技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種基于相對位置測量的對準(zhǔn)系統(tǒng)、雙工件臺(tái)系統(tǒng)及測量系統(tǒng)，其中，基于相對位置測量的對準(zhǔn)系統(tǒng)包括：主框架、對準(zhǔn)傳感器、光強(qiáng)信號(hào)采集處理模塊、反射鏡、工件臺(tái)、位于工件臺(tái)上的硅片上的對準(zhǔn)標(biāo)記、位置采集模塊、及對準(zhǔn)操作與管理模塊。位置采集模塊同時(shí)采集從工件臺(tái)及反射鏡獲取的位置數(shù)據(jù)，而所述反射鏡位于所述對準(zhǔn)傳感器上，即，同時(shí)采集所述對準(zhǔn)傳感器與所述工件臺(tái)的位置數(shù)據(jù)，通過處理可得到所述工件臺(tái)相對于所述對準(zhǔn)傳感器無振動(dòng)時(shí)的相對位置。即，可得到所述對準(zhǔn)傳感器相對振幅為零時(shí)對準(zhǔn)標(biāo)記的對準(zhǔn)位置，從而避免了所述對準(zhǔn)傳感器的震動(dòng)的影響，提高了對準(zhǔn)重復(fù)精度。

技術(shù)研發(fā)人員：李運(yùn)峰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海微電子裝備有限公司
文檔號(hào)碼：201510551168
技術(shù)研發(fā)日：2015.08.31
技術(shù)公布日：2017.03.08