一種對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)的倍率調節(jié)方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)的倍率調節(jié)方法，其包括：1、提供一種對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)，所述投影光學系統(tǒng)沿其光軸方向包括前組、孔徑光闌和后組，前組包括第一至第三鏡組，第一鏡組具有負光焦度，第二、第三鏡組具有正光焦度，后組包括第四至第六鏡組，第四、第五鏡組具有正光焦度，第六鏡組具有負光焦度；前組和后組關于孔徑光闌對稱，并滿足一定的關系式；2、同時移動第一、第六兩個鏡組中的透鏡位移量，來調節(jié)光學系統(tǒng)的投影倍率。采用本發(fā)明的倍率調節(jié)方法，使用性能優(yōu)良的光學材料時也能有效地校正各項像差，擴大像方視場尺寸，提高成像分辨率；而且鏡片口徑小，不包含非球面鏡片，大幅度降低了加工，檢測和裝校的難度和成本。
【專利說明】一種對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)的倍率調節(jié)方法

【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種微細加工用光刻設備的光學系統(tǒng)的倍率調節(jié)方法，尤其涉及一種 對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)的倍率調節(jié)方法，所述對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)主要應用于 微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System)，半導體、太陽能電池、液晶、印刷 電路板等光刻系統(tǒng)以及照相制版的投影光學系統(tǒng)。

【背景技術】
[0002] 隨著投影光刻技術的發(fā)展，投影光學系統(tǒng)的性能逐步提高，投影光學系統(tǒng)已經(jīng)可 以適用于電路制造等多種領域。投影光刻技術也可以用于更大面積，較高產(chǎn)率的半導體、太 陽能電池、液晶、印刷電路板等【技術領域】。
[0003] 然而在現(xiàn)有技術中，如美國專利US6,879, 383 (公告日：2005年4月12日），采用 折射反射結構，整體尺寸大，對光學玻璃材料要求十分嚴格，尤其是大口徑的凹面反射鏡的 加工，檢測技術要求非常嚴格。在視場大小，工作距離，裝校要求，制造成本等方面不如全折 射系統(tǒng)具有優(yōu)勢。
[0004] 中國專利CN98113037. 2(公告日：2003年7月23日）是一種像方遠心的雙高斯 光學系統(tǒng)，由于所述專利采用2個膠合面，在高產(chǎn)率的投影光刻設備中，透鏡粘合劑會產(chǎn)生 很大的變形甚至變性，導致光學成像性能降低，投影鏡頭的使用壽命縮短，不符合光刻技術 要求。
[0005] 在很多基板的實際生產(chǎn)過程中，由不同的設備生產(chǎn)制造的基板，其圖形尺寸和倍 率會有細微差異，同時在各種物理和化學加工處理過程中，基板會有細微的膨脹或收縮，也 會導致基板圖形尺寸的變化，而且不同的基板的圖形尺寸變化也不盡相同。所以在很多基 板的生產(chǎn)制造過程中，尤其是多層基板需要層間定位過程中，為了提高定位精度和布線密 度，需要根據(jù)實際基板的圖形尺寸或倍率變化，修正或調節(jié)投影光學系統(tǒng)的投影倍率。
[0006] 有鑒于此，提供一種使用性能優(yōu)良的光學材料，既經(jīng)濟又具有良好的光學特性和 較大視場尺寸，可以修正或調節(jié)投影光學系統(tǒng)的投影倍率，并且提高投影光學系統(tǒng)的工作 距離，為工作臺和掩膜臺提供較大的設計空間的光學系統(tǒng)，是業(yè)界的重要技術課題。


【發(fā)明內容】

