柔性顯示設(shè)備、柔性顯示母板及其制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種柔性顯示設(shè)備、柔性顯示母板及其制作方法，所述柔性顯示母板具有被分成若干組的多個(gè)柔性顯示單片，每組至少包含一個(gè)所述柔性顯示單片；所述各組柔性顯示單片之間具有第一凹槽。由于所述各組柔性顯示單片之間具有第一凹槽，因此，能夠通過所述第一凹槽來釋放柔性顯示母板向內(nèi)收縮的應(yīng)力，從而有效避免了由于向內(nèi)收縮的應(yīng)力的累積而影響柔性顯示母板的制作以及導(dǎo)致柔性顯示設(shè)備失效的問題。
【專利說明】柔性顯示設(shè)備、柔性顯示母板及其制作方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及液晶顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，更具體地說，涉及一種柔性顯示設(shè)備、柔性顯示母 板及其制作方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 現(xiàn)今的顯示器件中，柔性可撓式顯示器由于具有高輕巧性、耐沖擊性、可撓取性、 可穿戴性與攜帶方便等特點(diǎn)，儼然已經(jīng)成為新一代的前瞻顯示技術(shù)。
[0003] 然而，在柔性顯示器的制作工藝中，主要的技術(shù)瓶頸在于如何將TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶體管）等顯示器件從玻璃基板轉(zhuǎn)移制作在柔性塑料基板上。為了解決 這一技術(shù)瓶頸，現(xiàn)有技術(shù)提供了一種制作柔性顯示器的技術(shù)，其主要的工藝流程如圖la? lc所示，首先利用暫時(shí)性有機(jī)黏著材料將柔性基板20與玻璃基板10黏合，或在玻璃基板 10上直接進(jìn)行柔性基板20的涂覆，再進(jìn)行TFT等顯示器件30的制作工藝，將TFT等顯示器 件30制作在柔性基板20上，最后再將柔性基板20從玻璃基板10上取下，以形成柔性顯示 母板。
[0004] 其中，柔性基板20通常采用塑料基板，并且，為了保證在后續(xù)的高溫工藝中柔性 基板20的水汽隔絕效果，在制作TFT等顯示器件30之前，還需要在柔性基板20表面沉積 一層緩沖層21。
[0005] 但是，由于在制備緩沖層等膜層的過程中，柔性顯示母板的內(nèi)部會(huì)有向內(nèi)收縮應(yīng) 力的累積，因此，容易導(dǎo)致柔性基板向內(nèi)收縮，發(fā)生翹曲現(xiàn)象，影響柔性顯示母板的制作以 及柔性顯示設(shè)備的性能。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 有鑒于此，本發(fā)明提供了一種柔性顯示設(shè)備、柔性顯示母板及其制作方法，以解決 現(xiàn)有技術(shù)中由于柔性顯示母板向內(nèi)收縮應(yīng)力的累積，而導(dǎo)致柔性基板收縮、翹曲，影響柔性 顯示母板的制作以及柔性顯示設(shè)備性能的問題。
[0007] 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：
[0008] -種柔性顯示母板，所述柔性顯示母板具有被分成若干組的多個(gè)柔性顯示單片， 每組至少包含一個(gè)所述柔性顯示單片；所述各組柔性顯示單片之間具有第一凹槽。
[0009] -種柔性顯示設(shè)備，包括由上述的柔性顯示母板切割成的柔性顯示單片。
[0010] 一種柔性顯示母板的制作方法，包括：
[0011] 將柔性顯示母板上的多個(gè)柔性顯示單片分成若干組，每組至少包含一個(gè)所述柔性 顯示單片；
[0012] 在所述各組柔性顯示單片之間形成第一凹槽。
[0013] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所提供的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)：
