用于光刻的涂料組合物的制作方法
【專利摘要】在第一方面中，所提供的方法包括：（a）將可固化組合物涂布到基底上；(b)將硬掩模組合物涂布在該可固化組合物之上；（c）將光致抗蝕劑組合物層涂布在該硬掩模組合物之上，其中所述組合物的一種或多種可用無灰化方法除去。在第二方面中，所提供的方法包括：（a）將有機組合物涂布到基底上；(b)將光致抗蝕劑組合物層涂布在該有機組合物之上；其中該有機組合物包含一種當熱處理和/或輻射處理時能產(chǎn)生堿溶基團的材料。本發(fā)明也提供了一種相關(guān)組合物。
【專利說明】用于光刻的涂料組合物
[0001]本申請是 申請人:于2007年4月11日提交的申請?zhí)枮?00710105399.X、發(fā)明名稱為“用于光刻的涂料組合物”的發(fā)明專利申請的分案申請。
[0002]本發(fā)明一般涉及電子器件的制造領(lǐng)域。具體地本申請涉及通過使用改進的方法和組合物來制造包含集成電路裝置的器件。
[0003]隨著電子器件的微型化，電子工業(yè)中有一種持續(xù)的需求，就是增加如集成電路、電路板、多芯片模塊、芯片檢測設(shè)備等電子元件的電路密度而不降低電氣性能，例如串話干擾和電容耦合，也增加這些元件中信號傳播的速度。實現(xiàn)這些目標的方法之一是減小用于元件的中間層、金屬間材料(intermetal)、絕緣材料的介電常數(shù)。
[0004]在電子器件，特別是集成電路的制造領(lǐng)域中，各種有機和無機的多孔介質(zhì)材料是已知的。適合的無機電介質(zhì)材料包括二氧化娃和有機聚娃類(polysilica)。適合的有機電介質(zhì)材料包括熱固性材料，如聚酰亞胺類、聚亞芳基醚類、聚亞芳烴類、聚氰尿酸酯類、聚吲哚類、苯并環(huán)丁烯類，如聚(氟代烷)的氟化原料等等。在有機聚硅電介質(zhì)中，烷基倍半硅氧烷類，例如甲基倍半硅氧烷，由于它們的低介電常數(shù)，變得越來越重要。
[0005]在電介質(zhì)底層的生產(chǎn)中，已經(jīng)使用等離子體“灰化”來既剝離光致抗蝕劑材料，又除去置于下面的電介質(zhì)材料的一部分。參見US2005/0077629，“灰化”意指等離子剝離過程，其中通過等離子體從基底上除去光致抗蝕劑和后刻蝕材料?；一ǔＴ诳涛g或注入過程之后實施。對于至少某些應(yīng)用來說，灰化可能不是最佳的，例如，在電子器件制造中，灰化等離子體會不理想地劣化各種成型的層。
[0006]我們現(xiàn)在提供用于生產(chǎn)包括集成電路的電子器件的新的方法和組合物。
[0007]在第一方面，所提供的方法包括:Ca)在基底上涂布可固化組合物；(b)在所述可固化組合物上涂布硬掩模(hardmask)組合物；(c)在硬掩模組合物上涂布光致抗蝕劑組合物層，其中在無灰化過程中除去所述組合物的一種或多種。在這種情況中，優(yōu)選例如通過使用一種或多種有機溶劑和/或含水堿性組合物除去硬掩模組合物層和/或可固化的底層組合物層。
[0008]在優(yōu)選的情況中，可固化組合物可包含一種或多種有機樹脂，該樹脂適合通過聚合乙烯系單體或低聚物形成，所述乙烯系單體例如丙烯酸酯、異丁烯酸酯、如苯乙烯化合物的乙烯基芳族化合物和其它乙烯系化合物。除了樹脂組分以外，這種可固化組合物也優(yōu)選包含交聯(lián)劑，優(yōu)選此處的交聯(lián)劑在熱處理過程中可抵抗顯著的升華。
[0009]在一個實施方式中，可固化組合物可包含交聯(lián)劑組分，而不是單獨的樹脂組分。優(yōu)選的可固化組合物可包含固化催化劑，例如自由基聚合催化劑，比如在基底上涂布組合物的涂層后，其通過遮蔽曝光于活化輻射(例如400nm或更小或者300nm或更小)中來促進組合物硬化。
[0010]本發(fā)明的第二實施方式，所提供的方法包括:(a)在基底上涂布有機組合物；(b)在所述有機組合物上涂布光致抗蝕劑組合物層，其中底層有機組合物包含一種當熱處理和/或輻射處理時能產(chǎn)生堿溶基團的材料。
[0011]在本發(fā)明的第二實施方式下，底層有機組合物適合包含一種樹脂，該樹脂包含一種或多種對光致酸不穩(wěn)定(photoacid-labile)和/或?qū)岵环€(wěn)定基團,諸如對光致酸不穩(wěn)定的酯或縮醛基，如通過例如聚合包括丙烯酸叔丁酯和甲基丙烯酸叔丁酯在內(nèi)的丙烯酸酯所提供。底層有機組合物也適合包含一種或多種酸酐基團。
[0012]在本發(fā)明的這種情況下，底層組合物也可包含一種或多種發(fā)色基團，從而來提高作為外涂覆的光致抗蝕劑層的抗反射層的功能。優(yōu)選的發(fā)色基團是與在193nm成像的外涂覆光致抗蝕劑一起使用的芳基，例如苯基，和與在248nm成像的外涂覆光致抗蝕劑一起使用的并三苯和亞萘基。
[0013]本發(fā)明的這種情況下，在已涂布底層組合物后，例如可對其在150°C、200°C或250°C或更高的溫度下進行熱處理，這會引起組合物中存在的不穩(wěn)定基團的脫保護，以提供可溶于堿水溶液的基團(aqueous alkaline-soluble group)。例如，在這種熱處理下，叔-丁基酯基團可被脫保護，以形成酸(-C00H基)。那些放出的羧酸基團也經(jīng)受分子內(nèi)和分子間的交聯(lián)，以致產(chǎn)生酸酐基團，并將不溶的涂料組合物供給隨后涂布的光致抗蝕劑層上。然而，充足的羧基(即不形成酸酐基團)可保留下來，以提供底層在用于對外涂覆的抗蝕劑層顯影的含水堿性顯影液中的溶解性。從而能夠在單個顯影步驟下既對抗蝕劑層又對底層組合物層進行顯影。
