本公開涉及光調(diào)制器以及光調(diào)制器的制造方法。

背景技術(shù)：

1、專利文獻(xiàn)1公開光調(diào)制器。該光調(diào)制器具備第一馬赫-曾德爾調(diào)制部以及第二馬赫-曾德爾調(diào)制部。第一馬赫-曾德爾調(diào)制部具備第一波導(dǎo)以及第二波導(dǎo)。第二馬赫-曾德爾調(diào)制部具備第三波導(dǎo)以及第四波導(dǎo)。第一波導(dǎo)以及第二波導(dǎo)的輸出端經(jīng)由光耦合器與第五波導(dǎo)光學(xué)耦合。第三波導(dǎo)以及第四波導(dǎo)的輸出端經(jīng)由光耦合器與第六波導(dǎo)光學(xué)耦合。

2、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

3、專利文獻(xiàn)

4、專利文獻(xiàn)1：日本特開2021-33042號(hào)公報(bào)

5、專利文獻(xiàn)2：美國專利第9069223號(hào)說明書

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、發(fā)明所要解決的問題

2、在專利文獻(xiàn)1的光調(diào)制器中，來自輸入波導(dǎo)的光在第一波導(dǎo)以及第二波導(dǎo)中傳播，在各波導(dǎo)中傳播的光通過光耦合器而被合成。同樣地，來自輸入波導(dǎo)的光在第三波導(dǎo)以及第四波導(dǎo)中傳播，在各波導(dǎo)中傳播的光通過光耦合器而被合成。然后，通過光耦合器合成的光被引導(dǎo)至第五波導(dǎo)以及第六波導(dǎo)。在該情況下，在第五波導(dǎo)中傳播的光的強(qiáng)度為，在第一波導(dǎo)中傳播的光的強(qiáng)度與在第二波導(dǎo)中傳播的光的強(qiáng)度的合計(jì)值。在第六波導(dǎo)中傳播的光的強(qiáng)度為，在第三波導(dǎo)中傳播的光的強(qiáng)度與在第四波導(dǎo)中傳播的光的強(qiáng)度的合計(jì)值。因此，在使用具有第五波導(dǎo)以及第六波導(dǎo)的馬赫-曾德爾調(diào)制部的情況下，輸入至馬赫-曾德爾調(diào)制部的各波導(dǎo)的光的強(qiáng)度高于在從第一波導(dǎo)至第四波導(dǎo)的各波導(dǎo)中傳播的光的強(qiáng)度。

3、本公開提供一種能夠降低輸入至馬赫-曾德爾調(diào)制部的各波導(dǎo)的光的強(qiáng)度的光調(diào)制器以及光調(diào)制器的制造方法。

4、用于解決問題的方法

5、本公開的一側(cè)面所涉及的光調(diào)制器具備：第一馬赫-曾德爾調(diào)制部，其具有第一波導(dǎo)以及第二波導(dǎo)；第二馬赫-曾德爾調(diào)制部，其具有第三波導(dǎo)以及第四波導(dǎo)；第三馬赫-曾德爾調(diào)制部，其與所述第一馬赫-曾德爾調(diào)制部以及所述第二馬赫-曾德爾調(diào)制部光學(xué)耦合；以及光耦合器，其與所述第三馬赫-曾德爾調(diào)制部光學(xué)耦合，所述第三馬赫-曾德爾調(diào)制部具備：第五波導(dǎo)，其具有與所述第一波導(dǎo)的輸出端光學(xué)耦合的輸入端；第六波導(dǎo)，其具有與所述第二波導(dǎo)的輸出端光學(xué)耦合的輸入端；第七波導(dǎo)，其具有與所述第三波導(dǎo)的輸出端光學(xué)耦合的輸入端；第八波導(dǎo)，其具有與所述第四波導(dǎo)的輸出端光學(xué)耦合的輸入端；第一電極，其與所述第五波導(dǎo)以及所述第六波導(dǎo)連接；以及第二電極，其與所述第七波導(dǎo)以及所述第八波導(dǎo)連接，所述光耦合器與所述第五波導(dǎo)的輸出端、所述第六波導(dǎo)的輸出端、所述第七波導(dǎo)的輸出端以及所述第八波導(dǎo)的輸出端光學(xué)耦合。

6、發(fā)明效果

7、根據(jù)本公開，提供一種能夠降低輸入至馬赫-曾德爾調(diào)制部的各波導(dǎo)的光的強(qiáng)度的光調(diào)制器以及光調(diào)制器的制造方法。