[0014] 本發(fā)明所提供的柔性顯示設(shè)備、柔性顯示母板及其制作方法，柔性顯示母板具有 被分成若干組的多個(gè)柔性顯示單片，每組至少包含一個(gè)所述柔性顯示單片，由于所述各組 柔性顯示單片之間具有第一凹槽，因此，能夠通過所述第一凹槽來釋放柔性顯示母板內(nèi)部 的向內(nèi)收縮的應(yīng)力，從而有效避免了由于應(yīng)力的累積而影響柔性顯示母板的制作以及導(dǎo)致 柔性顯示設(shè)備失效的問題。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0015] 為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn) 有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本 發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以 根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0016] 圖la?lc為現(xiàn)有的柔性顯示母板的制作工藝流程圖；
[0017] 圖2為本發(fā)明實(shí)施例一提供的位于每個(gè)柔性顯示單片之間的第一凹槽的結(jié)構(gòu)示 意圖；
[0018] 圖3為本發(fā)明另一實(shí)施例提供的位于每?jī)蓚€(gè)柔性顯示單片之間的第一凹槽結(jié)構(gòu) 示意圖；
[0019] 圖4為本發(fā)明另一實(shí)施例提供的另一種第一凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020] 圖5為本發(fā)明實(shí)施例一提供的由緩沖層刻蝕形成的第一凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021] 圖6為本發(fā)明實(shí)施例一提供的由緩沖層和柵極絕緣層刻蝕形成的第一凹槽的結(jié) 構(gòu)示意圖；
[0022] 圖7為本發(fā)明實(shí)施例一提供的由緩沖層、柵極絕緣層和鈍化層刻蝕形成的第一凹 槽的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023] 圖8為本發(fā)明實(shí)施例二提供的位于每個(gè)像素單元之間的第二凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024] 圖9為本發(fā)明實(shí)施例二提供的位于每?jī)蓚€(gè)像素單元之間的第二凹槽的結(jié)構(gòu)示意 圖；
[0025] 圖10為本發(fā)明實(shí)施例二提供的由緩沖層刻蝕形成的第二凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026] 圖11為本發(fā)明實(shí)施例二提供的由緩沖層和柵極絕緣層刻蝕形成的第二凹槽的結(jié) 構(gòu)示意圖；
[0027] 圖12為本發(fā)明實(shí)施例二提供的由緩沖層、柵極絕緣層和鈍化層刻蝕形成的第二 凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028] 圖13為本發(fā)明實(shí)施例三提供的柔性顯示母板的制作方法流程圖；
[0029] 圖14為本發(fā)明實(shí)施例三提供的第一凹槽的制作方法流程圖。

【具體實(shí)施方式】
[0030] 正如【背景技術(shù)】所述，現(xiàn)有的柔性顯示母板的膜層會(huì)有向內(nèi)收縮的應(yīng)力，容易導(dǎo)致 柔性基板向內(nèi)收縮，產(chǎn)生翹曲現(xiàn)象，影響柔性顯示母板的制作以及柔性顯示設(shè)備的性能。
[0031] 基于此，本發(fā)明提供了一種柔性顯示母板，以克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問題，所述 柔性顯示母板具有被分成若干組的多個(gè)柔性顯示單片，每組至少包含一個(gè)所述柔性顯示單 片；所述各組柔性顯示單片之間具有第一凹槽。
[0032] 本發(fā)明還提供了一種柔性顯示設(shè)備，包括由如上所述的柔性顯示母板切割成的柔 性顯示單片。