[0014]本發(fā)明的這種情況下，底層涂層組合物并不需要包含另外的如在先前底層防反射涂層組合物中已使用的交聯(lián)劑組分(例如胺類材料)。因此，底層涂層組合物可至少大體上、基本上或完全地不含所添加的如胺類材料的交聯(lián)劑組分。如果如胺類系材料的交聯(lián)劑(例如苯胍胺或三聚氰胺材料)少于5%、4%、3%、2%、1%的固體(除了溶劑載體的所有組分)時，那么底層涂層組合物就至少大體上沒有交聯(lián)劑。
[0015]本發(fā)明的這種情況下，底層涂層組合物任選地包含酸或酸產(chǎn)生體(例如光致酸產(chǎn)生體或熱致酸產(chǎn)生體)，以在熱處理時促進羧酸基團的解封閉(deblocking)和產(chǎn)生。
[0016]本發(fā)明也提供了用于上述方法的組合物。
[0017]這樣，一方面，所提供的可固化涂層組合物適合用于無灰化去除過程中。如上所述，可固化組合物適合包含一種或多種有機樹脂，該樹脂適合通過聚合乙烯系單體或低聚物形成，所述乙烯系單體如丙烯酸酯、異丁烯酸酯、如苯乙烯化合物的乙烯基芳族化合物以及其它乙烯系化合物。除了樹脂組分以外，這種可固化組合物也優(yōu)選包含交聯(lián)劑，優(yōu)選此處的交聯(lián)劑在熱處理過程中抗顯著的升華(sublimination)。例如,優(yōu)選的交聯(lián)劑將具有大約100、200、300、400、500或1000大的分子量，以具有抗升華性。
[0018]在另一方面,所提供的涂料組合物包含一種含有對熱不穩(wěn)定(thermalIy-1iable)或?qū)λ岵环€(wěn)定(acid-liable)基團的組分，該基團在熱處理時能提供酸基團(例如-C00H基團)。這種組分適合包含一種或多種含有對熱不穩(wěn)定或?qū)λ岵环€(wěn)定基團的樹脂。該組合物也可任選地包含酸或酸產(chǎn)生體的化合物,諸如光致酸產(chǎn)生體化合物或熱致酸產(chǎn)生體化合物。在優(yōu)選的情況下，組合物可至少基本上無單獨的交聯(lián)劑組分，例如胺系材料。該組合物也可包含一種含有如芳基的一種或多種發(fā)色基團的組分，特別來促進涂層組合物的抗反射性能。
[0019]各種光致抗蝕劑可與本發(fā)明的涂層組合物結(jié)合(即外涂覆)使用。與本發(fā)明的抗反射組合物一起使用的光致抗蝕劑優(yōu)選為化學(xué)增強型光致抗蝕劑，尤其是正性作用的光致抗蝕劑，其包含一種或多種光致酸產(chǎn)生體化合物和樹脂組分，該樹脂組分包含在光致產(chǎn)生的酸存在下經(jīng)受解封閉反應(yīng)或裂解反應(yīng)的單元，諸如對光致酸不穩(wěn)定的酯、縮醛、酮縮醇或醚單元。負性作用的光致抗蝕劑也可與本發(fā)明的涂層組合物一起使用，例如當曝光于活化輻射時交聯(lián)(即固化或硬化)的光致抗蝕劑。與本發(fā)明的涂層組合物一起使用的優(yōu)選的光致抗蝕劑可用較短波長的輻射進行成像，例如波長小于300nm或小于260nm，如大約248nm的輻射，或者波長小于約200nm，如193nm的輻射。
[0020]本發(fā)明進一步提供形成光致抗蝕劑立體圖案的方法、電子器件以及新的制品，所述電子器件或制品包含涂布有單獨的或與光致抗蝕劑組合物相結(jié)合的本發(fā)明涂層組合物的基底(例如微電子晶片基底)。
[0021]本發(fā)明的其它方面在下文公開。
[0022]可固化涂層組合物(用于無灰化過程)
[0023]樹脂
[0024]適合用在本發(fā)明可固化組合物中的聚合物包括那些源自烯鍵式或炔鍵式不飽和單體的并且可除去的聚合物，例如可通過將該聚合物鏈解鏈成初始的可揮發(fā)性單體單元和容易地擴散通過基質(zhì)母體材料而被除去。“可除去”意指該聚合物粒子可解聚、降解或以其它方式分解為揮發(fā)性的組分，該組分然后擴散通過基質(zhì)電介質(zhì)母體膜。適合的不飽和單體包括但不限制于:(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸烯基酯、芳基(甲基)丙烯酸酯、乙烯基芳族單體、含氮化合物和它們的硫代類似物、以及經(jīng)取代的乙烯單體。
[0025]用在本發(fā)明可固化組合物樹脂中的(甲基)丙烯酸烷基酯包括(甲基)丙烯酸(C1-C24)烷基酯。適合的(甲基)丙烯酸烷基酯包括但不限制于(甲基)丙烯酸“低碳”(“l(fā)owcut”)烷基酯、(甲基)丙烯酸“中碳”(mid cut)烷基酯和(甲基)丙烯酸“高碳”(“highcut”)燒基酷。
[0026](甲基)丙烯酸“低碳”燒基酯通常是其中的烷基包含1-6個碳原子的那些(甲基)丙烯酸烷基酯。適合的(甲基)丙烯酸低碳烷基酯包括但不限制于:甲基丙烯酸甲酯(”MMA’)、丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、異丁烯酸丙酯、甲基丙烯酸丁酯(“BMA”)、丙烯酸丁酯(“BA”)、甲基丙烯酸異丁酯(“IBMA”)、異丁烯酸己酯、甲基丙烯酸環(huán)己酯、丙烯酸環(huán)己酯和它們的混合物。
