光阻預烤爐加熱器的多區(qū)結構的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種光阻預烤爐加熱器的多區(qū)結構，特別是指一種運用在液晶顯示設備(LCD)制程上的光阻預烤爐加熱裝置，能使加熱區(qū)域的熱板達到均溫，以提升產品質量及生產良率。其主要由腔體、加熱器、熱板及溫度傳感器所組成，該腔體為一容槽狀，位于底部的支撐底板向上依序設置有加熱器及熱板，使加熱器可對熱板進行加熱，而加熱器以復數個相等區(qū)域分布在熱板下方，則該熱板能投影加熱器的數量產生復數個小分區(qū)，且該每一小分區(qū)可獨立控制溫度，以調整熱板的各區(qū)域的溫度，控制熱板中央、環(huán)邊或端邊的溫度一致，使放置于熱板上烘烤的玻璃基板達到均勻受熱。
【專利說明】光阻預烤爐加熱器的多區(qū)結構
【技術領域】
[0001]本實用新型有關于一種光阻預烤爐加熱器的多區(qū)結構，其于熱板下方設置復數個加熱器，使熱板透過加熱器的數量的投影產生復數個相同的小分區(qū)，并憑借每一小分區(qū)的獨立溫度控制，使熱板表面的溫度達到均勻一致。
【背景技術】
[0002]目前，玻璃基板是液晶顯示設備(TFT-LCD)的主要制程原料，就是俗稱的母玻璃或素玻璃，是一種高精密透明的電子零件，玻璃在液晶顯示設備(TFT-LCD)產業(yè)中扮演的角色好比是半導體產業(yè)中的晶圓，因此液晶顯示設備(TFT-LCD)產業(yè)對玻璃基板表面精度的要求近乎完美。
[0003]其次，液晶顯示設備(TFT-LCD)的制程是分別利用兩塊無堿玻璃基板，在無堿玻璃基板表面構裝彩色濾色片與IC電路，并將玻璃基板表面經過干式蝕刻，將紅、藍、綠三原色與黑色以微細的結構建置于玻璃表面，成為彩色濾色片，IC驅動電路則利用半導體制程，再將CMOS電路建置于玻璃表面，玻璃基板的功能做為彩色濾色片與IC驅動電路的承載材料，而液晶顯示設備(TFT-LCD)制程需要真空蒸鍍與蝕刻，所以玻璃基板，必須要能忍受強酸強堿的腐蝕、高溫的制程環(huán)境，并且必須具備非常精密的表面平整度與平面起伏度。
[0004]因此，玻璃基板在制造過程中的每個流程都非常精細，其中，當涂抹光阻液后，需經過烘烤將感光劑及光阻液等化學物質揮發(fā)，此時，請配合參閱第I圖所示，該基板I進行烘烤時，先將基板I放在熱板11上，再憑借熱板11的熱度使基板I表面的化學物質揮發(fā)，在此過程中，其溫度高達約攝氏70-150°C，且熱板11的熱源來自于底部的加熱器12，而該加熱器12則以1-15個區(qū)域設置在熱板11下方，使熱板11中央、環(huán)邊或端邊能盡量保持均衡的溫度，然而，盡管熱板11已經設置1-15個區(qū)域來控制溫度，卻還是無法在烘烤過程中保持均溫，加上每一相鄰區(qū)域的溫度會互相干擾，使得烘烤效果不佳，而影響液晶顯示設備的生產質量。
[0005]有鑒于此，發(fā)明人特別針對加熱裝置進行改良，而研發(fā)一種加熱器的位置設定，其在熱板下方分設有復數個加熱器，并對應加熱器的數量投影在熱板上，使熱板產生有復數個相同面積的小分區(qū)，且該小分區(qū)都為獨立的溫度控制，則加熱器能針對每一小分區(qū)的溫度進行單獨加熱，有效提升加熱區(qū)域內的溫度均勻一致，當加熱區(qū)域在溫度偏離設定值時可以更快速的進行回復至設定范圍內，以增加熱板的均溫性，并提高產品生產良率，顯為一理想的光阻預烤爐熱板的加熱器的改良。
實用新型內容
[0006]為解決上述技術問題，本實用新型的目的在于:提供一種光阻預烤爐加熱器的多區(qū)結構，特別是指一種運用在液晶顯示設備(LCD)制程上的光阻預烤爐加熱裝置，能使加熱區(qū)域的熱板達到均溫，以提升產品質量及生產良率。
[0007]為實現上述目的，本實用新型所采用的技術方案是:一種光阻預烤爐加熱器的多區(qū)結構，其主要由腔體、加熱器、熱板及溫度傳感器所組成，該腔體為一容槽狀，位于腔體底部的支撐底板向上依序設有加熱器及熱板，該加熱器能對該熱板進行加熱，該腔體的頂端面則利用一上蓋板將其封閉成一加熱空間，該加熱空間僅保留側邊的排風口，以便于空氣流通，