[0033] 本發(fā)明提供的柔性顯示設(shè)備、柔性顯示母板及其制作方法，柔性顯示母板具有被 分成若干組的多個(gè)柔性顯示單片，每組至少包含一個(gè)所述柔性顯示單片，由于所述各組柔 性顯示單片之間具有第一凹槽，因此，能夠通過所述第一凹槽來釋放柔性顯示母板內(nèi)部向 內(nèi)收縮的應(yīng)力，從而有效避免了由于應(yīng)力的累積而影響柔性顯示母板的制作以及導(dǎo)致柔性 顯示設(shè)備失效的問題。
[0034] 以上是本發(fā)明的核心思想，為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易 懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】做詳細(xì)的說明。
[0035] 在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明，但是本發(fā)明還可以 采用其他不同于在此描述的其它方式來實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的 情況下做類似推廣，因此本發(fā)明不受下面公開的具體實(shí)施例的限制。
[0036] 其次，本發(fā)明結(jié)合示意圖進(jìn)行詳細(xì)描述，在詳述本發(fā)明實(shí)施例時(shí)，為便于說明，表 示器件結(jié)構(gòu)的剖面圖會(huì)不依一般比例作局部放大，而且所述示意圖只是示例，其在此不應(yīng) 限制本發(fā)明保護(hù)的范圍。此外，在實(shí)際制作中應(yīng)包含長(zhǎng)度、寬度及深度的三維空間尺寸。 [0037] 下面通過幾個(gè)實(shí)施例詳細(xì)描述。
[0038] 實(shí)施例一
[0039] 本實(shí)施例提供了一種柔性顯示母板，該柔性顯示母板上位于每個(gè)柔性顯示單片之 間的第一凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖2所示，圖2為本發(fā)明實(shí)施例一提供的位于每個(gè)柔性顯示 單片之間的第一凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖，該柔性顯示母板具有多個(gè)柔性顯示單片201，所述多個(gè) 柔性顯示單片201被分成若干組（圖2中虛線之間的柔性顯示單片為一組），每組至少包含 一個(gè)柔性顯示單片201 ;并且，各組柔性顯示單片之間具有第一凹槽202。且第一凹槽202 的寬度D1的范圍為15μηι?20μηι,包括端點(diǎn)值。本實(shí)施例中以每組包含一個(gè)柔性顯示單 片201進(jìn)行說明。
[0040] 當(dāng)然，本發(fā)明并不僅限于此，在其他實(shí)施例中，每組可以包含多個(gè)柔性顯示單片。 如圖3所示，圖3為本發(fā)明另一實(shí)施例提供的位于每?jī)蓚€(gè)柔性顯示單片之間的第一凹槽結(jié) 構(gòu)示意圖，其中，每組柔性顯示單片包含兩個(gè)柔性顯示單片301，且每組柔性顯示單片之間 具有第一凹槽302。并且，第一凹槽可以為位于每組柔性顯示單片之間的一個(gè)連續(xù)的凹槽， 如圖2和3所示。也可以為不連續(xù)的多個(gè)凹槽，如圖4所示，圖4為本發(fā)明另一實(shí)施例提供 的另一種第一凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖，其中，每組柔性顯示單片具有一個(gè)柔性顯示單片401，且 每組柔性顯示單片之間具有多個(gè)不連續(xù)的第一凹槽402。
[0041] 參考圖5,圖5為本發(fā)明實(shí)施例一提供的由緩沖層刻蝕形成的第一凹槽的結(jié)構(gòu)示 意圖，本實(shí)施例中的柔性顯示母板包括柔性基板501、位于柔性基板501表面的緩沖層502、 位于緩沖層502表面的顯示器件，該顯示器件依次包括柵極線、柵極絕緣層5032、數(shù)據(jù)線和 鈍化層5034,其中，第一凹槽202是由緩沖層502、柵極絕緣層5032、鈍化層5034中的至少 一層刻蝕形成的。當(dāng)?shù)谝话疾?02的深度小于緩沖層502的厚度時(shí)，第一凹槽202的深度 與緩沖層502的厚度的差值范圍為0. 05 μ m?0. 1 μ m，包括端點(diǎn)值；此時(shí)，緩沖層502的厚 度范圍為〇· 2μπι?0· 3μπι，包括端點(diǎn)值。
