡3回到初始位置附件，這種反饋機(jī)制提高了磁力機(jī)械式氧傳感器的穩(wěn)定性。[0033]最后說明的是，以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案而非限制，盡管參照較佳實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換，而不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的宗旨和范圍，其均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。
【權(quán)利要求】
1.一種激光測(cè)量裝置，其特征在于，包括: 激光發(fā)生器，用于發(fā)射激光束； 光束準(zhǔn)直器，用于準(zhǔn)直所述激光發(fā)生器發(fā)射的激光束； 平面反射鏡，用于反射所述光束準(zhǔn)直器準(zhǔn)直后的激光束；以及 光電檢測(cè)器，用于接收所述平面反射鏡反射的激光束并輸出電信號(hào)； 其中，所述激光發(fā)生器包括激光二極管，所述光束準(zhǔn)直器包括用于覆蓋所述激光二極管的透明封裝的底管，所述底管向上凸起形成具有豎直孔道的準(zhǔn)直管。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光測(cè)量裝置，其特征在于:所述準(zhǔn)直管的軸線與所述透明封裝的軸線在同一直線上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光測(cè)量裝置，其特征在于:所述準(zhǔn)直管的內(nèi)壁與所述底管的內(nèi)壁之間垂直過渡，任一垂直過渡的交點(diǎn)與所述激光二極管的發(fā)光點(diǎn)的連線與所述準(zhǔn)直管的軸線之間的夾角小于9.0°。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光測(cè)量裝置，其特征在于:所述準(zhǔn)直管和/或所述底管的內(nèi)壁光滑。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光測(cè)量裝置，其特征在于:所述平面反射鏡的鍍膜面鍍有用于選擇性反射所述激光發(fā)生器所發(fā)射的激光束的介質(zhì)膜。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光測(cè)量裝置，其特征在于:所述介質(zhì)膜由氧化硅膜及氧化鋯膜交替沉積而成。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一權(quán)利要求所述的激光測(cè)量裝置，其特征在于:還包括用于固定所述光電檢測(cè)器及用于調(diào)整所述光電檢測(cè)器的位置以形成等光程檢測(cè)的安裝組件，所述安裝組件至少包括設(shè)有橫向滑槽的安裝支架，所述光電檢測(cè)器連接在所述安裝支架上并可沿所述橫向滑槽移動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的激光測(cè)量裝置，其特征在于:所述安裝組件還包括底板及用于固定所述安裝支架的過渡板，所述過渡板連接在所述底板上并且二者可以相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的激光測(cè)量裝置，其特征在于:所述過渡板設(shè)有弧形滑槽，穿過所述弧形滑槽設(shè)有用于固定所述過渡板和底板的固定件。
10.一種磁力傳感器，其特征在于:所述權(quán)利要求1至9中任一權(quán)利要求所述的激光測(cè)量裝置安裝于磁力傳感器。
【文檔編號(hào)】G02B27/30GK203550912SQ201320755005
【公開日】2014年4月16日 申請(qǐng)日期:2013年11月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月25日
【發(fā)明者】朱仲文, 胡體寶 申請(qǐng)人:重慶川儀分析儀器有限公司