感光性樹脂組合物、硬化物及其制造方法、樹脂圖案制造方法、硬化膜、液晶顯示裝置、有 ...的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明的目的在于提供一種折射率高、透明性優(yōu)異的感光性樹脂組合物。本發(fā)明的感光性樹脂組合物的特征在于包括：(成分A)含有滿足(1)及(2)的至少一個(gè)的聚合物的聚合物成分，(成分S)由式(S)表示、且具有至少1種酸基的分散劑，(成分B)光酸產(chǎn)生劑，(成分C)金屬氧化物粒子，以及(成分D)溶劑。(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保護(hù)的基的構(gòu)成單元、及(a2)含有交聯(lián)性基的構(gòu)成單元的聚合物(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保護(hù)的基的構(gòu)成單元的聚合物、及具有(a2)含有交聯(lián)性基的構(gòu)成單元的聚合物
【專利說明】感光性樹脂組合物、硬化物及其制造方法、樹脂圖案制造方 法、硬化膜、液晶顯示裝置、有機(jī)EL顯示裝置以及觸摸屏顯 示裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種感光性樹脂組合物（以下，有時(shí)僅稱為"本發(fā)明的組合物"）。另 夕卜，本發(fā)明涉及一種使上述感光性樹脂組合物硬化而成的硬化物及其制造方法、使用上述 感光性樹脂組合物的樹脂圖案制造方法、使上述感光性組合物硬化而成的硬化膜、以及使 用上述硬化膜的各種圖像顯示裝置。
[0002] 更詳細(xì)而言，本發(fā)明涉及一種適合于形成液晶顯示裝置、有機(jī)電致發(fā)光 (Electroluminescence,EL)顯示裝置、觸摸屏顯示裝置、集成電路元件、固體攝影元件等的 電子零件的平坦化膜、保護(hù)膜或?qū)娱g絕緣膜的感光性樹脂組合物、及使用其的硬化膜的制 造方法。

【背景技術(shù)】
[0003] 根據(jù)固體攝影元件或液晶顯示裝置的發(fā)展，而開始廣泛進(jìn)行利用有機(jī)原材料（樹 脂）來制作微透鏡、光波導(dǎo)、抗反射膜等光學(xué)構(gòu)件。
[0004] 為了使這些光學(xué)構(gòu)件的折射率高，正研究添加氧化鈦等粒子（參照下述專利文獻(xiàn) 1)。
[0005] 另外，作為現(xiàn)有的負(fù)型感光性樹脂組合物，已知有專利文獻(xiàn)2?專利文獻(xiàn)4中所記 載的感光性樹脂組合物。
[0006] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0007] 專利文獻(xiàn)
[0008] 專利文獻(xiàn)1 :日本專利特開2006-98985號公報(bào)
[0009] 專利文獻(xiàn)2 :日本專利特開2011-127096號公報(bào)
[0010] 專利文獻(xiàn)3 :日本專利特開2009-179678號公報(bào)
[0011] 專利文獻(xiàn)4 :日本專利特開2008-185683號公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0012] 發(fā)明要解決的課題
[0013] 本發(fā)明的目的在于提供一種折射率高、透明性優(yōu)異的感光性樹脂組合物。
[0014] 解決問題的技術(shù)手段
[0015] 本發(fā)明的上述課題通過以下的〈1>、〈8>?〈11>或〈13>?〈15>中所記載的手段 來解決。以下一并記載作為優(yōu)選的實(shí)施形態(tài)的〈2>?〈7>及〈12>。
[0016] 〈1> 一種感光性樹脂組合物，其特征在于包括：（成分A)含有滿足下述（1)及下述 (2)的至少一個(gè)的聚合物的聚合物成分，（1)具有（al)含有酸基由酸分解性基保護(hù)的基的 構(gòu)成單元、及（a2)含有交聯(lián)性基的構(gòu)成單元的聚合物，（2)具有（al)含有酸基由酸分解性 基保護(hù)的基的構(gòu)成單元的聚合物、及具有（a2)含有交聯(lián)性基的構(gòu)成單元的聚合物；（成分 S)由下述式（S)表示、且具有至少1種酸基的分散劑；（成分B)光酸產(chǎn)生劑；（成分C)金 屬氧化物粒子；以及（成分D)溶劑；
[0017][化 1]

【權(quán)利要求】