[0042] 如圖5所示，第一凹槽202只由緩沖層502這一層刻蝕形成，當(dāng)然，第一凹槽202 也可以由柵極絕緣層5032或鈍化層5034刻蝕形成；
[0043] 或者，如圖6所示，圖6為本發(fā)明實(shí)施例一提供的由緩沖層和柵極絕緣層刻蝕形成 的第一凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖，第一凹槽202由緩沖層502、柵極絕緣層5032、鈍化層5034中的 任意兩層在同一位置刻蝕形成。
[0044] 此外，第一凹槽202由緩沖層502、柵極絕緣層5032和鈍化層5034這三層刻蝕形 成，如圖7所示，圖7為本發(fā)明實(shí)施例一提供的由緩沖層、柵極絕緣層和鈍化層刻蝕形成的 第一凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖，所述第一凹槽202由緩沖層502、柵極絕緣層5032和鈍化層5034 在同一位置共同刻蝕形成。
[0045] 如圖5至圖7所示，雖然由下層薄膜刻蝕形成的第一凹槽在上層薄膜制備的過程 中會(huì)被填滿，但是，這并不影響第一凹槽的作用，例如，由緩沖層502刻蝕形成第一凹槽202 后，在制備柵極絕緣層5032和鈍化層5034的過程中第一凹槽202會(huì)被填滿，但是，在緩沖 層502上刻蝕形成第一凹槽202后，已經(jīng)通過第一凹槽202釋放了緩沖層502內(nèi)部向內(nèi)收 縮的應(yīng)力，并且，由于第一凹槽202對(duì)應(yīng)區(qū)域的柵極絕緣層5032和鈍化層5034并不是連續(xù) 的，因此，柵極絕緣層5032等上層薄膜內(nèi)部向內(nèi)收縮的應(yīng)力也得到了釋放。
[0046] 本實(shí)施例中，柔性基板501為塑料基板，緩沖層502為氧化硅薄膜或氧化硅和氮化 硅薄膜，優(yōu)選的，第一凹槽202由緩沖層502刻蝕形成，并且，當(dāng)?shù)谝话疾?02由緩沖層502 刻蝕形成時(shí)，第一凹槽202的深度小于等于緩沖層502的厚度。
[0047] 第一凹槽202的深度小于緩沖層502的厚度，這樣不僅能夠通過減小緩沖層502 向內(nèi)收縮的應(yīng)力，而且也不會(huì)降低緩沖層隔絕水汽的作用。當(dāng)然，在其他實(shí)施例中，第一凹 槽202的深度也可以等于緩沖層502的厚度，此時(shí)，第一凹槽202為貫穿緩沖層502的通孔， 該通孔同樣能夠降低緩沖層502向內(nèi)收縮的應(yīng)力。
[0048] 在制作柔性顯示母板的過程中，由于柔性基板表面的緩沖層等膜層的成膜過程是 在高溫下進(jìn)行的，因此，當(dāng)所述膜層冷卻干燥后其自身會(huì)向內(nèi)收縮，并帶動(dòng)柔性基板翹曲， 從而導(dǎo)致柔性基板上的器件發(fā)生變形，影響顯示器件及顯示設(shè)備的性能，而本實(shí)施例提供 的柔性顯示母板，將柔性顯示母板上的多個(gè)柔性顯示單片分成了若干組，并在各組柔性顯 示單片之間形成了第一凹槽，由于第一凹槽由緩沖層、柵極絕緣層、鈍化層中的至少一層刻 蝕形成，因此，能夠通過分散緩沖層、柵極絕緣層、鈍化層中至少一層的應(yīng)力，來減少柔性顯 示母板向內(nèi)收縮的應(yīng)力，并且，由于第一凹槽位于各組柔性顯示單片之間，因此，相當(dāng)于通 過第一凹槽將整個(gè)膜層分成了多塊，從而能夠有效分散柔性顯示母板各個(gè)區(qū)域向內(nèi)收縮的 應(yīng)力，避免了柔性基板以及顯示器件發(fā)生變形，影響柔性顯示母板的制作以及導(dǎo)致柔性顯 示設(shè)備失效的問題。
[0049] 實(shí)施例二
