真空減壓干燥設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種真空減壓干燥設(shè)備，涉及顯示器制造【技術(shù)領(lǐng)域】，能夠提高彩膜基板的生產(chǎn)效率。所述真空減壓干燥設(shè)備，包括上蓋和底座，所述上蓋與所述底座之間形成腔室；所述腔室中設(shè)置有可開合的擋板，所述擋板在閉合時(shí)將所述腔室分隔為上腔室和下腔室；所述上腔室中設(shè)置有朝向所述下腔室的攝像頭和光源，所述下腔室壁上設(shè)置有抽氣口。
【專利說明】真空減壓干燥設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及顯示器件制造【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種真空減壓干燥設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在液晶顯示器的彩膜基板生產(chǎn)過程中，真空減壓干燥(VacuumDry，簡(jiǎn)稱V⑶)和亮度不均Mura區(qū)域檢測(cè)是兩道重要的工序。具體地，首先進(jìn)行V⑶工序，將基板放入V⑶設(shè)備內(nèi)進(jìn)行干燥處理；在VCD工序結(jié)束后由機(jī)械手將基板從VCD設(shè)備中取出并放置在傳送帶上，Mura檢測(cè)設(shè)備在基板傳送過程中對(duì)基板進(jìn)行圖像捕捉，之后對(duì)捕捉到的基板圖像進(jìn)行檢測(cè)。然而，上述V⑶和Mura區(qū)域檢測(cè)的過程復(fù)雜，使得彩膜基板的生產(chǎn)效率較低。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型提供一種真空減壓干燥設(shè)備，能夠提高液晶顯示器的彩膜基板的生產(chǎn)效率
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:
[0005]提供一種真空減壓干燥設(shè)備，包括:
[0006]上蓋和底座，所述上蓋與所述底座之間形成腔室；
[0007]所述腔室中設(shè)置有可開合的擋板，所述擋板在閉合時(shí)將所述腔室分隔為上腔室和下腔室；
[0008]所述上腔室中設(shè)置有朝向所述下腔室的攝像頭和光源；
[0009]所述下腔室壁上設(shè)置有抽氣口。
[0010]具體地，所述抽氣口設(shè)置于所述下腔室的側(cè)壁上。
[0011]具體地，所述光源為面光源。
[0012]進(jìn)一步地，所述可開合的擋板包括多個(gè)單元板，當(dāng)所述擋板閉合時(shí)，所述多個(gè)單元板拉伸為板狀結(jié)構(gòu)，當(dāng)所述擋板打開時(shí)，所述多個(gè)單元板收縮至相互重疊。
[0013]具體地，所述下腔室的底部設(shè)置有多個(gè)支撐針。
[0014]具體地，所述上蓋和底座周圍設(shè)置有不透光的圍欄。
[0015]具體地，所述擋板和所述抽氣口設(shè)置于所述上蓋上。
[0016]具體地，上述真空減壓干燥設(shè)備還包括:連接于所述攝像頭的亮度不均檢測(cè)裝置。
[0017]本實(shí)用新型提供的真空減壓干燥設(shè)備，將連接Mura檢測(cè)單元的攝像頭設(shè)置于真空減壓干燥設(shè)備的上蓋內(nèi)部上腔室內(nèi)，將VCD設(shè)備和Mura檢測(cè)設(shè)備結(jié)合在一起，在對(duì)基板進(jìn)行真空減壓干燥處理后攝像頭能夠直接對(duì)基板拍照獲取圖片進(jìn)行Mura檢測(cè)，不再需要機(jī)械手將基板從V⑶設(shè)備取出并放置于傳送帶上，也不再需要傳送帶在Mura檢測(cè)過程中傳送基板，能夠降低成本，節(jié)約時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。且現(xiàn)有技術(shù)中的動(dòng)態(tài)拍攝過程會(huì)因?yàn)榕臄z過程中的不穩(wěn)定造成圖片所示與基板實(shí)際情況不符合，本實(shí)用新型中進(jìn)行Mura檢測(cè)時(shí)的拍攝的過程為靜態(tài)拍攝，靜態(tài)拍攝能夠使拍攝過程更加穩(wěn)定，避免拍攝到的圖片與基板實(shí)際情況不符合。