光學(xué)裝置、光學(xué)模塊、電子設(shè)備、光學(xué)殼體及其制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供接合強(qiáng)度強(qiáng)、氣密性高的光學(xué)裝置、光學(xué)模塊、電子設(shè)備、光學(xué)殼體及其制造方法。光學(xué)濾波器裝置(600)具備：波長(zhǎng)可變干涉濾波器；具有第二開(kāi)口部(631)的蓋部(630)；與蓋部(630)共同形成容納空間的基座；覆蓋第二開(kāi)口部(631)并利用低熔點(diǎn)玻璃(634)接合于蓋部(630)的第二玻璃部件(632)；以及設(shè)置于蓋部(630)的金屬(633)，在從相對(duì)于第二開(kāi)口部(631)的開(kāi)口面的法線方向觀察蓋部(630)的俯視觀察中，金屬(633)設(shè)置于從第二玻璃部件(632)的外周緣向遠(yuǎn)離第二開(kāi)口部(631)的一側(cè)隔開(kāi)規(guī)定尺寸、且沿著第二玻璃部件(632)的外周緣的線(L)的外側(cè)。
【專利說(shuō)明】光學(xué)裝置、光學(xué)模塊、電子設(shè)備、光學(xué)殼體及其制造方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光學(xué)裝置、光學(xué)模塊、電子設(shè)備、光學(xué)殼體及光學(xué)殼體的制造方法。

【背景技術(shù)】
[0002]以往，已知有將干涉濾波器、鏡器件(3 ’一〒- ^ ^ )等光學(xué)元件收納在被氣密密封的框體內(nèi)的光學(xué)裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。
[0003]該專利文獻(xiàn)1的光學(xué)裝置具備容器狀的基體、封閉基體的開(kāi)口且具有光透過(guò)用的開(kāi)口部的金屬框體、以及封閉金屬框體的開(kāi)口部的玻璃部件。另外，在金屬框體的與玻璃部件相對(duì)的區(qū)域上設(shè)置有低熔點(diǎn)玻璃的接合材料，利用該接合材料接合金屬框體和玻璃部件。另外，在金屬框體的不與玻璃部件相對(duì)的區(qū)域上設(shè)置有用于防止金屬框體生銹的利用鍍覆法形成的金屬。
[0004]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2005-93675號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0008]然而，為了通過(guò)低熔點(diǎn)玻璃接合玻璃部件和金屬框體且確保良好的接合強(qiáng)度和氣密性，優(yōu)選沿玻璃部件的外周形成低熔點(diǎn)玻璃的填角311161 ；嵌條
[0009]針對(duì)此，在上述專利文獻(xiàn)1中，因?yàn)橹辉诮饘倏蝮w表面的與玻璃部件相對(duì)的區(qū)域上設(shè)置接合材料，所以有接合強(qiáng)度和氣密性不充分的問(wèn)題。
[0010]另外，在上述專利文獻(xiàn)1中，如果形成填角，因?yàn)樵诮饘倏蝮w的不與玻璃部件相對(duì)的區(qū)域上形成有用鍍覆法(義7々法)形成的金屬，所以會(huì)在該金屬上形成低熔點(diǎn)玻璃的填角。此時(shí)，由于金屬框體和利用鍍覆法形成的金屬的熱膨脹系數(shù)的差，會(huì)在利用鍍覆法形成的金屬上產(chǎn)生裂縫，由于該金屬裂縫的原因，也會(huì)在低熔點(diǎn)玻璃上產(chǎn)生裂縫。此時(shí)，還是會(huì)有玻璃部件和金屬框體之間的接合強(qiáng)度、氣密性降低的問(wèn)題。
[0011]本發(fā)明的目的在于，提供接合強(qiáng)度強(qiáng)、氣密性高的光學(xué)裝置、光學(xué)模塊、電子設(shè)備、光學(xué)殼體以及光學(xué)殼體的制造方法。
[0012]用于解決技術(shù)問(wèn)題的方案
[0013]本發(fā)明的光學(xué)裝置的特征在于，包括:光學(xué)元件；第一部件，被配置為覆蓋所述光學(xué)元件，且具有開(kāi)口部；第二部件，被配置為隔著所述光學(xué)元件與所述第一部件相對(duì)，且與所述第一部件一起容納所述光學(xué)元件；第三部件，覆蓋所述開(kāi)口部，且使光透過(guò)；以及金屬，覆蓋所述第一部件，從所述第三部件觀察所述開(kāi)口部一側(cè)時(shí)，在所述第一部件的所述第三部件一側(cè)，所述金屬不與所述第三部件重疊。
[0014]上述方式的光學(xué)裝置其特征在于，具備:光學(xué)元件，具有光接收面或者光出射面；第一部件，具有開(kāi)口部；第二部件，與所述第一部件一起形成能容納所述光學(xué)元件的容納空間；透光部件，覆蓋所述開(kāi)口部且與所述第一部件接合；以及金屬，設(shè)置于所述第一部件，在從相對(duì)于所述開(kāi)口部的開(kāi)口面的法線方向觀察的俯視觀察中，所述金屬設(shè)置于從所述透光部件的外周緣向遠(yuǎn)離所述開(kāi)口部的一側(cè)隔開(kāi)規(guī)定尺寸的位置。
[0015]在本發(fā)明中，透光部件接合于第一部件，在第一部件中，以向外側(cè)與透光部件的外周緣隔開(kāi)規(guī)定尺寸的方式設(shè)置有金屬。該金屬可用鍍覆法形成。即，在從向外側(cè)與透光部件的外周緣隔開(kāi)規(guī)定尺寸的位置至開(kāi)口部的開(kāi)口邊緣的區(qū)域(以下，有時(shí)稱為第一區(qū)域)中未設(shè)置有金屬，在第一區(qū)域以外的區(qū)域(以下，有時(shí)稱為第二區(qū)域)中設(shè)置有金屬。需要說(shuō)明的是，金屬不設(shè)置于第一區(qū)域內(nèi)即可，例如，既可以形成于整個(gè)第二區(qū)域，也可以設(shè)于第二區(qū)域的局部。
[0016]根據(jù)上述構(gòu)成，由于用于接合透光部件與第一部件的接合部件不與金屬接觸，因此，例如即使金屬和接合部件的緊貼性差、或者熱膨脹系數(shù)不同時(shí)，也能抑制金屬的裂縫和劣化。如此一來(lái)，能夠利用金屬維持第一部件的耐蝕性。另外，因?yàn)椴粫?huì)發(fā)生由金屬的裂縫引起的接合部件的裂縫，所以能夠以強(qiáng)接合強(qiáng)度和高氣密性接合第一部件與透光部件。
[0017]而且，由于至與透光部件的外周緣隔開(kāi)規(guī)定尺寸的線的位置為止的區(qū)域成為第一區(qū)域，所以能夠在該第一區(qū)域中沿透光部件的外周緣形成接合部件的填角。通過(guò)形成上述的填角，能夠進(jìn)一步提升第一部件與透光部件的接合強(qiáng)度和氣密性。
[0018]在本發(fā)明的光學(xué)裝置中，優(yōu)選利用低熔點(diǎn)玻璃將所述透光部件接合于所述第一部件。
[0019]在本發(fā)明中，利用低熔點(diǎn)玻璃將透光部件接合到第一部件。通過(guò)使用低熔點(diǎn)玻璃進(jìn)行接合，能夠提升透光部件和第一部件的氣密性。
[0020]在本發(fā)明的光學(xué)裝置中，優(yōu)選具備樹(shù)脂部件，所述樹(shù)脂部件覆蓋所述低熔點(diǎn)玻璃的不與所述透光部件和所述第一部件接觸的面。
[0021]在本發(fā)明中，除了利用低熔點(diǎn)玻璃進(jìn)行接合之外，還進(jìn)一步用樹(shù)脂部件覆蓋該低熔點(diǎn)玻璃的不與透光部件、第一部件接觸的表面。如此一來(lái)，能夠進(jìn)一步提升低熔點(diǎn)玻璃的接合強(qiáng)度和氣密性。
[0022]另外，通過(guò)將樹(shù)脂部件設(shè)置成還與透光部件和第一部件接觸，從而隨著樹(shù)脂部件固化時(shí)的收縮，能夠?qū)⑼腹獠考合虻谝徊考?cè)，也能夠提升接合強(qiáng)度。
[0023]在本發(fā)明的光學(xué)裝置中，優(yōu)選為:在從相對(duì)于所述開(kāi)口部的開(kāi)口面的法線方向觀察的俯視觀察中，所述金屬被設(shè)置為覆蓋從沿著所述透光部件的外周緣的線至所述開(kāi)口部的開(kāi)口邊緣為止的區(qū)域以外的區(qū)域，其中，所述線比所述透光部件的外周緣更向遠(yuǎn)離所述開(kāi)口部的一側(cè)隔開(kāi)所述規(guī)定尺寸，所述樹(shù)脂部件覆蓋所述線與所述開(kāi)口部的開(kāi)口邊緣之間的區(qū)域中未設(shè)置有所述低熔點(diǎn)玻璃的區(qū)域。
[0024]在本發(fā)明中，第一部件的第二區(qū)域被金屬覆蓋，第一部件的第一區(qū)域中的未與低熔點(diǎn)玻璃接觸的區(qū)域被樹(shù)脂部件覆蓋。即，整個(gè)第一部件成為被低熔點(diǎn)玻璃、金屬以及樹(shù)脂部件中任一個(gè)均覆蓋的構(gòu)成。通過(guò)采用這樣的構(gòu)成，第一部件的表面不向外部露出，能夠提升耐蝕性。
[0025]在本發(fā)明的光學(xué)裝置中，優(yōu)選為:所述透光部件具備平面部和斜面部，所述平面部與所述第一部件相對(duì)，所述斜面部從所述平面部向所述透光部件的外周緣側(cè)連續(xù)地形成、且隨著朝向所述透光部件的外周緣，在離開(kāi)所述第一部件的方向上傾斜，所述低熔點(diǎn)玻璃被設(shè)置在所述平面部與所述第一部件之間，所述樹(shù)脂部件與所述透光部件的所述斜面部接觸。
[0026]在本發(fā)明中，低熔點(diǎn)玻璃被設(shè)置在第一部件與平面部之間。根據(jù)這樣的構(gòu)成，能夠從平面部的端部向第一部件形成低熔點(diǎn)玻璃的填角，與上述發(fā)明相同，能夠?qū)崿F(xiàn)提升第一部件與透光部件的接合強(qiáng)度和氣密性。
[0027]另外，樹(shù)脂部件與透光部件的斜面部接觸。即，樹(shù)脂部件構(gòu)成為進(jìn)入透光部件的斜面部與第一部件之間、或者進(jìn)入透光部件的斜面部與低熔點(diǎn)玻璃的不與第一部件及透光部件接觸的面(非接合面)之間。根據(jù)上述構(gòu)成，通過(guò)樹(shù)脂部件在固化時(shí)收縮，從而能夠夾著透光部件，將其向第一部件側(cè)按壓，能夠?qū)崿F(xiàn)進(jìn)一步提升接合強(qiáng)度和氣密性。
[0028]在本發(fā)明的光學(xué)裝置中，優(yōu)選為:所述透光部件是玻璃，所述第一部件是可伐合金，所述金屬包含鎳。
[0029]在本發(fā)明中，可將可伐合金用作第一部件，并可以將含有鎳的鍍覆材料用作金屬。此時(shí)，因?yàn)殒囅鄬?duì)于可伐合金的緊貼性高，所以能夠抑制金屬的剝離，能夠良好地維持可伐合金的耐蝕性。
[0030]另外，通過(guò)使用熱膨脹系數(shù)接近的玻璃制的透光部件和可伐合金制的第一部件，從而當(dāng)使用低熔點(diǎn)玻璃作為接合部件來(lái)進(jìn)行接合時(shí)，能夠抑制因熱膨脹系數(shù)的差而在低熔點(diǎn)玻璃上產(chǎn)生裂縫等弊端，能夠?qū)崿F(xiàn)接合強(qiáng)度和氣密性的提升。
[0031]在本發(fā)明的光學(xué)裝置中，優(yōu)選為:所述光學(xué)元件是具備彼此相對(duì)的一對(duì)反射膜的干涉濾波器。
