一種雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡芯片的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡芯片，包括雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡和驅(qū)控信號(hào)輸入端口，雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡為m×n元，其中，m、n均為大于1的整數(shù)，雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡采用液晶夾層結(jié)構(gòu)，且上下層之間順次設(shè)置有第一基片、第一平板電極層、第一電隔離層、圖案化電極層、第二電隔離層、第一液晶定向?qū)?、液晶層、第二液晶定向?qū)?、第三電隔離層、第二平板電極層、第二基片，第一平板電極層和第二平板電極層分別固定在第一基片和第二基片上。本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊，可執(zhí)行微光點(diǎn)陣或微光孔陣紅外波場(chǎng)的電控成形與調(diào)變，控制精度高，易與常規(guī)紅外光學(xué)光電機(jī)械結(jié)構(gòu)耦合，光場(chǎng)適應(yīng)性好。
【專利說(shuō)明】—種雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡芯片

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于紅外波束精密測(cè)量與控制【技術(shù)領(lǐng)域】，更具體地，涉及一種雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡芯片。

【背景技術(shù)】
[0002]迄今為止，通過(guò)匯聚或發(fā)散微透鏡陣列對(duì)紅外波束進(jìn)行整形變換這一技術(shù)，已在多個(gè)領(lǐng)域獲得應(yīng)用。典型的如基于匯聚微透鏡陣列對(duì)光束進(jìn)行匯聚式壓縮，構(gòu)建高能態(tài)微點(diǎn)、微線或微斑陣的基準(zhǔn)源；基于發(fā)散微透鏡陣列對(duì)光束進(jìn)行發(fā)散排布，構(gòu)建微點(diǎn)光孔、微線光孔或微面光孔陣的圖案化基準(zhǔn)輻射場(chǎng)源；集成紅外匯聚微透鏡陣列與光敏芯片，提高光敏響應(yīng)的信噪比、感光視場(chǎng)并降噪；集成紅外發(fā)散微透鏡陣列與光敏芯片，構(gòu)建抗強(qiáng)輻照的紅外成像探測(cè)效能增強(qiáng)；基于微透鏡陣列對(duì)激光束進(jìn)行低能耗陣列化分割與整形來(lái)構(gòu)建激光波束陣，基于匯聚微透鏡陣列獲得多重多姿態(tài)目標(biāo)圖像等。隨著應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)展和技術(shù)水平的提升，構(gòu)建通過(guò)單一光學(xué)架構(gòu)進(jìn)行陣列化可調(diào)變光匯聚、光發(fā)散處理，并具備通過(guò)快速切換完成匯聚與發(fā)散模態(tài)轉(zhuǎn)換的陣列化微透鏡技術(shù)，對(duì)提高技術(shù)適應(yīng)性、提升控光效能、擴(kuò)大適用范圍、增強(qiáng)靈活性、提高與其他紅外光學(xué)光電機(jī)械裝置的耦合與匹配能力，以及降低成本等，具有廣泛和迫切的需求。
[0003]基于特定形態(tài)的常規(guī)微透鏡陣列，獲得陣列化匯聚或發(fā)散波束這一技術(shù)方式的缺陷主要表現(xiàn)在以下方面:(一)因表面形貌固定的微透鏡具有不可變動(dòng)的光學(xué)整形性能，僅能構(gòu)建特定的陣列化微聚束光場(chǎng)，無(wú)點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)調(diào)變能力；(二)從表面形貌固定的陣列化發(fā)散微透鏡僅能整形出射形態(tài)固定的圖案化光場(chǎng)，不具備光場(chǎng)調(diào)變能力；(三)光束的陣列化匯聚或發(fā)散操作，分別由光匯聚或光發(fā)散微透鏡陣列完成，匯聚和發(fā)散并存則需配置不同模態(tài)的光處理架構(gòu)，匯聚和發(fā)散模態(tài)轉(zhuǎn)換無(wú)法快速完成，適應(yīng)性差；(四)調(diào)變或切換陣列化的束匯聚和束發(fā)散模態(tài)，需要通過(guò)多組級(jí)聯(lián)布置的匯聚和發(fā)散微透鏡陣列間的機(jī)械運(yùn)動(dòng)進(jìn)行，響應(yīng)慢、狀態(tài)轉(zhuǎn)換耗時(shí)長(zhǎng)以及慣性大，需要匹配復(fù)雜的輔助驅(qū)控裝置，因運(yùn)動(dòng)姿態(tài)的本征連續(xù)性無(wú)法執(zhí)行任意的狀態(tài)切入或跳變，光學(xué)變換能力極為有限，難以靈活接入光路中或與其他紅外光學(xué)光電結(jié)構(gòu)耦合。
