校正光束圖案化的方向和位置的方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種校正光束圖案化的方向和位置的方法，所述方法包含：將襯底裝載到處理腔室中；基于表示作為變形前襯底的非變形襯底的形狀的非變形襯底形狀信息創(chuàng)建虛擬非變形襯底模型；檢查裝載到處理腔室中的襯底的變形水平且創(chuàng)建虛擬變形襯底模型；計算作為圖案化區(qū)段起始側(cè)的中心點(diǎn)的圖案化區(qū)段起始點(diǎn)及作為圖案化區(qū)段結(jié)束側(cè)的中心點(diǎn)的圖案化區(qū)段結(jié)束點(diǎn)，其中通過使用非變形襯底形狀信息在變形襯底模型的每個區(qū)段上執(zhí)行光束的圖案化；以及考慮到圖案化區(qū)段起始點(diǎn)與圖案化區(qū)段結(jié)束點(diǎn)之間的斜率，確定每個區(qū)段的圖案化起始襯底位置。
【專利說明】校正光束圖案化的方向和位置的方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種校正光束圖案化的方向和位置的方法，尤其涉及一種在通過光束圖案化在襯底上制作特定的圖案的過程中襯底發(fā)生變形時校正光束圖案化的方向和位置的方法。

【背景技術(shù)】
[0002]噴墨和光束輻射技術(shù)用于在襯底上制作特定的圖案。
[0003]由于光束圖案化技術(shù)可以通過光束輻射在襯底的預(yù)期部分上制作特定的圖案并且具有有可能精確且快速地應(yīng)用于較大區(qū)域的優(yōu)勢，因此所述技術(shù)是廣泛地使用的。
[0004]一般的激光圖案化裝置包含:處理腔室；襯底傳送單元，其安裝在處理腔室中，支撐襯底并且在處理進(jìn)行的方向上水平地移動襯底；以及安裝在處理腔室的上部部分并且發(fā)射光束的模塊。來自處理腔室中的光束模塊的光束可以輻射到裝載到激光圖案化裝置的處理腔室中的襯底，以在襯底的預(yù)期部分上執(zhí)行圖案化處理。
[0005]然而，在執(zhí)行圖案化處理之前襯底可能由于熱或外部物理力量而變形，并且當(dāng)在這種變形襯底上執(zhí)行圖案化處理時，存在無法精確地進(jìn)行圖案化的局限性。
[0006]也就是說，當(dāng)通過圖案化裝置中的光束輻射進(jìn)行圖案化時，光束的輻射可在每個區(qū)段上正常執(zhí)行，前提是裝載的襯底是具有普通形狀而沒有變形的襯底1，如圖1A中所示。然而，當(dāng)在執(zhí)行先前處理時襯底P已變形時，存在光束無法正確地輻射到變形的襯底上的局限性，如圖1B中所示。由于通常僅考慮變形襯底的豎直收縮/膨脹且不考慮光束的輻射(圖案化)的方向性，因此無法在精確位置上進(jìn)行圖案化。
[0007](專利文獻(xiàn)I)韓國專利公開案號2012-0131338。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]為了解決上述限制，當(dāng)在襯底上執(zhí)行圖案化處理時，對光束的圖案化方向和圖案化位置進(jìn)行校正以用于精確輻射。并且，即使襯底的形狀由于膨脹或收縮發(fā)生變形，也能正確地執(zhí)行光束的輻射。并且，即使襯底的形狀發(fā)生變化，光束的輻射方向也不會出錯。
[0009]根據(jù)示例性實(shí)施例，一種校正光束圖案化的方向和位置的方法包含:將襯底裝載到處理腔室中；基于表示作為變形前襯底的非變形襯底的形狀的非變形襯底形狀信息創(chuàng)建虛擬非變形襯底模型；檢查裝載到處理腔室中的襯底的變形水平并且創(chuàng)建虛擬變形襯底模型；計算作為圖案化區(qū)段起始側(cè)的中心點(diǎn)的圖案化區(qū)段起始點(diǎn)以及作為圖案化區(qū)段結(jié)束側(cè)的中心點(diǎn)的圖案化區(qū)段結(jié)束點(diǎn)，其中通過使用非變形襯底形狀信息在變形襯底模型的每個區(qū)段上執(zhí)行光束的圖案化；以及考慮到圖案化區(qū)段起始點(diǎn)與圖案化區(qū)段結(jié)束點(diǎn)之間的斜率，確定每個區(qū)段的圖案化起始襯底位置。
[0010]非變形襯底形狀信息可以是關(guān)于在施加熱或外部物理力量之前的基底襯底的形狀信息。
