一種氣體保護鏡頭的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種氣體保護鏡頭，包括鏡筒、保護罩、氣接頭、氣嘴等。鏡筒內(nèi)設(shè)置鏡片、隔圈，是曝光設(shè)備的核心部件。增加的保護罩，保護了鏡筒內(nèi)部鏡片的潔凈。流出的氣體有效帶走鏡筒的發(fā)熱，對鏡筒的熱學(xué)變形起到保護。氣嘴吹出的潔凈空氣也可以吹走曝光區(qū)域的灰塵帶走，保證了曝光時曝光區(qū)域的潔凈度。大大的提高了曝光的良率。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，加工和安裝非常方便。有效的解決了曝光時曝光區(qū)域的除塵，鏡筒的散熱等問題。
【專利說明】一種氣體保護鏡頭

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體光刻機鏡頭領(lǐng)域，具體是一種氣體保護鏡頭。

【背景技術(shù)】
[0002]鏡頭是LDI直寫曝光設(shè)備的核心部件。鏡頭的性能參數(shù)影響PCB板曝光的線寬及線寬均勻性的關(guān)鍵部件。所以鏡頭的質(zhì)量在LDI設(shè)備中尤其重要。在PCB曝光制程中，前一道工序是粘塵。主要的目標是粘走PCB板貼膜后粘上的灰塵及臟物。因為在PCB曝光中，空氣中的灰塵及異物會影響到PCB板的曝光質(zhì)量，灰塵嚴重的會致使曝光不良，線路板不導(dǎo)通等問題。所以PCB板曝光前要進行粘塵。但是粘塵后到曝光前，這中間的空間搬送和時間等待中，也有可能部分灰塵粘上。也會影響到曝光后的PCB板質(zhì)量。
[0003]
【發(fā)明內(nèi)容】
本發(fā)明的目的是提供一種氣體保護鏡頭，以解決現(xiàn)有技術(shù)鏡頭的潔凈保護、鏡頭的散熱以及曝光過程中的曝光區(qū)域的潔凈問題。
[0004]為了達到上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為:
一種氣體保護鏡頭，其特征在于:包括有中空筒狀的保護罩，保護罩圓形頂端、圓形底端中心分別設(shè)置有中心通孔，保護罩內(nèi)共中心軸設(shè)置有鏡筒，鏡筒的頂部、底部分別對應(yīng)安裝在保護罩圓形頂端、圓形底端中心通孔中，且鏡筒頂部、底部外壁分別與保護罩圓形頂端、圓形底端中心通孔內(nèi)壁密封配合，所述保護罩上部側(cè)壁設(shè)置有與保護罩內(nèi)連通的氣接頭，保護罩圓形底端設(shè)置有多個與保護罩內(nèi)連通的氣嘴，保護罩與鏡筒之間充有氣體。
[0005]所述的一種氣體保護鏡頭，其特征在于:所述鏡筒頂部外壁與保護罩圓形頂端中心通孔內(nèi)壁之間通過螺紋密封連接。
[0006]所述的一種氣體保護鏡頭，其特征在于:所述保護罩圓形底端中心通孔內(nèi)壁設(shè)置有環(huán)形槽，環(huán)形槽中設(shè)置有密封圈，所述密封圈密封套在鏡筒底部外壁上。
[0007]所述的一種氣體保護鏡頭，其特征在于:所述保護罩圓形頂端中心通孔內(nèi)設(shè)置有壓緊在鏡筒頂部的壓圈。
[0008]所述的一種氣體保護鏡頭，其特征在于:保護罩與鏡頭之間充有潔凈壓縮氣體或惰性氣體。
[0009]所述的一種氣體保護鏡頭，其特征在于:所述鏡筒內(nèi)設(shè)置有豎向的通腔，通腔與鏡筒、保護罩共中心軸，通腔設(shè)置為從上至下直徑依次減小的上、中、下三級臺階狀通腔，且中臺階通腔高度最高，上臺階通腔內(nèi)沿豎向依次設(shè)置有圓管形的第一隔圈、第二隔圈，位于上方的第一隔圈內(nèi)頂部、底部分別設(shè)置有鏡片，位于下方的第二隔圈內(nèi)底部設(shè)置有鏡片，中臺階通腔內(nèi)設(shè)置有圓管形的第三隔圈，第三隔圈內(nèi)頂部設(shè)置有鏡片，下臺階通腔內(nèi)設(shè)置有圓管形的第四隔圈，第四隔圈內(nèi)頂部、底部分別設(shè)置有鏡片，且上、中、下臺階通腔中的鏡片分別與鏡筒、保護罩共中心軸。
