光取向用偏振光照射裝置和光取向用偏振光照射方法
【專利摘要】提供一種光取向用偏振光照射裝置和光取向用偏振光照射方法，能夠?qū)Π鍫顦?gòu)件進(jìn)行光取向加工，能夠?qū)崿F(xiàn)高的生產(chǎn)率。照射單元(1)向照射區(qū)域(R)照射偏振光，臺移動機(jī)構(gòu)(3)使搭載了基板(S)的第一和第二臺(21、22)交替地輸送到照射區(qū)域(R)并返回。在位于第一基板搭載位置的第一臺(21)與照射區(qū)域(R)之間確保第二臺(22)上的基板(S)經(jīng)過照射區(qū)域(R)的量以上的空間(L1)，在位于第二基板搭載位置的第二臺(22)與照射區(qū)域(R)之間確保第一臺(21)上的基板(S)經(jīng)過照射區(qū)域的量以上的空間(L2)。
【專利說明】光取向用偏振光照射裝置和光取向用偏振光照射方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種在進(jìn)行光取向時進(jìn)行的偏振光的照射技術(shù)。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，在得到以液晶面板為代表的液晶顯示元件的取向膜、視場角補(bǔ)償膜的取向?qū)訒r，逐漸采用通過光照射進(jìn)行取向的被稱為光取向的技術(shù)。下面，將通過光照射產(chǎn)生了取向的膜、層統(tǒng)稱為光取向膜。此外，“取向”或“取向處理”是指針對對象物的某些性質(zhì)賦予方向性。
[0003]在進(jìn)行光取向的情況下，通過對光取向膜用的膜(以下為膜材)照射偏振光來進(jìn)行。膜材是例如聚酰亞胺那樣的樹脂制，向期望的方向(應(yīng)取向的方向)偏振的偏振光被照射到膜材。通過照射規(guī)定波長的偏振光，膜材的分子結(jié)構(gòu)(例如側(cè)鏈)成為向偏振光的方向?qū)R的狀態(tài)，能夠得到光取向膜。
[0004]光取向膜隨著使用該光取向膜的液晶面板的大型化而變得大型化。因此，要求的偏振光的照射區(qū)域的寬度變大至1500mm及其以上。作為具備這種寬度大的照射區(qū)域的偏振光照射裝置，例如有專利文獻(xiàn)I所公開的裝置。該裝置具備與照射區(qū)域的寬度相當(dāng)?shù)拈L度的棒狀光源、以及使來自該光源的光偏振的線柵偏振兀件，對在相對于光源的長邊方向正交的方向上輸送的膜材照射偏振光。
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本專利第4815995號公報
[0006]在這種光取向用的偏振光照射裝置中，存在偏振光照射的對象物(工件)為膜材連續(xù)地連接的長的構(gòu)件(以下為長工件)的情況和膜材已經(jīng)設(shè)置于液晶基板上的帶膜材的液晶基板為工件的情況。
[0007]在專利文獻(xiàn)I中，公開了長工件以輥狀卷繞而從輥抽出長工件來照射偏振光的裝置。在輥對輥的輸送時被照射偏振光的長工件在規(guī)定的位置處被切斷之后，粘貼到液晶基板。另一方面，關(guān)于對帶膜材的液晶基板照射偏振光的偏振光照射裝置，沒有發(fā)現(xiàn)公開了能夠高效地(以短的節(jié)拍時間)加工的裝置結(jié)構(gòu)的現(xiàn)有文獻(xiàn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明是鑒于這種狀況而完成的，其要解決的課題為提供一種能夠?qū)θ鐜さ囊壕Щ迥菢拥膸げ牡陌鍫顦?gòu)件進(jìn)行光取向加工的、能夠?qū)崿F(xiàn)高的生產(chǎn)率的裝置以及方法。
[0009]為了解決上述問題，本申請的技術(shù)方案I所記載的發(fā)明的光取向用偏振光照射裝置具備:照射單元，向所設(shè)定的照射區(qū)域照射偏振光；臺，載置基板；以及臺移動機(jī)構(gòu)，通過使臺向照射區(qū)域移動，使得向臺上的基板照射偏振光，作為臺，設(shè)置有第一臺和第二臺這兩個臺，臺移動機(jī)構(gòu)使第一臺從設(shè)定于照射區(qū)域的一側(cè)的第一基板搭載位置向照射區(qū)域移動，并且使第二臺從設(shè)定于照射區(qū)域的另一側(cè)的第二基板搭載位置向照射區(qū)域移動，臺移動機(jī)構(gòu)在第一臺上的基板經(jīng)過照射區(qū)域之后使第一臺返回到第一側(cè)，并且在第二臺上的基板經(jīng)過照射區(qū)域之后使第二臺返回到第二側(cè)，在位于第一基板搭載位置的第一臺與照射區(qū)域之間確保第二臺上的基板經(jīng)過照射區(qū)域的量以上的空間，在位于第二基板搭載位置的第二臺與照射區(qū)域之間確保第一臺上的基板經(jīng)過照射區(qū)域的量以上的空間。
[0010]另外，為了解決上述問題，技術(shù)方案2所記載的發(fā)明的特征在于，在所述技術(shù)方案I的結(jié)構(gòu)中，所述照射單元在所述第一臺和第二臺的各臺進(jìn)行去路移動時和進(jìn)行回路移動時這雙方向各臺上的基板照射偏振光。
[0011]另外，為了解決上述問題，技術(shù)方案3所記載的發(fā)明的特征在于，在所述技術(shù)方案I或2的結(jié)構(gòu)中，在所述第一臺和第二臺的各臺上設(shè)置有基板校準(zhǔn)器，該基板校準(zhǔn)器使所搭載的基板的朝向相對于被照射的偏振光的偏振軸成為規(guī)定的朝向。
[0012]另外，為了解決上述問題，技術(shù)方案4所記載的發(fā)明的特征在于，在所述技術(shù)方案
1、2或3的結(jié)構(gòu)中，所述臺移動機(jī)構(gòu)沿著所述第一臺和第二臺的移動方向具備導(dǎo)向構(gòu)件，該導(dǎo)向構(gòu)件兼用于所述第一臺的移動的導(dǎo)向和所述第二臺的移動的導(dǎo)向。