[0011]非變形襯底形狀信息可以包含非變形襯底的每一側(cè)的位置和長度、圖案化起始偵U、圖案化結(jié)束側(cè)、非變形襯底的對齊標(biāo)記坐標(biāo)和光束圖案化區(qū)段的數(shù)目中的至少一個。
[0012]非變形襯底模型的創(chuàng)建可以包含:檢查非變形襯底形狀信息；創(chuàng)建具有非變形襯底形狀信息的每一側(cè)的長度的虛擬非變形襯底模型；基于非變形襯底形狀信息的對齊標(biāo)記坐標(biāo)在非變形襯底模型上放置作為對齊標(biāo)記的非變形對齊標(biāo)記。
[0013]變形襯底模型的創(chuàng)建可以包含:讀取作為在裝載到處理腔室中的襯底上形成的對齊標(biāo)記的變形對齊標(biāo)記；
[0014]測量標(biāo)記變形水平，即，非變形對齊標(biāo)記與變形對齊標(biāo)記之間的變形水平；以及自非變形襯底模型創(chuàng)建具有圖案化變形起始側(cè)和圖案化變形結(jié)束側(cè)的變形襯底模型，所述圖案化變形起始側(cè)和圖案化變形結(jié)束側(cè)是通過按標(biāo)記變形水平擴(kuò)張或收縮圖案化起始于的圖案化起始側(cè)和圖案化結(jié)束于的圖案化結(jié)束側(cè)而獲得的。
[0015]圖案化區(qū)段起始點(diǎn)的計算可以包含:將圖案化變形起始側(cè)的整個長度劃分為對應(yīng)于光束圖案化區(qū)段的數(shù)目的部分并且計算每個圖案化區(qū)段起始側(cè)的位置；以及將圖案化區(qū)段起始側(cè)的每個中心點(diǎn)作為圖案化區(qū)段起始點(diǎn)進(jìn)行計算。
[0016]每個區(qū)段的圖案化起始襯底位置的確定可以包含:
[0017]計算連接圖案化區(qū)段起始點(diǎn)和圖案化區(qū)段結(jié)束點(diǎn)的傾角；按所述傾角旋轉(zhuǎn)襯底平臺從而允許襯底在平行于非變形襯底模型的圖案化方向的方向上移動；以及按根據(jù)旋轉(zhuǎn)的圖案化區(qū)段起始點(diǎn)的變化水平和圖案化區(qū)段結(jié)束點(diǎn)的變化水平移動坐標(biāo)值，并且確定每個區(qū)段的最后一個圖案化起始襯底位置和圖案化結(jié)束襯底位置。
[0018]按傾角旋轉(zhuǎn)襯底平臺可以包含從支撐襯底的平臺的中心點(diǎn)按傾角旋轉(zhuǎn)襯底平臺。
[0019]可以在光束的圖案化在其上執(zhí)行的每個區(qū)段上計算圖案化區(qū)段起始點(diǎn)和圖案化區(qū)段結(jié)束點(diǎn)，并且可以在對每個區(qū)段的光束圖案化時將襯底移動到每個區(qū)段的圖案化起始襯底位置。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]通過結(jié)合附圖進(jìn)行的以下描述可以更詳細(xì)地理解示范性實(shí)施例，其中:
[0021]圖1A和圖1B示出了沒有變形的襯底和變形襯底上的光束圖案化方向。
[0022]圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例的校正圖案化坐標(biāo)并且執(zhí)行光束圖案化的襯底處理裝置。
[0023]圖3是根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的校正激光束的圖案化方向和圖案化位置的過程的流程圖。
[0024]圖4表示如何在非變形襯底上測量圖案化區(qū)段、對齊標(biāo)記和每一側(cè)的長度。
[0025]圖5示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例的非變形襯底模型。
[0026]圖6示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例的變形襯底上的對齊標(biāo)記的變形水平。
[0027]圖7示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例的變形襯底模型。
[0028]圖8示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例的非變形襯底模型和變形襯底模型。
[0029]圖9示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例如何計算傾角。