[0050] 本實(shí)施例提供了一種柔性顯示母板，該柔性顯示母板也具有被分為若干組的多個(gè) 柔性顯示單元，且每組柔性顯示單元之間也具有第一凹槽。本實(shí)施例與實(shí)施例一的不同之 處在于，本實(shí)施例中的柔性顯示母板還包括第二凹槽，如圖8所示，圖8為本發(fā)明實(shí)施例二 提供的位于每個(gè)像素單元之間的第二凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖，柵極線5031和數(shù)據(jù)線5033圍成 了多個(gè)像素單元801，這些像素單元801被分成若干組，每組至少包含一個(gè)像素單元801，并 且，每組像素單元801之間具有第二凹槽802,該第二凹槽802由緩沖層502、柵極絕緣層 5032、鈍化層5034中的至少一層刻蝕形成，其中，第二凹槽802可以位于柵極線5031對(duì)應(yīng) 的區(qū)域，也可以位于數(shù)據(jù)線5033對(duì)應(yīng)的區(qū)域，但是，不能位于柵極線5031和數(shù)據(jù)線5033重 合的區(qū)域。
[0051] 當(dāng)然，在其他實(shí)施例中，每組可以包括多個(gè)像素單元，如圖9所示，圖9為本發(fā)明實(shí) 施例二提供的位于每?jī)蓚€(gè)像素單元之間的第二凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖，每組可以包括兩個(gè)像素 單元801，且第二凹槽802位于每?jī)蓚€(gè)像素單元801之間，同樣，第二凹槽802可以位于柵極 線5031對(duì)應(yīng)的區(qū)域，也可以位于數(shù)據(jù)線5033對(duì)應(yīng)的區(qū)域，但是，不能位于柵極線5031和數(shù) 據(jù)線5033重合的區(qū)域。
[0052] 其中，第二凹槽802可以由緩沖層502、柵極絕緣層5032、鈍化層5034中的任意一 層刻蝕形成，如圖10所示，圖10為本發(fā)明實(shí)施例二提供的由緩沖層刻蝕形成的第二凹槽的 結(jié)構(gòu)示意圖，第二凹槽802由緩沖層502刻蝕形成。
[0053] 第二凹槽802還可以由緩沖層502、柵極絕緣層5032、鈍化層5034中的任意兩層 刻蝕形成，如圖11所示，圖11為本發(fā)明實(shí)施例二提供的由緩沖層和柵極絕緣層刻蝕形成的 第二凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖，第二凹槽802由緩沖層502和柵極絕緣層5032刻蝕形成。
[0054] 此外，第二凹槽802還可以由緩沖層502、柵極絕緣層5032、鈍化層5034這三層刻 蝕形成，如圖12所示，圖12為本發(fā)明實(shí)施例二提供的由緩沖層、柵極絕緣層和鈍化層刻蝕 形成的第二凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0055] 其中，第二凹槽802不位于柵極線5031和數(shù)據(jù)線5033的重合處?；蛘撸诙疾?802由緩沖層502刻蝕形成，第二凹槽802的深度小于等于緩沖層502的厚度。并且，當(dāng)?shù)?二凹槽802的深度小于緩沖層502的厚度時(shí)，第二凹槽802的深度與緩沖層502的厚度的 差值范圍為〇· 05 μ m?0· 1 μ m,包括端點(diǎn)值。
[0056] 由于在制作柔性顯示母板的過程中，緩沖層等膜層的成膜過程是在高溫下進(jìn)行 的，因此，當(dāng)所述膜層冷卻干燥后其自身會(huì)向內(nèi)收縮，并帶動(dòng)柔性基板向內(nèi)翹曲，從而導(dǎo)致 柔性基板上的器件發(fā)生變形，影響顯示器件及顯示設(shè)備的性能，而本實(shí)施例提供的柔性顯 示母板，不僅將柔性顯示母板上的多個(gè)柔性顯示單片分成若干組，在各組柔性顯示單片之 間形成第一凹槽，通過由緩沖層、柵極絕緣層、鈍化層中的至少一層刻蝕形成的第一凹槽， 減少緩沖層、柵極絕緣層、鈍化層中至少一層的應(yīng)力，減少柔性顯示母板的應(yīng)力，而且通過 位于各組柔性顯示單片之間的第一凹槽，相當(dāng)于將整個(gè)膜層分成了多塊，有效分散了柔性 顯示母板各個(gè)區(qū)域的應(yīng)力；