[0007] 針對現(xiàn)有技術的不足，本發(fā)明的目的在于提供一種對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)的 倍率調節(jié)方法，不僅能有效地校正各項像差，擴大像方視場尺寸，提高成像分辨率；而且鏡 片口徑小，不包含非球面鏡片，大幅度降低了加工，檢測和裝校的難度和成本，同時可以在 雙遠心光路和良好的光學成像分辨率的條件下，能夠方便有效地修正或調節(jié)投影倍率的光 學系統(tǒng)。
[0008] 本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的，一種對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)的倍率調節(jié)方法，其包括 以下步驟：
[0009] 步驟一、提供一種對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)，所述投影光學系統(tǒng)用于將物平面 內的圖形成像到像平面內，所述投影光學系統(tǒng)沿其光軸方向依次包括前組、孔徑光闌和后 組，其特征在于：所述前組和所述后組關于所述孔徑光闌對稱，所述前組沿光軸方向依次包 括第一鏡組、第二鏡組和第三鏡組，所述第一鏡組具有負光焦度，所述第二鏡組和所述第三 鏡組具有正光焦度；所述后組沿光軸方向依次包括第四鏡組、第五鏡組和第六鏡組，所述第 四鏡組和所述第五鏡組具有正光焦度，所述第六鏡組具有負光焦度；
[0010] 所述第二鏡組最靠近像平面的透鏡曲面為朝向像平面的凹面，滿足：〇.6〈r4/ Hy〈8,其中，r4為所述第二鏡組最靠近像平面的透鏡曲面的曲率半徑，Hy為物平面視場；所 述第二鏡組還滿足：vd = (nd - 1) / (nF - nC)，nd > 1. 50且vd < 54的正透鏡最少有一 個，其中，vd為色散系數(shù)、體現(xiàn)光學材料的色散程度的常數(shù)，nF為波長486nm的F線折射率， nd為波長587nm的d線折射率，nC為波長656nm的C線折射率；
[0011] 所述第三鏡組至少含有一個如下空氣間隔滿足：| (r5-r6V(r5+r6) |〈0. 4， 3〈| (r5+r6) |/Hy〈25,其中，空氣間隔的物平面?zhèn)群拖衿矫鎮(zhèn)鹊那拾霃椒謩e為r5、r6 ;所 述第三鏡組還滿足：nd < 1. 65且vd > 65的正透鏡最少有一個，nd > 1. 50且vd < 55的 負透鏡最少有一個；所述第三鏡組還至少含有一個正透鏡滿足dn/dt < 0,其中η為折射 率，t為溫度，dn/dt為光學材料的折射率隨溫度變化的折射率溫度系數(shù)；
[0012] 步驟二、同時移動第一鏡組和第六鏡組這兩個鏡組中透鏡位移量，來調節(jié)光學系 統(tǒng)的投影倍率。
[0013] 作為上述方案的進一步改進，所述第二鏡組至少含有一個如下空氣間隔滿足： (r2+r3V(r2-r3) |〈0. 7,3〈〇*312)/辦〈25，其中，空氣間隔的物平面?zhèn)群拖衿矫鎮(zhèn)鹊那?半徑分別為r2，r3。
[0014] 作為上述方案的進一步改進，所述第一鏡組最靠近物平面的透鏡曲面為朝向物平 面的凹面，曲率半徑為rl，滿足：1. 8〈-rl/Hy〈26, nd < 1. 66, vd > 58。
[0015] 作為上述方案的進一步改進，所述投影光學系統(tǒng)滿足：0. l〈_fl/L〈2,0. 05〈f2/ L〈0. 8 ;其中，Π為所述第一鏡組的組合焦距；f2為所述第二鏡組的組合焦距；L為物平面 側到像平面?zhèn)鹊木嚯x。
[0016] 作為上述方案的進一步改進，所述第二鏡組（G2)沿光軸方向依次包括第三透鏡 (L3)、第四透鏡（L4)、第五透鏡（L5)、第六透鏡（L6)，其中，第三透鏡（L3)、第四透鏡（L4)、 第五透鏡（L5)均具有正光焦度，第六透鏡（L6)具有負光焦度。
[0017] 作為上述方案的進一步改進，所述第三鏡組（G3)沿光軸方向依次包括第七透鏡 (L7)、第八透鏡（L8)、第九透鏡（L9)、第十透鏡（L10)，其中，第七透鏡（L7)、第九透鏡（L9) 均具有負光焦度，第八透鏡（L8)、第十透鏡（L10)均具有正光焦度。
[0018] 作為上述方案的進一步改進，所述第一鏡組（G1)沿光軸方向依次包括第一透鏡 (L1)、第二透鏡（L2)，其中，第一透鏡（L1)具有負光焦度，第二透鏡（L2)均具有正光焦度， 在第一鏡組（G1)中移動第一鏡組（G1)，在與第一鏡組（G1)對稱的第六鏡組中移動與第二 透鏡（L2)對稱的透鏡。