[0030]圖1OA和圖1OB示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例如何按傾角移動平臺。
[0031]圖11A、圖1IB和圖1IC示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例襯底的行進(jìn)方向如何取決于每個圖案化區(qū)段而變化。

【具體實(shí)施方式】
[0032]下文中將參考附圖來更詳細(xì)描述本發(fā)明的示例性實(shí)施例。然而，本發(fā)明可通過不同的形式進(jìn)行實(shí)施，且不應(yīng)解釋為限于本文中所列出的各實(shí)施例。相反，提供這些實(shí)施例以使本發(fā)明更加全面且完整，并且可以將本發(fā)明的范圍完整地傳達(dá)給所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員。附圖中相同的標(biāo)號指代相同的組件。
[0033]圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例的校正圖案化坐標(biāo)并且執(zhí)行圖案化的襯底處理裝置。
[0034]執(zhí)行光束圖案化的襯底處理裝置在襯底上掃描光束并且在襯底S上執(zhí)行圖案化處理。所述襯底處理裝置包含:處理腔室100 ;襯底傳送單元110，其安裝在處理腔室100中，支撐襯底S，并且水平地向前和向后移動襯底S ；以及安裝在處理腔室100的一側(cè)并且發(fā)射光束的光束模塊200，所述光束模塊面向襯底傳送單元110。
[0035]襯底傳送單元110可包含放置襯底的襯底平臺，并且允許隨著襯底平臺的移動在襯底的表面上順序地進(jìn)行光束圖案化。由于除在X和Y方向上移動之外，所述平臺也具有可旋轉(zhuǎn)配置，所以它可以旋轉(zhuǎn)。
[0036]并且，具有電荷稱合裝置(charge coupled device ;CO))傳感器的視覺攝像機(jī)(未圖示)布置在所述處理腔室中。所述視覺攝像機(jī)(未圖示)可捕獲襯底并且識別在襯底上形成的對齊標(biāo)記的位置。
[0037]并且，控制單元(未圖示)檢查裝載到腔室中的襯底的變形水平，校正光束圖案化范圍，根據(jù)校正值移動襯底并且執(zhí)行光束輻射。
[0038]下文簡單描述通過使用具有這種配置的襯底處理裝置的圖案化襯底的過程。首先，當(dāng)襯底S被裝載到處理腔室100中并且放置在襯底傳送單元110上時，通過使用視覺攝像機(jī)(未圖示)來傳送襯底傳送單元110以與對齊標(biāo)記匹配以便對齊襯底S。當(dāng)完成襯底對齊時，將激光束輻射到襯底S上。在襯底由襯底傳送單元110水平地向前和向后移動時，激光束輻射到所述襯底上。
[0039]當(dāng)輻射激光束時，激光束僅輻射到圖案化目標(biāo)區(qū)域以執(zhí)行選擇性圖案化。舉例來說，通過對光束執(zhí)打能夠控制光束振湯的觸發(fā)，有可能僅將激光束福射到在光束|吳塊下方移動的襯底的圖案化目標(biāo)區(qū)域。也就是說，光束模塊簡單地具有接收到電力的就緒狀態(tài)，并且準(zhǔn)備好執(zhí)行激光振蕩?？刂茊卧梢詫⒂|發(fā)信號發(fā)送到光束模塊以在襯底的圖案化目標(biāo)區(qū)域被放置在光束模塊的光束輻射路徑上時執(zhí)行選擇性輻射。有可能通過其他技術(shù)執(zhí)行圖案化。
[0040]并且，當(dāng)裝載到處理腔室中的襯底具有由于例如熱或外部物理力量等原因的變形形狀時，預(yù)設(shè)圖案化起始范圍和預(yù)設(shè)圖案化結(jié)束范圍并不精確地與變形襯底匹配，并且因此圖案化是在非預(yù)期方向上執(zhí)行的。因此，本發(fā)明詳細(xì)描述了如何考慮到這種襯底變形水平并且通過參考圖3的控制單元校正圖案化方向。
[0041]圖3是根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例的校正激光束的圖案化方向和圖案化位置的過程的流程圖。