[0032]在本發(fā)明中，用于干涉濾波器的反射膜在例如因?yàn)檠趸榷霈F(xiàn)劣化時(shí)，從干涉濾波器射出的光的分辨率會(huì)下降。因此，特別需要使光學(xué)裝置的內(nèi)部處于減壓下(更優(yōu)選為真空下)并維持氣密。另外，作為干涉濾波器，例如當(dāng)構(gòu)成為能夠通過(guò)靜電致動(dòng)器等來(lái)變更反射膜間的間隙尺寸時(shí)，為了提高驅(qū)動(dòng)時(shí)的反應(yīng)性，優(yōu)選使光學(xué)裝置的內(nèi)部處于減壓下(更優(yōu)選為真空下)并維持氣密。
[0033]針對(duì)此，在本發(fā)明中，如上所述，因?yàn)橐詮?qiáng)接合強(qiáng)度和高氣密性接合透光部件與第一部件，從而能夠?qū)⒐鈱W(xué)裝置的內(nèi)部維持在合適的環(huán)境(減壓或真空)，能夠抑制干涉濾波器的性能降低。
[0034]本發(fā)明的光學(xué)模塊的特征在于，具備光學(xué)裝置和受光部，所述光學(xué)裝置包括:干涉濾波器，具備彼此相對(duì)的一對(duì)反射膜；第一部件，具有開(kāi)口部；第二部件，被配置為隔著所述干涉濾波器與所述第一部件相對(duì)，且與所述第一部件一起容納所述干涉濾波器；第三部件，覆蓋所述開(kāi)口部，且使光透過(guò)；以及金屬，覆蓋所述第一部件，所述受光部接收從所述干涉濾波器射出的光，從所述第三部件觀察所述開(kāi)口部一側(cè)時(shí)，在所述第一部件的所述第三部件一側(cè)，所述金屬不與所述第三部件重疊。
[0035]上述光學(xué)模塊的特征在于，具備光學(xué)裝置和受光部，所述光學(xué)裝置具備:干涉濾波器，具有彼此相對(duì)的一對(duì)反射膜；第一部件，具有開(kāi)口部；第二部件，與所述第一部件一起形成能容納所述干涉濾波器的容納空間；透光部件，覆蓋所述開(kāi)口部且與所述第一部件接合；以及金屬，設(shè)置于所述第一部件，所述受光部接收從所述干涉濾波器射出的光，在從相對(duì)于所述開(kāi)口部的開(kāi)口面的法線方向觀察的俯視觀察中，所述金屬設(shè)置于從所述透光部件的外周緣向遠(yuǎn)離所述開(kāi)口部的一側(cè)隔開(kāi)規(guī)定尺寸的位置。
[0036]在本發(fā)明中，與上述發(fā)明同樣地能夠?qū)崿F(xiàn)光學(xué)裝置中的第一部件和透光部件的接合強(qiáng)度及氣密性的提升，能夠?qū)⒐鈱W(xué)裝置的內(nèi)部維持在合適的環(huán)境。從而，能夠抑制干涉濾波器的性能降低，能夠以高分辨率使期望波長(zhǎng)的光從干涉濾波器射出。如此一來(lái)，也能夠在光學(xué)模塊中通過(guò)受光部檢測(cè)出所述期望波長(zhǎng)的光的正確的光量。
[0037]本發(fā)明的電子設(shè)備的特征在于，具備光學(xué)裝置和控制部，所述光學(xué)裝置包括:干涉濾波器，具備彼此相對(duì)的一對(duì)反射膜；第一部件，具有開(kāi)口部；第二部件，被配置為隔著所述干涉濾波器與所述第一部件相對(duì)，且與所述第一部件一起容納所述干涉濾波器；第三部件，覆蓋所述開(kāi)口部，且使光透過(guò)；以及金屬，覆蓋所述第一部件，所述控制部控制所述干涉濾波器，從所述第三部件觀察所述開(kāi)口部一側(cè)時(shí)，在所述第一部件的所述第三部件一側(cè)，所述金屬不與所述第三部件重疊。
[0038]上述電子設(shè)備的特征在于，具備光學(xué)裝置和控制部，所述光學(xué)裝置具備:干涉濾波器，具有彼此相對(duì)的一對(duì)反射膜；第一部件，具有開(kāi)口部；第二部件，與所述第一部件一起形成能容納所述干涉濾波器的容納空間；透光部件，覆蓋所述開(kāi)口部且與所述第一部件接合；以及金屬，設(shè)置于所述第一部件，所述控制部控制所述干涉濾波器，在從相對(duì)于所述開(kāi)口部的開(kāi)口面的法線方向觀察的俯視觀察中，所述金屬設(shè)置于從所述透光部件的外周緣向遠(yuǎn)離所述開(kāi)口部的一側(cè)隔開(kāi)規(guī)定尺寸的位置。
[0039]在本發(fā)明中，與上述發(fā)明同樣地能夠?qū)崿F(xiàn)光學(xué)裝置中的第一部件和透光部件的接合強(qiáng)度及氣密性的提升，能夠?qū)⒐鈱W(xué)裝置的內(nèi)部維持在合適的環(huán)境。從而，當(dāng)通過(guò)控制部控制干涉濾波器時(shí)，能夠執(zhí)行高精度的控制，能夠提高電子設(shè)備的設(shè)備性能。
[0040]本發(fā)明的光學(xué)殼體的特征在于，包括:第一部件，具有開(kāi)口部；第二部件，用于與所述第一部件一起容納光學(xué)元件；第三部件，覆蓋所述開(kāi)口部，且使光透過(guò)；以及金屬，覆蓋所述第一部件，從所述第三部件觀察所述開(kāi)口部一側(cè)時(shí)，在所述第一部件的所述第三部件一側(cè)，所述金屬不與所述第三部件重疊。
[0041]上述光學(xué)殼體的特征在于，具備:第一部件，具有開(kāi)口部；透光部件，覆蓋所述開(kāi)口部且與所述第一部件接合；以及金屬，設(shè)置于所述第一部件，在從相對(duì)于所述開(kāi)口部的開(kāi)口面的法線方向觀察的俯視觀察中，所述金屬設(shè)置于從所述透光部件的外周緣向遠(yuǎn)離所述開(kāi)口部的一側(cè)隔開(kāi)規(guī)定尺寸的位置。
[0042]在本發(fā)明中，與上述發(fā)明同樣地，透光部件在第一部件的第一區(qū)域內(nèi)通過(guò)接合部件而被接合，金屬設(shè)置于第二區(qū)域。因此，不會(huì)產(chǎn)生因接合部件與金屬接觸所引起的金屬的裂縫、接合部件的裂縫。另外，也可以使接合部件的填角設(shè)置在第一區(qū)域內(nèi)，即使形成有填角，該填角也不會(huì)與金屬接觸。從而，能夠利用金屬維持第一部件的耐蝕性的同時(shí)，能夠?qū)崿F(xiàn)第一部件和透光部件的接合強(qiáng)度及氣密性的提升。
[0043]本發(fā)明的光學(xué)殼體的制造方法其特征在于，所述光學(xué)殼體包括:第一部件，具有開(kāi)口部；第二部件，用于與所述第一部件一起容納光學(xué)元件；第三部件，覆蓋所述開(kāi)口部，且使光透過(guò)；以及金屬，覆蓋所述第一部件，從所述第三部件觀察所述開(kāi)口部一側(cè)時(shí)，在所述第一部件的所述第三部件一側(cè)，所述金屬不與所述第三部件重疊，所述制造方法包括:在所述第一部件的第二區(qū)域鍍覆金屬的工序；以及將所述第三部件接合于所述第一部件的第一區(qū)域的工序，從所述第三部件觀察所述開(kāi)口部一側(cè)時(shí)，所述第一區(qū)域包括所述第三部件的外周緣與所述開(kāi)口部的開(kāi)口邊緣之間的區(qū)域，所述第二區(qū)域是所述第一區(qū)域以外的區(qū)域。
[0044]上述光學(xué)殼體的制造方法其特征在于，所述光學(xué)殼體具備:第一部件，具有開(kāi)口部；透光部件，覆蓋所述開(kāi)口部且與所述第一部件接合；以及金屬，設(shè)置于所述第一部件，在從相對(duì)于所述開(kāi)口部的開(kāi)口面的法線方向觀察的俯視觀察中，所述第一部件具有第一區(qū)域以及所述第一區(qū)域以外的第二區(qū)域，所述第一區(qū)域位于與所述透光部件的外周緣向遠(yuǎn)離所述開(kāi)口部的一側(cè)隔開(kāi)規(guī)定尺寸且沿著所述透光部件的外周緣的線與所述開(kāi)口部的開(kāi)口邊緣之間，在所述制造方法中實(shí)施:在所述第一部件的所述第二區(qū)域形成所述金屬的鍍覆工序；以及將覆蓋所述開(kāi)口部的所述透光部件接合于所述第一部件的所述第一區(qū)域的工序。
[0045]在本發(fā)明中，通過(guò)鍍覆工序在第二區(qū)域形成金屬。作為該金屬的形成方法，例如既可以在整個(gè)第一部件形成金屬之后，通過(guò)蝕刻、研磨等各種方法除去第一區(qū)域的所述金屬，例如也可以在將對(duì)應(yīng)于第一區(qū)域的部分掩蓋之后形成所述金屬。而且，在接合工序中，在第一區(qū)域內(nèi)利用接合部件接合透光部件和第一部件。這里，第一區(qū)域被設(shè)定為從向外側(cè)與透光部件的外周緣隔開(kāi)規(guī)定尺寸的線開(kāi)始至開(kāi)口部的開(kāi)口邊緣為止的區(qū)域。從而，即使沿著透光部件的外周緣形成有填角時(shí)，該填角也不會(huì)與金屬接觸，不存在因填角與金屬的接觸所產(chǎn)生的接合部件的裂縫。如此一來(lái)，能夠以強(qiáng)接合強(qiáng)度和高氣密性接合第一部件與透光部件。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0046]圖1是示出第一實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置的概要的俯視觀察。
[0047]圖2是第一實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置的截面圖。
[0048]圖3是第一實(shí)施方式的波長(zhǎng)可變干涉濾波器的俯視觀察。
[0049]圖4是第一實(shí)施方式的波長(zhǎng)可變干涉濾波器的截面圖。
[0050]圖5是將第一實(shí)施方式的蓋部的局部進(jìn)行了放大的放大截面圖。
[0051]圖6是示出第一實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置的制造工序的流程圖。
[0052]圖7是將第二實(shí)施方式的蓋部的局部進(jìn)行了放大的放大截面圖。
[0053]圖8是將第三實(shí)施方式的蓋部的局部進(jìn)行了放大的放大截面圖。
[0054]圖9是示出各實(shí)施方式中的光學(xué)濾波器裝置的內(nèi)部壓力的變化的圖。
[0055]圖10是示出第四實(shí)施方式的測(cè)色裝置的簡(jiǎn)要構(gòu)成的框圖。
[0056]圖11是示出作為電子設(shè)備的一個(gè)例子的氣體檢測(cè)裝置的簡(jiǎn)要構(gòu)成的圖。
[0057]圖12是示出圖11的氣體檢測(cè)裝置的控制系統(tǒng)的構(gòu)成的框圖。
[0058]圖13是示出作為電子設(shè)備的一個(gè)例子的食物分析裝置的簡(jiǎn)要構(gòu)成的圖。
[0059]圖14是示出作為電子設(shè)備的一個(gè)例子的分光攝像機(jī)(分光力? ^ )的簡(jiǎn)要構(gòu)成的圖。
[0060]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0061]1測(cè)色裝置；3測(cè)色傳感器；4控制裝置；5波長(zhǎng)可變干涉濾波器；31檢測(cè)部；54固定反射膜；55可動(dòng)反射膜；100氣體檢測(cè)裝置；137受光元件；138控制部；200食物分析裝置；213攝像部；220控制部；300分光攝像機(jī)；600、600八、6008光學(xué)濾波器裝置；610殼體(光學(xué)殼體)；620基座(第二部件)；630蓋部(第一部件)；631第二開(kāi)口部；632第二玻璃部件(透光部件)；632纟相對(duì)面；6328側(cè)面；6320上表面；6320相對(duì)面(平面部)；63201端部；6322傾斜面(斜面部)；633金屬；634低熔點(diǎn)玻璃；634八填角；6348填角；635樹(shù)脂部件；紅1第一區(qū)域；紅2第二區(qū)域山線。