[0010]本發(fā)明的有益技術(shù)效果體現(xiàn)在下述幾個方面:
1.本發(fā)明在原有鏡頭上增加一個鏡頭保護罩，及附件。加工簡單，安裝方便，制造成本低。
[0011]2.本發(fā)明可以有效解決曝光時曝光區(qū)域的潔凈度，增加LDI設(shè)備的良率。
[0012]3.本發(fā)明可以有效解決曝光鏡頭的散熱問題，保證曝光鏡頭的性能穩(wěn)定。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)側(cè)剖視圖。
[0014]圖2為本發(fā)明結(jié)構(gòu)俯視圖。

【具體實施方式】
[0015]參見圖1所示，一種氣體保護鏡頭，包括有中空筒狀的保護罩2，保護罩2圓形頂端、圓形底端中心分別設(shè)置有中心通孔，保護罩2內(nèi)共中心軸設(shè)置有鏡筒1，鏡筒I的頂部、底部分別對應(yīng)安裝在保護罩2圓形頂端、圓形底端中心通孔中，且鏡筒I頂部、底部外壁分別與保護罩2圓形頂端、圓形底端中心通孔內(nèi)壁密封配合，保護罩2上部側(cè)壁設(shè)置有與保護罩2內(nèi)連通的氣接頭5，保護罩2圓形底端設(shè)置有多個與保護罩2內(nèi)連通的氣嘴4，保護罩2與鏡筒I之間充有氣體。
[0016]鏡筒I頂部外壁與保護罩2圓形頂端中心通孔內(nèi)壁之間通過螺紋密封連接。
[0017]保護罩2圓形底端中心通孔內(nèi)壁設(shè)置有環(huán)形槽，環(huán)形槽中設(shè)置有密封圈3，密封圈3密封套在鏡筒I底部外壁上。
[0018]保護罩2圓形頂端中心通孔內(nèi)設(shè)置有壓緊在鏡筒I頂部的壓圈6。
[0019]保護罩2與鏡頭I之間充有潔凈壓縮氣體或惰性氣體。
[0020]鏡筒I內(nèi)設(shè)置有豎向的通腔，通腔與鏡筒1、保護罩2共中心軸，通腔設(shè)置為從上至下直徑依次減小的上、中、下三級臺階狀通腔，且中臺階通腔高度最高，上臺階通腔內(nèi)沿豎向依次設(shè)置有圓管形的第一隔圈81、第二隔圈82，位于上方的第一隔圈81內(nèi)頂部、底部分別設(shè)置有鏡片7，位于下方的第二隔圈82內(nèi)底部設(shè)置有鏡片，中臺階通腔內(nèi)設(shè)置有圓管形的第三隔圈83，第三隔圈83內(nèi)頂部設(shè)置有鏡片，下臺階通腔內(nèi)設(shè)置有圓管形的第四隔圈84，第四隔圈84內(nèi)頂部、底部分別設(shè)置有鏡片，且上、中、下臺階通腔中的鏡片分別與鏡筒
1、保護罩2共中心軸。
[0021]本發(fā)明包括鏡筒1、保護罩2、惡、封圈3、氣嘴4 (開在保護罩上)，氣接頭5,壓圈6,鏡片7，和隔圈81-84。鏡筒內(nèi)的結(jié)構(gòu)件包括鏡片，隔圈，壓圈等構(gòu)成了鏡頭本體。在鏡筒I外圍固定保護罩2，鏡筒I于保護罩2上部螺紋連接，保護罩下部中心通孔內(nèi)側(cè)開環(huán)形槽，放置密封圈3。保護罩中心通孔圓周內(nèi)側(cè)和鏡筒圓周外側(cè)構(gòu)成密閉的腔體。潔凈的壓縮孔通過氣管與氣接頭連接，使保護罩與鏡筒之間充滿氣體。保護罩內(nèi)的氣體通過氣嘴吹出。氣嘴吹氣的壓力和流速通過氣接頭上的調(diào)節(jié)開關(guān)調(diào)節(jié)。氣嘴與光軸的光軸有一定角度，保證吹出的潔凈氣體將曝光區(qū)域的灰塵吹走。