[0042]在下文中，襯底具有四個圖案化區(qū)段，并且將描述如何在每個圖案化區(qū)段上執(zhí)行光束的輻射的一個實(shí)例。也就是說，當(dāng)襯底移動且其第一區(qū)段被放置于固定光束模塊下方時，輻射光束并且襯底往復(fù)移動以在第一區(qū)段上執(zhí)行圖案化，并且隨后在第二區(qū)段、第三區(qū)段和第四區(qū)段上執(zhí)行圖案化。除了將要在下文中描述的四個圖案化區(qū)段之外，本發(fā)明的實(shí)施例也將能夠應(yīng)用于具有單個圖案化區(qū)段或多個圖案化區(qū)段的襯底。
[0043]首先，在過程S310中將圖案化目標(biāo)襯底裝載到處理腔室中。由于圖案化目標(biāo)襯底是在先前過程中用熱或外部物理力量制造的，因此它可能具有不同于原始襯底的變形形狀。
[0044]當(dāng)將圖案化目標(biāo)襯底裝載到處理腔室中時，在過程S320中，控制單元基于關(guān)于非變形襯底形狀的信息創(chuàng)建虛擬的非變形襯底模型，所述信息表示作為圖案化目標(biāo)襯底變形之前的襯底的非變形襯底的形狀。為了創(chuàng)建非變形襯底模型，當(dāng)將圖案化目標(biāo)襯底放到處理腔室中時，控制單元首先檢查關(guān)于圖案化目標(biāo)襯底的變形前襯底的信息(被稱作“非變形襯底形狀信息”)。非變形襯底形狀信息是關(guān)于在受到熱或外部物理力量影響之前或在變形出現(xiàn)之前的襯底的形狀信息?？筛鶕?jù)預(yù)先存儲此類非變形襯底形狀信息的數(shù)據(jù)庫(database, DB)或通過從先前處理裝置接收關(guān)于裝載到圖案化處理腔室中的圖案化目標(biāo)襯底的變形前襯底的形狀信息檢查處理腔室。
[0045]非變形襯底形狀信息包含關(guān)于非變形襯底的每一側(cè)的位置和長度、圖案化起始偵U、圖案化結(jié)束側(cè)、非變形襯底的對齊標(biāo)記坐標(biāo)和光束圖案化區(qū)段的數(shù)目中的至少一個的信息。如圖4中所示，非變形襯底的每一側(cè)的位置是每一側(cè)的位置坐標(biāo)，并且每一側(cè)的長度包含非變形襯底的右側(cè)長度dl、左側(cè)長度d2、上側(cè)長度d3和下側(cè)長度d4。并且，圖案化起始側(cè)是光束圖案化起始于的側(cè)，且圖案化結(jié)束側(cè)是在圖案化完成之后圖案化結(jié)束于的側(cè)。舉例來說，當(dāng)在襯底水平地從右側(cè)移動到左側(cè)時在圖4中執(zhí)行圖案化時，右側(cè)dl變?yōu)閳D案化起始側(cè)而左側(cè)d2變?yōu)閳D案化結(jié)束側(cè)。并且，非變形襯底形狀信息包含形成在非變形襯底上的多個對齊標(biāo)記坐標(biāo)。舉例來說，當(dāng)襯底被分成各自包含一個對齊標(biāo)記的四個象限時，放置在第一象限上的第一對齊標(biāo)記Ml具有作為非變形襯底形狀信息的第一對齊標(biāo)記坐標(biāo)值xUylo并且，光束圖案化區(qū)段的數(shù)目表示當(dāng)襯底被分成區(qū)段以輻射光束并且執(zhí)行圖案化時的區(qū)段的數(shù)目。舉例來說，如圖4中所示，當(dāng)襯底被分成四個區(qū)段SI到S4并且順序執(zhí)行光束輻射時，光束圖案化區(qū)段的數(shù)目是四個。
[0046]在檢查非變形襯底形狀信息之后，控制單元創(chuàng)建如圖5中所示的非變形襯底模型。創(chuàng)建了非變形襯底模型，所述非變形襯底模型是具有與從非變形襯底形狀信息中獲得的每一側(cè)的長度相同的尺寸的虛擬襯底模型。此外，基于非變形襯底形狀信息的對齊標(biāo)記坐標(biāo)，將對齊標(biāo)記(在下文中，被稱作“非變形對齊標(biāo)記”)放置在非變形襯底模型上的。因此，通過使用實(shí)際變形前襯底的非變形襯底形狀信息，控制單元創(chuàng)建具有與圖5中所示相同的形狀的虛擬襯底模型。
[0047]在創(chuàng)建非變形襯底模型之后，對裝載到處理腔室中的圖案化目標(biāo)襯底的變形水平進(jìn)行檢查，以在(圖3的)過程S320中創(chuàng)建虛擬變形襯底模型。