【具體實(shí)施方式】
[0062](第一實(shí)施方式)
[0063]以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明涉及的第一實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
[0064](光學(xué)濾波器裝置的構(gòu)成)
[0065]圖1是示出作為本發(fā)明的光學(xué)裝置的一實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置600的簡(jiǎn)要構(gòu)成的俯視觀察。圖2是該光學(xué)濾波器裝置600的截面圖。
[0066]光學(xué)濾波器裝置600是從射入的檢查對(duì)象光中提取規(guī)定的目標(biāo)波長(zhǎng)的光并使其射出的裝置，其具備殼體610(本發(fā)明的光學(xué)殼體〉、以及收納在殼體610的內(nèi)部的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5。這樣的光學(xué)濾波器裝置600可以組裝在例如測(cè)色傳感器等光學(xué)模塊、測(cè)色裝置或氣體分析裝置等電子設(shè)備中。此外，關(guān)于具備光學(xué)濾波器裝置600的光學(xué)模塊、電子設(shè)備的構(gòu)成將在后面進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0067](波長(zhǎng)可變干涉濾波器的構(gòu)成)
[0068]波長(zhǎng)可變干涉濾波器5是本發(fā)明的光學(xué)元件的一個(gè)例子。
[0069]圖3是示出被容納于殼體610的內(nèi)部的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的簡(jiǎn)要構(gòu)成的俯視觀察，圖4是在圖3的線截?cái)嗟?、示出波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的簡(jiǎn)要構(gòu)成的截面圖。
[0070]如圖3所示，波長(zhǎng)可變干涉濾波器5具備相當(dāng)于本發(fā)明的基板的固定基板51和可動(dòng)基板52。上述固定基板51和可動(dòng)基板52分別由例如蘇打玻璃、水晶玻璃、石英玻璃、鉛玻璃、鉀玻璃、硼硅玻璃、無(wú)堿玻璃等各種玻璃、水晶等形成。而且，如圖4所示，上述固定基板51和可動(dòng)基板52被接合膜53 (第一接合膜531和第二接合膜532)接合而構(gòu)成為一體。具體而言，固定基板51的第一接合部513和可動(dòng)基板52的第二接合部523被例如由將硅氧烷作為主要成分的等離子體聚合膜等構(gòu)成的接合膜53接合。
[0071]此外，在以后的說(shuō)明中，將從固定基板51或者可動(dòng)基板52的基板厚度方向觀察的俯視觀察、即從固定基板51、接合膜53以及可動(dòng)基板52的層疊方向觀察波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的俯視觀察稱為濾波器俯視觀察。
[0072]如圖4所示，在固定基板51設(shè)置有構(gòu)成本發(fā)明的一對(duì)反射膜中一個(gè)的固定反射膜54。另外，在可動(dòng)基板52設(shè)置有構(gòu)成本發(fā)明的一對(duì)反射膜中另一個(gè)的可動(dòng)反射膜55。上述固定反射膜54和可動(dòng)反射膜55隔著反射膜間間隙而相對(duì)配置。
[0073]另外，在波長(zhǎng)可變干涉濾波器5設(shè)置有用于調(diào)整反射膜間間隙以的距離(尺寸)的靜電致動(dòng)器56。該靜電致動(dòng)器56被構(gòu)成為具備設(shè)置于固定基板51的固定電極561和設(shè)置于可動(dòng)基板52的可動(dòng)電極562，且各個(gè)電極561、562相對(duì)。上述固定電極561、可動(dòng)電極562隔著電極間間隙相對(duì)。這里，上述電極561、562可以是分別直接設(shè)置于固定基板51和可動(dòng)基板52的基板表面的構(gòu)成，也可以是隔著其它膜部件而被設(shè)置的構(gòu)成。
[0074]此外，在本實(shí)施方式中，雖然舉例示出了反射膜間間隙以形成得比電極間間隙小的構(gòu)成，但例如也可以根據(jù)被波長(zhǎng)可變干涉濾波器5透過(guò)的波長(zhǎng)范圍而將反射膜間間隙以形成得比電極間間隙大。
[0075]另外，在濾波器俯視觀察中，固定基板51的邊(:1-(:2比可動(dòng)基板52的邊01； -02^更向外側(cè)突出而構(gòu)成固定側(cè)電裝(電裝)部514。另外，可動(dòng)基板52的邊031 ~04:1比固定基板51的邊(:3-(?更向外側(cè)突出而構(gòu)成可動(dòng)側(cè)電裝部524。
[0076](固定基板的構(gòu)成)
[0077]在固定基板51上利用蝕刻形成有電極配置槽511和反射膜設(shè)置部512。該固定基板51被形成為其厚度尺寸比可動(dòng)基板52的厚度尺寸大，向固定電極561與可動(dòng)電極562之間施加電壓時(shí)的靜電引力、固定電極561的內(nèi)部應(yīng)力不會(huì)引起固定基板51的撓曲。
[0078]在濾波器俯視觀察中，電極配置槽511被形成為以固定基板51的濾波器中心點(diǎn)0為中心的環(huán)狀。在上述俯視觀察中，反射膜設(shè)置部512被形成為從電極配置槽511的中心部向可動(dòng)基板52—側(cè)突出。該電極配置槽511的槽底面成為配置固定電極561的電極設(shè)置面511八。另外，反射膜設(shè)置部512的突出前端面成為反射膜設(shè)置面512八。
[0079]另外，在固定基板51上從電極配置槽511至固定側(cè)電裝部514為止的區(qū)域和從電極配置槽511至邊(:3-(?為止的區(qū)域設(shè)置有連接電極槽5118。此外，在本實(shí)施方式中，電極設(shè)置面511八、連接電極槽5118的底部以及固定側(cè)電裝部514的表面成為同一平面。
[0080]在電極設(shè)置面511八設(shè)置有構(gòu)成靜電致動(dòng)器56的固定電極561。更具體而言，固定電極561被設(shè)置在電極設(shè)置面511八中的與后述的可動(dòng)部521的可動(dòng)電極562相對(duì)的區(qū)域。另外，也可以構(gòu)成為在固定電極561上層疊用于確保固定電極561和可動(dòng)電極562之間的絕緣性的絕緣膜。
[0081]另外，在固定基板51設(shè)置有與固定電極561的外周緣連接的固定連接電極563。該固定連接電極563從電極配置槽511朝著固定側(cè)電裝部514跨連接電極槽5118和固定側(cè)電裝部514而設(shè)置。該固定連接電極563在固定側(cè)電裝部514構(gòu)成與后述的內(nèi)側(cè)端子部電連接的固定電極墊(電極〃 7卜'' #63？。
[0082]此外，在本實(shí)施方式中，雖然示出了在電極設(shè)置面511八設(shè)置一個(gè)固定電極561的構(gòu)成，但例如也可以是設(shè)置以濾波器中心點(diǎn)0為中心成同心圓的兩個(gè)電極的構(gòu)成(雙電極構(gòu)成)等。另外，也可以采用在固定反射膜54上設(shè)置透明電極的構(gòu)成或采用導(dǎo)電性的固定反射膜54而形成從該固定反射膜54至固定側(cè)電裝部514的連接電極，此時(shí)，作為固定電極561，也可以采用根據(jù)連接電極的位置而將其一部分切開(kāi)的構(gòu)成等。
[0083]如上所述，反射膜設(shè)置部512與電極配置槽511在同軸上，且形成為直徑尺寸比電極配置槽511的直徑尺寸小的大致圓柱狀，反射膜設(shè)置部512具備該反射膜設(shè)置部512的與可動(dòng)基板52相對(duì)的反射膜設(shè)置面512八。
[0084]如圖4所示，在該反射膜設(shè)置部512設(shè)置有固定反射膜54?？梢允褂美玢y(八8)等金屬膜、銀合金等合金膜作為該固定反射膜54。另外，例如也可以使用高折射層為二氧化鈦(11(?)、低折射層為二氧化硅(31(?)的電介質(zhì)多層膜。進(jìn)而，也可以使用在電介質(zhì)多層膜上層疊了金屬膜(或者合金膜)的反射膜、在金屬膜(或合金膜)上層疊了電介質(zhì)多層膜的反射膜、層疊了單層的折射層和金屬膜(或者合金膜)的反射月旲等。
[0085]另外，也可以在固定基板51的光入射面(沒(méi)有設(shè)置固定反射膜54的面)上與固定反射膜54對(duì)應(yīng)的位置形成防反射膜?？赏ㄟ^(guò)交替層疊低折射率膜和高折射率膜而形成該防反射膜，該防反射膜使在固定基板51的表面的可見(jiàn)光的反射率下降，且使透過(guò)率增大。
[0086]另外，在固定基板51的與可動(dòng)基板52相對(duì)的面中，未通過(guò)蝕刻形成電極配置槽511、反射膜設(shè)置部512以及連接電極槽5118的面構(gòu)成第一接合部513。在該第一接合部513設(shè)置有第一接合膜531，通過(guò)將該第一接合膜531與設(shè)置于可動(dòng)基板52的第二接合膜532接合，從而如上所述，固定基板51與可動(dòng)基板52相接合。
[0087](可動(dòng)基板的構(gòu)成)
[0088]可動(dòng)基板52具備以濾波器中心點(diǎn)0為中心的圓形狀的可動(dòng)部521和與可動(dòng)部521同軸的且保持可動(dòng)部521的保持部522。
[0089]可動(dòng)部521被形成為其厚度尺寸比保持部522的厚度尺寸大。該可動(dòng)部521被形成為在濾波器俯視觀察中其直徑尺寸至少比反射膜設(shè)置面512八的外周緣的直徑尺寸大。另外，在該可動(dòng)部521設(shè)置有可動(dòng)電極562和可動(dòng)反射膜55。
[0090]此外，與固定基板51同樣，也可以在可動(dòng)部521的與固定基板51相反一側(cè)的面形成防反射膜?？赏ㄟ^(guò)交替層疊低折射率膜和高折射率膜而形成上述防反射膜，上述防反射膜使在可動(dòng)基板52的表面的可見(jiàn)光的反射率下降，且使透過(guò)率增大。
[0091]可動(dòng)電極562隔著間隙62與固定電極561相對(duì)，形成為與固定電極561相同形狀的環(huán)狀。該可動(dòng)電極562與固定電極561—起構(gòu)成靜電致動(dòng)器56。另外，在可動(dòng)基板52設(shè)置有與可動(dòng)電極562的外周緣連接的可動(dòng)連接電極564。該可動(dòng)連接電極564從可動(dòng)部521跨與設(shè)置于固定基板51的邊(:3-(?側(cè)的連接電極槽5118相對(duì)的位置、可動(dòng)側(cè)電裝部524而設(shè)置，且在可動(dòng)側(cè)電裝部524構(gòu)成與內(nèi)側(cè)端子部電連接的可動(dòng)電極墊564？。