另外，現(xiàn)有技術(shù)在新型號(hào)的基板首次跑片時(shí)需要人為操作對(duì)光源或攝像頭進(jìn)行調(diào)整以獲取Mura檢測(cè)中的標(biāo)準(zhǔn)畫面，而本實(shí)用新型中進(jìn)行Mura檢測(cè)時(shí)的拍攝的過程為靜態(tài)拍攝，因此即便基板的型號(hào)進(jìn)行了改變，也無(wú)需對(duì)光源或攝像頭進(jìn)行調(diào)整，都能夠得到完整準(zhǔn)確的畫面，從而能夠節(jié)約時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0019]圖1為本實(shí)用新型中一種真空減壓干燥設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為圖1的真空減壓干燥設(shè)備擋板打開之后的示意圖；
[0021]圖3為圖1的真空減壓干燥設(shè)備的上蓋內(nèi)部仰視圖；
[0022]圖4為圖1的真空減壓干燥設(shè)備中的擋板打開時(shí)的示意圖；
[0023]圖5為圖1的真空減壓干燥設(shè)備中的擋板閉合時(shí)的示意圖；
[0024]圖6為本實(shí)用新型中另一種真空減壓干燥設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖7為圖6的真空減壓干燥設(shè)備擋板打開之后的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0026]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0027]如圖1所示，本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種真空減壓干燥設(shè)備，包括上蓋I和底座2，上蓋I與底座2之間形成腔室4 ;腔室4中設(shè)置有可開合的擋板3，擋板3在閉合時(shí)將腔室分隔為上腔室41和下腔室42 ;上腔室41中設(shè)置有朝向下腔室42的攝像頭5和光源6 ;下腔室42壁上設(shè)置有抽氣口 7。在彩膜基板制造過程中，將基板8放置到底座2上，上蓋I下降至與底座2的上表面接觸，使腔室4密閉，同時(shí)擋板3閉合，將腔室4分隔為上腔室41和下腔室42，此時(shí)基板8位于下腔室42中，下腔室42處于密閉狀態(tài)，下腔室42壁上的抽氣口7連接外部的真空泵(圖中未示出)，真空泵開始對(duì)密閉的下腔室42進(jìn)行抽真空，由于擋板3處于閉合狀態(tài)，在對(duì)基板8進(jìn)行干燥處理的同時(shí)不會(huì)因?yàn)槌檎婵諏?duì)上腔室41中設(shè)置的攝像頭5和光源6造成損害，V⑶過程完成后，如圖2所示，基板8位置不變，上蓋I打開，對(duì)下腔室42進(jìn)行破真空，同時(shí)擋板3打開，上腔室41中的光源6點(diǎn)亮，攝像頭5開始對(duì)基板進(jìn)行拍照，根據(jù)所拍攝的照片對(duì)基板8進(jìn)行Mura檢測(cè)。
[0028]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的真空減壓干燥設(shè)備，將連接Mura檢測(cè)單元的攝像頭設(shè)置于真空減壓干燥設(shè)備的上蓋內(nèi)部上腔室內(nèi)，將V⑶設(shè)備和Mura檢測(cè)設(shè)備結(jié)合在一起，在對(duì)基板進(jìn)行真空減壓干燥處理后攝像頭能夠直接對(duì)基板拍照獲取圖片進(jìn)行Mura檢測(cè)，不再需要機(jī)械手將基板從V⑶設(shè)備取出并放置于傳送帶上，也不再需要傳送帶在Mura檢測(cè)過程中傳送基板，能夠降低成本，節(jié)約時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。