[0048]通過使用具有C⑶傳感器的視覺攝像機(jī)捕獲在裝載到處理腔室中的圖案化目標(biāo)襯底上制成的每個對齊標(biāo)記，并且從所捕獲的圖像中讀取對齊標(biāo)記(在下文中，被稱作“變形對齊標(biāo)記”)。將以此方式讀取的變形對齊標(biāo)記的坐標(biāo)與在非變形襯底模型上形成的非變形對齊標(biāo)記進(jìn)行比較，以測量對齊標(biāo)記之間的變形水平。為了進(jìn)行參考，由于對齊標(biāo)記的坐標(biāo)是從非變形襯底形狀信息中獲得的，所以視覺攝像機(jī)捕獲對齊標(biāo)記被放置于的點(diǎn)。視覺攝像機(jī)的數(shù)目可與對齊標(biāo)記的數(shù)目相同。
[0049]如果在先前處理裝置執(zhí)行處理之后襯底由于熱或外部物理力量擴(kuò)張或收縮，那么在對齊標(biāo)記之間將出現(xiàn)變形。
[0050]圖6是通過用視覺攝像機(jī)捕獲圖案化目標(biāo)襯底的對齊標(biāo)記獲得的圖像的放大視圖。由于視覺攝像機(jī)從非變形襯底形狀信息中獲得對齊標(biāo)記(非變形對齊標(biāo)記)將被放置于的坐標(biāo)，因此所述攝像機(jī)經(jīng)放置并且進(jìn)行捕獲以便使在襯底變形之前刻在襯底中的非變形對齊標(biāo)記的中心點(diǎn)放置在圖像的中心。然而，當(dāng)圖案化目標(biāo)襯底具有由于熱或外部物理力量的變形形狀時，對齊標(biāo)記的位置也發(fā)生變化。舉例來說，如圖6中所示，當(dāng)襯底的第一象限向上擴(kuò)張和變形時，在第一象限上制作的第一對齊標(biāo)記Ml也被放置在向上移動的部分上?？淘趫D案化目標(biāo)襯底中的第一對齊標(biāo)記(變形的第一對齊標(biāo)記)并不放置在由第一視覺攝像機(jī)caml拍攝的圖像的中心，而是具有向上移動的位置。因此，有可能測量由第一視覺攝像機(jī)caml捕獲的圖像的中心點(diǎn)(非變形的第一對齊標(biāo)記的中心點(diǎn))與變形的第一對齊標(biāo)記的中心點(diǎn)之間的垂直距離dyl來作為標(biāo)記變形水平。為了進(jìn)行參考，取決于光束的長度方向，標(biāo)記變形水平可受到不同測量。當(dāng)假定通過采用襯底的垂直軸作為長度方向進(jìn)行光束的輻射時，可將非變形對齊標(biāo)記與變形對齊標(biāo)記之間的垂直距離測量作為標(biāo)記變形水平，并且反之，當(dāng)假定通過采用襯底的水平軸作為長度方向進(jìn)行光束的輻射時，可將非變形對齊標(biāo)記與變形對齊標(biāo)記之間的水平距離測量作為標(biāo)記變形水平。
[0051]在測量在圖案化目標(biāo)襯底的每個象限上制作的對齊標(biāo)記的標(biāo)記變形水平之后，在(圖3的)過程S330中基于標(biāo)記變形水平創(chuàng)建變形襯底模型。從非變形襯底模型中創(chuàng)建變形襯底模型，所述變形襯底模型具有通過擴(kuò)張或收縮圖案化起始于的圖案化起始側(cè)和圖案化結(jié)束于的圖案化結(jié)束側(cè)而獲得的圖案化變形起始側(cè)和圖案化變形結(jié)束側(cè)。
[0052]舉例來說，當(dāng)?shù)谝幌笙轎的第一對齊標(biāo)記Ml的變形水平dyl是+8時，有可能將非變形襯底模型的第一象限所屬于的變形前圖案化起始側(cè)(右側(cè))的上端增大+8 (如圖7中所示)，并且類似地，當(dāng)?shù)谒南笙轎V的第四對齊標(biāo)記M4的變形水平dy4是+3時，有可能將非變形襯底模型的第四象限IV所屬于的圖案化起始側(cè)(右側(cè))的下端增大+3。因此，有可能創(chuàng)建變形圖案化起始側(cè)(在下文中，被稱作“圖案化變形起始端”)。類似地，形成第二象限II和第三象限III的圖案化結(jié)束側(cè)(左側(cè))也可創(chuàng)建取決于每個標(biāo)記的變形水平而變形的圖案化變形結(jié)束側(cè)。因此，如圖7中所示，有可能創(chuàng)建具有圖案化變形起始側(cè)和圖案化變形結(jié)束側(cè)的變形襯底模型。為了進(jìn)行參考，有可能通過連接圖案化變形起始端和圖案化變形結(jié)束側(cè)的兩端而創(chuàng)建變形襯底模型。
