本技術(shù)涉及納米壓印，尤其涉及一種壓印裝置。

背景技術(shù)：

1、近幾年，“元宇宙”概念經(jīng)歷了從概念到真正實現(xiàn)了各類相關(guān)實體產(chǎn)品的落地過程，讓用戶真實感受到“元宇宙”的存在。其中，ar眼鏡和mr頭顯是兩款最具代表性的產(chǎn)品。實際上，實現(xiàn)這兩種產(chǎn)品的制造可以采用不同的光學(xué)顯示方案。

2、在波導(dǎo)光學(xué)中，與陣列光波導(dǎo)和全息光波導(dǎo)相比，表面浮雕衍射光波導(dǎo)具有可完全復(fù)用現(xiàn)有半導(dǎo)體的制造加工技術(shù)和設(shè)備，可以滿足消費級成像需求，并且具備大規(guī)模生產(chǎn)制造的能力而被給予厚望。

3、目前表面浮雕衍射光波導(dǎo)的批量化生產(chǎn)，主要依賴于納米壓印技術(shù)，由于壓印技術(shù)工藝的限制，難易實現(xiàn)大批量的量產(chǎn)，致使目前ar眼鏡無法普及，這其中的難點在于如何實現(xiàn)波導(dǎo)的大批量壓印以實現(xiàn)量產(chǎn)。經(jīng)檢索，如現(xiàn)有技術(shù)cn111679554b公開了一種雙腔式納米壓印機構(gòu)，通過氣壓控制壓印木板緊緊壓在襯底上，其中壓印模板未完全張緊地夾于壓印夾具，預(yù)留一定的余量，通過提高壓強將壓印模板緊緊壓在襯底表面，但本領(lǐng)域技術(shù)人員知悉，壓印都是微納結(jié)構(gòu)，尺寸在幾十至幾百納米，通過未張緊的壓印模板在受力作用下壓印時，難以對準(zhǔn)襯底，且如何控制張緊的尺度，是難以實現(xiàn)的，當(dāng)張緊尺度不同時，所帶來壓印結(jié)構(gòu)和尺寸的變化是巨大的，是難以被接受的；如現(xiàn)有技術(shù)cn218866308u公開了一種納米壓印裝置，通過壓力組件5與升降機構(gòu)2對模片4與基片5之間進行壓印，可通過壓力組件5對模片4施壓，具有一定彎曲形變的模片4與基片3相切接觸慢慢擴展，避免貼合過程中產(chǎn)生氣泡；完成光固成型后，壓印組件5通過通氣口52排出高壓氣體，使壓力腔收縮，同時升降機構(gòu)2向上升起，將模片4與基片3分離。但本領(lǐng)域技術(shù)人員知悉，基于前述相同的理由，彎曲形變的模片在壓印時將導(dǎo)致壓印結(jié)構(gòu)的變化，影響是巨大的，且在脫模時，通過升降機構(gòu)上升，這種直上直下的脫模方式將影響壓印的微結(jié)構(gòu)，甚至是巨大的；更進一步，如cn111929985a公開了一種壓印的脫模方式，通過控制整個運動過程復(fù)制硬模具基板112和玻璃基板211的角度一直與斜齒光柵角度為50度的目的，呈左底角為50度的平行四邊形移動，以這種的方式完成脫模，避免了脫模時原始模具的斜齒損傷固化的聚合物膠體斜齒光柵結(jié)構(gòu)的問題，在一定程度上緩解了脫模時對壓印結(jié)構(gòu)的損傷，但可知曉，往往壓印的結(jié)構(gòu)并不單一，不僅僅只有斜齒，在一個晶圓上壓印時，壓印的結(jié)構(gòu)包括直齒、斜齒、閃耀，或多個不同的組合，但僅僅靠脫斜齒的方式難以實現(xiàn)整個晶圓的脫模，尤其是針對多種壓印結(jié)構(gòu)，難以保證各個光柵結(jié)構(gòu)齒的完整形貌，因此，現(xiàn)有技術(shù)采用的未張緊的壓印方式或斜齒的脫模方式對壓印質(zhì)量的改善是有限的，甚至未張緊的壓印將難以實現(xiàn)模板與襯底的對準(zhǔn)，且壓印的結(jié)構(gòu)是難以控制的。因此，對本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，亟需改善壓印工藝，提高壓印和脫模時的質(zhì)量。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型提供了一種壓印裝置，解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，使得在壓印時壓印模板能夠準(zhǔn)確對準(zhǔn)晶圓，且壓印模板處于張緊狀態(tài)，以減少對壓印結(jié)構(gòu)的影響；同時通過獨立設(shè)計的脫模方式，適用于目前多種光柵結(jié)構(gòu)的脫模，尤其是在同一晶圓上存在閃耀、斜齒、直齒等多種齒形混合的情況下，本實用新型能盡可能減少脫模對各個齒形結(jié)構(gòu)帶來的損傷問題，保證結(jié)構(gòu)的完整性。

2、本實用新型提供了一種壓印裝置，包括基板、上殼體、密封件、連接件和載臺；所述上殼體通過所述連接件與所述載臺連接，以在所述上殼體與所述載臺之間形成密封腔室一；所述密封件設(shè)置于所述載臺和所述基板之間，以在所述載臺與所述基板之間形成密封腔室二；在所述載臺上形成壓印模板；在所述載臺遠(yuǎn)離所述壓印模板的一側(cè)設(shè)置至少兩個伸縮件，至少兩個所述伸縮件位于所述載臺與所述基板之間，通過所述伸縮件的伸縮作用使得所述載臺在不同的壓印區(qū)域被提升不同的高度。