[0013]另外，為了解決上述問題，技術(shù)方案5所記載的發(fā)明是使用技術(shù)方案I至4中的任一個所記載的光取向用偏振光照射裝置向基板照射光取向用的偏振光的光取向用偏振光照射方法，該光取向用偏振光照射方法的特征在于，具有:第一基板搭載步驟，在所述第一基板搭載位置處，在所述第一臺上搭載基板；第二基板搭載步驟，在所述第二基板搭載位置處，在所述第二臺上搭載基板；第一移動步驟，使搭載了基板的所述第一臺從所述第一基板搭載位置移動，在基板經(jīng)過所述照射區(qū)域之后，使所述第一臺返回到設(shè)定于所述一側(cè)的第一基板回收位置；第二移動步驟，使搭載了基板的所述第二臺從所述第二基板搭載位置移動，在基板經(jīng)過所述照射區(qū)域之后，使所述第二臺返回到設(shè)定于所述另一側(cè)的第二基板回收位置；第一基板回收步驟，在第一基板回收位置處從所述第一臺回收基板；以及第二基板回收步驟，在第二基板回收位置處從所述第二臺回收基板，進(jìn)行第一基板回收步驟和第一基板搭載步驟的時間段與進(jìn)行第二移動步驟的時間段全部或一部分重疊，進(jìn)行第二基板回收步驟和第二基板搭載步驟的時間段與進(jìn)行第一移動步驟的時間段全部或一部分重疊。
[0014]發(fā)明效果
[0015]如以下說明的那樣，根據(jù)本申請的技術(shù)方案I或5所記載的發(fā)明，通過使兩個臺交替地經(jīng)過照射區(qū)域來使得能夠?qū)Ω髋_上的基板照射偏振光，通過減少節(jié)拍時間來能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)率高的光取向加工。此時，在第一基板搭載位置與照射區(qū)域之間確保第二臺上的基板能夠經(jīng)過照射區(qū)域的量以上的空間，在第二基板搭載位置與照射區(qū)域之間確保第一臺上的基板能夠經(jīng)過照射區(qū)域的量以上的空間，因此臺彼此不干擾地能夠進(jìn)行均勻性高的光取向處理。
[0016]另外，根據(jù)技術(shù)方案2所記載的發(fā)明，除了上述效果以外，由于第一臺和第二臺的各臺上的基板在去路和回路這雙方中被照射光，因此無能量浪費(fèi)而能夠高效地進(jìn)行光取向處理，通過加快移動速度來能夠進(jìn)一步提高生產(chǎn)率。
[0017]另外，根據(jù)技術(shù)方案3所記載的發(fā)明，除了上述效果以外，由于具備基板校準(zhǔn)器，因此基板以相對于偏振光的偏振軸朝向規(guī)定的方向的狀態(tài)高精度地被照射偏振光。因此，能夠維持高的光取向處理的精度、質(zhì)量。
[0018]另外，根據(jù)技術(shù)方案4所記載的發(fā)明，除了上述效果以外，由于導(dǎo)向構(gòu)件兼用于第一和第二臺的移動，因此臺移動機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡單，而且裝置的成本也能夠廉價?！緦＠綀D】

【附圖說明】
[0019]圖1是本發(fā)明的實施方式所涉及的光取向用偏振光照射裝置的立體概要圖。
[0020]圖2是圖1所示的偏振光照射裝置的正面概要圖。
[0021]圖3是圖1所示的臺移動機(jī)構(gòu)3的平面概要圖。
[0022]圖4是示出臺21、22中的用于基板S的搭載、回收的機(jī)構(gòu)的立體概要圖。
[0023]圖5是示出實施方式的裝置所具備的基板校準(zhǔn)器6的概要的立體圖。
[0024]圖6是用于說明安裝在控制單元4中的時序程序的圖，是概要性地示出裝置的動作的圖。
[0025]附圖標(biāo)記說明
[0026]1:照射單元
[0027]11:光源
[0028]14:偏振元件
[0029]21:臺
[0030]22:臺
[0031]20A:固定底座
[0032]20B:可動底座
[0033]3:臺移動機(jī)構(gòu)
[0034]31:導(dǎo)向構(gòu)件
[0035]321:滾珠絲杠
[0036]322:滾珠絲杠
[0037]331:驅(qū)動源
[0038]332:驅(qū)動源
[0039]4:控制單元
[0040]5:升降銷
[0041]6:基板校準(zhǔn)器
[0042]S:基板
[0043]R:照射區(qū)域
【具體實施方式】
[0044]接著說明用于實施本發(fā)明的方式(以下為實施方式)。
[0045]圖1是本發(fā)明的實施方式所涉及的光取向用偏振光照射裝置的立體概要圖。圖1所示的偏振光照射裝置為以如帶膜材的液晶基板那樣的基板S為工件來進(jìn)行光取向處理的裝置。
[0046]具體地說，圖1的裝置具備:向所設(shè)定的照射區(qū)域R照射偏振光的照射單元I ;載置基板S的臺21、22 ;以及通過使臺21、22向照射區(qū)域R移動來使得向臺21、22上的液晶基板S照射偏振光的臺移動機(jī)構(gòu)3。
[0047]如圖1所示，在本實施方式中，并排設(shè)置有兩個照射單元I。并排設(shè)置的方向是臺
21、22的移動方向。各照射單元I是相同的結(jié)構(gòu)，以大致矩形的圖案Rl照射偏振光。因而，在本實施方式中，由兩個大致矩形的照射圖案Rl構(gòu)成的(包絡(luò)兩個照射圖案Rl的)大致矩形的區(qū)域被設(shè)定為照射區(qū)域R。此外，兩個照射圖案Rl既可以一部分重疊，也可以不重疊。另外，如圖1所示，照射區(qū)域R是水平面內(nèi)的區(qū)域。
[0048]臺移動機(jī)構(gòu)3是使臺21、22經(jīng)過上述照射區(qū)域R地移動的機(jī)構(gòu)。在本實施方式中，臺21、22以水平的姿勢配置，移動方向是水平方向。下面，為了便于說明，將臺移動機(jī)構(gòu)3的移動方向稱為長度方向，將與移動方向垂直的水平方向稱為寬度方向。
[0049]圖2是圖1所示的偏振光照射裝置的正面概要圖。如圖2所示，照射單元I由光源U、設(shè)置于光源11的背后的反射鏡12、在內(nèi)部收容了光源U、反射鏡12的燈罩13以及偏振元件14等構(gòu)成。
