可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，包括如下步驟：步驟1、提供紫外光燈(10)與待紫外光清洗的基板(20)；步驟2、在紫外光燈(10)與待紫外光清洗的基板(20)之間設(shè)置數(shù)塊遮光板(30)；步驟3、轉(zhuǎn)動(dòng)遮光板(30)，調(diào)整紫外光燈(10)發(fā)出的紫外光照射到基板(20)上的面積，從而控制單位時(shí)間內(nèi)紫外光照射到基板(20)上的能量；步驟4、紫外光燈(10)發(fā)出紫外光清洗基板(20)。通過該方法可以靈活調(diào)節(jié)用于基板清洗的紫外光能量，達(dá)到既能有效去除黏附于基板表面的有機(jī)物，又能避免設(shè)于基板上的電路圖形被靜電擊傷的目的，從而提高產(chǎn)品品質(zhì)及良率。
【專利說明】可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶顯示器的制程領(lǐng)域，尤其涉及一種可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]液晶顯示器(Liquid Crystal Display, LCD)具有機(jī)身薄、省電、無福射等眾多優(yōu)點(diǎn)，得到了廣泛的應(yīng)用，如:移動(dòng)電話、個(gè)人數(shù)字助理(PDA)、數(shù)字相機(jī)、計(jì)算機(jī)屏幕或筆記本電腦屏幕等。
[0003]現(xiàn)有的薄膜晶體管液晶顯示器包括殼體、設(shè)于殼體內(nèi)的液晶面板及設(shè)于殼體內(nèi)的背光模組(Backlight module)。其中，液晶面板的結(jié)構(gòu)是由一薄膜晶體管陣列基板(ThinFilm Transistor Array Substrate, TFT Array Substrate)、一彩色濾光片基板(ColorFilter, CF)、以及一配置于兩基板間的液晶層(Liquid Crystal Layer)所構(gòu)成，其工作原理是通過在兩片玻璃基板上施加驅(qū)動(dòng)電壓來控制液晶層的液晶分子的旋轉(zhuǎn)，將背光模組的光線折射出來產(chǎn)生畫面。
[0004]薄膜晶體管液晶顯示器的制程過程一般包括:前段陣列(Array)制程，主要是制造TFT基板及CF基板；中段成盒(Cell)制程，主要是將TFT基板與CF基板貼合，在二者之間添加液晶，形成液晶面板；及后段模組組裝制程，主要是將液晶面板與背光模組、PCB等其它零部件進(jìn)行組裝。其中，在前段陣列制程與中段成盒制程過程中，需要對(duì)基板進(jìn)行多次清洗，以去除基板表面黏附的有機(jī)物，保證基板的潔凈。目前，得到廣泛應(yīng)用的清洗基板的方法是利用有機(jī)物的光敏氧化作用通過紫外光對(duì)基板進(jìn)行清洗。紫外光燈發(fā)射波長(zhǎng)為185nm和254nm的光波，具有很高的能量，這些光波作用到基板表面時(shí)，由于大多數(shù)有機(jī)物對(duì)185nm波長(zhǎng)的紫外光具有較強(qiáng)的吸收能力，并在吸收185nm波長(zhǎng)的紫外光的能量后分解成離子、游離態(tài)原子、受激分子和中子。空氣中的氧氣分子在吸收了 185nm波長(zhǎng)的紫外光后也會(huì)產(chǎn)生臭氧和原子氧，臭氧對(duì)254nm波長(zhǎng)的紫外光同樣具有強(qiáng)烈的吸收作用，臭氧又分解為原子氧和氧氣。在原子氧的作用下，基板表面上的有機(jī)物的分解物可化合成可揮發(fā)的氣體，如二氧化碳、水蒸氣等脫離基板表面，實(shí)現(xiàn)清除有機(jī)物，保證基板的潔凈?！揪唧w實(shí)施方式】為，在基板上方設(shè)置紫外光燈，基板通過滾輪方式輸送，紫外光直接照射于基板上，去除有機(jī)物。但在此清洗過程中，不能對(duì)紫外光的能量進(jìn)行靈活調(diào)節(jié)，尤其是采用紫外光清洗TFT基板時(shí)，容易造成高能量的紫外光激發(fā)基板的金屬層電子產(chǎn)生大量靜電，最終導(dǎo)致設(shè)于基板上的電路圖形被靜電擊傷，影響廣品品質(zhì)及良率。
[0005]因此，需要一種改進(jìn)的基板清洗方法，既能有效去除黏附于基板表面的有機(jī)物，又能避免電路圖形被靜電擊傷。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，通過該方法可以靈活調(diào)節(jié)用于基板清洗的紫外光能量，達(dá)到既能有效去除黏附于基板表面的有機(jī)物，又能避免設(shè)于基板上的電路圖形被靜電擊傷，從而提高產(chǎn)品品質(zhì)及良率。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明供一種可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，包括如下步驟:
[0008]步驟1、提供紫外光燈與待紫外光清洗的基板；