[0008]該加熱器以復數個設置在該熱板下方的小分區(qū)組成，該小分區(qū)能夠使該熱板能投影該加熱器，且該小分區(qū)在該熱板上劃分成相等面積，該小分區(qū)的以直軸區(qū)及橫軸區(qū)的隱形線交錯產生，使直軸區(qū)及橫軸區(qū)都能分別劃出復數個加熱小分區(qū)，且在該每一小分區(qū)內或小分區(qū)下方的加熱器內設有溫度傳感器，該溫度傳感器用以偵測每一小分區(qū)的溫度，來調整每一小分區(qū)的加熱與否。
[0009]其中，該腔體的長度介于900-3000mm(公厘)、寬度介于900-3000mm(公厘)。
[0010]其中，該直軸區(qū)能劃出4-10個加熱小分區(qū)，而橫軸區(qū)也能劃出4-10個加熱小分區(qū)。其中，該熱板對應加熱器的數量能夠設置16-100個加熱小分區(qū)。
[0011]與現有技術相比，采用上述技術方案的本實用新型的優(yōu)點在于:當光阻預烤爐腔體內進行烘烤作業(yè)時，因為腔體內為一封閉空間，先將玻璃基板由入口置入腔體內，然后將入口封閉，使腔體形成一封閉空間，僅保留側邊的排風口，以便于空氣進行流通，而位于腔體內的熱板，受加熱器的加溫，使其達到約70-150°C的溫度，從而以將玻璃基板進行加熱并使光阻內的溶劑揮發(fā)，當烘烤一段時間后，該熱板會產生些微的溫度變化，一般來說，位于熱板中央的溫度通常高于端邊，而容易導致玻璃基板的受熱不均，此時維持熱板的均溫相當重要，因此本實用新型刻意設置16至100組加熱器，使熱板具有16至100個小分區(qū)，并利用各自獨立的加熱器，來調整熱板的每一區(qū)域的溫度加熱與否，避免產生加熱不均勻的問題，且能針對每一區(qū)域的溫度進行改善，使加熱器投影至熱板上相對應的小分區(qū)上的溫度達到均溫，有效提升產品生產良率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0012]圖1為現有烘烤玻璃基板的剖面示意圖。
[0013]圖2為本實用新型的立體圖。
[0014]圖3為本實用新型的立體分解圖。
[0015]圖4為本實用新型區(qū)域分布的示意圖。
[0016]圖5為本實用新型的另一實施例圖。
[0017]圖6為本實用新型烘烤時的剖面示意圖。
[0018]圖7為本實用新型烘烤時熱板的示意圖。
[0019]圖8為本實用新型加熱區(qū)域分布的另一實施例圖。
[0020]附圖標記說明:1_基板；11_熱板；12-加熱器；2_腔體；20-上蓋板；201-支撐底板；202-排風P ；203- A P ;21-加熱器;22_熱板；221~小分區(qū)；22a-隱形線；227~直軸區(qū)；228_橫軸區(qū)；23_溫度傳感器；3_玻璃基板。
【具體實施方式】
[0021]下面結合具體實施例來進一步描述本實用新型，本實用新型的優(yōu)點和特點將會隨著描述而更為清楚。但實施例僅是范例性的，并不對本實用新型的范圍構成任何限制。本領域技術人員應該理解的是，在不偏離本實用新型的精神和范圍下可以對本實用新型技術方案的細節(jié)和形式進行修改或替換，但這些修改和替換均落入本實用新型的保護范圍內。
[0022]首先，請參閱圖2并配合圖3所示，其主要由腔體2、加熱器21、熱板22及溫度傳感器23所組成，該腔體2為一容槽狀，其長度約900-3000mm(公厘)、寬度約900-3000mm(公厘)，位于腔體2底部的支撐底板201向上依序設有加熱器21及熱板22，使加熱器21能夠對熱板22進行加熱，頂端面則利用上蓋板20將其封閉而成一加熱空間，位于腔體2 —側設有入口 203，供置入玻璃基板3，而于任一側邊開設有排風口 202，以便于空氣流通。
[0023]其次，請仍然參閱圖3并配合圖4所示，該加熱器21以復數個相等面積的區(qū)域分布在熱板22下方，使熱板22能投影加熱器21的數量形成復數個小分區(qū)221，至于小分區(qū)221的分配則以直軸區(qū)227及橫軸區(qū)228的隱形線22a交錯產生，并可對應下方的加熱器21，且該直軸區(qū)227及橫軸區(qū)228皆能分別劃出4_10個區(qū)域，即該熱板22的小分區(qū)221的區(qū)域數量為16-100區(qū)，本實施例為16區(qū)(直軸區(qū)227劃分4區(qū)、橫軸區(qū)228劃分4區(qū))，且于每一小分區(qū)221內或小分區(qū)221下方的加熱器21內設有溫度傳感器23(如圖5所示)，用以偵測每一小分區(qū)221的溫度，來調整每一小分區(qū)221的加熱與否，并經由不斷的調整控制溫度，使熱板22中央、環(huán)邊或端邊的溫度達到均勻一致。