[0057] 此外，本實(shí)施例提供的柔性顯示母板，將柵極線和數(shù)據(jù)線圍成的多個(gè)像素單元分 成若干組，并在每組像素單元之間形成了第二凹槽，且第二凹槽由緩沖層、柵極絕緣層、鈍 化層中的至少一層刻蝕形成，從而可以通過第二凹槽將柔性顯示母板分解成更小的不連續(xù) 單元，進(jìn)一步釋放分散柔性顯示母板向內(nèi)收縮的應(yīng)力，進(jìn)而進(jìn)一步避免了柔性基板以及顯 示器件發(fā)生變形，影響柔性顯示母板的制作以及導(dǎo)致柔性顯示設(shè)備失效的問題。
[0058] 實(shí)施例三
[0059] 本實(shí)施例提供了一種柔性顯示母板的制作方法，其流程圖如圖13所示，圖13為本 發(fā)明實(shí)施例三提供的柔性顯示母板的制作方法流程圖，包括：
[0060] 步驟S1301 :將柔性顯示母板上的多個(gè)柔性顯示單片分成若干組，每組至少包含 一個(gè)所述柔性顯示單片；
[0061] 在制作柔性顯示單片時(shí)，需要先在一個(gè)較大的基板上同時(shí)制作多個(gè)柔性顯示單 片，即先制作具有多個(gè)柔性顯示單片的柔性顯示母板，柔性顯示母板制作完成后，再對(duì)其進(jìn) 行切割，將單個(gè)的柔性顯示單片分離出來，然后進(jìn)行后續(xù)柔性顯示設(shè)備的制作。
[0062] 本實(shí)施例中，在制作柔性顯示母板之前，先將柔性顯示母板上的多個(gè)柔性顯示單 片分成了若干組，其中，每組至少包含一個(gè)所述柔性顯示單片。
[0063] 步驟S1302 :在所述各組柔性顯示單片之間形成第一凹槽。
[0064] 將柔性顯示單片進(jìn)行分組后，在制作柔性顯示母板的過程中，在各組柔性顯示單 片之間形成第一凹槽。所述第一凹槽202是由緩沖層502、柵極絕緣層5032、鈍化層5034 中的至少一層刻蝕形成的。
[0065] 其中，在各組柔性顯示單片之間形成第一凹槽的方法流程圖，如圖14所示，圖14 為本發(fā)明實(shí)施例三提供的第一凹槽的制作方法流程圖，包括：
[0066] 步驟S1401 :提供柔性基板；
[0067] 可以為在玻璃基板上直接涂覆柔性基板或利用有機(jī)黏著材料將柔性基板黏合在 玻璃基板上，其中，該柔性基板一般為塑料基板。
[0068] 步驟S1402 :在所述柔性基板的表面形成緩沖層；
[0069] 在形成柔性基板后，在柔性基板表面形成緩沖層，該緩沖層的作用是覆蓋在柔性 基板表面，在后續(xù)的高溫處理過程中，起到隔絕水汽的作用。其中，該緩沖層優(yōu)選為氧化硅 薄膜或氧化硅和氮化硅薄膜，可以采用濺射、化學(xué)氣相沉積等工藝形成。
[0070] 步驟S1403 :在所述緩沖層表面形成顯示器件，所述顯示器件包括依次形成的柵 極線、柵極絕緣層、數(shù)據(jù)線和鈍化層；
[0071] 在形成緩沖層后，需要在緩沖層表面形成顯示器件，以進(jìn)行圖像的顯示，該顯示器 件包括從下往上依次形成的柵極線、柵極絕緣層、數(shù)據(jù)線和鈍化層。其中，柵極線和數(shù)據(jù)線 可以圍成多個(gè)像素單元。
[0072] 由于柔性顯示母板包括緩沖層、柵極絕緣層、鈍化層等多層薄膜，這些薄膜在成膜 的過程中會(huì)在柔性顯示母板向內(nèi)收縮的應(yīng)力，且膜層越厚、膜層面積越大，薄膜內(nèi)部向內(nèi)收 縮的應(yīng)力也越大，這樣就很容易導(dǎo)致柔性基板向內(nèi)收縮，發(fā)生翹曲現(xiàn)象，影響后續(xù)的制作以 及柔性顯示設(shè)備的性能。
[0073] 步驟S1404 :刻蝕所述各組柔性顯示單片之間的緩沖層、柵極絕緣層、鈍化層中的 至少一層形成所述第一凹槽。
[0074] 基于此，本實(shí)施例中在制作柔性顯示母板的過程中，對(duì)各組柔性顯示單片之間的 緩沖層、柵極絕緣層、鈍化層中的至少一層進(jìn)行了刻蝕，形成了第一凹槽，以通過第一凹槽 降低薄膜內(nèi)部向內(nèi)收縮的應(yīng)力，進(jìn)而降低柔性顯示母板的應(yīng)力，提高柔性顯示設(shè)備的性能。
[0075] 其中，形成第一凹槽的工藝為光刻工藝，例如，在緩沖層上形成光刻膠層，采用掩 膜板對(duì)光刻膠層進(jìn)行曝光顯影后，形成圖形化的光刻膠層，再以該光刻膠層為掩膜，采用干 刻工藝對(duì)緩沖層進(jìn)行刻蝕，形成所述第一凹槽。