[0050]光源11使用棒狀的燈。在本實施方式中，利用紫外域的光進(jìn)行光取向，因此使用高壓水銀燈、在水銀中添加有其它金屬的金屬鹵化物燈等。也可以將放射紫外域所需的波長的光的LED排列多個來得到長的照射圖案。反射鏡12用于高效地進(jìn)行偏振光照射，使用截面呈橢圓或拋物線的一部分的形狀的檐溝狀反射鏡。以形成狹縫的方式配置長的左右一對反射鏡，形成大致檐溝狀的反射鏡。
[0051]偏振兀件14用于使從光源11放射的光成為光取向所需的偏振光。作為偏振兀件14，能夠使用在透明基板上設(shè)置了由條紋狀的電介質(zhì)(或?qū)щ娦?、半?dǎo)體)材料形成的微細(xì)的光柵的線柵偏振兀件。燈罩13具有光照射口，偏振兀件14配置于光源11與光照射口之間的位置。此外，一個偏振元件14為矩形的小的構(gòu)件的情況多，通常采用將偏振元件14在寬度方向(光源11的長度方向)上排列多個來向照射區(qū)域R照射偏振光的結(jié)構(gòu)。另外，偏振元件14還有時采用作為與燈罩13分開的單元(偏振元件單元)安裝于燈罩13的構(gòu)造。除此之外，還有時配置用于進(jìn)行波長選擇等調(diào)整要照射的偏振光的特性的濾波器。
[0052]另一方面，如圖1所示，本實施方式的裝置具備兩個臺21、22。下面，將兩個臺21、22設(shè)為第一臺21、第二臺22。使用圖1、圖2以及圖3來更詳細(xì)說明使這些臺21、22移動的臺移動機(jī)構(gòu)3。圖3是圖1所示的臺移動機(jī)構(gòu)3的俯視概要圖。另外，在圖2中，將圖1所示的臺移動機(jī)構(gòu)3與其控制系統(tǒng)一起示出。
[0053]如圖1?圖3所示，臺移動機(jī)構(gòu)3包括貫穿照射區(qū)域R來延伸的導(dǎo)向構(gòu)件31以及使第一和第二臺21、22沿著導(dǎo)向構(gòu)件31移動的驅(qū)動源321、322。如圖1和圖3所示，夾著照射區(qū)域R而設(shè)置有兩個導(dǎo)向構(gòu)件31。導(dǎo)向構(gòu)件31具體為線性導(dǎo)向件，相互平行地延伸。兩個臺21、22的移動沿著兩個導(dǎo)向構(gòu)件31被導(dǎo)向。即，兩個導(dǎo)向構(gòu)件31兼用于第一臺21的導(dǎo)向和第二臺22的導(dǎo)向。
[0054]在第一臺21的下表面固定有一對導(dǎo)向塊211。導(dǎo)向塊211的固定位置對應(yīng)于兩側(cè)的導(dǎo)向構(gòu)件31的位置。在導(dǎo)向塊211內(nèi)設(shè)置有軸承，以兩側(cè)的導(dǎo)向構(gòu)件31貫通導(dǎo)向塊211的狀態(tài)配置第一臺21，由此第一臺21通過導(dǎo)向構(gòu)件31被導(dǎo)向。第二臺22也是同樣的構(gòu)造，導(dǎo)向構(gòu)件31貫通被固定于下表面的一對導(dǎo)向塊221,由此移動被導(dǎo)向。
[0055]各臺21、22的移動是驅(qū)動源321、322使?jié)L珠絲杠331、332轉(zhuǎn)動來進(jìn)行的。即，如圖1和圖3所示，臺移動機(jī)構(gòu)3具備使第一臺21移動的第一滾珠絲杠331以及使第二臺22移動的第二滾珠絲杠332。
[0056]第一滾珠絲杠331的一端連結(jié)于第一驅(qū)動源321，另一端被軸承333支承。同樣地，第二滾珠絲杠332的一端連結(jié)于第二驅(qū)動源322，另一端被軸承334支承。第一和第二滾珠絲杠331、332被配置成高精度地與一對導(dǎo)向構(gòu)件31所延伸的方向平行地延伸。
[0057]在第一臺21的下表面的大致中央處固定有與第一滾珠絲杠331螺合的(螺紋嚙合)被驅(qū)動塊212。第一驅(qū)動源321是如AC伺服馬達(dá)那樣的馬達(dá)，當(dāng)?shù)谝或?qū)動源321使第一滾珠絲杠331旋轉(zhuǎn)時,第一臺21 —邊被一對導(dǎo)向構(gòu)件31導(dǎo)向，一邊直線移動。同樣地，在第二臺22的下表面的大致中央處固定有與第二滾珠絲杠332螺合的被驅(qū)動塊222，當(dāng)?shù)诙?qū)動源322使第二滾珠絲杠332旋轉(zhuǎn)時,第二臺22 —邊被一對導(dǎo)向構(gòu)件31導(dǎo)向，一邊直線移動。
[0058]另外，實施方式的偏振光照射裝置具備控制裝置整體的控制單元4?？刂茊卧?具有存儲了對臺移動機(jī)構(gòu)3等各部的動作進(jìn)行控制的時序程序的存儲部41、執(zhí)行時序程序的運(yùn)算處理部42等。來自控制單元4的控制信號被送至包括兩個驅(qū)動源321、322在內(nèi)的裝置的各部。
[0059]另一方面，實施方式的偏振光照射裝置還具備用于將基板S搭載于臺21、22上、從臺21、22回收基板S的機(jī)構(gòu)。使用圖4來說明這一點(diǎn)。圖4是示出用于臺21、22上的基板S的搭載、回收的機(jī)構(gòu)的立體概要圖。
[0060]為了進(jìn)行偏振光照射而需要將基板S載置于臺21、22上，而且需要從臺21、22回收結(jié)束了偏振光照射的基板S。這些動作也有時通過手動作業(yè)進(jìn)行，但是在量產(chǎn)線上通常由機(jī)器人進(jìn)行。此時，需要使機(jī)器人的手不干擾臺21、22。作為用于實現(xiàn)這一點(diǎn)的結(jié)構(gòu)，實施方式的臺21、22內(nèi)置有升降銷5。
[0061]S卩，如圖4所示，臺21、22上設(shè)置有銷用孔50。銷用孔50是沿上下延伸的孔，到達(dá)臺21、22表面。銷用孔50在相對于臺21、22的中央而言均等的位置處設(shè)置有3?4個左右，在各銷用孔50內(nèi)配置有升降銷5。各升降銷5通過未圖示的升降機(jī)構(gòu)能夠同步地升降。在臺21、22上載置基板S時，使各升降銷5上升至上限位置。在該狀態(tài)下，保持基板S的機(jī)器人使基板S移動到臺21、22的上方，并以該狀態(tài)使其下降將基板S放在各銷上。之后，在使機(jī)器人的手退避之后，使各升降銷5 —體地下降來將基板S載置于臺21、22上。