[0027](甲基)丙烯酸“中碳”烷基酯通常是其中的烷基包含7-15個碳原子的那些(甲基)丙烯酸烷基酯。適合的(甲基)丙烯酸中碳烷基酯包括但不限制于:丙烯酸2-乙基己酯(“EHA”)、異丁烯酸2-乙基己酯、異丁烯酸辛酯、異丁烯酸癸酯、異丁烯酸異癸酯(“IDMA”，基于支鏈(Cltl)烷基異構(gòu)體混合物)、異丁烯酸十一烷基酯、異丁烯酸十二烷基酯(又名甲基丙烯酸月桂酯)、異丁烯酸十三烷基酯、異丁烯酸十四烷基酯(又名甲基丙烯酸肉豆蘧基酯)、異丁烯酸十五烷基酯和它們的混合物。特別優(yōu)選的混合物包括十二烷基到十五烷基的甲基丙烯酸酯(“DPMA”)、十二烷基、十三烷基、十四烷基和十五烷基甲基丙烯酸酯的直鏈和支鏈異構(gòu)體的混合物；和月桂基-十四烷基的甲基丙烯酸酯(“LMA”)。
[0028](甲基)丙烯酸“高碳”烷基酯通常是其中的烷基包含16-24個碳原子的那些(甲基)丙烯酸烷基酯。適合的(甲基)丙烯酸高碳烷基酯包括但不限制于:甲基丙烯酸十六烷基酯、甲基丙烯酸十七烷基酯、甲基丙烯酸十八烷基酯、甲基丙烯酸十九烷基酯、甲基丙烯酸二十級燒基酯(cosyl methacrylate)、甲基丙烯酸二十燒基酯和它們的混合物。特別優(yōu)選的(甲基)丙烯酸高碳烷基酯混合物包括但不限制于:十六烷基-二十烷基甲基丙烯酸酯(“CEMA”)，其是十TK烷基、十八烷基、二十級烷基和二十烷基甲基丙稀酸酷的混合物；以及十TK烷基_十八烷基甲基丙稀酸酷(“SMA”),其是十TK烷基和十八烷基甲基丙稀酸酷的混合物。
[0029]上述的(甲基)丙烯酸中碳烷基酯和(甲基)丙烯酸高碳烷基酯單體，通常是使用工業(yè)級的長鏈脂族醇由標準酯化過程加以制備的，這些市購的醇是在烷基中包含10-15個或16-20個碳原子的不同鏈長度的醇的混合物。這些醇類的實例有:來自Vista化學(xué)公司(Vista Chemical company)的各種 Ziegler 催化的 ALFOL 醇類(Alcol alcohols),例如ALF0L1618 和 ALF0L1620,來自 Shell 化學(xué)公司(Shell Chemical company)的各種 Ziegler催化的NE0D0L醇類，例如NE0D0L25L，和源自天然的醇類，例如Proctor&Gamble的TA-1618和C0-1270。因此，對于本發(fā)明目的來說，(甲基)丙烯酸烷基酯旨在不僅包括單個的所指定的(甲基)丙烯酸烷基酯產(chǎn)品，而且也包括具有主導(dǎo)數(shù)量的所指定的具體(甲基)丙烯酸烷基酯的(甲基)丙烯酸烷基酯混合物。
[0030]用于本發(fā)明的可固化組合物樹脂中的(甲基)丙烯酸烷基酯單體，可以是單體或者烷基部分中含有不同的碳原子數(shù)的混合物。同樣，可任選地對用于本發(fā)明的(甲基)丙烯酰胺和(甲基)丙烯酸烷基酯單體進行取代。合適的可任選取代的(甲基)丙烯酰胺和(甲基)丙烯酸烷基酯單體包括但不限制于:甲基丙烯酸羥基(C2-C6)烷基酯、二烷氨基(C2-C6)-烷基(甲基)丙烯酸酯、二烷氨基(C2-C6)-烷基(甲基)丙烯酰胺。
[0031]特別優(yōu)選的(甲基)丙烯酸取代烷基酯單體的是那些在烷基中帶有一個或多個羥基的，特別是那些被發(fā)現(xiàn)羥基處在烷基中的β位置(2-位置)的(甲基)丙烯酸取代烷基酯單體。優(yōu)選其中取代烷基為(C2-C6)烷基的支鏈或無支鏈的(甲基)丙烯酸羥基烷基酯單體。適合的(甲基)丙烯酸羥基烷基酯單體包括但不限制于:甲基丙烯酸2-羥基乙酯(“ΗΕΜΑ”)、丙烯酸2-羥基乙酯(“ΗΕΑ”)、甲基丙烯酸2-羥基丙酯、甲基丙烯酸1-甲基-2-羥基乙酯、丙烯酸2-羥基丙酯、丙烯酸1-甲基-2-羥基乙酯、甲基丙烯酸2-羥基丁酯、丙烯酸2-羥基丁酯和它們的混合物。優(yōu)選的(甲基)丙烯酸羥基烷基酯單體是ΗΕΜΑ、甲基丙烯酸1-甲基-2-羥基乙酯、甲基丙烯酸2-羥基丙酯和它們的混合物。后面兩種單體的混合物通常稱為“甲基丙烯酸羥丙酯”或“ΗΡΜΑ”。
[0032]用于本發(fā)明可固化組合物樹脂中的其它取代的(甲基)丙烯酸酯和(甲基)丙烯酰胺單體是那些在烷基中帶有二烷氨基或二烷氨基烷基的取代(甲基)丙烯酸酯和(甲基)丙烯酰胺的單體。這種取代的(甲基)丙烯酸酯和(甲基)丙烯酰胺實例包括但不限制于:二甲氨基乙基甲基丙烯酸酯、二甲氨基乙基丙烯酸酯、N，N-二甲基氨基乙基甲基丙烯酰胺、N, N- 二甲基-氨基丙基甲基丙烯酰胺、N，N- 二甲基氨基丁基甲基丙烯酰胺、N，N- 二乙基氨基乙基甲基丙烯酰胺、N，N- 二乙基氨基丙基甲基丙烯酰胺、N，N- 二乙基氨基丁基甲基丙烯酰胺、N- (I, 1- 二甲基-3-氧代丁基)丙烯酰胺、N- (I, 3- 二苯基-1-乙基-3-氧代丁基)丙烯酰胺、N- (1-甲基-1-苯基-3-氧代丁基)甲基丙烯酰胺和2-羥乙基丙烯酰胺、氨基乙基乙撐脲的N-甲基丙烯酰胺、N-甲基丙烯酰氧基乙基嗎啡、二甲基氨基丙基胺的N-馬來酰亞胺和它們的混合物。
[0033]用于本發(fā)明可固化組合物樹脂的其它取代的(甲基)丙烯酸單體是含硅單體，諸如gamma-丙基三(C1-C6)烷氧基甲硅烷基(甲基)丙烯酸酯、Y-丙基三(C1-C6)烷基甲硅烷基(甲基)丙烯酸酯、Y-丙基二(C「c6)烷氧基(c「c6)烷基甲硅烷基(甲基)丙烯酸酯、Y-丙基二(c「c6)烷基(c「c6)烷氧基甲硅烷基(甲基)丙烯酸酯、乙烯基三(c「c6)烷氧基甲硅烷基(甲基)丙烯酸酯、乙烯基二(C1-C6)烷氧基(C1-C6)烷基甲硅烷基(甲基)丙烯酸酯、乙烯基(C1-C6)烷氧基二(C1-C6)烷基甲硅烷基(甲基)丙烯酸酯、乙烯基三(C1-C6)烷基甲硅烷基(甲基)丙烯酸酯和它們的混合物。
