本發(fā)明實(shí)施例涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種波分復(fù)用器以及檢測裝置。

背景技術(shù)：

1、流式細(xì)胞分析儀作為對不同細(xì)胞進(jìn)行統(tǒng)計和分類的儀器已被廣泛應(yīng)用于醫(yī)療和生物領(lǐng)域，流式細(xì)胞分析儀的光學(xué)系統(tǒng)通常由光束整形模塊、激發(fā)與散射光/熒光收集模塊、波分復(fù)用器模塊等構(gòu)成。

2、其中，光束整形模塊、激發(fā)與散射光/熒光收集模塊用于將光能量作用于待測顆粒物，使待測顆粒物產(chǎn)生散射光和比散射光波長長的多種熒光并將其收集到波分復(fù)用器中。波分復(fù)用器用于將上述散射光和熒光根據(jù)不同波長分離開來，并將各波長光分別送入不同的探測器，從而探測到散射光和熒光的各自光能量大小，最終表征顆粒物的性狀。

3、但是，目前波分復(fù)用器的性能仍有待提高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明實(shí)施例解決的問題是提供一種波分復(fù)用器以及檢測裝置，降低散射光串入熒光通道的概率，并簡化結(jié)構(gòu)、降低了成本且提高可靠性。

2、為解決上述問題，本發(fā)明實(shí)施例提供一種波分復(fù)用器，所述波分復(fù)用器用于分離光信號中的散射光以及多個不同波段的熒光，所述波分復(fù)用器包括：所述波分復(fù)用器包括沿光路上依次設(shè)置的：第一濾光片組，包括第一濾光片，所述第一濾光片用于透射所述光信號中的散射光且反射熒光；中路濾光片，用于反射所述第一濾光片組所反射光線中的散射光且透射熒光；第二濾光片組，包括沿光路上依次設(shè)置的第二濾光片，且沿光線傳輸方向上，前一個第二濾光片透射第一波長的熒光且反射大于等于第二波長的熒光，后一個第二濾光片透射第二波長的熒光且反射大于等于第三波長的熒光，所述第一波長小于第二波長，且所述第二波長小于第三波長。

3、可選的，所述第一濾光片的數(shù)量為一個或多個。

4、可選的，所述第一濾光片以及多個第二濾光片呈兩排且錯位排列。

5、可選的，所述第一濾光片以及所述第二濾光片呈一排排列；所述波分復(fù)用器還包括：反射鏡，與所述第一濾光片以及第二濾光片相對且平行設(shè)置。

6、可選的，所述中路濾光片對散射光的反射率大于90％。

7、可選的，所述中路濾光片對熒光的透射率大于90％。

8、可選的，光線進(jìn)入所述中路濾光片時與所述中路濾光片法線夾角為0°至70°。

9、可選的，所述波分復(fù)用器還包括：聚光透鏡，用于對所述第一濾光片或第二濾光片透射的光線進(jìn)行匯聚；光電探測器，用于對所述聚光透鏡匯聚的光線進(jìn)行探測。

10、可選的，所述波分復(fù)用器還包括：準(zhǔn)直光學(xué)元件，用于對所述光信號進(jìn)行準(zhǔn)直處理，并將光信號入射至所述第一濾光片組和第二濾光片組中。

11、可選的，所述準(zhǔn)直光學(xué)元件為消色差準(zhǔn)直透鏡。

12、相應(yīng)的，本發(fā)明實(shí)施例還提供一種檢測裝置，包括：光源提供模塊，用于提供光信號，所述光信號包括散射光和熒光；本發(fā)明實(shí)施例提供的波分復(fù)用器。

13、可選的，所述光源提供模塊包括：光源，用于發(fā)出入射光；光束整形模塊，用于對所述入射光線進(jìn)行整形處理，以在待測物流經(jīng)位置上形成光斑，所述光斑用于照射待測物以產(chǎn)生所述光信號；光能量收集模塊，用于收集所述光信號。

14、可選的，所述檢測裝置為流式細(xì)胞儀。

15、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)：

16、本發(fā)明實(shí)施例提供的波分復(fù)用器，通過在第一濾光片組和第二濾光片組之間的光路上還設(shè)置有所述中路濾光片，所述中路濾光片用于反射所述第一濾光片組所反射光線中的散射光且透射熒光，以對第一濾光片組反射的散射光進(jìn)一步反射，從而降低散射光進(jìn)入后續(xù)熒光通道(即在第二濾光片組中形成的熒光通道)而造成串?dāng)_的概率，并且無需在每一個熒光通道均額外設(shè)置濾光片，減少了濾光片的使用，進(jìn)而有利于在提高波分復(fù)用器的性能的同時，還簡化結(jié)構(gòu)、降低了設(shè)備成本且增加了波分復(fù)用器的可靠性。