[0062]在照射偏振光后回收基板S時是與上述相反的動作，使各升降銷5 —體地上升來托起基板S，使機(jī)器人的手進(jìn)入被托起的基板S的下側(cè)來回收基板S。此外，作為將基板S輸送至機(jī)器人的工作范圍的機(jī)構(gòu)，使用如AGV(AutC) Guided Vehicle:自動引導(dǎo)小車)那樣的批量輸送機(jī)構(gòu)、或如氣流輸送機(jī)那樣的單片輸送機(jī)構(gòu)。
[0063]實施方式的裝置通過臺移動機(jī)構(gòu)3使第一和第二臺21、22移動，使第一和第二臺2U22交替地經(jīng)過照射區(qū)域R，由此向各臺21、22上的基板S交替地照射偏振光。此時，設(shè)計成基板S上的各點(diǎn)處的偏振光的累計曝光量不會變得不均勻。下面，參照圖3說明這一點(diǎn)。
[0064]在實施方式的裝置中，基板S向第一臺21的搭載和從第一臺21的基板S的回收在相同的位置處進(jìn)行。下面，將該位置稱為第一基板搭載回收位置。另外，基板S向第二臺22的搭載和從第二臺22的基板S的回收也在相同的位置處進(jìn)行。下面，將該位置稱為第二基板搭載回收位置。第一基板搭載回收位置被設(shè)定在照射區(qū)域R的一側(cè)(例如圖3所示那樣為左側(cè))，第二基板搭載回收位置被設(shè)定在照射區(qū)域R的另一側(cè)(例如圖3所示那樣為右側(cè))。
[0065]臺移動機(jī)構(gòu)3使在第一基板搭載回收位置處搭載了基板S的第一臺21移動到照射區(qū)域R并使其經(jīng)過照射區(qū)域R，之后拉回。然后，在第一基板搭載回收位置處從第一臺21回收基板S。另外，臺移動機(jī)構(gòu)3使在第二基板搭載回收位置處搭載了基板S的第二臺22移動到照射區(qū)域R并使其經(jīng)過照射區(qū)域，之后拉回。然后，在第二基板搭載回收位置處從第二臺22回收基板S。此外,為了便于說明,將第一臺21前進(jìn)后轉(zhuǎn)變?yōu)楹笸藭r的位置稱為第一前進(jìn)到達(dá)位置，將第二臺22前進(jìn)后轉(zhuǎn)變?yōu)楹笸藭r的位置稱為第二前進(jìn)到達(dá)位置。另外，在圖2和圖3中，以符號21’表示位于第一前進(jìn)到達(dá)位置的第一臺，以符號22’表示位于第二前進(jìn)到達(dá)位置的第二臺。
[0066]在這種實施方式的裝置中，各基板搭載回收位置是根據(jù)各臺21、22的大小、照射區(qū)域R的位置或大小等而被最優(yōu)化。即，在實施方式的裝置中，作為位于第一基板搭載回收位置的第一臺21與照射區(qū)域R之間的空間(以下為第一空間)，至少確保第二臺22上的基板S的長度(臺21、22的移動方向上的長度)以上。即，第一空間成為即使第二臺22’到達(dá)第二前進(jìn)到達(dá)位置時也不干擾第一臺21的程度的空間。優(yōu)選的是，第一空間的長度(圖2中以LI表示)被設(shè)為第二臺22的長度以上。
[0067]另外，作為位于第二基板搭載回收位置的第二臺22與照射區(qū)域R之間的空間(以下為第二空間)，至少確保第一臺21上的基板S的長度以上。即，第二空間成為即使第一臺21’到達(dá)第一前進(jìn)到達(dá)位置時也不干擾第二臺22的程度的空間。優(yōu)選的是，第二空間的長度(圖2中以L2表示)被設(shè)為第一臺21的長度以上。
[0068]在本實施方式中，第一臺21和第二臺22是相同的尺寸W，因而L1=L2>W。示出更具體的一例，當(dāng)例如設(shè)基板S為1500X 1800mm左右的尺寸時，各臺21、22的長度W被設(shè)為1550X 1850mm左右，L1=L2被設(shè)為2600mm左右。以確保這種空間的方式選定臺移動機(jī)構(gòu)3中的滾珠絲杠331、332等的長度，設(shè)定各臺21、22的移動行程。
[0069]另外，實施方式的裝置具備基板校準(zhǔn)器6，該基板校準(zhǔn)器6調(diào)節(jié)基板S的位置、朝向使得正確地進(jìn)行用于光取向的偏振光照射。使用圖5說明基板校準(zhǔn)器6。圖5是示出實施方式的裝置所具備的基板校準(zhǔn)器6的概要的立體圖。在圖5中，作為一例示出了設(shè)置于第一臺21的基板校準(zhǔn)器6，但是關(guān)于第二臺22也同樣。
[0070]如圖5所示，第一臺21由固定底座20A以及固定底座20A上的可動底座20B等構(gòu)成。前述的被驅(qū)動塊212、導(dǎo)向塊211為被固定于固定底座20A的下表面的構(gòu)件。
[0071]可動底座20B被設(shè)置成在固定底座20A上能夠沿ΧΥΘ的方向移動。S卩，在固定底座20A上設(shè)置有XY Θ移動機(jī)構(gòu)62，XY Θ移動機(jī)構(gòu)62使可動底座20B沿XY Θ方向移動來對可動底座20B的位置、姿勢進(jìn)行微調(diào)節(jié)。此外，此時的XY方向是水平面內(nèi)的正交方向，例如X方向被設(shè)為長度方向(移動方向)，Y方向被設(shè)為寬度方向。Θ是繞與XY方向垂直的軸的圓周方向，在該例子中是繞鉛垂軸的圓周方向。關(guān)于這種XY Θ移動機(jī)構(gòu)62，從各公司出售各種類型的商品，能夠選擇適當(dāng)?shù)纳唐穪戆惭b，因此省略詳細(xì)的說明和圖示。
[0072]此外，關(guān)于XY Θ移動機(jī)構(gòu)62，XY方向中的某一個方向也可以與臺移動機(jī)構(gòu)3的移動兼用，設(shè)為X Θ移動機(jī)構(gòu)或Y Θ移動機(jī)構(gòu)。