[0034]用作本發(fā)明可固化組合物樹脂中的不飽和單體的乙烯基芳族單體包括但不限制于:苯乙烯(“STY”)、α-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對甲基苯乙烯、乙基乙烯基苯、乙烯基萘、乙烯基二甲苯和它們的混合物。乙烯基芳族單體也包括它們的相應(yīng)的取代對應(yīng)物，諸如鹵代衍生物，即包含一種或多種鹵素原子，例如氟、氯、溴；和硝基、氰基、(C1-Cltl)烷氧基、鹵代(C1-Cltl)烷基、碳化(C1-Cltl)烷氧基、羧基、氨基、(C1-C10)烷氨基的衍生物等等。
[0035]用作本發(fā)明可固化組合物樹脂中的不飽和單體的含氮化合物和它們的硫代相應(yīng)物包括但不限制于:乙烯基吡啶類，如2-乙烯基吡啶或4-乙烯基吡啶；低級烷基((^-(:8)取代的N-乙烯基吡啶類，例如2-甲基-5-乙烯基吡啶、2-乙基-5-乙烯基吡啶、3-甲基-5-乙烯基吡啶、2，3- 二甲基-5-乙烯基-吡啶和2-甲基-3-乙基-5-乙烯基吡啶；甲基取代的喹啉和異喹啉；Ν-乙烯基己內(nèi)酰胺；Ν-乙烯基丁內(nèi)酰胺；Ν-乙烯基吡咯烷酮；乙烯基咪唑；N-乙烯基咔唑；Ν_乙烯基琥拍酰亞胺；(甲基)丙烯腈；鄰-、間_或?qū)氨基苯乙烯；馬來酰亞胺；Ν-乙烯基A惡唑烷酮；N，N- 二甲基氨乙基-乙烯基-醚；乙基-2-氰基丙烯酸酯； 乙烯基乙腈；N-乙烯基鄰苯二甲酰亞胺；N-乙烯基吡咯烷酮，例如N-乙烯基-硫代-吡咯烷酮、3-甲基-1-乙烯基吡咯烷酮、4-甲基-1-乙烯基吡咯烷酮、5-甲基-1-乙烯基吡咯燒酮、3-乙基-1-乙烯基-吡咯燒酮、3- 丁基-1-乙烯基-吡咯燒酮、3，3- 二甲基-1-乙烯基-吡咯烷酮、4，5- 二甲基-1-乙烯基-吡咯烷酮、5，5- 二甲基-1-乙烯基-吡咯烷酮、3，3，5-三甲基-1-乙烯基吡咯烷酮、4-乙基-1-乙烯基吡咯烷酮、5-甲基-5-乙基-1-乙烯基吡咯烷酮和3，4，5-三甲基-1-乙烯基吡咯烷酮；乙烯基吡咯；乙烯基苯胺和乙烯基哌啶。
[0036]用作本發(fā)明可固化組合物樹脂中的不飽和單體的取代乙烯單體包括但不限制于:烯丙基單體、醋酸乙烯酯、乙烯基甲酰胺、氯乙烯、氟乙烯，溴乙烯、1，1-二氯乙烯、1，1-二氟乙烯和1，1-二溴乙烯。
[0037]用在本發(fā)明中的溶液聚合物可以是直鏈的或支鏈的，可以是共聚物或均聚物。用作本發(fā)明可固化組合物的樹脂的適合溶液聚合物包括但不限制于:丙烯酸丁酯均聚物、丙烯酸乙基己基酯-甲基丙烯酸甲酯共聚物、甲基丙烯酸異癸酯-甲基丙烯酸甲酯共聚物、丙烯酸丁酯-甲基丙烯酸甲酯共聚物和甲基丙烯酸芐酯-甲基丙烯酸甲酯共聚物。通常，這些聚合物的分子量范圍為10000-1000000，優(yōu)選20000-500000，更優(yōu)選20000-100000。這些材料的聚合度多分散性范圍為1-20，優(yōu)選1.001-15，更優(yōu)選1.001-10。
[0038]本發(fā)明組合物的溶液聚合物可在非水溶劑中制備。這些聚合反應(yīng)用的適合溶劑為本領(lǐng)域的技術(shù)人員所熟知。這種溶劑的實例包括但不限制于:烴類、如烷烴、氟代烴和芳烴，醚類、酮類、酯類、醇類和它們的混合物。特別適合的溶劑包括十二烷、均三甲苯、二甲苯、二苯醚、Y 丁內(nèi)酯、乳酸乙酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、己內(nèi)酯、2-庚酮(2-hepatanone)、甲基異丁基酮、二異丁基酮、丙二醇單甲醚、癸醇和叔丁醇。
[0039]通常，用于本發(fā)明組合物中的溶液聚合物制備，首先通過將溶劑尾料(heel)或可替換的溶劑混合物，與單體混合物的一些部分供入到裝有攪拌器、溫度計和回流冷凝器的反應(yīng)器中。單體混合物通常視情況由單體、引發(fā)劑和鏈轉(zhuǎn)移劑組成。在氮氣保護下將溶劑或溶劑/單體的混合物尾料攪拌加熱到約55°C -約125°C的溫度。在尾料供料已達到足以引發(fā)聚合反應(yīng)的溫度以后，將單體混合物或單體混合物的余量經(jīng)15分鐘到4小時的時間供入反應(yīng)器中，同時將反應(yīng)維持在所需的反應(yīng)溫度下。在完成單體混合物加入后，將溶劑中一系列的額外等分的引發(fā)劑供料到反應(yīng)中。通常在向反應(yīng)中供入引發(fā)劑后要接著一穩(wěn)定期，以允許在加入下一數(shù)量的引發(fā)劑前發(fā)生反應(yīng)。通?？刹捎锰砑尤我l(fā)劑。在加入最后的引發(fā)劑量以后，將該批料保持30分鐘到4小時，以完全分解所有的引發(fā)劑并促使反應(yīng)完成。一種替換方法是首先將溶劑和單體混合物的一部分供入到反應(yīng)器中。
[0040]用在本發(fā)明可固化組合物中的乳液聚合物可通過首先將水和單體乳液的一些部分供入到裝有攪拌器、溫度計和回流冷凝器的反應(yīng)器中來制備。單體乳液通常視情況由單體、表面活性劑和鏈轉(zhuǎn)移劑組成。在氮氣保護下將單體乳液的起始料攪拌加熱到約55°C -約125°C的溫度。在晶種供料已達到足以引發(fā)聚合反應(yīng)的溫度以后，將單體乳液或單體乳液的余量經(jīng)15分鐘到4小時的時間供入反應(yīng)器中，同時將反應(yīng)維持在所需的反應(yīng)溫度下。在完成單體乳液加入后，將一系列在水中的額外等分的引發(fā)劑供料到反應(yīng)中。通常在將引發(fā)劑供入反應(yīng)后要接著一穩(wěn)定期，以允許在加入下一引發(fā)劑量前發(fā)生反應(yīng)。通?？刹捎锰砑尤我l(fā)劑。在加入最后的引發(fā)劑量以后，將該批料穩(wěn)定30分鐘到4小時，以完全分解所有的弓I發(fā)劑并促使反應(yīng)完成。