17、本發(fā)明實(shí)施例提供的檢測裝置中，包括本發(fā)明實(shí)施例提供的波分復(fù)用器，通過波分復(fù)用器對光信號中的散射光和熒光依據(jù)不同波長進(jìn)行分離，本發(fā)明實(shí)施例的波分復(fù)用器對不同波長的光信號的分離效果好、效率高，且結(jié)構(gòu)簡單、成本低、可靠性高，相應(yīng)提高了檢測裝置的檢測準(zhǔn)確度和可靠性，同時簡化檢測裝置的結(jié)構(gòu)、降低成本。

技術(shù)特征：

1.一種波分復(fù)用器，其特征在于，所述波分復(fù)用器用于分離光信號中的散射光以及多個不同波段的熒光，所述波分復(fù)用器包括沿光路上依次設(shè)置的：

2.如權(quán)利要求1所述的波分復(fù)用器，其特征在于，所述第一濾光片的數(shù)量為一個或多個。

3.如權(quán)利要求1或2所述的波分復(fù)用器，其特征在于，所述第一濾光片以及多個第二濾光片呈兩排且錯位排列。

4.如權(quán)利要求1或2所述的波分復(fù)用器，其特征在于，所述第一濾光片以及所述第二濾光片呈一排排列；

5.如權(quán)利要求1所述的波分復(fù)用器，其特征在于，所述中路濾光片對散射光的反射率大于90％。

6.如權(quán)利要求5所述的波分復(fù)用器，其特征在于，所述中路濾光片對熒光的透射率大于90％。

7.如權(quán)利要求1所述的波分復(fù)用器，其特征在于，光線進(jìn)入所述中路濾光片時與所述中路濾光片法線之間的夾角為0°至70°。

8.如權(quán)利要求1所述的波分復(fù)用器，其特征在于，所述波分復(fù)用器還包括：聚光透鏡，用于對所述第一濾光片或第二濾光片透射的光線進(jìn)行匯聚；vdo-pa230001-cn

9.如權(quán)利要求1所述的波分復(fù)用器，其特征在于，所述波分復(fù)用器還包括：準(zhǔn)直光學(xué)元件，用于對所述光信號進(jìn)行準(zhǔn)直處理，并將光信號入射至所述第一濾光片組和第二濾光片組中。

10.如權(quán)利要求9所述的波分復(fù)用器，其特征在于，所述準(zhǔn)直光學(xué)元件為消色差準(zhǔn)直透鏡。

11.一種檢測裝置，其特征在于，包括：

12.如權(quán)利要求11所述的檢測裝置，其特征在于，所述光源提供模塊包括：光源，用于發(fā)出入射光；光束整形模塊，用于對所述入射光線進(jìn)行整形處理，以在待測物流經(jīng)位置上形成光斑，所述光斑用于照射待測物以產(chǎn)生所述光信號；光能量收集模塊，用于收集所述光信號。

13.如權(quán)利要求11所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置為流式細(xì)胞儀。

技術(shù)總結(jié)
一種波分復(fù)用器以及檢測裝置，波分復(fù)用器，所述波分復(fù)用器包括沿光路上依次設(shè)置的：第一濾光片組，包括第一濾光片，所述第一濾光片用于透射所述光信號中的散射光且反射熒光；中路濾光片，用于反射所述第一濾光片組所反射光線中的散射光且透射熒光；第二濾光片組，包括沿光路上依次設(shè)置的第二濾光片，且沿光線傳輸方向上，前一個第二濾光片透射第一波長的熒光且反射大于等于第二波長的熒光，后一個第二濾光片透射第二波長的熒光且反射大于等于第三波長的熒光，所述第一波長小于第二波長，且所述第二波長小于第三波長。本發(fā)明實(shí)施例有利于降低散射光串入熒光通道的概率，并簡化結(jié)構(gòu)、降低了成本且提高可靠性。

技術(shù)研發(fā)人員：陸國華,文雯
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州為度生物技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/17