[0076] 在各組柔性顯示單片之間形成第一凹槽后，為了進(jìn)一步釋放柔性顯示母板內(nèi)部的 向內(nèi)收縮的應(yīng)力，在本發(fā)明的其他實(shí)施例中還可以形成第二凹槽，具體為：
[0077] 將所述柵極線與數(shù)據(jù)線圍成的多個(gè)像素單元分成若干組，每組至少包含一個(gè)所述 像素單元。
[0078] 在緩沖層表面形成的顯示器件依次包括柵極線、柵極絕緣層、數(shù)據(jù)線和鈍化層，其 中，柵極線與數(shù)據(jù)線圍成了多個(gè)像素單元。本實(shí)施例將將所述柵極線與數(shù)據(jù)線圍成的多個(gè) 像素單元分成若干組，每組至少包含一個(gè)所述像素單元。
[0079] 對(duì)像素單元進(jìn)行分組后，在所述每組像素單元之間形成第二凹槽。
[0080] 形成第二凹槽的過程具體為：在制作柔性顯示母板的過程中，刻蝕所述各組像素 單元之間的緩沖層、柵極絕緣層、鈍化層中的至少一層形成所述第二凹槽。當(dāng)?shù)诙疾壑辽?部分由所述柵極絕緣層刻蝕形成時(shí)，在形成柵極絕緣層后，對(duì)部分柵極絕緣層進(jìn)行刻蝕；當(dāng) 第二凹槽由緩沖層刻蝕形成時(shí)，在形成緩沖層后，對(duì)緩沖層進(jìn)行刻蝕。第二凹槽的刻蝕工藝 與第一凹槽相同，在此不再贅述。
[0081] 本實(shí)施例提供的柔性顯示母板的制作方法，刻蝕各組柔性顯示單片之間的緩沖 層、柵極絕緣層、鈍化層中的至少一層形成第一凹槽，刻蝕各組像素單元之間的緩沖層、柵 極絕緣層、鈍化層中的至少一層形成第二凹槽，因此，能夠通過第一凹槽和第二凹槽來釋放 柔性顯示母板內(nèi)部向內(nèi)收縮的應(yīng)力，從而有效避免了由于應(yīng)力的累積而影響柔性顯示母板 的制作以及導(dǎo)致柔性顯示設(shè)備失效的問題。
[0082] 實(shí)施例四
[0083] 本實(shí)施例提供了一種柔性顯示設(shè)備，包括上述實(shí)施例提供的柔性顯示母板切割成 的柔性顯示單片，由于柔性顯示單片的制作過程中，通過第一凹槽和第二凹槽釋放了柔性 顯示母板內(nèi)部向內(nèi)收縮的應(yīng)力，因此，避免了柔性顯示設(shè)備失效的問題，提高了柔性顯示設(shè) 備的性能。
[0084] 本說明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說明的都是與其他 實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。對(duì)于實(shí)施例公開的裝置 而言，由于其與實(shí)施例公開的方法相對(duì)應(yīng)，所以描述的比較簡(jiǎn)單，相關(guān)之處參見方法部分說 明即可。
[〇〇85] 對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。 對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的 一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明 將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一 致的最寬的范圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種柔性顯示母板，其特征在于，所述柔性顯示母板具有被分成若干組的多個(gè)柔性 顯示單片，每組至少包含一個(gè)所述柔性顯示單片； 所述各組柔性顯示單片之間具有第一凹槽。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性顯示母板，其特征在于，所述柔性顯示母板包括： 柔性基板； 位于所述柔性基板表面的緩沖層； 位于所述緩沖層表面的顯示器件，所述顯示器件依次包括柵極線、柵極絕緣層、數(shù)據(jù)線 和鈍化層； 其中，所述第一凹槽由所述緩沖層、柵極絕緣層、鈍化層中的至少一層刻蝕形成。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性顯示母板，其特征在于，所述緩沖層為氧化硅薄膜或氧 化硅和氮化硅薄膜。