[0009]步驟2、在紫外光燈與待紫外光清洗的基板之間設(shè)置數(shù)塊遮光板；
[0010]步驟3、轉(zhuǎn)動(dòng)遮光板，調(diào)整紫外光燈發(fā)出的紫外光照射到基板上的面積，從而控制單位時(shí)間內(nèi)紫外光照射到基板上的能量；
[0011]步驟4、紫外光燈發(fā)出紫外光清洗基板。
[0012]所述步驟2中的每一遮光板為黑色。
[0013]所述步驟2中的每一遮光板為長(zhǎng)條狀薄片。
[0014]所述步驟2中的遮光板位于所述紫外光燈與基板中間。
[0015]所述步驟2中的遮光板與所述紫外光燈垂直。
[0016]所述步驟4中基板相對(duì)紫外光燈移動(dòng)，遮光板的長(zhǎng)度方向與基板移動(dòng)的方向平行。
[0017]所述步驟3中轉(zhuǎn)動(dòng)遮光板是通過馬達(dá)驅(qū)動(dòng)安裝于遮光板上的齒輪來實(shí)現(xiàn)的。
[0018]所述齒輪通過一連接軸固定連接于遮光板，且齒輪安裝于軸承上，該軸承上安裝一支撐軸，從而遮光板可相對(duì)于支撐軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0019]所述遮光板能在O度到90度范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0020]所述基板為薄膜晶體管液晶顯示器的玻璃基板。
[0021]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明的可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，在紫外光燈與基板之間設(shè)置數(shù)塊遮光板，通過轉(zhuǎn)動(dòng)遮光板至不同的角度，調(diào)整紫外光燈發(fā)出的紫外光照射到基板上的面積，從而控制單位時(shí)間內(nèi)紫外光照射到基板上的用于清洗基板的能量，既能有效去除黏附于基板表面的有機(jī)物，將基板清洗至潔凈，又能避免激發(fā)基板的金屬層電子產(chǎn)生大量靜電，從而避免基板上的電路圖形被靜電擊傷，且該方法操作靈活、簡(jiǎn)便，能夠提聞廣品品質(zhì)及良率。
[0022]為了能更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容，請(qǐng)參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對(duì)本發(fā)明加以限制。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]下面結(jié)合附圖通過對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】詳細(xì)描述，將使本發(fā)明的技術(shù)方案及其它有益效果顯而易見。
[0024]圖1為本發(fā)明可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法的流程圖；
[0025]圖2為本發(fā)明可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法的步驟I的示意圖；
[0026]圖3為本發(fā)明可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法的步驟2的示意圖；
[0027]圖4為對(duì)應(yīng)圖3中遮光板的A向示意圖；
[0028]圖5為本發(fā)明可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法的步驟3的示意圖；[0029]圖6為對(duì)應(yīng)圖5中的遮光板、馬達(dá)、連接軸、支撐軸及齒輪的B向視圖；
[0030]圖7為對(duì)應(yīng)圖6中的齒輪的C向視圖；
[0031]圖8為本發(fā)明可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法的步驟3中遮光板轉(zhuǎn)動(dòng)45度時(shí)的示意圖；
[0032]圖9為本發(fā)明可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法的步驟3中遮光板轉(zhuǎn)動(dòng)90度時(shí)的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0033]為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果，以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例及其附圖進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0034]請(qǐng)參閱圖1至圖9，本發(fā)明提供一種可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，包括如下步驟:
[0035]步驟1、提供紫外光燈10與待紫外光清洗的基板20 ；
[0036]步驟2、在紫外光燈(10)與待紫外光清洗的基板(20)之間設(shè)置數(shù)塊遮光板30 ；
[0037]步驟3、轉(zhuǎn)動(dòng)遮光板30，調(diào)整紫外光燈10發(fā)出的紫外光照射到基板20上的面積，從而控制單位時(shí)間內(nèi)紫外光照射到基板20上的能量；
[0038]步驟4、紫外光燈10發(fā)出紫外光清洗基板20。
[0039]具體的，請(qǐng)參閱圖2，所述步驟I中提供的紫外光燈10為低壓水銀燈或準(zhǔn)分子燈，用作發(fā)射紫外光的光源；所述待清洗的基板20為薄膜晶體管液晶顯示器的玻璃基板。
[0040]請(qǐng)參閱圖3、圖4，所述步驟2為在紫外光燈10與待紫外光清洗的基板20之間設(shè)置數(shù)塊遮光板30，優(yōu)選的，所述數(shù)塊遮光板30設(shè)置于所述紫外光燈10與待清洗的基板20中間；所述每一遮光板30為黑色的矩形長(zhǎng)條狀薄片，數(shù)塊遮光板30平行排布，其數(shù)量可根據(jù)待紫外光清洗的基板20的具體尺寸調(diào)整；此步驟中，所述數(shù)塊遮光板30與所述紫外光燈10垂直，數(shù)塊遮光板30平鋪設(shè)置，優(yōu)選的，每相鄰的兩塊遮光板30間隔設(shè)置，間距為D1。
[0041]請(qǐng)參閱圖5、圖6及圖7，所述步驟3為轉(zhuǎn)動(dòng)遮光板30，調(diào)整紫外光燈10發(fā)出的紫外光照射到基板20上的面積，從而控制單位時(shí)間內(nèi)紫外光照射到基板20上的能量。所述轉(zhuǎn)動(dòng)遮光板30是通過馬達(dá)40驅(qū)動(dòng)安裝于遮光板上的齒輪50來實(shí)現(xiàn)的。進(jìn)一步的，所述齒輪50通過一連接軸60固定連接于遮光板30，且齒輪60安裝于軸承70上，該軸承70上安裝一支撐軸80，從而遮光板30可相對(duì)于支撐軸80轉(zhuǎn)動(dòng)，該支撐軸80連接馬達(dá)40。為節(jié)省動(dòng)力及生產(chǎn)成本，可設(shè)置一從動(dòng)齒輪55，該從動(dòng)齒輪55與所述齒輪50嚙合，并通過另一連接軸65連接于遮光板30，從而齒輪50可帶動(dòng)該從動(dòng)齒輪55及遮光板30轉(zhuǎn)動(dòng)。該步驟的【具體實(shí)施方式】為:開啟馬達(dá)40之前，所述數(shù)塊遮光板30的轉(zhuǎn)動(dòng)角度為O度，其與所述紫外光燈10垂直，每相鄰的兩塊遮光板30之間間距為最小值D1，此時(shí)，紫外光燈10發(fā)出的紫外光被所述遮光板30遮擋的面積最大,透過間距Dl照射到基板20上的面積最小,相應(yīng)的單位時(shí)間內(nèi)紫外光照射到基板20上的能量最?。婚_啟馬達(dá)40，該馬達(dá)40驅(qū)動(dòng)所述支撐軸80及軸承70轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)所述連接軸60、及從動(dòng)齒輪55與另一連接軸65轉(zhuǎn)動(dòng)，使得分別與連接軸60、及另一連接軸65固定連接的相應(yīng)遮光板30在O度至90度范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。如圖8所示，當(dāng)所述遮光板30轉(zhuǎn)動(dòng)45度時(shí)，每相鄰的兩塊遮光板30之間的間距增大為D2，紫外光燈10發(fā)出的紫外光被所述遮光板30遮擋的面積減小，透過間距D2照射到基板20上的面積增大，相應(yīng)的單位時(shí)間內(nèi)紫外光照射到基板20上的能量增大；如圖9所示，當(dāng)所述遮光板30轉(zhuǎn)動(dòng)90度時(shí)，每相鄰的兩塊遮光板30之間的間距增大為最大值D3，紫外光燈10發(fā)出的紫外光被所述遮光板30遮擋的面積減至最小，透過間距D3照射到基板20上的面積增至最大，相應(yīng)的單位時(shí)間內(nèi)紫外光照射到基板20上的能量增至最大?？山Y(jié)合薄膜晶體管液晶顯示器的前段陣列及中段成盒所包括的其它制程過程，根據(jù)基板20表面黏附有機(jī)物的實(shí)際情況，通過控制所述馬達(dá)40來靈活控制所述遮光板30在O度至90度范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，控制單位時(shí)間內(nèi)紫外光照射到所述基板20上的能量，使用于清洗所述基板20的紫外光能量適中，既能有效除黏附于基板20表面的有機(jī)物，將基板20清洗至潔凈，又能避免激發(fā)基板的金屬層電子產(chǎn)生大量靜電，從而避免基板上的電路圖形被靜電擊傷。