[0092]可動(dòng)反射膜55隔著間隙以與固定反射膜54相對(duì)地設(shè)置在可動(dòng)部521的可動(dòng)面521八的中心部。使用與上述固定反射膜54相同的構(gòu)成的反射膜作為該可動(dòng)反射膜55。
[0093]此外，在本實(shí)施方式中，雖然如上所述示出了間隙似的尺寸比間隙以的尺寸大的例子，但不限定于此。例如，當(dāng)使用紅外線、遠(yuǎn)紅外線作為測(cè)定對(duì)象光時(shí)等，根據(jù)測(cè)定對(duì)象光的波長(zhǎng)范圍，也可以是間隙的尺寸比間隙62的尺寸大的構(gòu)成。
[0094]保持部522是圍繞可動(dòng)部521周圍的隔膜(夕' 4 7 7 9 ^ )，其厚度尺寸被形成為比可動(dòng)部521的厚度尺寸小。這樣的保持部522比可動(dòng)部521更容易撓曲，微小的靜電引力就能使可動(dòng)部521向固定基板51側(cè)位移。此時(shí)，由于可動(dòng)部521的厚度尺寸比保持部522的厚度尺寸大而剛性更大，所以即使保持部522因?yàn)殪o電引力被拉向固定基板51—側(cè)，也不會(huì)發(fā)生可動(dòng)部521的形狀變化。從而，設(shè)置于可動(dòng)部521的可動(dòng)反射膜55也不會(huì)發(fā)生撓曲，能夠?qū)⒐潭ǚ瓷淠?4和可動(dòng)反射膜55 —直維持在平行狀態(tài)。
[0095]此外，在本實(shí)施方式中，雖然舉例示出了隔膜狀的保持部522，但并不限定于此，例如還可以是設(shè)置以濾波器中心點(diǎn)0為中心、以等角度間隔配置的梁狀的保持部的構(gòu)成等。
[0096]在可動(dòng)基板52中與第一接合部513相對(duì)的區(qū)域成為第二接合部523。在該第二接合部523設(shè)置有第二接合膜532，如上所述，通過(guò)將第二接合膜532接合于第一接合膜531，從而將固定基板51和可動(dòng)基板52相接合。
[0097](殼體(筐體)的構(gòu)成)
[0098]如圖1和圖2所示，殼體610具備相當(dāng)于本發(fā)明的第二部件的基座620和相當(dāng)于本發(fā)明的第一部件的蓋部630。通過(guò)接合上述基座620和蓋部630，從而在內(nèi)部形成容納空間，在該容納空間內(nèi)容納波長(zhǎng)可變干涉濾波器5。
[0099](基座的構(gòu)成)
[0100]基座620由例如陶瓷等構(gòu)成。該基座620具備底座部621和側(cè)壁部622。
[0101]在濾波器俯視觀察中，底座部621被構(gòu)成為具有例如矩形狀的外形的平板狀，側(cè)壁部622從該底座部621的外周部向蓋部630立起。
[0102]底座部621具備沿厚度方向貫通的第一開(kāi)口部623。該第一開(kāi)口部623被設(shè)置為:在將波長(zhǎng)可變干涉濾波器5容納在底座部621的狀態(tài)下，在從相對(duì)于第一開(kāi)口部623的開(kāi)口面的法線方向觀察的俯視觀察中，包括與反射膜54、55重疊的區(qū)域。
[0103]另外，在底座部621的與蓋部630相反一側(cè)的面(基座外側(cè)面6218)上接合有覆蓋第一開(kāi)口部623的第一玻璃部件627。底座部621和第一玻璃部件627的接合例如可利用使用高溫熔解玻璃原料后急速降溫而成的玻璃的碎片、即玻璃料(低熔點(diǎn)玻璃)的低熔點(diǎn)玻璃接合、借助環(huán)氧樹(shù)脂等的粘合等。在本實(shí)施方式中，以容納空間內(nèi)被維持在減壓下的狀態(tài)維持氣密。從而，優(yōu)選使用低熔點(diǎn)玻璃接合來(lái)接合底座部621和第一玻璃部件627。
[0104]另外，在底座部621的與蓋部630相對(duì)的內(nèi)表面(基座內(nèi)側(cè)面621八)設(shè)置有與波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的各個(gè)電極墊563？、564？連接的內(nèi)側(cè)端子部624。例如通過(guò)引線接合(7 4 — #)，使用金(八11)等金屬線連接內(nèi)側(cè)端子部624和各個(gè)電極墊563？、564？。需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施方式中，雖然舉例示出了引線接合，但也可以使用例如
柔性電路板)等。
[0105]另外，在底座部621的設(shè)有內(nèi)側(cè)端子部624的位置形成有貫通孔625。內(nèi)側(cè)端子部624經(jīng)由貫通孔625與設(shè)置于底座部621的基座外側(cè)面6218的外側(cè)端子部626連接。
[0106]側(cè)壁部622從底座部621的緣部立起，覆蓋被載置于基座內(nèi)側(cè)面621八的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的周圍。側(cè)壁部622的與蓋部630相對(duì)的面(接合端面622八)例如成為與基座內(nèi)側(cè)面621八平行的平坦面。
[0107]另外，使用例如粘合劑等固定材料將波長(zhǎng)可變干涉濾波器5固定于基座620。此時(shí)，既可以將波長(zhǎng)可變干涉濾波器5固定于底座部621，也可以將波長(zhǎng)可變干涉濾波器5固定于側(cè)壁部622。作為設(shè)置固定材料的位置，可以是多個(gè)位置，但為了抑制固定材料的應(yīng)力傳遞到波長(zhǎng)可變干涉濾波器5，優(yōu)選在一處固定波長(zhǎng)可變干涉濾波器5。
[0108](蓋部(V7卜'' )的構(gòu)成)
[0109]圖5是將蓋部630的局部進(jìn)行了放大的放大截面圖。
[0110]在從蓋部630的厚度方向觀察的俯視觀察中，蓋部630是具有與底座部621相同的矩形狀的外形的板狀部件。蓋部630例如可由可伐等合金或者金屬構(gòu)成，在本實(shí)施方式中，由可伐合金構(gòu)成。
[0111]如圖1、圖2所示，蓋部630具有沿蓋部630的厚度方向貫通的第二開(kāi)口部631 (相當(dāng)于本發(fā)明的開(kāi)口部該第二開(kāi)口部631被設(shè)置為:在將波長(zhǎng)可變干涉濾波器5載置于基座620的狀態(tài)下，在從相對(duì)于第二開(kāi)口部631的開(kāi)口面的法線方向觀察的俯視觀察中，包括與反射膜54、55重疊的區(qū)域。
[0112]另外，在蓋部630的外周面覆蓋第二開(kāi)口部631地接合有第二玻璃部件632 (相當(dāng)于本發(fā)明的透光部件)。
[0113]另外，在蓋部630的表面覆蓋形成有金屬633。金屬633可利用鍍覆法形成。
[0114]在圖1中，線[是在將第二玻璃部件632接合于蓋部630的狀態(tài)下、在從相對(duì)于第二開(kāi)口部631的開(kāi)口面的法線方向觀察蓋部630的俯視觀察中、從第二玻璃部件632的外周緣向外側(cè)(離開(kāi)第二開(kāi)口部631的一側(cè))隔開(kāi)規(guī)定尺寸且沿著第二玻璃部件632的外周緣的假想線。在本實(shí)施方式中，在從線[至第二開(kāi)口部631的區(qū)域(第一區(qū)域紅1)中，第二玻璃部件632與蓋部630接合，在該第一區(qū)域紅1內(nèi)不設(shè)置金屬633。金屬633被設(shè)置在第一區(qū)域紅1以外的區(qū)域(第二區(qū)域紅2),優(yōu)選設(shè)置在整個(gè)第二區(qū)域紅2。
[0115]這里，優(yōu)選金屬633盡可能地覆蓋蓋部630。從而，優(yōu)選線[與第二玻璃部件632的外周緣的距離(上述規(guī)定尺寸)盡可能地小(線I盡可能地位于第二玻璃部件632的外周緣附近〉、且為即使在利用低熔點(diǎn)玻璃634接合了第二玻璃部件632時(shí)形成了低熔點(diǎn)玻璃634的填角(丨丨114)的情況下金屬633和低熔點(diǎn)玻璃634也不會(huì)發(fā)生接觸的距離。即，線I以不與低熔點(diǎn)玻璃的填角接觸的程度地設(shè)定在離第二玻璃部件632的外周緣最近的位置。
[0116]另外，第二玻璃部件632在第一區(qū)域紅1內(nèi)通過(guò)低熔點(diǎn)玻璃634而被接合于蓋部630。
[0117]如圖5所示，低熔點(diǎn)玻璃634從第二玻璃部件632的與蓋部630相對(duì)的相對(duì)面632八開(kāi)始，一直接觸形成至第二玻璃部件632的沿著外周緣的側(cè)面6328 (與相對(duì)面632八正交的面)。即，在整個(gè)第二玻璃部件632的外周緣，將低熔點(diǎn)玻璃634的填角634八設(shè)置在第一區(qū)域八!'1內(nèi)。
[0118]如上所述，因?yàn)榻饘?33被設(shè)置在第二區(qū)域紅2中，所以設(shè)置在第一區(qū)域紅1中的低熔點(diǎn)玻璃634不與金屬633接觸。
[0119]如上所述，金屬633被設(shè)置為覆蓋第二區(qū)域紅2。選擇對(duì)蓋部630緊貼性高的材料作為金屬633，在本實(shí)施方式中，相對(duì)于可伐合金制的蓋部630，使用含有鎳的金屬633。
[0120]而且，蓋部630接合于基座620的接合端面622八。對(duì)于該接合，例如除了可以采用基于金屬釬焊等的接合之外，還可以采用接縫接合、激光焊接接合等。如此一來(lái)，通過(guò)接合基座620和蓋部630，從而可將容納波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的容納空間氣密密封。
[0121](光學(xué)濾波器裝置的制造)
[0122]對(duì)如上所述的光學(xué)濾波器裝置600的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。
[0123]圖6是示出本實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置600的殼體610的制造工序的流程圖。
[0124]如圖6所示，在本實(shí)施方式中，通過(guò)基座形成工序、濾波器固定工序、蓋部形成工序、殼體接合工序進(jìn)行制造。
[0125]在基座形成工序中，層疊形成有第一開(kāi)口部623和貫通孔625的開(kāi)口的陶瓷片，進(jìn)而，層疊對(duì)應(yīng)于側(cè)壁部622的陶瓷片，對(duì)它們進(jìn)行燒制(焼成如此一來(lái)，形成具有底座部621和側(cè)壁部622的基座620的基本形狀。
[0126]之后，用導(dǎo)電性部件(例如金屬漿料等)填埋貫通孔625，在底座部621的基座內(nèi)側(cè)面621八形成內(nèi)側(cè)端子部624，在基座外側(cè)面6218形成外側(cè)端子部626。如此一來(lái)，維持貫通孔625的氣密性。
[0127]接著，使用低熔點(diǎn)玻璃將覆蓋第一開(kāi)口部623的第一玻璃部件627接合于基座外側(cè)面6218。
[0128]在濾波器固定工序中，在基座620的基座內(nèi)側(cè)面621八或者側(cè)壁部622涂布粘合劑等固定材料。接著，進(jìn)行校準(zhǔn)，使波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的反射膜54、55配置在第一開(kāi)口部623的開(kāi)口區(qū)域內(nèi)，并用固定材料固定波長(zhǎng)可變干涉濾波器5。此時(shí)，通過(guò)利用固定材料固定波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的固定基板51，從而能夠抑制因固定材料的應(yīng)力而使可動(dòng)部521傾斜等。