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性顯示母板，其特征在于，所述柔性基板為塑料基板。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性顯示母板，其特征在于，所述第一凹槽由所述緩沖層刻 蝕形成，所述第一凹槽的深度小于等于所述緩沖層的厚度。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的柔性顯示母板，其特征在于，所述第一凹槽的深度與所述緩 沖層的厚度的差值范圍為0. 05 μ m?0. 1 μ m。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性顯示母板，其特征在于，所述第一凹槽的寬度范圍為 15 μ m ~ 20 μ m。
8. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性顯示母板，其特征在于，所述柵極線與所述數(shù)據(jù)線圍成 多個(gè)像素單元，所述多個(gè)像素單元被分成若干組，每組至少包含一個(gè)所述像素單元，所述每 組像素單元之間具有第二凹槽。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的柔性顯示母板，其特征在于，所述第二凹槽由所述緩沖層、柵 極絕緣層、鈍化層中的至少一層刻蝕形成。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的柔性顯示母板，其特征在于，所述第二凹槽至少部分由所述 柵極絕緣層刻蝕形成，并且所述第二凹槽不位于柵極線和數(shù)據(jù)線的重合處。
11. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的柔性顯示母板，其特征在于，所述第二凹槽由所述緩沖層刻 蝕形成，所述第二凹槽的深度小于等于緩沖層的厚度。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的柔性顯示母板，其特征在于，所述第二凹槽的深度與所述 緩沖層的厚度的差值范圍為0. 05 μ m?0. 1 μ m。
13. -種柔性顯示設(shè)備，其特征在于，包括由權(quán)利要求1至12任一項(xiàng)所述的柔性顯示母 板切割成的柔性顯示單片。
14. 一種柔性顯示母板的制作方法，其特征在于，包括： 將柔性顯示母板上的多個(gè)柔性顯示單片分成若干組，每組至少包含一個(gè)所述柔性顯示 單片； 在所述各組柔性顯示單片之間形成第一凹槽。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于，所述在所述各組柔性顯示單片之間制 作第一凹槽具體為： 提供柔性基板； 在所述柔性基板的表面形成緩沖層； 在所述緩沖層表面形成顯示器件，所述顯示器件包括依次形成的柵極線、柵極絕緣層、 數(shù)據(jù)線和鈍化層； 刻蝕所述各組柔性顯示單片之間的緩沖層、柵極絕緣層、鈍化層中的至少一層形成所 述第一凹槽。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其特征在于，還包括： 將所述柵極線與數(shù)據(jù)線圍成的多個(gè)像素單元分成若干組，每組至少包含一個(gè)所述像素 單元； 在所述每組像素單元之間形成第二凹槽。
17. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其特征在于，所述在所述每組像素單元之間形成第 二凹槽具體為： 刻蝕所述各組像素單元之間的緩沖層、柵極絕緣層、鈍化層中的至少一層形成所述第 二凹槽。
【文檔編號(hào)】G02F1/1333GK104103648SQ201410356689
【公開日】2014年10月15日 申請(qǐng)日期:2014年7月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月24日
【發(fā)明者】臧浩春, 陳正忠, 霍思濤 申請(qǐng)人:上海天馬微電子有限公司, 天馬微電子股份有限公司