一種光罩支架調平機構的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種光罩支架調平機構，包括四邊形基座和光罩支架，四邊形基座的四角上設有通孔，每個通孔上方設有支撐框，支撐框由上蓋和支撐上蓋的側壁組成，支撐框的上蓋底部呈凸球面形，所述光罩支架四角均向上安裝有連桿，每個連桿穿過四邊形基座上相應的通孔而將端部伸入支撐框內(nèi)，每個連桿端部呈凹球面形并與所述上蓋底部的凸球面形相貼合，在上蓋上設有螺釘通孔，在連桿端部均設有螺孔，自上蓋經(jīng)螺釘通孔向連桿端部的螺孔內(nèi)穿有螺釘，所述螺釘通孔的直徑大于所述螺釘?shù)闹睆健Ｔ摍C構能夠對光罩支架進行懸浮調平，調平時光罩支架不滑動，調平后容易固定，整個操作過程輕松快捷。
【專利說明】一種光罩支架調平機構
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及涉及曝光機制備領域，具體而言涉及一種光罩支架調平機構。
【背景技術】
[0002]曝光機是指通過開啟燈光發(fā)出紫外線，將膠片或其他透明體上的圖像信息轉移到涂有感光物質的表面上的設備，現(xiàn)已廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米科技領。曝光機內(nèi)部的光罩支架用于放置光罩，光罩對紫外光進行選擇透過，以使光罩下面的感光物質底片印刷出各種圖形，然后再雕刻出相應的電路。實際工作中，光罩必須放置水平與紫外線相互垂直，如果角度發(fā)生偏斜，則不能按光罩上的圖形準確在感光物質底片上進行印刷，從而最終導致線路殘缺。目前主要手工調節(jié)光罩支架使光罩水平，調節(jié)過程中光罩支架的位置不易控制，容易發(fā)生滑動，調平以后固定困難，使得整個工作過程繁瑣，操作費力。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種光罩支架調平機構，該機構能夠對光罩支架進行懸浮調平，調平時光罩支架不滑動，調平后容易固定，整個操作過程輕松快捷。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采取以下技術方案:
一種光罩支架調平機構，包括四邊形基座和光罩支架，其特征在于，四邊形基座的四角上設有通孔，每個通孔上方設有支撐框，支撐框由上蓋和支撐上蓋的側壁組成，支撐框的上蓋底部呈凸球面形，所述光罩支架四角均向上安裝有連桿，每個連桿穿過四邊形基座上相應的通孔而將端部伸入支撐框內(nèi)，每個連桿端部呈凹球面形并與所述上蓋底部的凸球面形相貼合，在上蓋上設有螺釘通孔，在連桿端部均設有螺孔，自上蓋經(jīng)螺釘通孔向連桿端部的螺孔內(nèi)穿有螺釘，所述螺釘通孔的直徑大于所述螺釘?shù)闹睆健?br> [0005]所述上蓋的螺釘通孔為四個，平均分布在上蓋底部的凸球面形的中心法線周圍，所述連桿端部的螺孔為四個，平均分布在連桿端部的凹球面形的中心法線周圍，所述螺釘通孔及螺孔內(nèi)均穿有螺釘。
[0006]所述螺釘與所述上蓋的上表面之間安裝有墊塊，所述墊塊與上蓋的上表面接觸處為凸球面形，所述上蓋的上表面與所述墊塊接觸處為凹球面形。
[0007]上述技術方案中，光罩支架通過連桿與支撐框相連，被懸掛在四邊形基座下方，連桿端部和支撐框的上蓋底部分別為凹凸球面形，并且二者緊密貼合后通過螺釘相固定，這有利于調平光罩支架時連桿端部在上蓋底部向任何方向移動后仍然能夠與上蓋底部進行緊密接觸，不會在調平緊固后進行不期望的滑動；在螺釘與上蓋上表面之間的墊塊為凸球面，上表面與墊塊接觸處為凹球面，也能夠使二者緊密結合，可以使螺釘順應連桿移動后其上螺孔的方向，對連桿和上蓋底座進行緊密連接。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1為本發(fā)明向下斜視時的整體結構示意圖； 圖2為本發(fā)明向上斜視時的整體結構示意圖；
圖3為支撐框局部俯視圖；
圖4為圖3沿A-A方向的剖視圖。
【具體實施方式】
[0009]下面結合附圖，對本發(fā)明做進一步說明:
如圖1、圖2、圖3和圖4所示，四邊形基座I固定在曝光機上，在四邊形基座I的四個角上均開設有通孔12，每個通孔12的上面均安裝有支撐框4，支撐框4由上蓋9和支撐上蓋9的側壁10和側壁11組成，在上蓋9的底部向下凸起呈凸球面形7。光罩支架2位于四邊形基座I的下方，在光罩支架2的四個角上均向上安裝有連桿5，連桿5從四邊形基座I的相應的通孔12穿出并伸入支撐框4內(nèi)，連桿5端部呈凹球面形8。凹球面形8與相應的凸球面形7相貼合。在上蓋9上設有螺釘通孔13，螺栓通孔的直徑大于螺釘3的直徑，連桿5端部設有螺孔14，螺釘3自上蓋9向下經(jīng)過螺栓通孔13穿入至連桿5端部的螺孔14內(nèi)，將連桿5與上蓋9固定在一起。為了增加緊固性，螺栓3與上蓋9的上表面上墊有墊塊6，墊塊6與上蓋9接觸處呈凸球面形，上蓋9與墊塊6接觸處呈凹球面形，這有利于二者貼合，即使墊塊6改變垂直向下的方向發(fā)生傾斜，也能夠保證總是有點位與上蓋9進行接觸從而發(fā)生強有力的摩擦，這樣就可以使螺釘3在改變方向后(如發(fā)生傾斜，而不是垂直向下)仍然能夠被有效墊起而不發(fā)生松脫。螺釘通孔13和螺孔14 一般為4個，螺釘通孔13平均分布在凸球面形7的中心法線四周，螺孔14平均分布在凹球面形8的中心法線四周。
[0010]利用本機構對光罩支架2進行調平時，先適當松動各支撐框4上的螺釘3，然后開始手動調平光罩支架2，光罩支架2在調平過程中，每個連桿5相對上蓋9底部的位置均有可能在手動下發(fā)生滑動，當調平到合適位置時，各個連桿5相對于各自的支撐框4的上蓋9的底部可能有了新的位置，但是因為是凹凸球面的設計，不管是什么位置，在兩個球面之間都會有微觀受力點進行摩擦接觸，即會停留在新的位置而不會隨意滑動，因為螺釘通孔13的直徑大于螺釘3的直徑，使螺釘3有自由活動的余量，因此螺釘3可以隨著連桿5的螺孔14發(fā)生移動而傾斜，到達調平位置后可以緊固各個螺釘3使連桿5和上蓋9之間更加緊固，減少滑脫失平的可能。在螺釘3發(fā)生傾斜后，墊塊6和上蓋9的上表面之間因為也是凹凸球面的設計，可以使墊塊6在發(fā)生移動后仍然保持與上蓋9的上表面之間有較大摩擦力,最終使螺釘3在發(fā)生傾斜后仍然能夠被有效墊起，從而保持較大的吃力程度，防止變松滑脫。
[0011]本機構的優(yōu)點在于適當松動螺釘3進行調平時也能保持較大摩擦而不會使光罩支架2隨意移動，只有在手工作用下發(fā)生移動進行期望的調平；在調平后還能夠根據(jù)新位置變換螺釘3的取向，從而始終能夠使連桿5與上蓋9之間進行有效緊固。調平前后影響工作便捷兩個上述關鍵因素得到有效解決后，整個調平工作就變得輕松快捷。
[0012]本實施例只是對本發(fā)明構思和實現(xiàn)的一個說明，并非對其進行限制，在本發(fā)明構思下，未經(jīng)實質變換的技術方案仍然在保護范圍內(nèi)。
【權利要求】
1.一種光罩支架調平機構，包括四邊形基座和光罩支架，其特征在于，四邊形基座的四角上設有通孔，每個通孔上方設有支撐框，支撐框由上蓋和支撐上蓋的側壁組成，支撐框的上蓋底部呈凸球面形，所述光罩支架四角均向上安裝有連桿，每個連桿穿過四邊形基座上相應的通孔而將端部伸入支撐框內(nèi)，每個連桿端部呈凹球面形并與所述上蓋底部的凸球面形相貼合，在上蓋上設有螺釘通孔，在連桿端部均設有螺孔，自上蓋經(jīng)螺釘通孔向連桿端部的螺孔內(nèi)穿有螺釘，所述螺釘通孔的直徑大于所述螺釘?shù)闹睆健?br> 2.如權利要求1所述的光罩支架調平機構，其特征在于，所述上蓋的螺釘通孔為四個，平均分布在上蓋底部的凸球面形的中心法線周圍，所述連桿端部的螺孔為四個，平均分布在連桿端部的凹球面形的中心法線周圍，所述螺釘通孔及螺孔內(nèi)均穿有螺釘。
3.如權利要求1或2所述的光罩支架調平機構，其特征在于，所述螺釘與所述上蓋的上表面之間安裝有墊塊，所述墊塊與上蓋的上表面接觸處為凸球面形，所述上蓋的上表面與所述墊塊接觸處為凹球面形。
【文檔編號】G03F9/00GK103792796SQ201410034588
【公開日】2014年5月14日 申請日期:2014年1月25日 優(yōu)先權日:2014年1月25日
【發(fā)明者】張惠光 申請人:保定來福光電科技有限公司