[0019] 作為上述方案的進一步改進，所述第三透鏡（L3)具有一個面向所述像平面的凸 面、第四透鏡（L4)與第五透鏡（L5)均具有一個面向所述物平面的凸面。
[0020] 作為上述方案的進一步改進，所述第七透鏡（L7)為雙凹透鏡、第八透鏡（L8)與第 十透鏡（L10)均為雙凸透鏡，第九透鏡（L9)具有一個面向所述像平面的凹面。作為上述方 案的進一步改進，所述投影光學系統(tǒng)中的透鏡總數(shù)量大于等于10,且小于等于36。
[0021] 本發(fā)明的對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)的倍率調節(jié)方法不僅能有效地校正各項像 差，擴大像方視場尺寸，提高成像分辨率，具有良好的熱穩(wěn)定性；可以修正或調節(jié)投影光學 系統(tǒng)的投影倍率；而且使用折射率相差很小而且折射率較低（1. 48 < nd < 1. 60)的光學玻 璃材料也能夠良好地校正光學系統(tǒng)的各項像差，只有這樣的光學材料一般具有良好的i線 透光率，而且容易加工，成本低；鏡片口徑小，不包含非球面鏡片，大幅度降低了加工，檢測 和裝校的難度和成本。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0022] 圖1為應用本發(fā)明較佳實施方式提供的對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)的倍率調節(jié) 方法的投影光學系統(tǒng)的構示意圖。
[0023] 圖2為圖1中投影光學系統(tǒng)在投影倍率為中間值時的傳遞函數(shù)MTF示意圖。
[0024] 圖3為圖1中投影光學系統(tǒng)在投影倍率為放大時的傳遞函數(shù)MTF示意圖。
[0025] 圖4為圖1中投影光學系統(tǒng)在投影倍率為縮小時的傳遞函數(shù)MTF示意圖。

【具體實施方式】
[0026] 為了使本發(fā)明的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對 本發(fā)明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅用以解釋本發(fā)明，并不 用于限定本發(fā)明。
[0027] 請參閱圖1，其為應用本發(fā)明較佳實施方式提供的對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)的 倍率調節(jié)方法的投影光學系統(tǒng)的構示意圖。
[0028] 所述對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)用于將物平面平PI (Object)內的圖形成像到像 平面P2(image)內。所述對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)沿其光軸方向，即從物平面P1到像平 面P2依次包括前組、孔徑光闌AS和后組。所述對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)也可以是對稱 式的近似雙遠心投影光學系統(tǒng)，只要近似雙遠心即可。
[0029] 所述前組和所述后組關于所述孔徑光闌AS對稱，所述前組沿光軸方向依次包括 第一鏡組G1、第二鏡組G2和第三鏡組G3,其中，所述第一鏡組G1具有負光焦度，所述第二 鏡組G2和所述第三鏡組G3具有正光焦度。所述后組沿光軸方向依次包括第四鏡組G4、第 五鏡組G5和第六鏡組G6,所述第四鏡組G4和所述第五鏡組G5具有正光焦度，所述第六鏡 組G6具有負光焦度。
[0030] 由于所述前組和所述后組關于所述孔徑光闌AS對稱，因此，在接下去的介紹中， 詳細介紹所述前組的具體結構。
[0031] 所述投影光學系統(tǒng)滿足：0. l〈_f 1/L〈2 (關系式7)，0. 05〈f2/L〈0. 8 (關系式8);其 中，Π為所述第一鏡組G1的組合焦距；f2為所述第二鏡組G2的組合焦距；L為物平面P1 側到像平面P2側的距離。