[0053]在創(chuàng)建變形襯底模型之后，在(圖3的)過程S340中計算作為圖案化區(qū)段起始側(cè)的中心點(diǎn)的圖案化區(qū)段起始點(diǎn)以及作為圖案化區(qū)段結(jié)束側(cè)的中心點(diǎn)的圖案化區(qū)段結(jié)束點(diǎn)，其中通過使用非變形襯底形狀信息在變形襯底模型的每個區(qū)段上執(zhí)行光束的圖案化。在示出非變形襯底模型和變形襯底模型的圖8中，為了描述上述過程，假定非變形襯底模型的圖案化起始側(cè)不具有變形，并且僅有第一象限I的圖案化起始側(cè)發(fā)生變形以形成變形襯底模型。也就是說，假定變形襯底模型的圖案化變形起始側(cè)從非變形襯底模型的圖案化起始側(cè)向上擴(kuò)張+8并且向下擴(kuò)張+3。并且，假定變形襯底模型的圖案化變形結(jié)束側(cè)具有與沒有擴(kuò)張或收縮的非變形襯底模型的圖案化結(jié)束側(cè)相同的位置和尺寸。
[0054]根據(jù)非變形襯底形狀信息假定光束圖案化區(qū)段的數(shù)目是四個，并且描述計算圖8的模型中的圖案化起始點(diǎn)和圖案化結(jié)束點(diǎn)的過程。
[0055]首先，描述了如何計算圖案化起始點(diǎn)。
[0056]變形襯底模型的圖案化變形起始側(cè)的整個長度被均勻地分成與光束圖案化區(qū)段的數(shù)目相同的四個部分，并且通過劃分獲得的側(cè)面的每個區(qū)域被計算作為圖案化區(qū)段起始側(cè)的位置。因此，計算四個圖案化區(qū)段起始側(cè)SI'到S4'的位置。由于非變形襯底的圖案化起始側(cè)是變形的，所以變形襯底模型的每個圖案化區(qū)段起始側(cè)具有與非變形襯底模型的每個圖案化區(qū)段起始側(cè)相比較大的值。每個圖案化區(qū)段起始側(cè)的中心點(diǎn)被確定為對應(yīng)的圖案化區(qū)段起始端的起始點(diǎn)(在下文中，被稱作“圖案化區(qū)段起始點(diǎn)”)。因此，有可能確定變形襯底模型的第一區(qū)段的圖案化起始點(diǎn)B1、第二區(qū)段的圖案化起始點(diǎn)B2、第三區(qū)段的圖案化起始點(diǎn)B3以及第四區(qū)段的圖案化起始點(diǎn)B4。
[0057]類似地，通過將圖案化變形結(jié)束側(cè)均勻地劃分為與光束圖案化區(qū)段的數(shù)目相同的四個部分，有可能根據(jù)通過劃分獲得的每個圖案化區(qū)段結(jié)束側(cè)計算圖案化區(qū)段結(jié)束點(diǎn)El到E4。
[0058]每個區(qū)段的起始點(diǎn)和結(jié)束點(diǎn)用于從每個區(qū)段的起始點(diǎn)向包含其右側(cè)和左側(cè)區(qū)段的一定范圍內(nèi)輻射光束。也就是說，本發(fā)明的實(shí)施例執(zhí)行從特定區(qū)段的起始點(diǎn)向?qū)?yīng)區(qū)段的結(jié)束點(diǎn)的光束輻射。舉例來說，當(dāng)光束輻射到第一區(qū)段時，襯底移動使得光束模塊的中心點(diǎn)從第一區(qū)段的圖案化起始點(diǎn)BI移動到圖案化結(jié)束點(diǎn)E1，并且執(zhí)行光束圖案化。
[0059]為此目的，當(dāng)在襯底的每個區(qū)段上執(zhí)行圖案化過程時，應(yīng)確定支撐襯底的襯底平臺的行進(jìn)方向。為此目的，在過程S350中，考慮圖案化區(qū)段起始點(diǎn)與圖案化區(qū)段結(jié)束點(diǎn)之間的斜率來計算每個區(qū)段的圖案化起始襯底位置。
[0060]具體而言，首先計算連接圖案化區(qū)段起始點(diǎn)與圖案化區(qū)段結(jié)束點(diǎn)的傾角。參考圖8的變形襯底模型，第一區(qū)段找到將圖案化區(qū)段起始點(diǎn)BI連接到圖案化區(qū)段結(jié)束點(diǎn)El的傾斜線LI，并且隨后找到傾斜線的傾角Θ。也就是說，如圖9中所示，找到由圖案化區(qū)段起始點(diǎn)BI與圖案化區(qū)段結(jié)束點(diǎn)El之間的高度差造成的傾角Θ。
[0061]在計算傾角之后，如圖1OB中所示，襯底狀態(tài)按所計算的傾角旋轉(zhuǎn)。按傾角旋轉(zhuǎn)襯底狀態(tài)意味著從支撐襯底的平臺的中心點(diǎn)按傾角旋轉(zhuǎn)襯底平臺。通過此類旋轉(zhuǎn)，襯底平行于非變形襯底模型的圖案化方向而旋轉(zhuǎn)，例如，按傾角旋轉(zhuǎn)，使得襯底在垂直于光束線的方向上移動。非變形襯底模型的圖案化方向意味著當(dāng)在變形之前襯底具有正常的襯底形狀時的圖案化方向。