[0004]近些年來(lái)，具備波束匯聚或發(fā)散的陣列化成形與調(diào)變的電控液晶微透鏡技術(shù)發(fā)展迅速，為解決上述問(wèn)題提供了新思路。目前已具備的主要功能包括:(一)基于圖案化電極驅(qū)控的微米厚度液晶材料，可對(duì)行進(jìn)光波執(zhí)行可調(diào)變的陣列化匯聚或發(fā)散操作；(二)基于液晶微透鏡的光束陣列化再分布，可依照預(yù)定順序在所選定的電控狀態(tài)處展開(kāi)或快速切換，可接受先驗(yàn)知識(shí)或束變換特征的約束、干預(yù)或引導(dǎo)；(三)平面端面的液晶微透鏡可被靈活接入光路中或與其他紅外結(jié)構(gòu)耦合甚至集成；(四)液晶微透鏡的驅(qū)控操作可基于低功率電壓信號(hào)進(jìn)行，液晶器件功耗可低至微瓦級(jí)，驅(qū)控裝置可小微型化甚至與液晶結(jié)構(gòu)集成。目前，如何構(gòu)建匯聚與發(fā)散雙模一體化的紅外面陣電控液晶微透鏡技術(shù)，實(shí)現(xiàn)特定波束形態(tài)的成形與快速切換，已成為紅外波束精密測(cè)量與控制技術(shù)繼續(xù)發(fā)展所面臨的難點(diǎn)問(wèn)題，迫切需要新的突破。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的以上缺陷或改進(jìn)需求，本發(fā)明提供了一種雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡芯片，其可實(shí)現(xiàn)紅外波束的可調(diào)變陣列化整形以及匯聚和發(fā)散模態(tài)的快速切換，易與其它紅外光學(xué)光電機(jī)械結(jié)構(gòu)耦合，光場(chǎng)適應(yīng)性好。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的，按照本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡芯片，包括雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡和驅(qū)控信號(hào)輸入端口，雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡為mXn元，其中，m、η均為大于I的整數(shù)，雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡采用液晶夾層結(jié)構(gòu)，且上下層之間順次設(shè)置有第一基片、第一平板電極層、第一電隔離層、圖案化電極層、第二電隔離層、第一液晶定向?qū)?、液晶層、第二液晶定向?qū)?、第三電隔離層、第二平板電極層、第二基片，第一平板電極層和第二平板電極層分別固定在第一基片和第二基片上，在第一平板電極層上延伸出一根頂面電極引線，從圖案化平板電極層上延伸出一根頂面圖案化電極引線，從第二平板電極層延伸出一根底面電極引線，頂面電極引線和底面電極引線構(gòu)成平板/平板電極對(duì)，頂面圖案化電極引線和底面電極引線構(gòu)成圖案化平板/平板電極對(duì)，兩個(gè)電極對(duì)均與驅(qū)控信號(hào)輸入端口電連接，并由驅(qū)控信號(hào)輸入端口加電驅(qū)控。
[0007]優(yōu)選地，當(dāng)加載在平板/平板電極對(duì)上的電壓信號(hào)的均方幅度高于加載在圖案化平板/平板電極對(duì)上的電壓信號(hào)時(shí)，呈現(xiàn)發(fā)散微透鏡模態(tài)；當(dāng)加載在平板/平板電極對(duì)上的電壓信號(hào)的均方幅度低于加載在圖案化平板/平板電極對(duì)上的電壓信號(hào)時(shí)，呈現(xiàn)匯聚微透鏡模態(tài)。
[0008]優(yōu)選地，紅外入射光波進(jìn)入雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡后，匯聚或發(fā)散模態(tài)的液晶微透鏡將其尚散化為子入射波束陣。各子入射波束與受控電場(chǎng)激勵(lì)下的液晶分子作用，被匯聚或發(fā)散成陣列化透射光場(chǎng)后輸出。
[0009]優(yōu)選地,所述雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡芯片還包括芯片殼體，雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡設(shè)置在芯片殼體內(nèi)部并與芯片殼體固連，驅(qū)控信號(hào)輸入端口設(shè)置在芯片殼體的側(cè)面上，雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡的光入射面和光出射面通過(guò)芯片殼體的頂面和底面開(kāi)窗裸露出來(lái)。
[0010]優(yōu)選地，在第一基片的光入射面和第二基片的光出射面上分別制作有第一紅外增透膜系和第二紅外增透膜系，二者材質(zhì)相同。
[0011]優(yōu)選地，第一液晶定向?qū)雍偷诙壕Фㄏ驅(qū)泳删埘啺分瞥伞?br> [0012]優(yōu)選地，第一電隔離層、第二電隔離層以及第三電隔離層均由S12制成。
[0013]總體而言，通過(guò)本發(fā)明所構(gòu)思的以上技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比，能夠取得下列有益效果:
[0014]1、液晶微透鏡的聚光、散光模態(tài)一體化:本發(fā)明基于雙套疊電極架構(gòu)，通過(guò)雙路加電率禹合方式，構(gòu)造光匯聚和光發(fā)散相兼容的液晶微透鏡陣列，具有聚光和散光雙模一體化并可電控切換的優(yōu)點(diǎn)。
[0015]2、控制方式靈活:通過(guò)匹配獨(dú)立加載在液晶微透鏡控制電極對(duì)上的雙路電信號(hào)，可對(duì)液晶微透鏡的陣列化光匯聚、光發(fā)散能力進(jìn)行電控調(diào)變。
[0016]3、智能化:通過(guò)調(diào)變加載在液晶微透鏡控制電極上的雙路調(diào)幅或調(diào)頻電信號(hào)，對(duì)紅外波束形態(tài)所進(jìn)行的整形和調(diào)變可在先驗(yàn)知識(shí)或波束特征的約束、干預(yù)或引導(dǎo)下展開(kāi)，具有智能化特征。
[0017]4、控制精度高:由于本發(fā)明采用可精密電驅(qū)控的液晶平面微透鏡，具有極高的結(jié)構(gòu)、電學(xué)及電光參數(shù)的穩(wěn)定性和控制精度，以及采用雙路獨(dú)立信號(hào)協(xié)同方式驅(qū)動(dòng)和調(diào)控芯片，所以本發(fā)明具有控制精度高的優(yōu)點(diǎn)。
[0018]5、使用方便:本發(fā)明的芯片主體為封裝在芯片殼體內(nèi)的雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡，在紅外光路中接插方便，易與常規(guī)紅外光學(xué)光電機(jī)械結(jié)構(gòu)匹配耦合。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1是本發(fā)明雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡芯片的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2是本發(fā)明雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖3是本發(fā)明雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡的電結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖4是本發(fā)明雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡的光束變換示意圖。
[0023]在所有附圖中，相同的附圖標(biāo)記用來(lái)表示相同的元件或結(jié)構(gòu)，其中:
[0024]1-驅(qū)控信號(hào)輸入端口，2-雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡，3-芯片殼體，4-第一基片，5-第一平板電極層，6-第一電隔離層，7-圖案化電極層，8-第二電隔離層，
9-第一液晶定向?qū)樱?0-液晶層，11-第二液晶定向?qū)樱?2-第三電隔離層，13-第二平板電極層，14-第二基片，15-第一紅外增透膜系，16-第二紅外增透膜系。

【具體實(shí)施方式】
[0025]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。此外，下面所描述的本發(fā)明各個(gè)實(shí)施方式中所涉及到的技術(shù)特征只要彼此之間未構(gòu)成沖突就可以相互組合。
[0026]如圖1所示，本發(fā)明的雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡芯片包括:芯片殼體
3、雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡2、以及驅(qū)控信號(hào)輸入端口 I。
[0027]雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡設(shè)置在芯片殼體3內(nèi)部并與芯片殼體3固連，驅(qū)控信號(hào)輸入端口 I設(shè)置在芯片殼體3的側(cè)面上。
[0028]雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡2的光入射面和光出射面通過(guò)芯片殼體3的頂面和底面開(kāi)窗裸露出來(lái)。
[0029]如圖2所示，紅外入射光波進(jìn)入雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡2后，匯聚或發(fā)散模態(tài)的液晶微透鏡將其按照微透鏡的陣列規(guī)模和位置情況，離散化為子入射波束陣。各子入射波束與受控電場(chǎng)激勵(lì)下的液晶分子作用，被匯聚或發(fā)散成陣列化透射光場(chǎng)并經(jīng)耦合由芯片輸出。在雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡中的平板/平板電極對(duì)、以及圖案化平板/平板電極對(duì)上所獨(dú)立加載的V1和V2驅(qū)控信號(hào)，在兩個(gè)電極對(duì)間激勵(lì)起驅(qū)控液晶材料的空間電場(chǎng)。