[0032] 所述第一鏡組G1最靠近物平面P1的透鏡曲面為朝向物平面P1的凹面，曲率半徑 為rl，滿足：L8〈-rl/Hy〈26(關系式6)，nd < L66, vd > 58,其中，Hy為物平面P1視場， nd為波長587nm的d線折射率，vd為色散系數(shù)、體現(xiàn)光學材料的色散程度的常數(shù)。
[0033] 在本實施方式中，所述第一鏡組G1沿光軸方向依次包括第一透鏡L1、第二透鏡 L2,其中，第一透鏡L1具有負光焦度，第二透鏡L2均具有正光焦度。第一透鏡L1為雙凹透 鏡，第二透鏡L2具有一個面向像平面P2的凸面和一個面向物平面P1的凹面。
[0034] 所述第二鏡組G2最靠近像平面P2的透鏡曲面為朝向像平面P2的凹面，滿足： 0. 6〈r4/Hy〈8 (關系式1)，其中，r4為所述第二鏡組G2最靠近像平面P2的透鏡曲面的曲 率半徑，Hy如上所述為物平面P1視場。所述第二鏡組G2還滿足：vd = (nd - 1) AnF - nC)，nd > 1. 50且vd < 54的正透鏡最少有一個，其中，vd如上所述為色散系數(shù)、體現(xiàn)光學 材料的色散程度的常數(shù)，nF為波長486nm的F線折射率，nd如上所述為波長587nm的d線 折射率，nC為波長656nm的C線折射率。所述第二鏡組G2至少含有一個如下空氣間隔滿 足 ：| (r2+r3) Ar2-r3) |〈0. 7 (關系式4)，3〈 (r3-r2) /Hy〈25 (關系式5)，其中，空氣間隔的物 平面P1側和像平面P2側的曲率半徑分別為r2, r3。
[0035] 在本實施方式中，所述第二鏡組G2沿光軸方向依次包括第三透鏡L3、第四透鏡 L4、第五透鏡L5、第六透鏡L6,其中，第三透鏡L3、第四透鏡L4、第五透鏡L5均具有正光焦 度，第六透鏡L6具有負光焦度。所述第三透鏡L3具有一個面向像平面P2的凸面、第四透 鏡L4與第五透鏡L5均具有一個面向物平面P1的凸面。
[0036] 所述第三鏡組G3至少含有一個如下空氣間隔滿足：| (r5-r6V(r5+r6) |〈0. 4(關 系式2)，3〈 | (r5+r6) | /Hy〈25 (關系式3)，其中，空氣間隔的物平面P1側和像平面P2側的曲 率半徑分別為r5、r6 ;所述第三鏡組G3還滿足：nd < 1. 65且vd > 65的正透鏡最少有一 個，nd > 1. 50且vd < 55的負透鏡最少有一個。所述第三鏡組G3還至少含有一個正透鏡 滿足dn/dt < 0,其中η為折射率，t為溫度，dn/dt為光學材料的折射率隨溫度變化的折射 率溫度系數(shù)
[0037] 在本實施方式中，所述第三鏡組G3沿光軸方向依次包括第七透鏡L7、第八透鏡 L8、第九透鏡L9、第十透鏡L10,其中，第七透鏡L7、第九透鏡L9均具有負光焦度,第八透 鏡L8、第十透鏡L10均具有正光焦度。所述第七透鏡L7為雙凹透鏡、第八透鏡L8與第十 透鏡L10均為雙凸透鏡，第九透鏡L9具有一個面向像平面P2的凹面。在本實施方式中， 關系式1 :0.6〈14/辦〈8，主要作用是使光學系統(tǒng)的像散以及球差得到有效地校正，有效地 降低珀茲伐（Petzval)和使得光學系統(tǒng)的像面彎曲得到良好校正；關系式2 :| (r5-r6)/ (r5+r6) |〈0.4,和關系式3 :3〈| (r5+r6) |/Hy〈25,主要作用是校正光學系統(tǒng)的初級和高級 球差，同時校正光學系統(tǒng)的軸向色差并有效地降低其二級光譜色差；關系式4 : | (r2+r3)/ (r2-r3) |〈0. 7,和關系式5 :3〈(r3-r2)/Hy〈25的主要作用是校正光學系統(tǒng)的初級和高級像 散；關系式6 :1. 8〈-rl/Hy〈26的主要作用是使光學系統(tǒng)能夠保持遠心光路，同時有助于減 少像面彎曲并使光學系統(tǒng)不會產(chǎn)生過大的球差，減輕整個光學系統(tǒng)校正球差的負擔；關系 式7 :0. l〈-fl/L〈2的主要作用也是使光學系統(tǒng)能夠保持遠心光路，同時有助于減少像面彎 曲；關系式8 :0. 05〈f2/L〈0. 8的主要作用是平衡光學系統(tǒng)的初級和高級像散并有助于降低 軸向色差的二級光譜色差。所述第三鏡組還至少含有一個正透鏡滿足折射率溫度系數(shù)dn/ dt < 0,與一般的光學玻璃材料的dn/dt > 0特性不同。有正透鏡滿足dn/dt < 0時，與其 他一般的光學玻璃透鏡的折射率溫度系數(shù)的特性相反，互相抵消，所以可以提高光學系統(tǒng) 的熱穩(wěn)定性，使光學系統(tǒng)在環(huán)境溫度變化時，其像面位置和成像質量保持穩(wěn)定