[0129]之后，通過(guò)引線接合連接波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的各個(gè)電極墊563？、564？與基座620的內(nèi)側(cè)端子部624。
[0130]在蓋部形成工序中，首先，通過(guò)鍍覆法在設(shè)有第二開(kāi)口部631的可伐合金制的蓋部630上形成金屬633 (鍍覆工序)。
[0131]此時(shí)，在蓋部630中，在從線[至第二開(kāi)口部631的開(kāi)口邊緣為止的第一區(qū)域紅1以外的第二區(qū)域紅2形成金屬633。具體而言，在將蓋部630的第一區(qū)域紅1掩蓋(1 ^^ )之后，將金屬633涂布在蓋部630的整面，之后除去掩模。
[0132]需要說(shuō)明的是，鍍覆方法不限定于此，例如，也可以在蓋部630的整面形成了金屬633之后，利用蝕刻、研磨等而只除去第一區(qū)域紅1的金屬633。
[0133]之后，在蓋部630的第一區(qū)域紅1的與第二玻璃部件632相對(duì)的面設(shè)置熔融狀態(tài)的低熔點(diǎn)玻璃634，接合第二玻璃部件632 (接合工序)。
[0134]此時(shí)，通過(guò)向蓋部630側(cè)按壓第二玻璃部件632，從而低熔點(diǎn)玻璃634向第二玻璃部件632的外周緣的外側(cè)溢出(第一區(qū)域紅1內(nèi))且沿側(cè)面6328上溢，形成填角634八。
[0135]如上，形成蓋部630。
[0136]在殼體接合工序中，接合基座620和蓋部630。例如，在利用真空室裝置等而被設(shè)定為真空氣氛的環(huán)境下通過(guò)接縫接合來(lái)實(shí)施基座620與蓋部630的接合。此外，作為接合方法，如上所述，可采用使用了金屬釬焊的接合、激光焊接接合等各種接合方法。
[0137]如上，制造光學(xué)濾波器裝置600。
[0138](第一實(shí)施方式的作用效果)
[0139]在本實(shí)施方式中，不對(duì)蓋部630表面的第一區(qū)域八!'1設(shè)置金屬633，而在第二區(qū)域紅2設(shè)置金屬633。因此，當(dāng)利用低熔點(diǎn)玻璃634將第二玻璃部件632接合于蓋部630時(shí)，即使沿第二玻璃部件632的外周緣形成有低熔點(diǎn)玻璃634的填角634八，也不會(huì)發(fā)生金屬633和低熔點(diǎn)玻璃634的接觸。從而，不會(huì)發(fā)生低熔點(diǎn)玻璃634與金屬633的接觸所引起的金屬633的劣化或裂縫、低熔點(diǎn)玻璃634的裂縫等。
[0140]另外，通過(guò)在用低熔點(diǎn)玻璃634進(jìn)行接合時(shí)形成填角634八，從而能夠使蓋部630與第二玻璃部件632的接合強(qiáng)度更強(qiáng)，且能夠提高氣密性。從而，能夠維持由基座620和蓋部630形成的容納空間的氣密性。
[0141]另外，在本實(shí)施方式中，在容納空間內(nèi)容納有波長(zhǎng)可變干涉濾波器5。
[0142]當(dāng)向靜電致動(dòng)器56施加電壓而使其驅(qū)動(dòng)時(shí)，如果反射膜54、55之間存在空氣，貝0波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的反應(yīng)性降低，在反射膜54、55是金屬膜的情況下，還存在氧化等問(wèn)題。針對(duì)此，在本實(shí)施方式中，如上所述，能夠提高殼體610的內(nèi)部的氣密性，能夠長(zhǎng)時(shí)間維持真空狀態(tài)。從而，能夠抑制波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的驅(qū)動(dòng)反應(yīng)性降低，并且，還能夠抑制反射膜54、55的劣化。
[0143](第二實(shí)施方式)
[0144]接下來(lái)，參照附圖，對(duì)本發(fā)明涉及的第二實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
[0145]在上述第一實(shí)施方式中，在蓋部630和第二玻璃部件632的接合中只使用了低熔點(diǎn)玻璃634。針對(duì)此，在本實(shí)施方式中，在還使用了樹(shù)脂部件這一點(diǎn)上與上述第一實(shí)施方式不同。
[0146]圖7是將第二實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置600八中的蓋部630的局部進(jìn)行了放大的放大截面圖。此外，在以后的實(shí)施方式的說(shuō)明中，對(duì)已經(jīng)說(shuō)明了的構(gòu)成標(biāo)注相同的符號(hào)，并省略或簡(jiǎn)化其說(shuō)明。
[0147]在本實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置600八中，如圖7所示，對(duì)于蓋部630和第二玻璃部件632的接合部分，進(jìn)一步用樹(shù)脂性的粘合材料(樹(shù)脂部件635)進(jìn)行覆蓋來(lái)提升接合強(qiáng)度。
[0148]具體而言，樹(shù)脂部件635從第二玻璃部件632的上表面6320的外周部覆蓋低熔點(diǎn)玻璃634的填角634八的表面和蓋部630的第一區(qū)域紅1。從而，蓋部630在第二區(qū)域紅2中被金屬633覆蓋，在第一區(qū)域紅1中被低熔點(diǎn)玻璃634或者樹(shù)脂部件635覆蓋。此時(shí)，如圖7所示，通過(guò)構(gòu)成為用樹(shù)脂部件635覆蓋金屬633的沿線I的端部，從而能夠抑制金屬633的脫落。
[0149](第二實(shí)施方式的作用效果)
[0150]在本實(shí)施方式中，用樹(shù)脂部件635覆蓋低熔點(diǎn)玻璃634的不與第二玻璃部件632及蓋部630接觸的面(填角634八的表面)。因此，能夠進(jìn)一步提升通過(guò)低熔點(diǎn)玻璃634進(jìn)行的接合的氣密性。
[0151]另外，樹(shù)脂部件635從第二玻璃部件632的上表面覆蓋至蓋部630的第一區(qū)域八!'1。從而，隨著樹(shù)脂部件635固化時(shí)的收縮力，第二玻璃部件632被向蓋部630側(cè)施力，能夠強(qiáng)化接合強(qiáng)度。
[0152]進(jìn)而，樹(shù)脂部件635覆蓋第一區(qū)域紅1。即，金屬633、低熔點(diǎn)玻璃634以及樹(shù)脂部件635中任一個(gè)(^十扎力、)均覆蓋蓋部630的表面。因此，提升了蓋部630的耐蝕性。
[0153](第三實(shí)施方式)
[0154]下面，根據(jù)【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】本發(fā)明涉及的第三實(shí)施方式。
[0155]在上述第二實(shí)施方式中，示出了從第二玻璃部件632的側(cè)面6328形成填角634八并用樹(shù)脂部件635覆蓋填角634八的表面的例子。對(duì)此，在第三實(shí)施方式中，樹(shù)脂部件635進(jìn)入第二玻璃部件632與蓋部630之間來(lái)實(shí)現(xiàn)接合強(qiáng)度的進(jìn)一步的提升。
[0156]圖8是將第三實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置6008的蓋部630的局部進(jìn)行了放大的放大截面圖。
[0157]如圖8所示，本實(shí)施方式的第二玻璃部件632被構(gòu)成為，在第一區(qū)域紅1中包括:與蓋部630相對(duì)的相對(duì)面6320(平面部〉、傾斜面6328以及上表面6320，其中，傾斜面6322與相對(duì)面6320的端部63201連續(xù)、且隨著朝向該第二玻璃部件632的外周緣而在離開(kāi)蓋部630的方向上傾斜。
[0158]另外，如圖8所示，低熔點(diǎn)玻璃634被設(shè)置在相對(duì)面6320與蓋部630之間，并從端部63201朝著外側(cè)形成有填角6348，將蓋部630和第二玻璃部件632接合。即，在第二玻璃部件632的傾斜面6322與蓋部630之間產(chǎn)生有間隙。
[0159]而且，本實(shí)施方式的樹(shù)脂部件635從第二玻璃部件632的上表面6320的外周部覆蓋側(cè)面6328、傾斜面6322、低熔點(diǎn)玻璃634的填角6348的表面、以及蓋部630的第一區(qū)域八！'1。
[0160]即，樹(shù)脂部件635構(gòu)成為在第二玻璃部件632與蓋部630之間進(jìn)入未設(shè)置有低熔點(diǎn)玻璃634的區(qū)域。
[0161](第三實(shí)施方式的作用效果)
[0162]在本實(shí)施方式中，樹(shù)脂部件635構(gòu)成為從第二玻璃部件632的上表面6320夾著傾斜面6322，由于樹(shù)脂固化時(shí)的收縮力，向蓋部630側(cè)對(duì)第二玻璃部件632施力的施加力變得更大。因此，與第二實(shí)施方式相比，能獲得更強(qiáng)的接合強(qiáng)度、更高的氣密性。
[0163](各實(shí)施方式的接合強(qiáng)度)
[0164]圖9是示出上述各實(shí)施方式中的光學(xué)濾波器裝置600、600八、6008的內(nèi)部壓力的變化的圖。在圖9中，數(shù)據(jù)八是在蓋部的整面形成金屬之后用低熔點(diǎn)玻璃接合了第二玻璃部件的光學(xué)濾波器裝置的內(nèi)部壓力的變化。數(shù)據(jù)8示出第一實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置600的內(nèi)部壓力的變化，數(shù)據(jù)￠:示出第二實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置600八的內(nèi)部壓力的變化，數(shù)據(jù)0示出第三實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置6008的內(nèi)部壓力的變化，
[0165]如圖9所示，如果通過(guò)鍍覆法在蓋部的整面形成金屬并利用低熔點(diǎn)玻璃從其上接合第二玻璃部件，則在金屬上會(huì)產(chǎn)生裂縫，因?yàn)樵摿芽p，氣密性大大降低。因此，隨著時(shí)間的推移，內(nèi)部壓力以10？^/天的比例變化。對(duì)此，在光學(xué)濾波器裝置600中內(nèi)部壓力的變化量為0.2^/天，在光學(xué)濾波器裝置600八中內(nèi)部壓力的變化量為0.1^/天，在光學(xué)濾波器裝置6008中內(nèi)部壓力的變化量為0.05^/天，良好地維持了氣密性。
[0166](第四實(shí)施方式)
[0167]下面，根據(jù)【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】本發(fā)明涉及的第四實(shí)施方式。