[0024]當腔體2內進行烘烤作業(yè)時，請仍然參閱圖5并配合圖6所示，先將玻璃基板3由入口 203置入腔體2內，然后將入口 203封閉，使腔體2形成一封閉空間，僅保留側邊的排風口 202，以便于空氣進行流通，而位于腔體2內的熱板22受加熱器21的加溫，使其達到約攝氏70-150°C，借此將玻璃基板3表面的光阻溶劑使其揮發(fā)，當烘烤一段時間后，請配合參閱圖7所示，該熱板22的中央、環(huán)邊及端邊的溫度會產生些微的變化，一般來說，位于熱板22中央的溫度通常高于端邊(因為腔體2為密閉空間)，而容易導致玻璃基板3的受熱不均，此時維持熱板22各區(qū)域的均溫相當重要，因此，憑借劃分復數個獨立的加熱器21，使其向上對應熱板22的小分區(qū)221的溫度具有獨立的溫度控制，能依據該小分區(qū)221的溫度進行微調，確實改善熱板22受熱不均的問題，尤其該劃分的區(qū)域多達有16-100個分區(qū)，因此，利用此精細的溫度控制，能使玻璃基板3均勻受熱，而具極高溫控質量及生產良率。
[0025]有關加熱區(qū)域的規(guī)劃分配，請再參閱圖8所示，本實用新型加熱區(qū)域分布的另一實施例圖，為提高控制加熱區(qū)域的精準度，能設置達100組加熱器21，并對上方的熱板22投影最多可劃分至100區(qū)，其中，該直軸區(qū)227最多可劃分至10區(qū)，而橫軸區(qū)228最多可劃分至10區(qū)，并經由直軸區(qū)227與橫軸區(qū)228交錯形成的100個相等面積的加熱小分區(qū)221，且該每一加熱小分區(qū)221下方皆設有獨立加熱器21 (圖中未顯示)，并利用溫度傳感器23來偵測溫度，以調整加熱器21進行加熱與否，使熱板22的全區(qū)域的溫度都能達到均勻受熱，有效提升玻璃基板3的質量(請回顧圖5所示)，有效提升玻璃基板3的加熱性及生產率，進一步降低不合格率的發(fā)生。
[0026]綜上所述，本實用新型于熱板下方設置復數個獨立的加熱器，使熱板依據加熱器的數量投影產生復數個加熱小分區(qū)，并憑借該每一加熱區(qū)域的獨立溫度控制，進行精準的加熱區(qū)域溫度微調，期能將熱板的各加熱區(qū)域的溫度達到均勻，使位于熱板上的玻璃基板的烘烤溫度相當一致，不會過高或過低，以達到最佳的效能，本實用新型極具進步性及實用性，理已符合新型的專利要件，爰依法提出專利申請。
【權利要求】
1.一種光阻預烤爐加熱器的多區(qū)結構，其主要由腔體、加熱器、熱板及溫度傳感器所組成，該腔體為一容槽狀，位于腔體底部的支撐底板向上依序設有加熱器及熱板，該加熱器能對該熱板進行加熱，該腔體的頂端面則利用一上蓋板將其封閉成一加熱空間，該加熱空間僅保留側邊的排風口，以便于空氣流通，其特征在于:該加熱器以復數個設置在該熱板下方的小分區(qū)組成，該小分區(qū)能夠使該熱板能投影該加熱器，且該小分區(qū)在該熱板上劃分成相等面積，該小分區(qū)的以直軸區(qū)及橫軸區(qū)的隱形線交錯產生，使直軸區(qū)及橫軸區(qū)都能分別劃出復數個加熱小分區(qū)，且在該每一小分區(qū)內或小分區(qū)下方的加熱器內設有溫度傳感器，該溫度傳感器用以偵測每一小分區(qū)的溫度，來調整每一小分區(qū)的加熱與否。
2.如權利要求1所述的光阻預烤爐加熱器的多區(qū)結構，其特征在于，該腔體的長度介于 900-3000mm、寬度介于 900-3000mm。
3.如權利要求1所述的光阻預烤爐加熱器的多區(qū)結構，其特征在于，該直軸區(qū)能劃出4-10個加熱小分區(qū)，而橫軸區(qū)也能劃出4-10個加熱小分區(qū)。
4.如權利要求1所述的光阻預烤爐加熱器的多區(qū)結構，其特征在于，該熱板對應加熱器的數量能夠設置16-100個加熱小分區(qū)。
【文檔編號】G02F1/13GK204256371SQ201420635997
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2014年10月29日 優(yōu)先權日:2014年10月29日
【發(fā)明者】李東明 申請人:李東明