[0038] 光學系統(tǒng)的前組和后組的每個透鏡組以孔徑光闌為對稱面，光學結構完全對稱， 垂直于光軸的像差：慧差，畸變，倍率色差會自動校正為零。
[0039] 總之，在本實施方式中，三組透鏡采用這樣的鏡片結構最終確保和實現(xiàn)了光學系 統(tǒng)的球面像差、彗差、像散、像場彎曲和畸變，軸向色像差和倍率色像差等各項像差都得到 良好校正。又可以降低鏡頭的加工，測試和裝校的難度和成本。
[0040] 所述投影光學系統(tǒng)中的透鏡總數(shù)量盡可能的大于等于10,且小于等于36。既可以 良好地校正初級和高級的球差，慧差，像散，場曲和畸變等各項像差，又可以降低了鏡頭的 加工，測試和裝校的難度和成本。使系統(tǒng)有效控制了制造成本并良好校正各項像差，取得最 佳性價比。
[0041] 本發(fā)明的投影光學系統(tǒng)和應用所述投影光學系統(tǒng)的光刻設備的光學結構特點， 決定了可以在使用折射率比較小的光學玻璃材料，又不使用既價格昂貴又不易加工螢石 (CaF2)的情況下，也可以良好校正光學系統(tǒng)的各項像差。同時使用折射率相差很?。?.48 < nd < 1. 60)光學玻璃材料也可以良好校正光學系統(tǒng)的各項像差。由于只有折射率比較 ?。╪d < 1. 60)的光學玻璃材料一般才具有較高的i線透光率，因此意味著不僅可以提高 光源利用效率，更可以大幅度提高光學系統(tǒng)的熱穩(wěn)定性，十分適合光刻設備的實際需要。
[0042] 本發(fā)明實施例中的投影光學系統(tǒng)的設計參數(shù)如表1所示，工作波長為365nm，像方 半視場高度為51mm，由于是對稱結構，物方和像方的工作距離均為52. 389mm。為了光學加 工，光學檢驗的方便和降低成本，本發(fā)明的所有光學元件均為球面，沒有任何非球面元件。
[0043] 表 1
[0044]

【權利要求】
1. 一種對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)的倍率調節(jié)方法，其包括以下步驟： 步驟一、提供一種對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)，所述投影光學系統(tǒng)用于將物平面內的 圖形成像到像平面內，所述投影光學系統(tǒng)沿其光軸方向依次包括前組、孔徑光闌和后組，其 特征在于：所述前組和所述后組關于所述孔徑光闌對稱，所述前組沿光軸方向依次包括第 一鏡組、第二鏡組和第三鏡組，所述第一鏡組具有負光焦度，所述第二鏡組和所述第三鏡組 具有正光焦度；所述后組沿光軸方向依次包括第四鏡組、第五鏡組和第六鏡組，所述第四鏡 組和所述第五鏡組具有正光焦度，所述第六鏡組具有負光焦度； 所述第二鏡組最靠近像平面的透鏡曲面為朝向像平面的凹面，滿足：〇. 6〈r4/Hy〈8,其 中，r4為所述第二鏡組最靠近像平面的透鏡曲面的曲率半徑，Hy為物平面視場；所述第二 鏡組還滿足：vd= (nd- lV(nF - nC)，nd> 1.50且vd<54的正透鏡最少有一個，其中， vd為色散系數(shù)、體現(xiàn)光學材料的色散程度的常數(shù)，nF為波長486nm的F線折射率，nd為波 長587nm的d線折射率，nC為波長656nm的C線折射率； 所述第三鏡組至少含有一個如下空氣間隔滿足：I (r5-r6) Ar5+r6) |〈0. 4， 3〈| (r5+r6) |/Hy〈25,其中，空氣間隔的物平面?zhèn)群拖衿矫鎮(zhèn)鹊那拾霃椒謩e為r5、r6 ;所 述第三鏡組還滿足：nd < 1. 65且vd > 65的正透鏡最少有一個，nd > 1. 50且vd < 55的 負透鏡最少有一個；所述第三鏡組還至少含有一個正透鏡滿足dn/dt < 0,其中η為折射 率，t為溫度，dn/dt為光學材料的折射率隨溫度變化的折射率溫度系數(shù)； 步驟二、同時移動第一鏡組和第六鏡組這兩個鏡組中透鏡位移量，來調節(jié)光學系統(tǒng)的 投影倍率。