3、在一些實施例中，在所述上殼體和所述基板上均獨立設(shè)置至少一個通氣孔，在所述上殼體的中部設(shè)置至少一透明區(qū)域。

4、在一些實施例中，所述密封件適應(yīng)于所述載臺的不同高度變化。

5、在一些實施例中，不同的所述伸縮件伸縮不同的高度，控制不同壓印區(qū)域的所述載臺被提升不同的高度，使得所對應(yīng)連接區(qū)域的所述壓印模板也被適應(yīng)于所述伸縮件的高度變化。

6、在一些實施例中，所述連接件和所述密封件可一體化設(shè)置。

7、在一些實施例中，其特征在于，所述壓印模板貼合于所述載臺且遠(yuǎn)離所述基板的一側(cè)。

8、在一些實施例中，所述載臺在不同區(qū)域的提升高度不同，以適應(yīng)于不同光柵結(jié)構(gòu)齒方向的變化，所述不同區(qū)域被限定為不同所述伸縮件所在的位置。

9、進一步，所述載臺呈環(huán)形結(jié)構(gòu)，至少兩個所述伸縮件均勻布置于所述載臺的一側(cè)，所述伸縮件的位置適配于不同壓印光柵結(jié)構(gòu)的朝向。

10、在一些實施例中，所述上殼體通過所述連接件與所述載臺間接連接，以在所述上殼體與所述載臺之間形成密封腔室一。

11、進一步，在一些實施例中，所述載臺與所述基板通過所述密封件間接連接，以在所述載臺與所述基板之間形成密封腔室二。

12、本實用新型提供了一種壓印裝置，在裝置中設(shè)置了多個伸縮件，不同的伸縮件伸縮不同的高度，控制不同壓印區(qū)域的載臺被提升不同的高度，使得所對應(yīng)連接區(qū)域的壓印模板也被適應(yīng)于伸縮件的高度變化，壓印模板被提升不同的高度，進而控制脫模時不同區(qū)域的脫模情況，避免了現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷。

技術(shù)特征：

1.一種壓印裝置，包括基板、上殼體、密封件、連接件和載臺；其特征在于，所述上殼體通過所述連接件與所述載臺連接，以在所述上殼體與所述載臺之間形成密封腔室一；所述密封件設(shè)置于所述載臺和所述基板之間，以在所述載臺與所述基板之間形成密封腔室二；在所述載臺上形成壓印模板；在所述載臺遠(yuǎn)離所述壓印模板的一側(cè)設(shè)置至少兩個伸縮件，至少兩個所述伸縮件位于所述載臺與所述基板之間，通過所述伸縮件的伸縮作用使得所述載臺在不同的壓印區(qū)域被提升不同的高度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印裝置，其特征在于，在所述上殼體和所述基板上均獨立設(shè)置至少一個通氣孔，在所述上殼體的中部設(shè)置至少一透明區(qū)域。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓印裝置，其特征在于，不同的所述伸縮件伸縮不同的高度，控制不同壓印區(qū)域的所述載臺被提升不同的高度，使得所對應(yīng)連接區(qū)域的所述壓印模板也被適應(yīng)于所述伸縮件的高度變化。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓印裝置，其特征在于，所述連接件和所述密封件可一體化設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓印裝置，其特征在于，所述壓印模板貼合于所述載臺且遠(yuǎn)離所述基板的一側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的壓印裝置，其特征在于，所述載臺在不同區(qū)域的提升高度不同，以適應(yīng)于不同光柵結(jié)構(gòu)齒方向的變化，所述不同區(qū)域被限定為不同所述伸縮件所在的位置。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓印裝置，其特征在于，所述密封件適應(yīng)于所述載臺的不同高度變化。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的壓印裝置，其特征在于，所述載臺呈環(huán)形結(jié)構(gòu)，至少兩個所述伸縮件均勻布置于所述載臺的一側(cè)，所述伸縮件的位置適配于不同壓印光柵結(jié)構(gòu)的朝向。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓印裝置，其特征在于，所述上殼體通過所述連接件與所述載臺間接連接，以在所述上殼體與所述載臺之間形成密封腔室一。

10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓印裝置，其特征在于，所述載臺與所述基板通過所述密封件間接連接，以在所述載臺與所述基板之間形成密封腔室二。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供了一種壓印裝置，壓印裝置包括基板、上殼體、密封件、連接件和載臺；上殼體通過連接件與載臺連接，以在上殼體與載臺之間形成密封腔室一；密封件設(shè)置于載臺和基板之間，以在載臺與基板之間形成密封腔室二；在載臺上形成壓印模板；在載臺遠(yuǎn)離壓印模板的一側(cè)設(shè)置至少兩個伸縮件，至少兩個伸縮件位于載臺與基板之間，通過伸縮件的伸縮作用使得載臺在不同的壓印區(qū)域被提升不同的高度；根據(jù)預(yù)設(shè)的脫模方向，分別控制不同的伸縮件在豎直方向伸縮不同的高度，并優(yōu)先脫去耦出區(qū)域和/或轉(zhuǎn)折區(qū)域，最后再脫去耦入?yún)^(qū)域；本技術(shù)提供的裝置，能夠減少壓印模板對不同齒形結(jié)構(gòu)的損傷，盡可能保持脫模后光柵結(jié)構(gòu)的完整性。

技術(shù)研發(fā)人員：郝芳,沈洪磊,周仁
受保護的技術(shù)使用者：上海鯤游科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231214
技術(shù)公布日：2024/12/23