1. 一種感光性樹脂組合物，其特征在于包括： (成分A)含有滿足下述（1)及下述（2)的至少一個(gè)的聚合物的聚合物成分， (1) 具有（al)含有酸基由酸分解性基保護(hù)的基的構(gòu)成單元、及（a2)含有交聯(lián)性基的構(gòu) 成單元的聚合物， (2) 具有（al)含有酸基由酸分解性基保護(hù)的基的構(gòu)成單元的聚合物、及具有（a2)含有 交聯(lián)性基的構(gòu)成單元的聚合物； (成分S)由下述式（S)表示、且具有至少1種酸基的分散劑； (成分B)光酸產(chǎn)生劑； (成分C)金屬氧化物粒子；以及 (成分D)溶劑，
(式（S)中，R3表示（m+n)價(jià)的連結(jié)基，R4及R5分別獨(dú)立地表示單鍵或二價(jià)的連結(jié)基，A2表示含有至少1種選自由有機(jī)色素結(jié)構(gòu)、雜環(huán)結(jié)構(gòu)、酸基、具有堿性氮原子的基、脲基、氨 基甲酸酯基、具有配位性氧原子的基、烷氧基硅烷基、酚基、烷基、芳基、具有亞烷氧基鏈的 基、酰亞胺基、烷氧基羰基、烷基氨基羰基、羧酸鹽基、磺酰胺基、環(huán)氧基、異氰酸酯基及羥基 所組成的群組的部分結(jié)構(gòu)的一價(jià)的有機(jī)基，n個(gè)A2、R4可相同也可不同，m表示0?8,n表 不2?9,m+n為3?10,P2表不高分子骨架，m個(gè)P2、R5可相同也可不同）。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，成分C為氧化鈦粒子或氧化鋯粒 子。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中，所述A2為含有至少1種酸基 的一價(jià)的有機(jī)基。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其中，所述P2為丙烯酸樹 脂骨架。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其中，成分A含有滿足所述 (1)的聚合物。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其還包括（成分E)交聯(lián) 劑。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其還包括（成分F)抗氧化 劑。
8. -種硬化物的制造方法，其至少依次包括步驟（a)?步驟（c): (a) 涂布步驟，將根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物涂布于基板 上； (b) 溶劑去除步驟，自所涂布的樹脂組合物中去除溶劑；以及 (c) 熱處理步驟，對去除了溶劑的樹脂組合物進(jìn)行熱處理。
9. 一種樹脂圖案制造方法，其至少依次包括步驟（1)?步驟（5): (1) 涂布步驟，將根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物涂布于基板上 的涂布步驟； (2) 溶劑去除步驟，自所涂布的樹脂組合物中去除溶劑的溶劑去除步驟； (3) 曝光步驟，利用光化射線將去除了溶劑的樹脂組合物曝光成圖案狀； (4) 顯影步驟，利用水性顯影液對經(jīng)曝光的樹脂組合物進(jìn)行顯影；以及 (5) 熱處理步驟，對經(jīng)顯影的樹脂組合物進(jìn)行熱處理。
10. -種硬化物，其是通過根據(jù)權(quán)利要求8所述的硬化物的制造方法或根據(jù)權(quán)利要求9 所述的樹脂圖案制造方法而獲得。
11. 一種硬化膜，其是使根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物硬化而 形成。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的硬化膜，其為層間絕緣膜。
13. -種液晶顯示裝置，其包括根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的硬化膜。
14. 一種有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置，其包括根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的硬化膜。
15. -種觸摸屏顯示裝置，其包括根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的硬化膜。
【文檔編號】G03F7/004GK104412161SQ201380034042
【公開日】2015年3月11日 申請日期:2013年6月27日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月28日
【發(fā)明者】中村秀之, 鈴木成一, 藤盛淳一, 山下史繪, 荒山恭平, 久保田誠 申請人:富士膠片株式會(huì)社