且現(xiàn)有技術(shù)中的動(dòng)態(tài)拍攝過程會(huì)因?yàn)榕臄z過程中的不穩(wěn)定造成圖片所示與基板實(shí)際情況不符合，本實(shí)施例中進(jìn)行Mura檢測(cè)時(shí)的拍攝的過程為靜態(tài)拍攝，靜態(tài)拍攝能夠使拍攝過程更加穩(wěn)定，避免拍攝到的圖片與基板實(shí)際情況不符合。另外，現(xiàn)有技術(shù)在新型號(hào)的基板首次跑片時(shí)需要人為操作對(duì)光源或攝像頭進(jìn)行調(diào)整以獲取Mura檢測(cè)中的標(biāo)準(zhǔn)畫面，而本實(shí)施例中進(jìn)行Mura檢測(cè)時(shí)的拍攝的過程為靜態(tài)拍攝，因此即便基板的型號(hào)進(jìn)行了改變，也無(wú)需對(duì)光源或攝像頭進(jìn)行調(diào)整，都能夠得到完整準(zhǔn)確的畫面，從而能夠節(jié)約時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。
[0029]具體地，上述真空減壓干燥設(shè)備還包括:連接于攝像頭5的亮度不均Mura檢測(cè)裝置(圖中未示出)。攝像頭5可以將拍到的圖片傳輸至外部連接的Mura檢測(cè)裝置，Mura檢測(cè)裝置根據(jù)所拍攝的照片對(duì)基板8進(jìn)行Mura檢測(cè)。
[0030]具體地，如圖1所示，抽氣口 7設(shè)置于下腔室42的側(cè)壁上。現(xiàn)有技術(shù)通常將抽氣口設(shè)置于基板上方，抽氣過程中，顆粒容易掉落到基板上。本實(shí)施例將抽氣口 7設(shè)置于下腔室42的側(cè)壁上能夠使掉落到基板8上的顆粒減少。
[0031]具體地，如圖3所示，光源6可以為面光源。攝像頭5作用為對(duì)基板表面進(jìn)行拍照，獲取平面圖像，因而面光源能夠使攝像頭5在拍照時(shí)得到的圖片效果更好。但上述光源不限于面光源，也可以為其它類型的光源，例如點(diǎn)光源。
[0032]具體地，可開合的擋板3包括多個(gè)單元板31，如圖4所示，當(dāng)擋板3閉合時(shí)，多個(gè)單元板31拉伸為板狀結(jié)構(gòu)，如圖5所示，當(dāng)擋板3打開時(shí)，多個(gè)單元板31收縮至相互重疊。當(dāng)擋板3打開時(shí)，相互重疊的結(jié)構(gòu)在一定程度上可以節(jié)省空間。
[0033]具體地，如圖1所示，下腔室42的底部設(shè)置有多個(gè)支撐針9，用于放置基板8。
[0034]具體地，上蓋I和底座2周圍設(shè)置有不透光的圍欄(圖中未示出)。在攝像頭拍照時(shí)，圍欄可以遮擋外部的光線，從而使上蓋I和底座2之間形成暗室環(huán)境，減少外部光線的干擾，提聞攝像頭的拍攝精度。
[0035]優(yōu)選地，如圖2所示，擋板3和抽氣口 7設(shè)置于上蓋I上。如圖6所示，也可以將擋板3和抽氣口 7設(shè)置于底座2上，圖6的真空減壓干燥設(shè)備的工作原理與圖1的真空減壓干燥設(shè)備類似，都是先對(duì)放置于底座中的基板8進(jìn)行真空減壓干燥處理，干燥處理完成之后對(duì)下腔室42破真空，攝像頭5再對(duì)基板8進(jìn)行拍照獲取Mura圖像，不同之處在于，如圖6所示，當(dāng)擋板3和抽氣口 7設(shè)置于底座2上時(shí)，如圖7所示，先將上蓋I上升，再將擋板3打開，從而對(duì)下腔室42進(jìn)行破真空。
[0036]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的真空減壓干燥設(shè)備，將連接Mura檢測(cè)單元的攝像頭設(shè)置于真空減壓干燥設(shè)備的上蓋內(nèi)部上腔室內(nèi)，將V⑶設(shè)備和Mura檢測(cè)設(shè)備結(jié)合在一起，在對(duì)基板進(jìn)行真空減壓干燥處理后攝像頭能夠直接對(duì)基板拍照獲取圖片進(jìn)行Mura檢測(cè)，不再需要機(jī)械手將基板從V⑶設(shè)備取出并放置于傳送帶上，也不再需要傳送帶在Mura檢測(cè)過程中傳送基板，能夠降低成本，節(jié)約時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。