[0168]在第四實(shí)施方式中，對(duì)作為組入了上述第一實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置600的光學(xué)模塊的測(cè)色傳感器3、以及作為組入了光學(xué)濾波器裝置600的電子設(shè)備的測(cè)色裝置1進(jìn)行說(shuō)明。此外，也可以組入第二實(shí)施方式和第三實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置60016008來(lái)代替光學(xué)濾波器裝置600。
[0169](測(cè)色裝置的簡(jiǎn)要構(gòu)成)
[0170]圖10是示出測(cè)色裝置1的簡(jiǎn)要構(gòu)成的框圖。
[0171]測(cè)色裝置1是本發(fā)明的電子設(shè)備。如圖10所示，該測(cè)色裝置1具備:向檢查對(duì)象X射出光的光源裝置2 ；測(cè)色傳感器3(光學(xué)模塊)；及用于控制測(cè)色裝置1的整體動(dòng)作的控制裝置4。并且，該測(cè)色裝置1通過(guò)測(cè)色傳感器3接收從光源裝置2射出并在檢查對(duì)象X反射的檢查對(duì)象光。并且，測(cè)色裝置1是基于從受光的測(cè)色傳感器3輸出的檢測(cè)信號(hào)對(duì)檢查對(duì)象光的色度、即檢查對(duì)象X的顏色進(jìn)行分析、測(cè)定的裝置。
[0172](光源裝置的構(gòu)成)
[0173]光源裝置2具備光源21、多個(gè)透鏡22(在圖10中僅記載了一個(gè))，并向檢查對(duì)象X射出白色光。此外，在多個(gè)透鏡22中，可以包含準(zhǔn)直透鏡，在這種情況下，光源裝置2通過(guò)準(zhǔn)直透鏡使從光源21射出的白色光成為平行光，并從未圖示的投射透鏡向檢查對(duì)象X射出。此外，在本實(shí)施方式中，例示了具備光源裝置2的測(cè)色裝置1，但是，例如在檢查對(duì)象X是液晶面板等發(fā)光部件的情況下，也可以是不設(shè)置光源裝置2的構(gòu)成。
[0174](測(cè)色傳感器的構(gòu)成)
[0175]測(cè)色傳感器3構(gòu)成本發(fā)明的光學(xué)模塊，其具備上述第一實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置600。如圖10所示，該測(cè)色傳感器3具備:光學(xué)濾波器裝置600 ；接收透過(guò)了光學(xué)濾波器裝置600的光的檢測(cè)部31 ；以及變更波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的透過(guò)光的波長(zhǎng)的電壓控制部32。
[0176]此外，測(cè)色傳感器3在與波長(zhǎng)可變干涉濾波器5相對(duì)的位置上具備將檢查對(duì)象X所反射的反射光(檢查對(duì)象光)向內(nèi)部導(dǎo)光的未圖示的入射光學(xué)透鏡。并且，該測(cè)色傳感器3通過(guò)光學(xué)濾波器裝置600內(nèi)的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5將從入射光學(xué)透鏡射入的檢查對(duì)象光中的規(guī)定波長(zhǎng)的光進(jìn)行分光，并由檢測(cè)部31接收分光后的光。
[0177]檢測(cè)部31由多個(gè)光電轉(zhuǎn)換元件構(gòu)成，生成對(duì)應(yīng)于受光量的電信號(hào)。這里，檢測(cè)部31例如通過(guò)電路基板311與控制裝置4連接，將生成的電信號(hào)作為光接收信號(hào)向控制裝置4輸出。
[0178]此外，形成于殼體610的基座外側(cè)面6218的外側(cè)端子部626與該電路基板311連接，通過(guò)形成于電路基板311的電路，外側(cè)端子部626與電壓控制部32連接。
[0179]在這樣的構(gòu)成中，通過(guò)電路基板311，光學(xué)濾波器裝置600以及檢測(cè)部31可以一體構(gòu)成，能夠使測(cè)色傳感器3的構(gòu)成簡(jiǎn)化。
[0180]電壓控制部32通過(guò)電路基板311與光學(xué)濾波器裝置600的外側(cè)端子部626連接。于是，電壓控制部32基于從控制裝置4輸入的控制信號(hào)，向固定電極墊563？及可動(dòng)電極墊564？之間施加規(guī)定的步間電壓電圧)，從而來(lái)驅(qū)動(dòng)靜電致動(dòng)器56。由此，在電極間間隙產(chǎn)生靜電引力，保持部522撓曲，從而可動(dòng)部521向固定基板51側(cè)位移，可將反射膜間間隙設(shè)定為期望的尺寸。
[0181](控制裝置的構(gòu)成)
[0182]控制裝置4控制測(cè)色裝置1的整體動(dòng)作。
[0183]作為該控制裝置4，例如可以使用通用的個(gè)人電腦、便攜式信息終端、其它的測(cè)色專用電腦等。
[0184]并且，如圖10所示，控制裝置4構(gòu)成為具備光源控制部41、測(cè)色傳感器控制部42、以及測(cè)色處理部43等。
[0185]光源控制部41與光源裝置2連接。于是，光源控制部41例如基于用戶的設(shè)定輸入，向光源裝置2輸出規(guī)定的控制信號(hào)，從光源裝置2射出規(guī)定亮度的白色光。
[0186]測(cè)色傳感器控制部42與測(cè)色傳感器3連接。于是，測(cè)色傳感器控制部42例如基于用戶的設(shè)定輸入，設(shè)定由測(cè)色傳感器3所接收的光的波長(zhǎng)，并向測(cè)色傳感器3輸出旨為檢測(cè)該波長(zhǎng)的光的受光量的控制信號(hào)。由此，測(cè)色傳感器3的電壓控制部32基于控制信號(hào)設(shè)定對(duì)靜電致動(dòng)器56施加的電壓，僅使用戶所期望的光的波長(zhǎng)透過(guò)。
[0187]測(cè)色處理部43從檢測(cè)部31檢測(cè)出的受光量來(lái)分析檢查對(duì)象X的色度。
[0188](第四實(shí)施方式的作用效果)
[0189]本實(shí)施方式的測(cè)色裝置1具備上述第一實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置600。如上所述，光學(xué)濾波器裝置600可提高容納空間的氣密性并抑制內(nèi)部壓力的變化。從而，能夠?qū)⒉ㄩL(zhǎng)可變干涉濾波器5的設(shè)置環(huán)境維持在減壓下，并能夠維持驅(qū)動(dòng)波長(zhǎng)可變干涉濾波器5時(shí)的高反應(yīng)性。另外，既能抑制反射膜54、55的劣化，還能抑制分辨率的下降。
[0190]因此，在具備上述這樣的光學(xué)濾波器裝置600的測(cè)色傳感器3及測(cè)色裝置1中，也能抑制性能下降，能夠長(zhǎng)時(shí)間地檢測(cè)以高分辨率取出的目標(biāo)波長(zhǎng)的光，能夠執(zhí)行正確的顏色分析處理。
[0191](實(shí)施方式的變形)
[0192]需要說(shuō)明的是，本發(fā)明不限于上述實(shí)施方式，在能夠達(dá)到本發(fā)明目的的范圍內(nèi)的變形、改良等均落入本發(fā)明。
[0193]例如，在上述各實(shí)施方式中，示出了在蓋部630的整個(gè)第二區(qū)域紅2設(shè)置有金屬633的例子，但并不限定于此。例如，也可以采用在第二區(qū)域紅2的一部分設(shè)置有金屬633的構(gòu)成等。
[0194]在上述實(shí)施方式中，將蓋部630作為第一部件、將基座620作為第二部件，但不限定于此。例如，也可以第一部件是設(shè)置光學(xué)元件的基座，例如由可伐合金等合金或金屬構(gòu)成。此時(shí)，堵住設(shè)置于第一部件的第一開(kāi)口部的第一玻璃部件是透光部件，可將本發(fā)明應(yīng)用于其接合中。
[0195]在上述實(shí)施方式中，示出了用可伐合金構(gòu)成作為第一部件的蓋部630、用玻璃構(gòu)成作為透光部件的第二玻璃部件632、并鍍鎳構(gòu)成金屬633的例子，但并不限定于此。透光部件和第一部件可適當(dāng)選擇使用熱膨脹系數(shù)為相同程度的材料。另外，關(guān)于上述金屬，可適當(dāng)選擇使用與第一部件的緊貼性良好的金屬。
[0196]例如，當(dāng)將紅外光作為分析對(duì)象光時(shí)，可通過(guò)能透過(guò)紅外光的硅構(gòu)成透光部件。另夕卜，除了可伐合金(〕〃一力)以外，例如還可以通過(guò)合金、鋁等構(gòu)成作為第一部件的蓋部630。進(jìn)而，除了基于鍍覆法的鎳以外，例如還可以使用基于鍍覆法的鋅作為金屬633。
[0197]進(jìn)而，在上述實(shí)施方式中，示出了用低熔點(diǎn)玻璃接合作為第一部件的蓋部630與作為透光部件的第二玻璃部件632的例子，但并不限定于此。例如，也可以通過(guò)環(huán)氧樹(shù)脂等接合部件接合第一部件和透光部件。作為接合部件，優(yōu)先選擇熱膨脹系數(shù)與第一部件、透光部件為相同程度的材料。
[0198]在第三實(shí)施方式中，舉例示出了第二玻璃部件632具有與相對(duì)面6320的端部63201連續(xù)的平面狀的傾斜面6322，但并不限定于此。例如，傾斜面6322既可以是曲面狀，也可以采用具備多個(gè)傾斜面6322的構(gòu)成等。另外，例如，也可以采用與相對(duì)面6320平行且與蓋部630的距離不同的多個(gè)平坦面設(shè)置成階梯狀的構(gòu)成等。無(wú)論哪一種構(gòu)成，都能夠在第二玻璃部件632與蓋部630之間填充樹(shù)脂部件635，實(shí)現(xiàn)接合強(qiáng)度和氣密性的提升。
[0199]在上述各實(shí)施方式中，舉例示出了在從相對(duì)于第二開(kāi)口部631的開(kāi)口面的法線方向觀察的俯視觀察中，作為透光部件的第二玻璃部件632是矩形狀的構(gòu)成，但并不限定于此。例如，第二玻璃部件632也可以形成為圓形、多角形等其它形狀，只要是能覆蓋第二開(kāi)口部631的形狀，無(wú)論是哪種形狀都可以。另外，第二開(kāi)口部631也不限定于矩形狀，也可以是圓形、多角形等其它形狀。
[0200]并且，假想線根據(jù)第二玻璃部件632的形狀進(jìn)行設(shè)定即可，例如也可以包含曲線。
[0201]另外，在上述各實(shí)施方式中，作為本發(fā)明涉及的光學(xué)元件，舉例示出了波長(zhǎng)可變干涉濾波器、干涉濾波器，但本發(fā)明并不限定于此。例如，作為光學(xué)元件，可例示出能使光的反射方向精確變化的鏡器件(3 9—4 )等。
[0202]而且，雖然舉例示出了波長(zhǎng)可變干涉濾波器5作為光學(xué)元件，但也可以使用未設(shè)置靜電致動(dòng)器56而反射膜54、55之間的間隙尺寸為固定的干涉濾波器。
[0203]另外，作為本發(fā)明的電子設(shè)備，在第四實(shí)施方式中舉例示出了測(cè)色裝置1，除此之夕卜，可根據(jù)各種各樣的領(lǐng)域來(lái)使用本發(fā)明的光學(xué)裝置、光學(xué)模塊、電子設(shè)備。