[0073]另一方面，對載置于臺21、22的基板S做出校準(zhǔn)標(biāo)記SI?；逍?zhǔn)器6主要由拍攝校準(zhǔn)標(biāo)記SI的校準(zhǔn)傳感器61、上述XY Θ移動機(jī)構(gòu)62、以及按照來自校準(zhǔn)傳感器61的輸出來控制XY Θ移動機(jī)構(gòu)62的校準(zhǔn)用控制部63構(gòu)成。
[0074]校準(zhǔn)標(biāo)記SI通常在基板S上的規(guī)定位置設(shè)置有兩處。以按照校準(zhǔn)標(biāo)記SI的位置和要校準(zhǔn)的基準(zhǔn)位置、基準(zhǔn)方向在規(guī)定的位置處拍攝校準(zhǔn)標(biāo)記Si的方式設(shè)置有兩個校準(zhǔn)傳感器61。
[0075]示出一例，如圖5所示，校準(zhǔn)標(biāo)記SI設(shè)置于方形的基板S的沿著寬度方向的兩個角部。校準(zhǔn)傳感器61配置于對第一臺21進(jìn)行基板S的搭載動作的位置(以下為搭載位置)的上方。兩個校準(zhǔn)傳感器61的位置與基板S上的校準(zhǔn)標(biāo)記SI的分離距離一致，將兩個校準(zhǔn)傳感器61連接的線與臺移動機(jī)構(gòu)3的寬度方向一致。
[0076]當(dāng)如上所述那樣在第一臺21上搭載了基板S時，處于各校準(zhǔn)傳感器61拍攝各校準(zhǔn)標(biāo)記SI的狀態(tài)。在各校準(zhǔn)傳感器61的攝像區(qū)域內(nèi)設(shè)定有基準(zhǔn)位置，該基準(zhǔn)位置是校準(zhǔn)標(biāo)記SI的中心應(yīng)存在的位置。
[0077]校準(zhǔn)用控制部63對來自各校準(zhǔn)傳感器61的輸出數(shù)據(jù)(影像數(shù)據(jù))進(jìn)行處理，控制ΧΥΘ移動機(jī)構(gòu)62來進(jìn)行校準(zhǔn)。具體地說，基于2個校準(zhǔn)傳感器61所檢測出的各個校準(zhǔn)標(biāo)記SI的位置信息、以及預(yù)先輸入到校準(zhǔn)用控制部63的2個校準(zhǔn)標(biāo)記SI的距離信息，校準(zhǔn)用控制部63以使校準(zhǔn)傳感器61所拍攝的校準(zhǔn)標(biāo)記SI的重心位于基準(zhǔn)位置的方式運(yùn)算臺22在XY Θ方向上的移動距離的數(shù)據(jù)，控制XY Θ移動機(jī)構(gòu)62來使可動底座20B沿XY Θ方向移動。由此，校準(zhǔn)完成。
[0078]當(dāng)校準(zhǔn)完成時，處于將兩個校準(zhǔn)標(biāo)記SI連接的線(所搭載的基板S的寬度方向)高精度地位于臺移動機(jī)構(gòu)3的寬度方向的狀態(tài)。寬度方向上的基板S的位置也成為規(guī)定位置。規(guī)定位置例如是兩個導(dǎo)向構(gòu)件31的正中間的位置。
[0079]在可動底座20B上載置有基板S的期間，XY Θ移動機(jī)構(gòu)62使可動底座20B的位置和姿勢固定。因而，基板S的寬度方向高精度地與臺移動機(jī)構(gòu)3的寬度方向一致，基板S以位于寬度方向上的規(guī)定位置的狀態(tài)向移動方向直線移動而被輸送。
[0080]此外，需要將基板S粗略地定位配置于由校準(zhǔn)傳感器61拍攝校準(zhǔn)標(biāo)記SI的可動底座20B上的位置，在由機(jī)器人進(jìn)行基板S的搭載的情況下足以通過對機(jī)器人的示教來進(jìn)行該配置。在進(jìn)行手動操作的情況下，還有時在可動底座20B上設(shè)置如接受板那樣的構(gòu)件，通過對準(zhǔn)此處來配置基板S，從而進(jìn)行粗略的定位。
[0081]另外，實施方式的裝置具備用于確認(rèn)兩個臺21、22的位置、狀態(tài)的若干傳感器。使用圖2說明這一點(diǎn)。
[0082]首先，在各臺21、22內(nèi)設(shè)置有檢測基板S的載置的傳感器(以下為基板傳感器)71。另外，在臺移動機(jī)構(gòu)3中配置有:檢測第一臺21是否位于第一基板搭載回收位置的傳感器(以下為第一加載位置傳感器)72 ;檢測第一臺21是否位于前進(jìn)到達(dá)位置的傳感器(以下為第一到達(dá)位置傳感器)73 ;檢測第二臺22是否位于第二基板搭載回收位置的傳感器(以下為第二加載位置傳感器)74 ;以及檢測第二臺22是否位于前進(jìn)到達(dá)位置的傳感器(以下為第二到達(dá)位置傳感器)75。這些傳感器71?75的輸出被送至控制單元4。各傳感器71?75能夠從如接近傳感器、限位開關(guān)那樣的機(jī)械式傳感器、或光電傳感器等適當(dāng)選擇來使用。
[0083]接著，參照圖6說明安裝在控制單元4中的時序程序。圖6是用于說明安裝在控制單元4中的時序程序的圖，還成為概要性地示出裝置的動作的圖。以下的說明也是光取向用偏振光照射方法的實施方式的說明。
[0084]在裝置的工作開始的初始狀態(tài)下，如圖6 (I)所示，第一臺21位于第一基板搭載回收位置，第二臺22位于第二基板搭載回收位置。在該狀態(tài)下，圖6中未圖示的機(jī)器人將基板S首先載置于第一臺21。當(dāng)?shù)谝慌_21內(nèi)的基板傳感器71檢測到基板S的載置且該信號被送至控制單元4時，時序程序使第一臺21上的基板S用的基板校準(zhǔn)器6動作。其結(jié)果，可動底座20B沿XY Θ方向移動而基板S的位置和姿勢成為規(guī)定的位置和姿勢。
[0085]接著，時序程序向臺移動機(jī)構(gòu)3送出控制信號，使第一驅(qū)動源321驅(qū)動使得第一臺21前進(jìn)規(guī)定的行程。規(guī)定的行程是如圖6(2)所示那樣第一臺21經(jīng)過照射區(qū)域R而到達(dá)第一前進(jìn)到達(dá)位置的行程。第一前進(jìn)到達(dá)位置是第一臺21的后端與照射區(qū)域R的端一致的位置或稍微超過該位置的位置。