[0022]本發(fā)明包括保護罩、鏡筒、氣接頭、鏡頭保護罩、氣嘴，鏡筒內(nèi)設(shè)置不同參數(shù)規(guī)格的鏡片，以及鏡片隔圈等結(jié)構(gòu)。氣接頭一端安裝在保護罩上，一端通過氣管連接到氣源上，氣源為潔凈的壓縮空氣或惰性氣體，有一定的壓力，保證氣體不斷的流過鏡頭。氣接頭上可以調(diào)節(jié)吹氣壓力大小。保護罩安裝在鏡筒外，保護罩上部與鏡筒密封連接，保護罩的下部與鏡筒也保證密封。潔凈氣體只能從保護罩的氣嘴吹出。主要是保護鏡筒中的鏡片潔凈，利于鏡筒的散熱。氣嘴可以直接在在保護罩上開孔，也可以單獨制作，然后連接到保護罩上。氣嘴在保護罩底端圓周布置，氣嘴吹出的方向朝下，與鏡筒中心光軸有一點向外角度，保證鏡頭在曝光過程中一直有氣體吹出，保護曝光區(qū)域的潔凈。保護罩上氣嘴在曝光過程中一直吹氣，保證曝光區(qū)域的潔凈。保護罩中流動的氣體帶走鏡筒的熱量，有利于鏡筒的散熱，減少鏡筒的熱學(xué)形變，有利于鏡筒的性能穩(wěn)定。
【權(quán)利要求】
1.一種氣體保護鏡頭，其特征在于:包括有中空筒狀的保護罩，保護罩圓形頂端、圓形底端中心分別設(shè)置有中心通孔，保護罩內(nèi)共中心軸設(shè)置有鏡筒，鏡筒的頂部、底部分別對應(yīng)安裝在保護罩圓形頂端、圓形底端中心通孔中，且鏡筒頂部、底部外壁分別與保護罩圓形頂端、圓形底端中心通孔內(nèi)壁密封配合，所述保護罩上部側(cè)壁設(shè)置有與保護罩內(nèi)連通的氣接頭，保護罩圓形底端設(shè)置有多個與保護罩內(nèi)連通的氣嘴，保護罩與鏡筒之間充有氣體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣體保護鏡頭，其特征在于:所述鏡筒頂部外壁與保護罩圓形頂端中心通孔內(nèi)壁之間通過螺紋密封連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣體保護鏡頭，其特征在于:所述保護罩圓形底端中心通孔內(nèi)壁設(shè)置有環(huán)形槽，環(huán)形槽中設(shè)置有密封圈，所述密封圈密封套在鏡筒底部外壁上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣體保護鏡頭，其特征在于:所述保護罩圓形頂端中心通孔內(nèi)設(shè)置有壓緊在鏡筒頂部的壓圈。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣體保護鏡頭，其特征在于:保護罩與鏡頭之間充有潔凈壓縮氣體或惰性氣體。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣體保護鏡頭，其特征在于:所述鏡筒內(nèi)設(shè)置有豎向的通腔，通腔與鏡筒、保護罩共中心軸，通腔設(shè)置為從上至下直徑依次減小的上、中、下三級臺階狀通腔，且中臺階通腔高度最高，上臺階通腔內(nèi)沿豎向依次設(shè)置有圓管形的第一隔圈、第二隔圈，位于上方的第一隔圈內(nèi)頂部、底部分別設(shè)置有鏡片，位于下方的第二隔圈內(nèi)底部設(shè)置有鏡片，中臺階通腔內(nèi)設(shè)置有圓管形的第三隔圈，第三隔圈內(nèi)頂部設(shè)置有鏡片，下臺階通腔內(nèi)設(shè)置有圓管形的第四隔圈，第四隔圈內(nèi)頂部、底部分別設(shè)置有鏡片，且上、中、下臺階通腔中的鏡片分別與鏡筒、保護罩共中心軸。
【文檔編號】G03F7/20GK104281012SQ201410479027
【公開日】2015年1月14日 申請日期:2014年9月18日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月18日
【發(fā)明者】何少峰, 項宗齊 申請人:合肥芯碩半導(dǎo)體有限公司