[0204]例如，可用作檢測(cè)特定物質(zhì)的存在的基于光的系統(tǒng)。作為這樣的系統(tǒng)，例如可以例示出:采用使用了本發(fā)明的光學(xué)裝置所具備的波長(zhǎng)可變干涉濾波器的分光計(jì)量方式來(lái)高敏度地檢測(cè)特定氣體的車載用氣體泄漏檢測(cè)器、呼氣檢查用的光聲惰性氣體檢測(cè)器等氣體檢測(cè)裝置。
[0205]下面，根據(jù)附圖對(duì)上述的氣體檢測(cè)裝置的一個(gè)例子進(jìn)行說(shuō)明。
[0206]圖11是示出具備波長(zhǎng)可變干涉濾波器的氣體檢測(cè)裝置的一個(gè)例子的概要圖。
[0207]圖12是示出圖11的氣體檢測(cè)裝置的控制系統(tǒng)的構(gòu)成的框圖。
[0208]如圖11所示，氣體檢測(cè)裝置100構(gòu)成為具備:傳感器芯片110、流路120和主體部130，流路120具備吸引口 120八、吸引流路1208、排出流路120(:以及排出口 1200。
[0209]主體部130由檢測(cè)裝置、控制部138、以及電力供給部139等構(gòu)成，上述檢測(cè)裝置包括:具有可以裝卸流路120的開(kāi)口的傳感器部蓋131、排出單元133、殼體134、光學(xué)部135、濾光器136、光學(xué)濾波器裝置600、以及受光元件137(檢測(cè)部)等，控制部138處理所檢測(cè)到的信號(hào)并控制檢測(cè)部，電力供給部139用于供給電力。需要說(shuō)明的是，也可以使用第二實(shí)施方式和第三實(shí)施方式中的光學(xué)濾波器裝置600八、6008來(lái)代替光學(xué)濾波器裝置600。此外，光學(xué)部135由射出光的光源135八、光束分離器1358、以及透鏡1350、透鏡1350、透鏡1352構(gòu)成，光束分離器1358向傳感器芯片110側(cè)反射從光源135八射入的光，并使從傳感器芯片側(cè)射入的光透過(guò)至受光元件137偵I
[0210]此外，如圖11所示，在氣體檢測(cè)裝置100的表面上設(shè)置有操作面板140、顯示部141、用于和外部的接口的連接部142、電力供給部139。在電力供給部139是二次電池的情況下，還可以具備用于充電的連接部143。
[0211]而且，如圖12所示，氣體檢測(cè)裝置100的控制部138具備:由⑶口等構(gòu)成的信號(hào)處理部144、用于控制光源135八的光源驅(qū)動(dòng)器電路145、用于控制光學(xué)濾波器裝置600的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的電壓控制部146、用于接收來(lái)自于受光元件137的信號(hào)的受光電路147、接收來(lái)自于傳感器芯片檢測(cè)器148的信號(hào)的傳感器芯片檢測(cè)電路149、以及控制排出單元133的排出驅(qū)動(dòng)器電路150等，其中，傳感器芯片檢測(cè)器148讀取傳感器芯片110的代碼，檢測(cè)傳感器芯片110的有無(wú)。
[0212]下面，對(duì)上述的氣體檢測(cè)裝置100的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
[0213]在主體部130的上部的傳感器部蓋131的內(nèi)部設(shè)置有傳感器芯片檢測(cè)器148，通過(guò)該傳感器芯片檢測(cè)器148檢測(cè)傳感器芯片110的有無(wú)。信號(hào)處理部144在檢測(cè)到來(lái)自于傳感器芯片檢測(cè)器148的檢測(cè)信號(hào)時(shí)，判斷為是安裝有傳感器芯片110的狀態(tài)，并向顯示部141輸出使其顯示可實(shí)施檢測(cè)動(dòng)作的旨意的顯示信號(hào)。
[0214]并且，例如在用戶操作操作面板140，從操作面板140向信號(hào)處理部144輸出旨在開(kāi)始檢測(cè)處理的指示信號(hào)時(shí)，首先，信號(hào)處理部144向光源驅(qū)動(dòng)器電路145輸出光源動(dòng)作的信號(hào)，使光源135八進(jìn)行動(dòng)作。在光源135八被驅(qū)動(dòng)的情況下，從光源135八以單一波長(zhǎng)射出直線偏振光的穩(wěn)定的激光。此外，在光源135八中內(nèi)置有溫度傳感器、光量傳感器，其信息向信號(hào)處理部144輸出。并且，信號(hào)處理部144在基于從光源135八輸入的溫度、光量判斷為光源135八在穩(wěn)定動(dòng)作中的情況下，控制排出驅(qū)動(dòng)器電路150，使排出單元133動(dòng)作。由此，含有要檢測(cè)的目標(biāo)物質(zhì)(氣體分子)的氣體樣本從吸引口 120八被引向吸引流路1208、傳感器芯片110內(nèi)、排出流路1200、排出口 1200。
[0215]此外，在吸引口 120八設(shè)置有除塵過(guò)濾器120八1，用于去除比較大的粉塵、一部分的水蒸氣等。
[0216]此外，傳感器芯片110是組裝有多個(gè)金屬納米結(jié)構(gòu)體并利用了局域表面等離子體共振的傳感器。在這樣的傳感器芯片110中，通過(guò)激光在金屬納米結(jié)構(gòu)體之間形成增強(qiáng)電場(chǎng)，如果氣體分子進(jìn)入該增強(qiáng)電場(chǎng)內(nèi)，則會(huì)產(chǎn)生含有分子振動(dòng)的信息的拉曼散射光以及瑞利散射光。
[0217]這些瑞利散射光、拉曼散射光通過(guò)光學(xué)部135射入濾光器136，瑞利散射光被濾光器136分離，拉曼散射光射入到光學(xué)濾波器裝置600。于是，信號(hào)處理部144控制電壓控制部146，調(diào)整施加于光學(xué)濾波器裝置600的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的電壓，由光學(xué)濾波器裝置600的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5使作為檢測(cè)對(duì)象的氣體分子所對(duì)應(yīng)的拉曼散射光分光。之后，在分光后的光被受光元件137接收的情況下，與受光量相應(yīng)的受光信號(hào)經(jīng)由受光電路147被輸出至信號(hào)處理部144。
[0218]信號(hào)處理部144將如上所述地獲得的作為檢測(cè)對(duì)象的氣體分子所對(duì)應(yīng)的拉曼散射光的光譜數(shù)據(jù)和中存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，判斷是否是目標(biāo)氣體分子，并進(jìn)行物質(zhì)的指定。此外，信號(hào)處理部144使顯示部141顯示其結(jié)果信息，或從連接部142向外部輸出。
[0219]需要說(shuō)明的是，在上述圖11以及圖12中，例示了由光學(xué)濾波器裝置600的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5分光拉曼散射光、且從分光后的拉曼散射光來(lái)進(jìn)行氣體檢測(cè)的氣體檢測(cè)裝置100，但是，作為氣體檢測(cè)裝置，也可以用作通過(guò)檢測(cè)氣體固有的吸光度來(lái)指定氣體類別的氣體檢測(cè)裝置。在這種情況下，將使氣體流入傳感器內(nèi)部并檢測(cè)入射光中被氣體吸收的光的氣體傳感器用作本發(fā)明的光學(xué)模塊。并且，將通過(guò)這樣的氣體傳感器來(lái)分析、判斷流入傳感器內(nèi)的氣體的氣體檢測(cè)裝置作為本發(fā)明的電子設(shè)備。在這樣的構(gòu)成中，也可以采用波長(zhǎng)可變干涉濾波器來(lái)檢測(cè)氣體的成分。
[0220]此外，作為用于檢測(cè)特定物質(zhì)的存在的系統(tǒng)，并不限定于上述的氣體的檢測(cè)，還可以例示出利用近紅外線分光的糖類的非侵入式測(cè)定裝置、或食物、生物體、礦物等信息的非侵入式測(cè)定裝置等物質(zhì)成分分析裝置。
[0221]下面，作為上述物質(zhì)成分分析裝置的一個(gè)例子，對(duì)食物分析裝置進(jìn)行說(shuō)明。
[0222]圖13是示出作為利用了光學(xué)濾波器裝置600的電子設(shè)備的一個(gè)例子的食物分析裝置的概略構(gòu)成的圖。
[0223]如圖13所示，該食物分析裝置200具備檢測(cè)器210 (光學(xué)模塊)、控制部220、和顯示部230。檢測(cè)器210具備射出光的光源211、被導(dǎo)入來(lái)自于測(cè)定對(duì)象物的光的攝像透鏡212、對(duì)從攝像透鏡212導(dǎo)入的光進(jìn)行分光的光學(xué)濾波器裝置600、以及檢測(cè)分光后的光的攝像部213(檢測(cè)部)。需要說(shuō)明的是，也可以使用第二實(shí)施方式和第三實(shí)施方式中的光學(xué)濾波器裝置60016008來(lái)代替光學(xué)濾波器裝置600。
[0224]此外，控制部220具備:光源控制部221，實(shí)施光源211的亮燈/滅燈控制、亮燈時(shí)的亮度控制；電壓控制部222，控制光學(xué)濾波器裝置600的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5 ；檢測(cè)控制部223，控制攝像部213，獲取攝像部213所拍攝的分光圖像；信號(hào)處理部224 ；以及存儲(chǔ)部 225。
[0225]在該食物分析裝置200中，若使系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)，則由光源控制部221控制光源211，從光源211對(duì)測(cè)定對(duì)象物照射光。于是，被測(cè)定對(duì)象物所反射的光通過(guò)攝像透鏡212射入到光學(xué)濾波器裝置600。光學(xué)濾波器裝置600的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5通過(guò)電壓控制部222的控制而被施加有可將期望的波長(zhǎng)分光的電壓，分光后的光被例如由￠^0照相機(jī)等構(gòu)成的攝像部213所拍攝。并且，被拍攝的光作為分光圖像被存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部225中。此外，信號(hào)處理部224控制電壓控制部222，使施加于波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的電壓值發(fā)生變化，從而獲取對(duì)應(yīng)于各波長(zhǎng)的分光圖像。
[0226]并且，信號(hào)處理部224對(duì)存儲(chǔ)部225中存儲(chǔ)的各圖像中的各像素的數(shù)據(jù)進(jìn)行運(yùn)算處理，求得各像素中的光譜。此外，在存儲(chǔ)部225中，存儲(chǔ)有例如對(duì)應(yīng)光譜的食物的成分相關(guān)的信息，信號(hào)處理部224基于存儲(chǔ)部225中存儲(chǔ)的食物相關(guān)的信息對(duì)求得的光譜的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，求出檢測(cè)對(duì)象所包含的食物成分及其含量。此外，還可以從獲得的食物成分及含量算出食物卡路里、新鮮度等。而且，通過(guò)分析圖像內(nèi)的光譜分布，還可以實(shí)施檢查對(duì)象食物中新鮮度下降的部分的提取等，進(jìn)而，還可以實(shí)施食物內(nèi)所含的異物等的檢測(cè)。