[0041]可替換地，乳液聚合反應(yīng)可實施批次處理。在這種批次處理中，乳液聚合物可通過在氮氣保護下，視情況將水、單體、表面活性劑、引發(fā)劑和鏈轉(zhuǎn)移劑攪拌供入到反應(yīng)器中來制備。將該單體乳液加熱到約55°C_約125°C的溫度，以實施聚合。在該溫度下保持30分鐘-4小時后，將一系列額外等分的引發(fā)劑供入到反應(yīng)器中。通常在將引發(fā)劑供入反應(yīng)后要接著一穩(wěn)定期，以允許在加入下一數(shù)量的引發(fā)劑前發(fā)生反應(yīng)。通?？刹捎锰砑尤我l(fā)劑。在加入最后的引發(fā)劑量以后，將該批料穩(wěn)定30分鐘到4小時，以完全分解所有的引發(fā)劑并促使反應(yīng)完成。
[0042]優(yōu)選用于本發(fā)明可固化組合物中的聚合物使用陰離子聚合法或自由基聚合法進行制備。也優(yōu)選用于本發(fā)明中的聚合物不通過分步生長聚合過程加以制備。
[0043]可固化組合物的交聯(lián)劑(第一個方面)
[0044]用于可固化涂層組合物中的適合交聯(lián)劑包括二 _、三_、四-或更多個多官能的烯鍵式不飽和單體。用在本發(fā)明的交聯(lián)劑的實例包括但不限制于:三乙烯基苯、二乙烯基甲苯、二乙烯吡啶、二乙烯基萘、二乙烯基二甲苯；和例如乙二醇二丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、二乙二醇二乙烯醚、三乙烯基環(huán)己烷、甲基丙烯酸烯丙酯(“ALMA”)、乙二醇二甲基丙烯酸酯(“EGDMA”)、二乙二醇二甲基丙烯酸酯(“DEGDMA”)、丙二醇二甲基丙烯酸酯、丙二醇二丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯(“TMPTMA”)、二乙烯苯(“DVB”)、甲基丙烯酸縮水甘油酯、2，2 二甲基丙烷1，3 二丙烯酸酯、1，3- 丁二醇二丙烯酸酯、1，3- 丁二醇二甲基丙烯酸酯、1，4-丁二醇二丙烯酸酯、二甘醇二丙烯酸酯、二甘醇二甲基丙烯酸酯、1，6-己二醇二丙烯酸酯、1，6己二醇二甲基丙烯酸酯、三丙二醇二丙烯酸酯、三甘醇二甲基丙烯酸酯、四甘醇二丙烯酸酯、聚乙二醇200 二丙烯酸酯、四甘醇二甲基丙烯酸酯、聚乙二醇二甲基丙烯酸酯、乙氧基化的雙酚A 二丙烯酸酯、乙氧基化的雙酚A 二甲基丙烯酸酯、聚乙二醇600 二甲基丙烯酸酯、聚(丁二醇)二丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三乙氧基三丙烯酸酯、甘油基丙氧基三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酷、二季戍四醇一羥基五丙稀酸酷、二乙烯基硅烷、二乙烯基硅烷、二甲基二乙烯基硅烷、二乙烯基甲基硅烷、甲基二乙烯基硅烷、二苯基二乙烯基硅烷、二乙烯基苯基硅烷、二乙烯基苯基硅烷、二乙烯基甲基苯基硅烷、四乙稀硅烷、二甲基乙烯基二甲娃釀、聚(甲基乙烯基娃氧烷)、聚(乙烯基氫硅氧烷)、聚(苯基乙烯基硅氧烷)和它們的混合物。
[0045]其它交聯(lián)劑也是可用的。
[0046]如上所述，優(yōu)選的交聯(lián)劑在加工中是耐升華的。特別優(yōu)選較高分子量的材料。
[0047]用于可固化組合物的聚合催化劑(第一個方面)
[0048]如上所述，可固化組合物也可以包含聚合催化劑或固化催化劑，以促使所涂布的組合物層硬化(固化)。
[0049]可使用各種聚合催化劑，包括例如一種或多種自由基聚合催化劑。
[0050]含有熱致脫保護基團以提供酸基團的底層組合物(第二個方面)
[0051]如上所述，所提供的底層涂層組合物包含一種組分，該組分含有在熱處理時能提供酸基團(例如-COOH基團)的對熱不穩(wěn)定基團或?qū)λ岵环€(wěn)定基團。該組分適合包含一種或多種含有對熱不穩(wěn)定基團或?qū)λ岵环€(wěn)定基團的樹脂。該組合物也可選擇地包含一種酸的或酸產(chǎn)生體的化合物，例如光致酸產(chǎn)生體化合物或熱致酸產(chǎn)生體化合物。在優(yōu)選的情況下，該組合物至少基本上無單獨的如胺類材料的交聯(lián)劑組分。該組合物也可包含一種組分，該組分含有一種或多種發(fā)色基團，例如芳基，特別用來促進涂層組合物的抗反射性能。
[0052]優(yōu)選的樹脂是具有兩種或多種不同的重復(fù)單元的共聚物。丙烯酸酯樹脂特別適合于許多應(yīng)用。也優(yōu)選更高階的樹脂，包括三元共聚物(三種不同的重復(fù)單元)和四元共聚物(四種不同的重復(fù)單元)。
[0053]本發(fā)明的涂層組合物，特別是用于反射控制應(yīng)用的涂層組合物，也可包含另外的染料化合物，該化合物能吸收用來曝光外涂布的光致抗蝕劑層的輻射。其它任選的添加劑包括表面流平劑，例如市購自Union Carbide的商品名為Silwet7604的流平劑或者市購自3M公司的FC171或FC431的表面活性劑。
[0054]通過公知的方法制備丙烯酸酯系樹脂，例如一種或多種丙烯酸酯單體(如在自由基引發(fā)劑的存在下)的聚合反應(yīng)，該單體實例諸如異丁烯酸羥基乙基酯、丙烯酸羥基乙酯、異丁烯酸甲酯、甲基丙烯酸丁酯甲基蒽甲基丙烯酸酯或其它的蒽丙烯酸酯等。包含酸酐例如馬來酸酐的其它單體可以與丙烯酸酯單體共聚。供抗反射組合物之用，一種或多種共聚的單體可包含適當?shù)陌l(fā)色基團，例如蒽，用在與248nm輻射成像的外涂覆光致抗蝕劑一起使用的抗反射涂層組合物中，或者例如苯基，用于193nm輻射成像的防反射涂層組合物中。也可參見以下供適合合成用于本發(fā)明涂層組合物中的樹脂的實施例。