且現(xiàn)有技術(shù)中的動(dòng)態(tài)拍攝過程會(huì)因?yàn)榕臄z過程中的不穩(wěn)定造成圖片所示與基板實(shí)際情況不符合，本實(shí)施例中進(jìn)行Mura檢測(cè)時(shí)的拍攝的過程為靜態(tài)拍攝，靜態(tài)拍攝能夠使拍攝過程更加穩(wěn)定，避免拍攝到的圖片與基板實(shí)際情況不符合。另外，現(xiàn)有技術(shù)在新型號(hào)的基板首次跑片時(shí)需要人為操作對(duì)光源或攝像頭進(jìn)行調(diào)整以獲取Mura檢測(cè)中的標(biāo)準(zhǔn)畫面，而本實(shí)施例中進(jìn)行Mura檢測(cè)時(shí)的拍攝的過程為靜態(tài)拍攝，因此即便基板的型號(hào)進(jìn)行了改變，也無(wú)需對(duì)光源或攝像頭進(jìn)行調(diào)整，都能夠得到完整準(zhǔn)確的畫面，從而能夠節(jié)約時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。抽氣口設(shè)置于下腔室側(cè)壁上能夠使抽氣中掉落到基板上的顆粒減少。通過擋板包括多個(gè)單元板的設(shè)置使擋板在打開時(shí)相互重疊的部分可以節(jié)省空間。
[0037]以上所述，僅為本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種真空減壓干燥設(shè)備，其特征在于，包括: 上蓋和底座，所述上蓋與所述底座之間形成腔室； 所述腔室中設(shè)置有可開合的擋板，所述擋板在閉合時(shí)將所述腔室分隔為上腔室和下腔室； 所述上腔室中設(shè)置有朝向所述下腔室的攝像頭和光源； 所述下腔室壁上設(shè)置有抽氣口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空減壓干燥設(shè)備，其特征在于， 所述抽氣口設(shè)置于所述下腔室的側(cè)壁上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空減壓干燥設(shè)備，其特征在于， 所述光源為面光源。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空減壓干燥設(shè)備，其特征在于， 所述可開合的擋板包括多個(gè)單元板，當(dāng)所述擋板閉合時(shí)，所述多個(gè)單元板拉伸為板狀結(jié)構(gòu)，當(dāng)所述擋板打開時(shí)，所述多個(gè)單元板收縮至相互重疊。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空減壓干燥設(shè)備，其特征在于， 所述下腔室的底部設(shè)置有多個(gè)支撐針。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空減壓干燥設(shè)備，其特征在于， 所述上蓋和底座周圍設(shè)置有不透光的圍欄。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空減壓干燥設(shè)備，其特征在于， 所述擋板和所述抽氣口設(shè)置于所述上蓋上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空減壓干燥設(shè)備，其特征在于，還包括: 連接于所述攝像頭的亮度不均檢測(cè)裝置。
【文檔編號(hào)】G02F1/1333GK203811942SQ201420226569
【公開日】2014年9月3日 申請(qǐng)日期:2014年5月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月5日
【發(fā)明者】郭楊辰, 汪棟 申請(qǐng)人:北京京東方顯示技術(shù)有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司