[0030]如圖3所不,雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡為mXn兀,其中，m、n均為大于I的整數(shù)。在頂面雙層電極結(jié)構(gòu)中的頂面平板電極上延伸出一根頂面電極引線，以及由微圓孔(或微方孔)構(gòu)成的圖案化平板電極上延伸出一根頂面圖案化電極引線，從底面平板電極上延伸出一根底面電極引線。各元微透鏡中相互連通的微圓孔(或微方孔)圖案化電極被同步加電。頂面電極引線、頂面圖案化電極引線和底面電極引線，均被連接到驅(qū)控信號(hào)輸入端口I中的相應(yīng)位置。頂面雙層電極結(jié)構(gòu)中的頂面平板電極與圖案化平板電極間的電絕緣層由S12制成，但應(yīng)理解電隔離層材料并不局限于此，也可以是其它可形成電絕緣的材料。
[0031]如圖4所示，雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡采用液晶夾層結(jié)構(gòu)，且上下層之間順次設(shè)置有第一基片4、第一平板電極層5、第一電隔離層6、圖案化電極層7、第二電隔離層8、第一液晶定向?qū)?、液晶層10、第二液晶定向?qū)?1、第三電隔離層12、第二平板電極層13、第二基片14。第一平板電極層5和第二平板電極層分別固定在第一基片4和第二基片14上。第一和第二液晶定向?qū)泳删埘啺分瞥?，但?yīng)理解定向?qū)硬牧喜⒉痪窒抻诖耍部梢允瞧渌尚纬杉{米級(jí)深度和寬度的溝道材料。第一電隔離層、第二電隔離層以及第三電隔離層均由S12制成，但應(yīng)理解電隔離層材料并不局限于此，也可以是其它可形成電絕緣的材料。在第一基片4的光入射面和第二基片14的光出射面上分別制作有第一紅外增透膜系15和第二紅外增透膜系16，它們材質(zhì)相同。
[0032]紅外光波進(jìn)入芯片中的雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡2后，首先由液晶微透鏡將其按照微透鏡的陣列規(guī)模和位置情況，離散化為陣列化子入射波束。各子入射波束與受控電場(chǎng)激勵(lì)下的液晶分子作用被匯聚壓縮，再經(jīng)耦合形成具有特定圖案形態(tài)的紅外出射波束并經(jīng)芯片的光出射窗口輸出。
[0033]下面結(jié)合圖1、圖2、圖3和圖4說(shuō)明本發(fā)明雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡芯片的工作過(guò)程。
[0034]首先通過(guò)信號(hào)線接入端口將電壓信號(hào)輸入和加載在雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡上。
[0035]雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡芯片被置于測(cè)試光路中，或被置于由主鏡構(gòu)成的紅外光學(xué)系統(tǒng)的焦面處，也可弱離焦配置。
[0036]紅外光波通過(guò)芯片的光入射窗口進(jìn)入雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡后，與受控電場(chǎng)激勵(lì)下構(gòu)建的具有特定折射率分布形態(tài)的液晶分子相互作用而呈匯聚或發(fā)散態(tài)，形成因匯聚作用所構(gòu)建的隨驅(qū)控信號(hào)頻率或幅度變化的微焦點(diǎn)陣，或因發(fā)散作用所構(gòu)建的同樣隨驅(qū)控信號(hào)頻率或幅度變化的微光孔陣。聚焦點(diǎn)其點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)或微光孔其邊界亮度與孔內(nèi)消光比，由施加在液晶微透鏡其平板/平板電極對(duì)、以及圖案化平板/平板電極對(duì)上的雙路電壓信號(hào)調(diào)變。
[0037]雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡芯片通過(guò)相互匹配的雙路電驅(qū)控信號(hào)形成特定模態(tài)的液晶微透鏡，并對(duì)微透鏡的光束處理效能進(jìn)行電控調(diào)變。相互套疊的平板/平板電極對(duì)及圖案化平板/平板電極對(duì)被分別同步加電。電控液晶平面微透鏡包括液晶材料、液晶初始定向結(jié)構(gòu)、金屬電極、基片和紅外增透膜系，液晶材料的上下兩表面依次覆蓋液晶初始定向結(jié)構(gòu)、金屬電極、基片和紅外增透膜系。頂面雙層電極板間以微米級(jí)層厚的絕緣介質(zhì)相互隔離。所述工作在發(fā)散模態(tài)的面陣電控液晶微透鏡用于產(chǎn)生微光孔陣紅外出射光場(chǎng)。通過(guò)調(diào)節(jié)加載在電控液晶發(fā)散微透鏡上的電壓信號(hào)均方幅度或頻率來(lái)調(diào)變陣列化紅外子出射光束的發(fā)散程度，該操作等效于調(diào)變?nèi)鐖D所示的與平面微透鏡具有類似光發(fā)散效能的常規(guī)凹折射微透鏡的表面彎折程度即光線發(fā)散能力。所述工作在匯聚模態(tài)的面陣電控液晶紅外微透鏡用于產(chǎn)生微光點(diǎn)陣紅外出射光場(chǎng)。同樣通過(guò)調(diào)節(jié)加載在電控液晶匯聚微透鏡上的電壓信號(hào)均方幅度或頻率來(lái)調(diào)變陣列化子紅外匯聚光束的空間壓縮程度，該操作等效于調(diào)變?nèi)鐖D所示的與平面微透鏡具有類似光匯聚效能的常規(guī)凸折射微透鏡的表面彎曲程度即光線匯聚能力。通過(guò)匹配加載在微透鏡其相互套疊的雙電極對(duì)上的電壓信號(hào)，可以完成微透鏡的匯聚和發(fā)散模態(tài)轉(zhuǎn)換。所得到的出射波束可通過(guò)電信號(hào)其頻率或幅度的調(diào)變操作，被凝固在特定形態(tài)或調(diào)變到預(yù)定形態(tài)。