[0055]特別優(yōu)選的本發(fā)明涂層組合物包含一種或多種含酸酐和羥基部分的組分。在這種優(yōu)選的組合物中，酸酐和羥基部分可在單個的組合物組分上一起存在，實例如通過共聚含有羥基的單體與酸酐單體的樹脂。作為選擇，酸酐和羥基部分也可以一起存在于不同的組合物組分中，如不同的樹脂中，例如一種樹脂含有酸酐基團，另一種不同的樹脂包含有羥基。
[0056]如上所述，對于防反射應(yīng)用來說，發(fā)生反應(yīng)形成樹脂的一種或多種化合物適合包含一個部分，該部分起到發(fā)色基團的作用，以吸收用于曝光外涂布的光致抗蝕劑層的輻射。例如，苯基化合物，諸如苯乙烯或苯基丙烯酸酯(例如丙烯酸苯甲酯或甲基丙烯酸苯甲酯)，可與其它單體聚合來提供一種樹脂，該樹脂特別用在和例如193nm的低于200nm波長下成像的涂布光致抗蝕劑一起使用的抗反射組合物中。類似地，和在低于300nm波長或低于200nm波長,諸如248nm或193nm波長下成像的外涂布的光致抗蝕劑一起使用的組合物中的樹脂，可以聚合萘基化合物，諸如包含一種或多種羧基取代基的萘基化合物，例如萘二羧酸二烷基酯，特別是萘二羧酸二-CV6烷基酯。反應(yīng)性蒽化合物也是優(yōu)選的，例如具有一種或多種羧基或酯基，如一種或多種甲酯基團或乙酯基團的蒽化合物。
[0057]對于深紫外(UV)線應(yīng)用來說(即外涂布光致抗蝕劑用深紫外輻射成像)，抗反射組合物的聚合物優(yōu)選會吸收深紫外線范圍(通常在100-300nm)的反射。這樣，該聚合物優(yōu)選包含深紫外線發(fā)色基團的單元，即吸收深紫外線輻射的單元。高度共軛的部分通常是適合的發(fā)色基團。芳基，特別是多環(huán)烴或雜環(huán)單元，是一般優(yōu)選的深紫外線發(fā)色基團，也就是說具有從二到三到四個稠合的或分離的環(huán)的基團，每個環(huán)內(nèi)有3-8個原子數(shù)且每環(huán)具有0-3個N、O或S原子。這種發(fā)色基團包括任選取代的菲基、任選取代的蒽基、任選取代的吖啶、任選取代的萘基、任選取代的喹啉基和如羥基喹啉基團的環(huán)取代喹啉類。任選取代的蒽基特別優(yōu)選用于外涂布的光致抗蝕劑的248nm成像。優(yōu)選的抗反射組合物樹脂具有懸垂的蒽基。優(yōu)選的樹脂包括如Shipley公司的歐洲公開申請813114A2第4頁所公開的式I的那些樹脂。
[0058]另一個優(yōu)選的樹脂粘合劑包含具有一個或多個N、0或S的環(huán)原子的任選取代的喹啉基或喹啉衍生物，諸如羥基喹啉。該聚合物可以包含其它的單元，諸如從聚合物骨架上懸垂的羧基和/或烷基酯單元。在包含這種單元的丙烯酸樹脂中，特別優(yōu)選的抗反射組合物樹脂例如是Shipley公司的歐洲公開申請813114A2第4_5頁所公開的式II的那些樹脂。
[0059]如上所述，對于在193nm下成像來說，抗反射組合物優(yōu)選包含具有苯基發(fā)色基團單元的樹脂。例如，一種供與在193nm下成像的光致抗蝕劑一起使用的合適抗反射樹脂是一種由苯乙烯、馬來酸酐和甲基丙烯酸2-羥乙酯的聚合單元組成的三元共聚物。
[0060]本發(fā)明抗反射組合物的樹脂優(yōu)選的重均分子量(Mw)為約1，000-10，000，000道爾頓，更通常為約5，000-1，000，000道爾頓；且數(shù)均分子量(Mn)約500-1，000，000道爾頓。本發(fā)明的聚合物的分子量(或者Mw或者Mn)適合通過凝膠滲透色譜法加以確定。
[0061]盡管通常優(yōu)選具有吸收發(fā)色基團的涂層組合物樹脂時，本發(fā)明的抗反射組合物可包含其它樹脂，或者作為共同的樹脂，或者作為單獨的樹脂粘合劑組分。例如可使用酚醛樹脂，如聚(乙烯基苯酚)和線型酚醛清漆。這種樹脂為Shipley公司的合作的歐洲申請EP542008所公開。以下所述的作為光致抗蝕劑樹脂粘合劑的其它樹脂也可用在本發(fā)明減反射組合物的樹脂粘合劑組分中。
[0062]本發(fā)明涂層組合物的這種樹脂組分的濃度可在相對較寬范圍內(nèi)變化，并且通常所用的樹脂粘合劑的濃度為涂層組合物的干組分總重量的約50-95wt.%。更通常為總干組分(除溶劑載體外的所有組分)的約60-90wt.%。
[0063]酸或酸產(chǎn)生體化合物(任選組分；第二方面)
[0064]本發(fā)明的涂層組合物可包含其它的任選組分。因此，例如，涂層組合物可適當?shù)匕尤氲乃嵩?，例如酸或酸產(chǎn)生體的化合物，特別是熱致酸產(chǎn)生體的化合物，由此例如在外涂覆的光致抗蝕劑層的涂布之前，通過熱處理對所涂覆的涂層組合物加以硬化。
[0065]然而，如上所述，在優(yōu)選的情況下，本發(fā)明的涂層組合物可在沒有這種加入的酸或酸產(chǎn)生體的化合物的情況下加以配制。這種沒有或至少基本上沒有任何加入的酸或酸產(chǎn)生體化合物的組合物，可改善性能，包括提高保存壽命。本文所指的基本上無加入的酸或酸產(chǎn)生體化合物的組合物，以配制的溶劑系涂料組合物的總重量計,具有小于3wt%、2wt%或lwt%的所加入的酸或酸產(chǎn)生體化合物。另外本文所指的加入的酸，與組合物中存在的殘留酸，例如從樹脂合成中保留下來的截留在樹脂中的殘留酸明顯不同。