[0227]并且，信號(hào)處理部224進(jìn)行使顯示部230顯示如上所述地獲得的檢查對(duì)象食物的成分、含量、卡路里、新鮮度等信息的處理。
[0228]此外，在圖13中，示出了食物分析裝置200的例子，但是，也可以基于大致相同的構(gòu)成，用作如上所述的其它的信息的非侵入式測(cè)定裝置。例如，可以用作血液等體液成分的測(cè)定、分析等的進(jìn)行生物體成分的分析的生物體分析裝置。作為這樣的生物體分析裝置，例如作為測(cè)定血液等體液成分的裝置，如果是用于檢測(cè)酒精的裝置，則可以用作檢測(cè)駕駛員的飲酒狀態(tài)的防酒駕裝置。此外，還可以用作具備這樣的生物體分析裝置的電子內(nèi)窺鏡系統(tǒng)。
[0229]而且，還可以用作實(shí)施礦物的成分分析的礦物分析裝置。
[0230]進(jìn)而，作為本發(fā)明的波長(zhǎng)可變干涉濾波器、光學(xué)模塊以及電子設(shè)備，可以應(yīng)用于以下所述的裝置。
[0231]例如，通過(guò)使各波長(zhǎng)的光的強(qiáng)度隨著時(shí)間的推移發(fā)生變化，還可以通過(guò)各波長(zhǎng)的光來(lái)傳送數(shù)據(jù)，在這種情況下，通過(guò)設(shè)于光學(xué)模塊中的波長(zhǎng)可變干涉濾波器對(duì)特定波長(zhǎng)的光進(jìn)行分光，并由受光部來(lái)接收光，從而可以提取由特定波長(zhǎng)的光所傳送的數(shù)據(jù)，通過(guò)具備這樣的數(shù)據(jù)提取用光學(xué)模塊的電子設(shè)備來(lái)處理各波長(zhǎng)的光的數(shù)據(jù)，從而還可以實(shí)施光通^。
[0232]此外，作為電子設(shè)備，還可以應(yīng)用于通過(guò)波長(zhǎng)可變干涉濾波器來(lái)對(duì)光進(jìn)行分光、從而拍攝分光圖像的分光攝像機(jī)、分光分析機(jī)等。作為這樣的分光攝像機(jī)的一個(gè)例子，可以列舉內(nèi)置有波長(zhǎng)可變干涉濾波器的紅外線攝像機(jī)。
[0233]圖14是示出分光攝像機(jī)的概略構(gòu)成的示意圖。如圖14所示，分光攝像機(jī)300具備攝像機(jī)王體310、攝像透鏡單兀320、和攝像部330 (檢測(cè)部)。
[0234]攝像機(jī)主體310是由用戶把持、操作的部分。
[0235]攝像透鏡單元320設(shè)置于攝像機(jī)主體310，將射入的圖像光引導(dǎo)至攝像部330。此夕卜，如圖14所示，該攝像透鏡單元320構(gòu)成為具備物鏡321、成像透鏡322、以及設(shè)置在這些透鏡之間的光學(xué)濾波器裝置600。需要說(shuō)明的是，也可以使用第二實(shí)施方式和第三實(shí)施方式中的光學(xué)濾波器裝置60016008來(lái)代替光學(xué)濾波器裝置600。
[0236]攝像部330由受光元件構(gòu)成，用于拍攝被攝像透鏡單元320引導(dǎo)的圖像光。
[0237]在這樣的分光攝像機(jī)300中，通過(guò)光學(xué)濾波器裝置600的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5使作為拍攝對(duì)象的波長(zhǎng)的光透過(guò)，從而可以拍攝期望波長(zhǎng)的光的分光圖像。
[0238]而且，還可以作為將波長(zhǎng)可變干涉濾波器用作帶通濾波器的光學(xué)裝置加以利用。例如，還可以用作由波長(zhǎng)可變干涉濾波器僅對(duì)發(fā)光元件射出的規(guī)定波長(zhǎng)范圍的光中以規(guī)定波長(zhǎng)為中心的窄帶(狹帯域)的光進(jìn)行分光并使其透過(guò)的光學(xué)式激光裝置。
[0239]此外，還可以將收容于本發(fā)明的光學(xué)裝置中的波長(zhǎng)可變干涉濾波器用作生物體認(rèn)證裝置，例如還可應(yīng)用于利用近紅外區(qū)域、可見(jiàn)區(qū)域的光的、血管、指紋、視網(wǎng)膜、虹膜等的認(rèn)證裝置。
[0240]而且，可以將光學(xué)模塊以及電子設(shè)備用作濃度檢測(cè)裝置。在這種情況下，通過(guò)波長(zhǎng)可變干涉濾波器對(duì)從物質(zhì)射出的紅外能量(紅外光)進(jìn)行分光、分析，從而來(lái)測(cè)定樣品中的被檢體濃度。
[0241]如上所述，本發(fā)明的光學(xué)裝置、光學(xué)模塊以及電子設(shè)備還可以應(yīng)用于從入射光對(duì)規(guī)定的光進(jìn)行分光的任何裝置。并且，如上所述，上述光學(xué)裝置能夠以一個(gè)裝置來(lái)對(duì)多個(gè)波長(zhǎng)進(jìn)行分光，因此，可以高精度地實(shí)施多個(gè)波長(zhǎng)的光譜的測(cè)定、對(duì)多個(gè)成分的檢測(cè)。因此，與通過(guò)多個(gè)裝置來(lái)提取期望波長(zhǎng)的現(xiàn)有的裝置相比，可以促進(jìn)光學(xué)模塊和電子設(shè)備的小型化，例如，可適合在便攜用、車載用的電子設(shè)備中使用。
[0242]此外，實(shí)施本發(fā)明時(shí)的具體結(jié)構(gòu)可以在能夠達(dá)成本發(fā)明目的的范圍內(nèi)對(duì)上述各實(shí)施方式以及變形例適當(dāng)組合來(lái)構(gòu)成，并且也可以適當(dāng)變更為其它結(jié)構(gòu)等。
【權(quán)利要求】
1.一種光學(xué)裝置，其特征在于，包括: 光學(xué)兀件； 第一部件，被配置為覆蓋所述光學(xué)元件，且具有開(kāi)口部； 第二部件，被配置為隔著所述光學(xué)元件與所述第一部件相對(duì)，且與所述第一部件一起容納所述光學(xué)元件； 第三部件，覆蓋所述開(kāi)口部，且使光透過(guò)；以及 金屬，覆蓋所述第一部件， 從所述第三部件觀察所述開(kāi)口部一側(cè)時(shí)，在所述第一部件的所述第三部件一側(cè)，所述金屬不與所述第三部件重疊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)裝置，其特征在于， 所述第三部件接合于所述第一部件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)裝置，其特征在于， 所述金屬通過(guò)鍍覆法形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)裝置，其特征在于， 所述第三部件經(jīng)由低熔點(diǎn)玻璃接合于所述第一部件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學(xué)裝置，其特征在于，還包括: 樹(shù)脂部件，所述樹(shù)脂部件覆蓋所述低熔點(diǎn)玻璃的不與所述第三部件和所述第一部件接觸的面。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學(xué)裝置，其特征在于， 所述第三部件具備: 第一面，與所述第一部件相對(duì)；以及 第二面，從所述第一面向所述第三部件的外周緣側(cè)連續(xù)地形成、且隨著朝向所述第三部件的外周緣，在離開(kāi)所述第一部件的方向上傾斜， 所述低熔點(diǎn)玻璃配置于所述第一面與所述第一部件之間， 所述樹(shù)脂部件與所述第二面接觸。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)裝置，其特征在于， 所述第三部件是玻璃， 所述第一部件是可伐合金， 所述金屬包含鎳。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)裝置，其特征在于， 所述光學(xué)元件是具備彼此相對(duì)的一對(duì)反射膜的干涉濾波器。
9.一種光學(xué)模塊，其特征在于，具備: 光學(xué)裝置和受光部， 所述光學(xué)裝置包括: 干涉濾波器，具備彼此相對(duì)的一對(duì)反射膜； 第一部件，具有開(kāi)口部； 第二部件，被配置為隔著所述干涉濾波器與所述第一部件相對(duì)，且與所述第一部件一起容納所述干涉濾波器； 第三部件，覆蓋所述開(kāi)口部，且使光透過(guò)；以及 金屬，覆蓋所述第一部件， 所述受光部接收從所述干涉濾波器射出的光， 從所述第三部件觀察所述開(kāi)口部一側(cè)時(shí)，在所述第一部件的所述第三部件一側(cè)，所述金屬不與所述第三部件重疊。
10.一種電子設(shè)備，其特征在于，具備: 光學(xué)裝置和控制部， 所述光學(xué)裝置包括: 干涉濾波器，具備彼此相對(duì)的一對(duì)反射膜； 第一部件，具有開(kāi)口部； 第二部件，被配置為隔著所述干涉濾波器與所述第一部件相對(duì)，且與所述第一部件一起容納所述干涉濾波器； 第三部件，覆蓋所述開(kāi)口部，且使光透過(guò)；以及 金屬，覆蓋所述第一部件， 所述控制部控制所述干涉濾波器， 從所述第三部件觀察所述開(kāi)口部一側(cè)時(shí)，在所述第一部件的所述第三部件一側(cè)，所述金屬不與所述第三部件重疊。
11.一種光學(xué)殼體，其特征在于，包括: 第一部件，具有開(kāi)口部； 第二部件，用于與所述第一部件一起容納光學(xué)元件； 第三部件，覆蓋所述開(kāi)口部，且使光透過(guò)；以及 金屬，覆蓋所述第一部件， 從所述第三部件觀察所述開(kāi)口部一側(cè)時(shí)，在所述第一部件的所述第三部件一側(cè)，所述金屬不與所述第三部件重疊。
12.一種光學(xué)殼體的制造方法，其特征在于， 所述光學(xué)殼體包括: 第一部件，具有開(kāi)口部； 第二部件，用于與所述第一部件一起容納光學(xué)元件； 第三部件，覆蓋所述開(kāi)口部，且使光透過(guò)；以及 金屬，覆蓋所述第一部件， 從所述第三部件觀察所述開(kāi)口部一側(cè)時(shí)，在所述第一部件的所述第三部件一側(cè)，所述金屬不與所述第三部件重疊， 所述制造方法包括: 在所述第一部件的第二區(qū)域鍍覆金屬的工序；以及 將所述第三部件接合于所述第一部件的第一區(qū)域的工序， 從所述第三部件觀察所述開(kāi)口部一側(cè)時(shí)，所述第一區(qū)域包括所述第三部件的外周緣與所述開(kāi)口部的開(kāi)口邊緣之間的區(qū)域， 所述第二區(qū)域是所述第一區(qū)域以外的區(qū)域。
【文檔編號(hào)】G02B7/00GK104423000SQ201410449730
【公開(kāi)日】2015年3月18日 申請(qǐng)日期:2014年9月4日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月5日
【發(fā)明者】松野靖史, 齋藤大輔, 今井英生, 小池繁光 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社