[0042]所述步驟4的【具體實(shí)施方式】為，調(diào)整好所述遮光板30的角度后，基板20通過滾輪(未圖示)帶動(dòng)的方式相對(duì)紫外光燈10移動(dòng)，所述紫外光燈10發(fā)出紫外光清洗基板20。值得一提的是，所述遮光板30的長(zhǎng)度方向與基板20移動(dòng)的方向平行。
[0043]綜上所述，本發(fā)明的可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，在紫外光燈與基板之間設(shè)置數(shù)塊遮光板，通過轉(zhuǎn)動(dòng)遮光板至不同的角度，調(diào)整紫外光燈發(fā)出的紫外光照射到基板上的面積，從而控制單位時(shí)間內(nèi)紫外光照射到基板上的用于清洗基板的能量，既能有效去除黏附于基板表面的有機(jī)物，將基板清洗至潔凈，又能避免激發(fā)基板的金屬層電子產(chǎn)生大量靜電，從而避免基板上的電路圖形被靜電擊傷，且該方法操作靈活、簡(jiǎn)便，能夠提聞廣品品質(zhì)及良率。
[0044]以上所述，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案和技術(shù)構(gòu)思作出其他各種相應(yīng)的改變和變形，而所有這些改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，其特征在于， 包括如下步驟: 步驟1、提供紫外光燈(10)與待紫外光清洗的基板(20)； 步驟2、在紫外光燈(10)與待紫外光清洗的基板(20)之間設(shè)置數(shù)塊遮光板(30)； 步驟3、轉(zhuǎn)動(dòng)遮光板(30)，調(diào)整紫外光燈(10)發(fā)出的紫外光照射到基板(20)上的面積，從而控制單位時(shí)間內(nèi)紫外光照射到基板(20)上的能量； 步驟4、紫外光燈(10)發(fā)出紫外光清洗基板(20)。
2.如權(quán)利要求1所述的可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，其特征在于，所述步驟2中的每一遮光板(30)為黑色。
3.如權(quán)利要求1所述的可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，其特征在于，所述步驟2中的每一遮光板(30)為長(zhǎng)條狀薄片。
4.如權(quán)利要求1所述的可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，其特征在于，所述步驟2中的遮光板(30)位于所述紫外光燈(10)與基板(20)中間。
5.如權(quán)利要求1所述的可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，其特征在于，所述步驟2中的遮光板(30)與所述紫外光燈(10)垂直。
6.如權(quán)利要求1所述的可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，其特征在于，所述步驟4中基板(20)相對(duì)紫外光燈(10)移動(dòng)，遮光板(30)的長(zhǎng)度方向與基板(20)移動(dòng)的方向平行。
7.如權(quán)利要求1所述的可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，其特征在于，所述步驟3中轉(zhuǎn)動(dòng)遮光板(30)是通過馬達(dá)(40)驅(qū)動(dòng)安裝于遮光板(30)上的齒輪(50)來實(shí)現(xiàn)的。
8.如權(quán)利要求7所述的可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，其特征在于，所述齒輪(50)通過一連接軸(60)固定連接于遮光板(30)，且齒輪(60)安裝于軸承(70)上，該軸承(70)上安裝一支撐軸(80)，從而遮光板(30)可相對(duì)于支撐軸(80)轉(zhuǎn)動(dòng)。
9.如權(quán)利要求7所述的可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，其特征在于，所述遮光板(30)能在O度到90度范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。
10.如權(quán)利要求1所述的可調(diào)整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，其特征在于，所述基板(20)為薄膜晶體管液晶顯示器的玻璃基板。
【文檔編號(hào)】G02F1/13GK103962346SQ201410216997
【公開日】2014年8月6日 申請(qǐng)日期:2014年5月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月21日
【發(fā)明者】姚江波 申請(qǐng)人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司