[0066]如果使用加入的酸或酸產(chǎn)生體化合物，那么涂層組合物適合包含熱致酸產(chǎn)生體(即熱處理時產(chǎn)生酸的化合物)，例如離子的或基本上中性的熱致酸產(chǎn)生體，如芳烴磺酸銨鹽，以供在抗反射組合物涂層的固化中催化或促進交聯(lián)。通常在抗反射組合物中存在的一種或多種熱致酸產(chǎn)生體的濃度為組合物干組分總重量(除溶劑載體外的所有組分)的約
0.l_10wt%，更優(yōu)選為總干組分重量的約2wt%。
[0067]通常除了另一種酸源，例如酸或熱致酸產(chǎn)生體化合物以外，本發(fā)明的涂層組合物也包含一種或多種的光致酸產(chǎn)生體化合物。在光致酸產(chǎn)生體化合物(PAG)的這種應(yīng)用中，該光致酸產(chǎn)生體并不用作促進交聯(lián)反應(yīng)的酸源，因此優(yōu)選在涂層組合物的交聯(lián)過程中(在交聯(lián)涂層組合物的情況下)基本上不活化該光致酸產(chǎn)生體。這種光致酸產(chǎn)生體的使用公開于轉(zhuǎn)讓給Shipley公司的美國專利US6261743中。特別地，對于熱交聯(lián)的涂層組合物而言，涂層組合物PAG應(yīng)該基本上對交聯(lián)反應(yīng)條件是穩(wěn)定的，以致PAG在隨后曝光經(jīng)外涂覆的光致抗蝕劑層的過程中被活化并產(chǎn)生酸。具體來說，所優(yōu)選的PAG當曝光于從約140°C或150°C到190°C溫度達5-30分鐘或更多分鐘時，基本上不分解或者降解。供這種用于本發(fā)明的抗反射組合物或其它涂層組合物的光致酸產(chǎn)生體通常優(yōu)選例如包括:諸如二(4-叔丁基苯基)碘織過氟辛燒磺酸鹽的鐵鹽；諸如I，1_ 二 (對氯苯基)_2，2, 2-二氯乙燒的齒化非尚子光致酸產(chǎn)生體和已公開的其它的用于光致抗蝕劑組合物的光致酸產(chǎn)生體。對于本發(fā)明的至少一些抗反射組合物，將優(yōu)選能用作表面活性劑且在靠近抗反射組合物/抗蝕劑涂層界面的抗反射組合物層的上部附近聚集的抗反射組合物光致酸產(chǎn)生體。因此，例如，這種優(yōu)選的PAG可包括擴展的脂肪族基團，例如含有4個或更多個碳原子，優(yōu)選6-15個或更多個碳原子的取代或未取代的脂環(huán)基或者烷基，或者氟化基團，諸如具有I個或優(yōu)選2個或更多個氟取代基的Ci_15燒基或C2_15稀基。
[0068]底層涂層組合物的配方(第二方面)
[0069]為了制備本發(fā)明的液體涂層組合物，將底層涂層組合物的組分溶解在適合的溶劑中，諸如實例有:一種或多種含氧異丁酸酯類，特別是如上所述的甲基-2-羥基異丁酸酯、乳酸乙酯或者一種或多種乙二醇醚類，如2-甲氧基乙醚(二甘醇二甲醚)、乙二醇單甲醚和丙二醇單甲醚；既有醚基又有羥基部分的溶劑例如有甲氧基丁醇、乙氧基丁醇、甲氧基丙醇、和乙氧基丙醇；酯類例如甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、二丙二醇單甲醚乙酸酯及其他溶劑，例如二價酸酯、異丙二醇碳酸酯和Y-丁酸內(nèi)酯。對于本發(fā)明的抗反射涂層組合物，優(yōu)選的溶劑為甲基-2-羥基異丁酸酯，可任選地與苯甲醚相混合。溶劑中的干組分的濃度依賴于多個因素，例如涂布方法。通常，以涂層組合物的總重量計，抗反射組合物中的固體含量在約0.5-20wt%變化，優(yōu)選固體含量在涂層組合物重量的約2-10wt%變化。[0070]示例性光刻系統(tǒng)
[0071]各種光致抗蝕劑組合物可與本發(fā)明的涂層組合物一起使用，包括正性和負性光致酸產(chǎn)生體組合物。與本發(fā)明底層組合物一起使用的光致抗蝕劑通常包含樹脂粘合劑和感光組分，通常為光致酸產(chǎn)生體化合物。優(yōu)選地光致抗蝕劑樹脂粘合劑具有向成像的光致抗蝕劑組合物賦予堿性含水顯影性的官能團。
[0072]與本發(fā)明的底層組合物一起使用的光致抗蝕劑特別優(yōu)選化學(xué)性增強型光致抗蝕齊U，特別是正性化學(xué)性增強型光致抗蝕劑組合物，其中該抗蝕劑層中的光致活化酸引起一種或多種組合物成分的脫保護型反應(yīng)，由此來提供光致抗蝕劑涂層的曝光和未曝光區(qū)域之間的溶解性差異。許多化學(xué)性增強的抗蝕劑組合物已經(jīng)公開于美國專利N0.4968581; 4883740; 4810613; 4491628和5492793中，所有這些文獻因其教導(dǎo)制備和使用化學(xué)性增強的正性光致抗蝕劑而在此以引用的方式并入本文。本發(fā)明的涂層組合物特別適合與含有縮醛基的正性化學(xué)性增強型光致抗蝕劑一起使用，該縮醛基在光致酸存在下會發(fā)生解封閉。這種縮醛系光致抗蝕劑已經(jīng)公開于例如美國專利5929176和6090526中。
[0073]本發(fā)明的底層組合物也可與其它的正性光致抗蝕劑一起使用，包括那些含有樹脂粘合劑的光致抗蝕劑，該樹脂粘合劑含有極性官能團，諸如羥基或羧酸酯，并且將該樹脂粘合劑以足夠提供給光致抗蝕劑對含水堿性溶液具有可顯影性的量用在光致抗蝕劑組合物中。通常優(yōu)選的抗蝕劑樹脂粘合劑是酚醛樹脂包括現(xiàn)有技術(shù)中公知的線型酚醛清漆樹脂(novolak resin)的酹醒縮合物,烯基苯酹的均聚物和共聚物和N-輕苯基馬來酰亞胺的均聚物和共聚物。
[0074]供與本發(fā)明的底層涂層組合物一起使用的正性光致抗蝕劑優(yōu)選包含成像有效量的光致酸產(chǎn)生體化合物和一種或多種選自以下組的樹脂:
[0075]I)包含有對酸不穩(wěn)定基團的酚醛樹脂，其可提供特別適合于在248nm成像的化學(xué)性增強的正性光致抗蝕劑。這類特別優(yōu)選的樹脂包括:i)含有乙烯基苯酚和丙烯酸烷基酯的聚合單元的聚合物，其中該聚合的丙烯酸烷基酯單元在光致酸存在下能夠進行解封閉反應(yīng)。經(jīng)受光致酸誘發(fā)解封閉反應(yīng)的示例性烷基丙烯酸酯例如包括:丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸甲基金剛烷酯、甲基丙烯酸甲基金剛烷酯，和其它能夠進行光致酸誘發(fā)反應(yīng)的無環(huán)烷基丙烯酸酯和脂環(huán)的丙烯酸酯，例如美國專利6042997和5492793中的聚合物。ii)含有以下聚合單元的聚合物:乙烯苯酚、不包含羥基或羧基環(huán)取代的任選取代的乙烯苯基(例如苯乙烯)和諸如上述聚合物(i)所述的那些解封閉基團的丙烯酸烷基酯，例如如美國專利6042997所述的聚合物，在此以引用的方式并入該專利；iii)含有包括與光致酸反應(yīng)的縮醛基團或酮縮醇基團部分的重復(fù)單元和任選的例如苯基或酚基的芳基重復(fù)單元的聚合物；這種聚合物已經(jīng)公開于美國專利5929176和6090526中。
[0076]2)基本上或完全沒有苯基或其它芳基的樹脂，其能提供特別適合于在低于200nm波長，例如193nm波長下成像的化學(xué)性增強的正性光致抗蝕劑。這類特別優(yōu)選的樹脂包括:
i)包含無芳族環(huán)烯烴(環(huán)內(nèi)雙鍵)的聚合物，例如任選取代的降冰片烯的聚合單元的聚合物，例如在美國專利5843624和6048664中所述的聚合物；ii)包含丙烯酸烷基酯單元，實例如丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸甲基金剛烷酯、甲基丙烯酸甲基金剛烷酯和其它非環(huán)烷基丙烯酸酯和脂環(huán)族丙烯酸酯的聚合物；這種聚合物公開于美國專利6057083、歐洲公開申請EP01008913A1和EP00930542A1和美國待批專利申請N0.09/143462中；iii)包含聚合的酸酐單元的聚合物，特別是包含聚合的馬來酸酐和/或衣康酸酐單元的聚合物，例如歐洲公開申請EP01008913A1和美國專利6048662中所揭示的。
[0077]3)包含含有雜原子，特別是氧原子和/或硫原子的重復(fù)單元(但不是酸酐，即該單元不包括酮環(huán)原子)的樹脂，且該重復(fù)單元優(yōu)選基本上或完全沒有任何芳基單元。優(yōu)選地，將雜脂環(huán)族單元稠合到樹脂主鏈上，并進一步優(yōu)選此處的樹脂含有例如通過降冰片烯聚合所提供的稠合的碳脂環(huán)族單元和/或例如通過馬來酸酐或衣康酸酐聚合所提供的酸酐單元。這種樹脂公開于PCT/US01/14914中。
[0078]4)含有氟取代基的樹脂(含氟聚合物)，例如通過聚合四氟乙烯、如氟化苯乙烯化合物的氟化芳基等而提供，這種樹脂的實例例如公開在PCT/US99/21912中。
[0079]用于涂布在本發(fā)明涂層組合物之上的正性光致抗蝕劑或負性光致抗蝕劑的適合光致酸產(chǎn)生體包括例如下式化合物的亞氨基磺酸酯類:
[0080]
【權(quán)利要求】
1.一種制備電子器件的方法，包括: 將可固化組合物涂布到基底上； 將硬掩模組合物涂布在所述可固化組合物之上； 將光致抗蝕劑組合物層涂布在所述硬掩模組合物之上， 其特征在于，所述組合物的一種或多種用無灰化方法除去。
2.權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述可固化組合物曝光于活化輻射中以固化所涂布的組合物
3.權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，將含硅的硬掩模組合物涂布在所述固化組合物之上。
4.一種制備電子器件的方法，包括: 將有機組合物涂布到基底上； 將光致抗蝕劑組合物層涂布在所述有機組合物之上； 其特征在于，所述有機組合物包含一種當熱處理和/或輻射處理時能產(chǎn)生堿溶基團的材料。
5.權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述有機組合物包含具有對光致酸不穩(wěn)定基團的樹脂。
6.權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述有機組合物包含具有酸酐基團的樹脂。
7.權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，在涂布所述光致抗蝕劑組合物前，對所述有機組合物進行熱處理。
8.—種底層涂層組合物，其包含一種或多種含有對熱不穩(wěn)定或?qū)λ岵环€(wěn)定基團的組分，并且所述組合物至少基本上沒有單獨的交聯(lián)劑組分。
9.權(quán)利要求8的涂層組合物，其特征在于，所述組合物包含具有一種或多種發(fā)色基團的組分。
10.權(quán)利要求8的涂層組合物，其特征在于，所述組合物包含酸或酸產(chǎn)生體化合物。
【文檔編號】G03F7/11GK103728840SQ201410045225
【公開日】2014年4月16日 申請日期:2007年4月11日 優(yōu)先權(quán)日:2006年4月11日
【發(fā)明者】M·K·噶拉格爾, A·贊皮尼 申請人:羅門哈斯電子材料有限公司