[0062]當(dāng)由于圖案化區(qū)段起始點(diǎn)BI和圖案化區(qū)段結(jié)束點(diǎn)El之間的高度差產(chǎn)生的傾角Θ具有正(+)值時，有可能通過順時針旋轉(zhuǎn)來移動襯底使其變?yōu)榇怪庇诠馐€，并且當(dāng)傾角Θ具有負(fù)(_)值時，有可能通過逆時針旋轉(zhuǎn)來移動襯底使其變?yōu)榇怪庇诠馐€。
[0063]在通過平臺旋轉(zhuǎn)進(jìn)行校正之后，通過按取決于旋轉(zhuǎn)的圖案化區(qū)段起始點(diǎn)和圖案化區(qū)段結(jié)束點(diǎn)的變化水平校正坐標(biāo)值來確定每個區(qū)段的最后一個取決于區(qū)段的圖案化起始襯底位置。在襯底平臺旋轉(zhuǎn)之后，計算出的圖案化區(qū)段起始點(diǎn)和計算出的圖案化區(qū)段結(jié)束點(diǎn)應(yīng)該也具有旋轉(zhuǎn)值，并且因此所述值得到校正。
[0064]舉例來說，最初放置在圖1OA的襯底平臺上的襯底的第一區(qū)段的圖案化區(qū)段起始點(diǎn)坐標(biāo)Xa、Yb應(yīng)該被校正到由于圖1OB的旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)起始點(diǎn)坐標(biāo)Xa'、Yb',但是仍然具有先前計算出的位置Xa、Yb。因此，通過按由于旋轉(zhuǎn)的圖案化區(qū)段起始點(diǎn)的變化水平(誤差值)和圖案化區(qū)段結(jié)束點(diǎn)的變化水平移動坐標(biāo)值，將坐標(biāo)Xa'、Yb'確定為每個區(qū)段的最后一個圖案化起始襯底位置和圖案化結(jié)束襯底位置。
[0065]當(dāng)基于每個區(qū)段的計算出的圖案化起始襯底位置和圖案化結(jié)束襯底位置執(zhí)行每個區(qū)段的圖案化時，形成關(guān)于每個區(qū)段的激光圖案化的從每個圖案化起始點(diǎn)到每個圖案化結(jié)束點(diǎn)的不同的圖案化方向性，并且因此有可能執(zhí)行精確的圖案化而不論襯底變形如何。舉例來說，當(dāng)襯底被分成在其上執(zhí)行圖案化的多個區(qū)段時，當(dāng)光束輻射到襯底的第一區(qū)段(如圖1lA中所示)時襯底平臺可移動而具有垂直于光束線的第一圖案化方向性LI，并且可以如圖1lB中所示確定襯底的位置，并且當(dāng)?shù)谝粓D案化完成之后光束輻射第二區(qū)段時襯底平臺可移動而具有垂直于光束線的第二圖案化方向性L2。類似地，當(dāng)光束輻射到第三區(qū)段時，可如圖1lC中所示確定襯底位置并且襯底平臺可以移動而具有垂直于光束線的第二圖案化方向性L3。
[0066]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，即使襯底發(fā)生變形，也有可能通過使用對齊標(biāo)記對襯底進(jìn)行校正來防止光束的圖案化方向出錯。并且，通過防止光束的圖案化方向出錯，可以在襯底的正確部分上執(zhí)行圖案化。
[0067]雖然 申請人:參考附圖和示例性實(shí)施例來描述本發(fā)明，但是本發(fā)明并不受到上述內(nèi)容的限制并且由所附的權(quán)利要求書界定。因此，所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可以在不脫離所附權(quán)利要求書的技術(shù)精神的前提下實(shí)施各種變化和修改。
【權(quán)利要求】
1.一種校正光束圖案化的方向和位置的方法，所述方法包括: 將襯底裝載到處理腔室中； 基于表示作為變形前襯底的非變形襯底的形狀的非變形襯底形狀信息創(chuàng)建虛擬非變形襯底模型； 檢查裝載到所述處理腔室中的襯底的變形水平并且創(chuàng)建虛擬變形襯底模型； 計算作為圖案化區(qū)段起始側(cè)的中心點(diǎn)的圖案化區(qū)段起始點(diǎn)及作為圖案化區(qū)段結(jié)束側(cè)的中心點(diǎn)的圖案化區(qū)段結(jié)束點(diǎn)，其中通過使用所述非變形襯底形狀信息在所述變形襯底模型的每個區(qū)段上執(zhí)行光束的所述圖案化；以及 考慮所述圖案化區(qū)段起始點(diǎn)與所述圖案化區(qū)段結(jié)束點(diǎn)之間的斜率，確定每個區(qū)段的圖案化起始襯底位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述非變形襯底形狀信息是關(guān)于在施加熱或外部物理力量之前的基底襯底的形狀信息。