[0086]當(dāng)通過第一到達(dá)位置傳感器73確認(rèn)出第一臺21到達(dá)第一前進(jìn)到達(dá)位置時，時序程序向第一驅(qū)動源321送出控制信號以使第一臺21反轉(zhuǎn)而后退相同的行程。由此，如圖6(3)所示，第一臺21返回到第一基板搭載回收位置。在此期間，在第二基板搭載回收位置處進(jìn)行基板S向第二臺22的搭載動作。即，機(jī)器人根據(jù)來自時序程序的控制信號隔著規(guī)定的時滯而將基板S載置于第二臺22。在第二臺2中，同樣地在基板傳感器71確認(rèn)出基板S的載置之后，時序程序使第二臺22上的基板S用的基板校準(zhǔn)器6動作來進(jìn)行校準(zhǔn)。在如圖6(3)所示那樣第一臺21返回到第一基板搭載回收位置時，第二臺22中的校準(zhǔn)已結(jié)束。
[0087]在該狀態(tài)下，時序程序向第二驅(qū)動源322送出控制信號，使第二驅(qū)動源322驅(qū)動使得第二臺22前進(jìn)規(guī)定的行程。規(guī)定的行程是如圖6(4)所示那樣第二臺22經(jīng)過照射區(qū)域R而到達(dá)第二前進(jìn)到達(dá)位置的行程。第二前進(jìn)到達(dá)位置是第二臺22的后端與照射區(qū)域R的端一致的位置或稍微超過該位置的位置。
[0088]當(dāng)通過第二到達(dá)位置傳感器75確認(rèn)出第二臺22到達(dá)第二前進(jìn)到達(dá)位置時，時序程序向第二驅(qū)動源322送出控制信號以使第二臺22反轉(zhuǎn)而后退相同的行程。由此，如圖6(5)所示，第二臺22返回到第二基板搭載回收位置。在此期間，在第一基板搭載回收位置處，在第一加載位置傳感器72確認(rèn)出第一臺21位于第一基板搭載位置之后，進(jìn)行從第一臺
21的基板S的回收和下一個基板S向第一臺21的搭載。S卩，機(jī)器人從第一臺21除去基板S，將下一個基板S搭載于第一臺21。
[0089]然后，在如圖6(5)所示那樣第二臺22返回到第二基板搭載位置時，處于下一個基板S向第一臺21的搭載動作已結(jié)束、且針對該基板S的校準(zhǔn)已結(jié)束的狀態(tài)。時序程序在圖6(5)所示的狀態(tài)下再次向第一驅(qū)動源321送出控制信號，使第一驅(qū)動源321驅(qū)動以使第一臺21前進(jìn)到第一前進(jìn)到達(dá)位置并再返回到第一基板搭載回收位置。在此期間，在第二基板搭載位置處，在第二加載位置傳感器74確認(rèn)出第二臺22返回到第二基板搭載回收位置之后，進(jìn)行從第二臺22的基板S的回收以及下一個基板S向第二臺22的搭載、第二臺22的校準(zhǔn)。以后的動作同樣，時序程序被編程為裝置反復(fù)進(jìn)行這種動作來在兩個臺21、22上交替地進(jìn)行光取向。此外，基板S通過如AGV、輸送機(jī)那樣的輸送機(jī)構(gòu)被輸送至機(jī)器人，在進(jìn)行光取向之后通過輸送機(jī)構(gòu)被輸送至用于進(jìn)行接下來的加工的裝置的位置。
[0090]根據(jù)如上所述的結(jié)構(gòu)和動作所涉及的實施方式的光取向用偏振光照射裝置或方法，通過使兩個臺21、22交替地經(jīng)過被照射偏振光的一個照射區(qū)域R來對各臺21、22上的基板S照射偏振光，因此能夠在正在向一方的臺21、22上的基板S照射偏振光時在另一方臺21、22中進(jìn)行基板S的回收動作和下一個基板S的搭載動作。因此，能夠大幅減少節(jié)拍時間(Tact time),實現(xiàn)生產(chǎn)率更高的光取向加工。[0091]此時，在第一基板搭載回收位置與照射區(qū)域R之間確保第二臺22上的基板S的長度以上的空間LI，而且在第二基板搭載回收位置與照射區(qū)域R之間確保第一臺21上的基板S的長度以上的空間L2，因此臺21、22彼此不干擾地各基板S能夠經(jīng)過照射區(qū)域R。
[0092]假如各基板搭載回收位置與照射區(qū)域R之間的空間小于各基板S的長度，則無法使臺21、22彼此不干擾地使基板S經(jīng)過照射區(qū)域R。在該情況下，基板S上的長度方向(移動方向)后側(cè)的區(qū)域的偏振光的曝光量相比其它區(qū)域減少，光取向處理變得不均勻。
[0093]若針對節(jié)拍時間進(jìn)行稍微嚴(yán)格的討論，則在將從一方的臺21、22的基板S的回收所需的時間設(shè)為Tu，將基板S向一方的臺21、22的搭載所需的時間設(shè)為IV2，將所搭載的基板S的校準(zhǔn)所需的時間設(shè)為Tu，將從另一方的臺21、22的基板搭載回收位置到前進(jìn)到達(dá)位置的移動所需的時間設(shè)為Tei，將從另一方的前進(jìn)到達(dá)位置返回到基板搭載回收位置的時間設(shè)為 Te2 的情況下，TL1+TL2+TL3 ( Tei+ΤΕ2 ο
[0094]但是，也可以接著一方的臺21、22的回路移動(從前進(jìn)到達(dá)位置返回到基板搭載回收位置的移動)之后進(jìn)行另一方的臺21、22的去路移動(從基板搭載位置到前進(jìn)到達(dá)位置的移動)，在該情況下，TL1+TL2+TL3 ( Tei。通過這樣，能夠進(jìn)一步縮短節(jié)拍時間。
[0095]上述的例子中，進(jìn)行針對一方的臺21、22的基板S的回收和搭載的時間段的全部與進(jìn)行另一方的臺21、22的移動的時間段重疊，但是也可以一部分重疊。在該情況下，由于即使在一方的臺21、22中完成了基板S的搭載、但另一方的臺21、22的移動也未完成，因此有時會產(chǎn)生待機(jī)的時間。如果存在待機(jī)時間則與此相應(yīng)地節(jié)拍時間變長，而盡管如此，與只有一個臺的情況相比也能夠縮短節(jié)拍時間，生產(chǎn)率提高。