2. 根據(jù)權利要求1所述的對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)的倍率調節(jié)方法，其特征在 于：所述第二鏡組至少含有一個如下空氣間隔滿足：I (r2+r3V(r2-r3) |〈0. 7,3〈(r3-r2)/ Hy〈25,其中，空氣間隔的物平面?zhèn)群拖衿矫鎮(zhèn)鹊那拾霃椒謩e為r2, r3。
3. 根據(jù)權利要求1所述的對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)的倍率調節(jié)方法，其特征在 于：所述第一鏡組最靠近物平面的透鏡曲面為朝向物平面的凹面，曲率半徑為rl，滿足： 1. 8〈-rl/Hy〈26, nd < 1. 66, vd > 58。
4. 根據(jù)權利要求1所述的對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)的倍率調節(jié)方法，其特征在于： 所述投影光學系統(tǒng)滿足：〇. l〈_fl/L〈2,0. 05〈f2/L〈0. 8 ;其中，Π為所述第一鏡組的組合焦 距；f2為所述第二鏡組的組合焦距；L為物平面?zhèn)鹊较衿矫鎮(zhèn)鹊木嚯x。
5. 根據(jù)權利要求1所述的對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)的倍率調節(jié)方法，其特征在于： 所述第二鏡組（G2)沿光軸方向依次包括第三透鏡（L3)、第四透鏡（L4)、第五透鏡（L5)、第 六透鏡（L6)，其中，第三透鏡（L3)、第四透鏡（L4)、第五透鏡（L5)均具有正光焦度，第六透 鏡（L6)具有負光焦度。
6. 根據(jù)權利要求1所述的對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)的倍率調節(jié)方法，其特征在于： 所述第三鏡組（G3)沿光軸方向依次包括第七透鏡（L7)、第八透鏡（L8)、第九透鏡（L9)、第 十透鏡（L10)，其中，第七透鏡（L7)、第九透鏡（L9)均具有負光焦度，第八透鏡（L8)、第十透 鏡（L10)均具有正光焦度。
7. 根據(jù)權利要求1所述的對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)的倍率調節(jié)方法，其特征在于： 所述第一鏡組（G1)沿光軸方向依次包括第一透鏡（L1)、第二透鏡（L2)，其中，第一透鏡 (L1)具有負光焦度，第二透鏡（L2)均具有正光焦度，在第一鏡組（G1)中移動第一鏡組 (G1)，在與第一鏡組（G1)對稱的第六鏡組中移動與第二透鏡（L2)對稱的透鏡。
8. 根據(jù)權利要求5所述的對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)的倍率調節(jié)方法，其特征在于： 第三透鏡（L3)具有一個面向所述像平面的凸面、第四透鏡（L4)與第五透鏡（L5)均具有一 個面向所述物平面的凸面。
9. 根據(jù)權利要求6所述的對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng)的倍率調節(jié)方法，其特征在于： 第七透鏡（L7)為雙凹透鏡、第八透鏡（L8)與第十透鏡（L10)均為雙凸透鏡，第九透鏡（L9) 具有一個面向所述像平面的凹面。10、根據(jù)權利要求1所述的對稱式雙遠心投影光學系統(tǒng) 的倍率調節(jié)方法，其特征在于：所述投影光學系統(tǒng)中的透鏡總數(shù)量大于等于10,且小于等 于36。
【文檔編號】G02B27/00GK104111534SQ201410386723
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年8月7日 優(yōu)先權日:2014年8月7日
【發(fā)明者】劉鵬, 徐曉斌, 張宏, 王恒海 申請人:張家港鵬博光電科技有限公司, 張家港中賀自動化科技有限公司