8、附圖標(biāo)記說明

9、圖1是示意性地表示一實(shí)施方式所涉及的光調(diào)制器的俯視圖。

10、圖2是沿圖1的ii-ii線的剖視圖。

11、圖3是沿圖1的iii-iii線的剖視圖。

12、圖4是表示在波導(dǎo)中傳播的光的強(qiáng)度、和能夠施加在與該波導(dǎo)連接的電極的電壓的關(guān)系的圖。

13、圖5是表示本實(shí)施方式所涉及的光調(diào)制器的制造方法的流程圖。

14、附圖標(biāo)記說明

15、1：光調(diào)制器；

16、11：襯底；

17、11a：第一端；

18、11c：主面；

19、12：第一半導(dǎo)體層；

20、13：芯層；

21、14：第二半導(dǎo)體層；

22、15：第三半導(dǎo)體層；

23、16：第四半導(dǎo)體層；

24、17：第四半導(dǎo)體層；

25、18：樹脂層；

26、19：樹脂層；

27、20：絕緣膜；

28、21：絕緣膜；

29、22：第六半導(dǎo)體層；

30、23：芯層；

31、24：第七半導(dǎo)體層；

32、c1：光濾波器；

33、c2：光耦合器；

34、c3：光耦合器；

35、c4：光耦合器；

36、c5：光耦合器；

37、c6：光耦合器；

38、c7：光耦合器；

39、c8：光耦合器；

40、c9：光耦合器；

41、c9a：光耦合器(第一光耦合器)；

42、c9b：光耦合器(第二光耦合器)；

43、c9c：光耦合器(第三光耦合器)；

44、e1a：電極(第三電極)；

45、e1b：布線；

46、e1c：電極焊盤；

47、e2a：電極(第四電極)；

48、e2b：布線；

49、e2c：電極焊盤；

50、e3a：電極(第五電極)；

51、e3b：布線；

52、e3c：電極焊盤；

53、e4a：電極(第六電極)；

54、e4b：布線；

55、e4c：電極焊盤；

56、e5a：電極(第一電極)；

57、e5b：布線；

58、e5c：電極焊盤；

59、e6a：電極(第二電極)；

60、e6b：布線；

61、e6c：電極焊盤；

62、e7：接地電極；

63、g1：曲線圖；

64、m1：第一光調(diào)制部；

65、m2：第二光調(diào)制部；

66、mz1：第一馬赫-曾德爾調(diào)制部；

67、mz2：第二馬赫-曾德爾調(diào)制部；

68、mz3：第三馬赫-曾德爾調(diào)制部；

69、p1：輸入端口；

70、p2：第一輸出端口；

71、p3：第二輸出端口；

72、w1：輸入波導(dǎo)；

73、w2：波導(dǎo)；

74、w3：波導(dǎo)；

75、w4：波導(dǎo)；

76、w5：波導(dǎo)；

77、w6：波導(dǎo)；

78、w7：波導(dǎo)；

79、w8：波導(dǎo)；

80、w9a：第一輸出波導(dǎo)；

81、w9b：第二輸出波導(dǎo)；

82、w10：波導(dǎo)(第一波導(dǎo))；

83、w11：波導(dǎo)(第二波導(dǎo))；

84、w12：波導(dǎo)(第三波導(dǎo))；

85、w13：波導(dǎo)(第四波導(dǎo))；

86、w14：波導(dǎo)(第五波導(dǎo))；

87、w15：波導(dǎo)(第六波導(dǎo))；

88、w16：波導(dǎo)(第七波導(dǎo))；

89、w17：波導(dǎo)(第八波導(dǎo))；

90、w18：波導(dǎo)(第九波導(dǎo))；

91、w19：波導(dǎo)；

92、w20：波導(dǎo)；

93、w21：波導(dǎo)。

技術(shù)特征：

1.一種光調(diào)制器，其中，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光調(diào)制器，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光調(diào)制器，其中，

4.一種光調(diào)制器的制造方法，其中，

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種光調(diào)制器以及光調(diào)制器的制造方法，能夠減少輸入至馬赫?曾德爾調(diào)制部的各波導(dǎo)的光的強(qiáng)度。所述光調(diào)制器具備：第一馬赫?曾德爾調(diào)制部，具有第一波導(dǎo)以及第二波導(dǎo)；第二馬赫?曾德爾調(diào)制部，具有第三波導(dǎo)以及第四波導(dǎo)；以及第三馬赫?曾德爾調(diào)制部，與第一馬赫?曾德爾調(diào)制部以及第二馬赫?曾德爾調(diào)制部光學(xué)耦合。第三馬赫?曾德爾調(diào)制部具備：第五波導(dǎo)，具有與第一波導(dǎo)的輸出端光學(xué)耦合的輸入端；第六波導(dǎo)，具有與第二波導(dǎo)的輸出端光學(xué)耦合的輸入端；第七波導(dǎo)，具有與第三波導(dǎo)的輸出端光學(xué)耦合的輸入端；以及第八波導(dǎo)，具有與第四波導(dǎo)的輸出端光學(xué)耦合的輸入端。

技術(shù)研發(fā)人員：田中肇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：住友電氣工業(yè)株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19