[0038]本領(lǐng)域的技術(shù)人員容易理解，以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡芯片，包括雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡和驅(qū)控信號(hào)輸入端口，其特征在于， 雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡為HiXn元，其中，m、n均為大于I的整數(shù)；雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡采用液晶夾層結(jié)構(gòu)，且上下層之間順次設(shè)置有第一基片、第一平板電極層、第一電隔離層、圖案化電極層、第二電隔離層、第一液晶定向?qū)印⒁壕?、第二液晶定向?qū)印⒌谌姼綦x層、第二平板電極層、第二基片； 第一平板電極層和第二平板電極層分別固定在第一基片和第二基片上； 在第一平板電極層上延伸出一根頂面電極引線； 從圖案化平板電極層上延伸出一根頂面圖案化電極引線； 從第二平板電極層延伸出一根底面電極引線； 頂面電極引線和底面電極引線構(gòu)成平板/平板電極對(duì)，頂面圖案化電極引線和底面電極引線構(gòu)成圖案化平板/平板電極對(duì)，兩個(gè)電極對(duì)均與驅(qū)控信號(hào)輸入端口電連接，并由驅(qū)控信號(hào)輸入端口加電驅(qū)控。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡芯片，其特征在于，當(dāng)加載在平板/平板電極對(duì)上的電壓信號(hào)的均方幅度高于加載在圖案化平板/平板電極對(duì)上的電壓信號(hào)時(shí)，呈現(xiàn)發(fā)散微透鏡模態(tài)；當(dāng)加載在平板/平板電極對(duì)上的電壓信號(hào)的均方幅度低于加載在圖案化平板/平板電極對(duì)上的電壓信號(hào)時(shí)，呈現(xiàn)匯聚微透鏡模態(tài)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡芯片，其特征在于，紅外入射光波進(jìn)入雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡后，匯聚或發(fā)散模態(tài)的液晶微透鏡將其離散化為子入射波束陣。各子入射波束與受控電場(chǎng)激勵(lì)下的液晶分子作用，被匯聚或發(fā)散成陣列化透射光場(chǎng)后輸出。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡芯片，其特征在于， 所述雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡芯片還包括芯片殼體； 雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡設(shè)置在芯片殼體內(nèi)部并與芯片殼體固連，驅(qū)控信號(hào)輸入端口設(shè)置在芯片殼體的側(cè)面上； 雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡的光入射面和光出射面通過(guò)芯片殼體的頂面和底面開(kāi)窗裸露出來(lái)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡芯片，其特征在于，在第一基片的光入射面和第二基片的光出射面上分別制作有第一紅外增透膜系和第二紅外增透膜系，二者材質(zhì)相同。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡芯片，其特征在于，第一液晶定向?qū)雍偷诙壕Фㄏ驅(qū)泳删埘啺分瞥伞?br> 7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙模一體化紅外面陣電控液晶微透鏡芯片，其特征在于，第一電隔離層、第二電隔離層以及第三電隔離層均由S12制成。
【文檔編號(hào)】G02F1/133GK104298025SQ201410577244
【公開(kāi)日】2015年1月21日 申請(qǐng)日期:2014年10月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月24日
【發(fā)明者】張新宇, 羅俊, 佟慶, 雷宇, 桑紅石, 張?zhí)煨? 謝長(zhǎng)生 申請(qǐng)人:華中科技大學(xué)