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中所述非變形襯底形狀信息包括所述非變形襯底的每一側(cè)的位置和長度、圖案化起始側(cè)、圖案化結(jié)束偵彳、所述非變形襯底的對齊標(biāo)記坐標(biāo)和光束圖案化區(qū)段的數(shù)目中的至少一個。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中所述非變形襯底模型的所述創(chuàng)建包括: 檢查所述非變形襯底形狀信息； 創(chuàng)建具有所述非變形襯底形狀信息的每一側(cè)的所述長度的虛擬非變形襯底模型；基于所述非變形襯底形狀信息的所述對齊標(biāo)記坐標(biāo)在所述非變形襯底模型上放置作為對齊標(biāo)記的非變形對齊標(biāo)記。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中所述變形襯底模型的所述創(chuàng)建包括: 讀取作為在裝載到所述處理腔室中的所述襯底上形成的對齊標(biāo)記的變形對齊標(biāo)記； 測量作為所述非變形對齊標(biāo)記與所述變形對齊標(biāo)記之間的變形水平的標(biāo)記變形水平；以及 自所述非變形襯底模型創(chuàng)建具有圖案化變形起始側(cè)和圖案化變形結(jié)束側(cè)的變形襯底模型，所述圖案化變形起始側(cè)和所述圖案化變形結(jié)束側(cè)是通過按所述標(biāo)記變形水平擴(kuò)張或收縮圖案化起始于的所述圖案化起始側(cè)和圖案化結(jié)束于的所述圖案化結(jié)束側(cè)而獲得的。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中所述圖案化區(qū)段起始點(diǎn)的所述計算包括: 將所述圖案化變形起始側(cè)的整個長度劃分為對應(yīng)于所述光束圖案化區(qū)段的數(shù)目的部分并且計算每個圖案化區(qū)段起始側(cè)的位置；以及 將所述圖案化區(qū)段起始側(cè)的每個中心點(diǎn)作為圖案化區(qū)段起始點(diǎn)進(jìn)行計算。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中每個區(qū)段的所述圖案化起始襯底位置的所述確定包括: 計算連接所述圖案化區(qū)段起始點(diǎn)與所述圖案化區(qū)段結(jié)束點(diǎn)的傾角； 按所述傾角旋轉(zhuǎn)襯底平臺從而允許襯底在平行于所述非變形襯底模型的所述圖案化方向的方向上移動；以及 按根據(jù)所述旋轉(zhuǎn)的所述圖案化區(qū)段起始點(diǎn)的變化水平和所述圖案化區(qū)段結(jié)束點(diǎn)的變化水平移動坐標(biāo)值，并且確定每個區(qū)段的最后一個圖案化起始襯底位置和圖案化結(jié)束襯底位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中所述襯底平臺按所述傾角的所述旋轉(zhuǎn)包括從支撐所述襯底的平臺的中心點(diǎn)按所述傾角旋轉(zhuǎn)所述襯底平臺。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中在光束的所述圖案化在其上執(zhí)行的每個區(qū)段上計算所述圖案化區(qū)段起始點(diǎn)和所述圖案化區(qū)段結(jié)束點(diǎn)，并且在對每個區(qū)段的光束圖案化時將所述襯底移動到每個區(qū)段的所述圖案化起始襯底位置。
【文檔編號】G03F7/20GK104238279SQ201410253698
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2014年6月9日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月14日
【發(fā)明者】黃成在, 金玟秀, 李容勳, 金載憲 申請人:Ap系統(tǒng)股份有限公司