[0096]此外，在上述實施方式中，各臺21、22在到達(dá)各前進(jìn)到達(dá)位置時和從各前進(jìn)位置返回到基板搭載回收位置時被照射偏振光，兩方的曝光量成為累計曝光量。但是，這不是必要特征，例如也可以在返回時通過遮板來遮擋光或熄滅光源11來設(shè)為不被照射偏振光的狀態(tài)。盡管那樣，但如果通過遮板來遮擋則會白白點(diǎn)亮光源11，如果使光源11時而點(diǎn)亮、時而熄燈則直到點(diǎn)亮狀態(tài)變得穩(wěn)定為止的不穩(wěn)定的時間段變長。另外，如果設(shè)為只有去路和回路中的一方偏振光照射，則存在為了確保所需的累計曝光量而不得不使臺21、22的移動速度變慢的問題。如果在去路和回路上照射偏振光，則沒有這種問題，能夠提高移動速度來進(jìn)一步提聞生廣率。
[0097]另外，在實施方式的裝置中，在進(jìn)行搭載于各臺21、22的基板S的校準(zhǔn)之后進(jìn)行照射區(qū)域R的經(jīng)過動作，因此被照射的偏振光的偏振軸的朝向高精度地與期望的朝向一致。因此，光取向處理質(zhì)量變得更高。
[0098]照射到照射區(qū)域R的偏振光的偏振軸的朝向是根據(jù)偏振元件14的姿勢規(guī)定的。在前述的線柵偏振元件的情況下，會照射大量的在與線柵(條紋狀的光柵)所延伸的方向垂直的方向上具有電場成分的偏振光，膜材向該方向取向。在實施方式的裝置中，例如以偏振軸朝向圖1所示的臺移動機(jī)構(gòu)3的寬度方向(照射單元I內(nèi)的光源11的長度方向)的方式配置偏振元件14。在該情況下，如果臺21、22上的基板S的寬度方向也與臺移動機(jī)構(gòu)3的寬度方向高精度地一致，則基板S上的膜材也向?qū)挾确较蚋呔鹊剡M(jìn)行光取向。各基板校準(zhǔn)器6具有這樣使光取向的方向高精度地與期望的方向一致的意義。
[0099]此外，光取向的方向精度主要是Θ方向的校準(zhǔn)，而寬度方向的校準(zhǔn)具有避免基板S其一部分超出照射區(qū)域R而被輸送的意義。照射區(qū)域R被設(shè)定為在該區(qū)域內(nèi)偏振光的照度充分均勻的區(qū)域，因此，如果超出該區(qū)域，則在超出的部分處偏振光的照度降低而曝光量不足。因而，在該部分，光取向變得不充分。在本實施方式中，還進(jìn)行寬度方向的校準(zhǔn)，因此沒有這種問題。
[0100]另外，在實施方式的裝置中，一對導(dǎo)向構(gòu)件31兼用于第一和第二臺21、22的移動，因此臺移動機(jī)構(gòu)3的結(jié)構(gòu)簡單，而且裝置的成本也能夠廉價。但是，也可以設(shè)為針對各第一和第二臺21、22分別通過不同的導(dǎo)向構(gòu)件進(jìn)行導(dǎo)向的結(jié)構(gòu)。
[0101]另外，臺移動機(jī)構(gòu)3也可以不使用滾珠絲杠，而使用懸浮而通過磁力進(jìn)行移動的線性馬達(dá)臺。此外，在使用線性馬達(dá)臺的情況下還能夠不需要導(dǎo)向機(jī)構(gòu)。
[0102]在上述實施方式中，需要將針對第一臺21的基板S的搭載位置和回收位置設(shè)定于照射區(qū)域R的一側(cè)，將針對第二臺22的基板S的搭載位置和回收位置設(shè)定于照射區(qū)域R的另一側(cè)，但是不需要在一側(cè)中搭載位置與回收位置為相同的位置。關(guān)于另一側(cè)也同樣。例如在一側(cè)，也可以在從基板搭載位置來看接近照射區(qū)域R的位置處設(shè)定基板回收位置。在該情況下，在進(jìn)行了光取向的基板S在基板回收位置處從臺21、22被除去之后，該臺21、22進(jìn)一步后退而到達(dá)基板搭載位置，在此處搭載下一個基板S。在該情況下還存在以下情況:關(guān)于基板回收位置，即使不確保前述的空間L1、L2也沒有問題。
[0103]另外，需要使兩個臺21、22交替地經(jīng)過一個照射區(qū)域R，但是照射單元I不需要如上所述那樣為2個，也可以是只有I個的照射單元I向I個照射區(qū)域R照射偏振光的結(jié)構(gòu)，還可以是3個以上的照射單元I向一個照射區(qū)域R照射偏振光的結(jié)構(gòu)。
[0104]此外，在本發(fā)明中，“臺”的用語需要解釋為比通常廣的范圍。即，存在如下情況:在具有如真空吸附那樣的吸附孔的多個銷上搭載基板S來將基板吸附于這些多個銷上，通過使多個銷一體地移動來使基板S經(jīng)過照射區(qū)域。因而，“臺”只要是保持基板并能夠使基板移動的構(gòu)件即可，未必限于臺狀的構(gòu)件。
[0105]關(guān)于機(jī)器人，既存在一個機(jī)器人在第一和第二臺21、22之間進(jìn)行基板S的搭載和回收的情況，也存在對第一和第二臺21、22分別設(shè)置機(jī)器人來分別進(jìn)行基板S的搭載和回收的情況。
[0106]另外，作為基板S假設(shè)了粘貼有膜材的液晶基板，但是既存在以液晶顯示器以外的顯示裝置用的基板為對象物來進(jìn)行光取向用偏振光照射的情況，也存在以視場角校正的目的來照射偏振光的情況。
【權(quán)利要求】
1.一種光取向用偏振光照射裝置，其特征在于，具備: 照射單元，向所設(shè)定的照射區(qū)域照射偏振光； 臺，載置基板；以及 臺移動機(jī)構(gòu)，通過使臺向照射區(qū)域移動，使得向臺上的基板照射偏振光， 作為臺，設(shè)置有第一臺和第二臺這兩個臺， 臺移動機(jī)構(gòu)使第一臺從設(shè)定于照射區(qū)域的一側(cè)的第一基板搭載位置向照射區(qū)域移動，并且使第二臺從設(shè)定于照射區(qū)域的另一側(cè)的第二基板搭載位置向照射區(qū)域移動， 臺移動機(jī)構(gòu)在第一臺上的基板經(jīng)過照射區(qū)域之后使第一臺返回到第一側(cè)，并且在第二臺上的基板經(jīng)過照射區(qū)域之后使第二臺返回到第二側(cè)， 在位于第一基板搭載位置的第一臺與照射區(qū)域之間確保第二臺上的基板經(jīng)過照射區(qū)域的量以上的空間，在位于第二基板搭載位置的第二臺與照射區(qū)域之間確保第一臺上的基板經(jīng)過照射區(qū)域的量以上的空間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于， 所述照射單元在所述第一臺和第二臺的各臺進(jìn)行去路移動時和進(jìn)行回路移動時這雙方向各臺上的基板照射偏振光。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于， 在所述第一臺和第二臺的各臺上設(shè)置有基板校準(zhǔn)器，該基板校準(zhǔn)器使所搭載的基板的朝向相對于被照射的偏振光的偏振軸成為規(guī)定的朝向。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于， 所述臺移動機(jī)構(gòu)沿著所述第一臺和第二臺的移動方向具備導(dǎo)向構(gòu)件，該導(dǎo)向構(gòu)件兼用于所述第一臺的移動的導(dǎo)向和所述第二臺的移動的導(dǎo)向。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于， 所述第一臺和第二臺的各臺是具有吸附孔的多個銷。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于， 所述第一臺和第二臺的各臺具備XY θ移動機(jī)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于， 所述基板校準(zhǔn)器具備校準(zhǔn)傳感器、XY Θ移動機(jī)構(gòu)及校準(zhǔn)用控制部。
8.一種光取向用偏振光照射方法，使用權(quán)利要求1至6中的任一項所述的光取向用偏振光照射裝置向基板照射光取向用的偏振光，該光取向用偏振光照射方法的特征在于，具有: 第一基板搭載步驟，在所述第一基板搭載位置處，在所述第一臺上搭載基板； 第二基板搭載步驟，在所述第二基板搭載位置處，在所述第二臺上搭載基板； 第一移動步驟，使搭載了基板的所述第一臺從所述第一基板搭載位置移動，在基板經(jīng)過所述照射區(qū)域之后，使所述第一臺返回到設(shè)定于所述一側(cè)的第一基板回收位置； 第二移動步驟，使搭載了基板的所述第二臺從所述第二基板搭載位置移動，在基板經(jīng)過所述照射區(qū)域之后，使所述第二臺返回到設(shè)定于所述另一側(cè)的第二基板回收位置；第一基板回收步驟，在第一基板回收位置處從所述第一臺回收基板；以及第二基板回收步驟，在第二基板回收位置處從所述第二臺回收基板， 進(jìn)行第一基板回收步驟和第一基板搭載步驟的時間段與進(jìn)行第二移動步驟的時間段全部或一部分重疊， 進(jìn)行第二基板回收步驟和第二基板搭載步驟的時間段與進(jìn)行第一移動步驟的時間段全部或一部分重疊。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光取向用偏振光照射方法，其特征在于， 在第一基板搭載步驟與第一移動步驟之間，具有向XY Θ方向移動第一臺來進(jìn)行基板的對位的第一對位步驟， 在第二基板搭載步驟與第二移動步驟之間，具有向XY θ方向移動第二臺來進(jìn)行基板的對位的第二對位步驟， 進(jìn)行第一對位步驟的時間段與進(jìn)行第二移動步驟的時間段全部或一部分重疊， 進(jìn)行第二對位步驟的時間段與進(jìn)行第一移動步驟的時間段全部或一部分重疊。
10.一種光取向用偏振光照射方法，使用權(quán)利要求7所述的光取向用偏振光照射裝置向基板照射光取向用的偏振光，該光取向用偏振光照射方法的特征在于，具有: 第一基板搭載步驟，在所述第一基板搭載位置處，在所述第一臺上搭載基板； 第二基板搭載步驟，在所述第二基板搭載位置處，在所述第二臺上搭載基板； 第一移動步驟，使搭載了基板的所述第一臺從所述第一基板搭載位置移動，在基板經(jīng)過所述照射區(qū)域之后，使所述第一臺返回到設(shè)定于所述一側(cè)的第一基板回收位置； 第二移動步驟，使搭載了基板的所述第二臺從所述第二基板搭載位置移動，在基板經(jīng)過所述照射區(qū)域之后，使所述第二臺返回到設(shè)定于所述另一側(cè)的第二基板回收位置；第一基板回收步驟，在第一`基板回收位置處從所述第一臺回收基板；以及第二基板回收步驟，在第二基板回收位置處從所述第二臺回收基板， 進(jìn)行第一基板回收步驟和第一基板搭載步驟的時間段與進(jìn)行第二移動步驟的時間段全部或一部分重疊， 進(jìn)行第二基板回收步驟和第二基板搭載步驟的時間段與進(jìn)行第一移動步驟的時間段全部或一部分重疊。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光取向用偏振光照射方法，其特征在于， 在第一基板搭載步驟與第一移動步驟之間，具有向XY θ方向移動第一臺來進(jìn)行基板的對位的第一對位步驟， 在第二基板搭載步驟與第二移動步驟之間，具有向XY θ方向移動第二臺來進(jìn)行基板的對位的第二對位步驟， 進(jìn)行第一對位步驟的時間段與進(jìn)行第二移動步驟的時間段全部或一部分重疊， 進(jìn)行第二對位步驟的時間段與進(jìn)行第一移動步驟的時間段全部或一部分重疊。
【文檔編號】G02F1/1337GK103728784SQ201410032760
【公開日】2014年4月16日 申請日期:2014年1月23日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月8日
【發(fā)明者】佐藤伸吾 申請人:優(yōu)志旺電機(jī)株式會社