本申請涉及微光機電，尤其是涉及一種振鏡裝置及mems振鏡集成產(chǎn)品。

背景技術(shù)：

1、微機電系統(tǒng)(micro?electro?mechanical?system，mems)振鏡是一種采用mems技術(shù)制造的，在驅(qū)動器作用下反射鏡按照一定規(guī)律偏轉(zhuǎn)的器件。目前，mems振鏡在許多領(lǐng)域中均得到廣泛應(yīng)用，如光通信、激光投影、三維成像、激光雷達等。

2、現(xiàn)有的振鏡裝置，反射鏡的偏轉(zhuǎn)角度檢測通常采用壓阻傳感器進行測試，壓阻傳感器是通過mems工藝集成在扭轉(zhuǎn)軸附近，振鏡工作時，扭轉(zhuǎn)軸上應(yīng)力發(fā)生相應(yīng)變化，壓阻傳感器檢測到應(yīng)力變化，獲得振鏡工作角度。但是，由于在振鏡封裝時，封裝材料通常與芯片材料不同，其熱膨脹系數(shù)存在差異，會導(dǎo)致熱膨脹系數(shù)不匹配引起熱應(yīng)力，會影響壓阻傳感器性能，導(dǎo)致反射鏡的偏轉(zhuǎn)角度檢測不準確，進而會影響到振鏡裝置的整體工作性能。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為解決現(xiàn)有存在的技術(shù)問題，本申請?zhí)峁┮环N反射鏡偏轉(zhuǎn)的檢測和控制更加精準、工作性能提升的振鏡裝置及mems振鏡集成產(chǎn)品。

2、第一方面，本申請?zhí)峁┮环N振鏡裝置，包括：

3、框架，包括固定結(jié)構(gòu)及通過慢轉(zhuǎn)軸梁與所述固定結(jié)構(gòu)連接的可動框架；

4、反射鏡，通過快轉(zhuǎn)軸梁與所述可動框架連接；

5、傳感組件，包括對應(yīng)所述慢轉(zhuǎn)軸梁設(shè)置的第一傳感元件、和/或?qū)?yīng)所述快轉(zhuǎn)軸梁設(shè)置的第二傳感元件；

6、應(yīng)力隔離結(jié)構(gòu)，包括設(shè)于所述慢轉(zhuǎn)軸梁外側(cè)的應(yīng)力隔離槽，用于隔離垂直于所述應(yīng)力隔離槽延伸方向上的應(yīng)力傳遞。

7、第二方面，本申請?zhí)峁┮环Nmems振鏡集成產(chǎn)品，包括本申請任一實施例所述的振鏡裝置；

8、所述mems振鏡集成產(chǎn)品為如下之一：光通信系統(tǒng)、激光雷達系統(tǒng)、激光投影系統(tǒng)、三維成像系統(tǒng)。

9、上述實施例所提供的振鏡裝置，通過于慢轉(zhuǎn)軸梁外側(cè)設(shè)置應(yīng)力隔離槽，用于隔離垂直于應(yīng)力隔離槽延伸方向上的應(yīng)力傳遞，從而減小或消除由于振鏡裝置封裝材料與芯片材料不同導(dǎo)致熱膨脹系數(shù)不匹配而引起的熱應(yīng)力對于傳感組件檢測反射鏡偏轉(zhuǎn)角度的精度影響，獲得高精度的反射鏡偏轉(zhuǎn)角度的檢測信號，反射鏡偏轉(zhuǎn)角度的檢測更加精準，進而對反射鏡偏轉(zhuǎn)角度的控制也可以更加精準，由此可以提升振鏡裝置的整體工作性能。

10、上述實施例中，mems振鏡集成產(chǎn)品與對應(yīng)的振鏡裝置實施例屬于同一構(gòu)思，從而與各個振鏡裝置實施例具有相同的技術(shù)效果，在此不再贅述。

技術(shù)特征：

1.一種振鏡裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振鏡裝置，其特征在于，所述慢轉(zhuǎn)軸梁包括與可動框架連接的第一連接端、從所述第一連接端向內(nèi)彎折延伸形成包含多個平行的直線段的主梁部及將所述主梁部與固定結(jié)構(gòu)連接的第二連接端。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的振鏡裝置，其特征在于，所述慢轉(zhuǎn)軸梁中，與固定結(jié)構(gòu)連接處對齊的直線段位于所述慢轉(zhuǎn)軸梁的軸線上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的振鏡裝置，其特征在于，所述第一連接端和所述第二連接端分別位于所述慢轉(zhuǎn)軸梁的軸線的相對兩側(cè)，所述第一傳感元件設(shè)于所述第二連接端的端部，且位于所述慢轉(zhuǎn)軸梁的軸線上。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的振鏡裝置，其特征在于，所述應(yīng)力隔離槽包括第一方向隔離槽，用于減小垂直于所述第一方向的第二方向上的軸應(yīng)力；

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的振鏡裝置，其特征在于，所述應(yīng)力隔離槽還包括第二方向隔離槽，用于減小垂直于所述第二方向的第一方向上的軸應(yīng)力；

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振鏡裝置，其特征在于，所述應(yīng)力隔離槽包括設(shè)于所述慢轉(zhuǎn)軸梁遠離與可動框架連接的一端外側(cè)的橫向整體槽，所述橫向整體槽的延伸方向與所述慢轉(zhuǎn)軸梁的寬度方向相同，且所述橫向整體槽的長度大于或等于所述慢轉(zhuǎn)軸梁的寬度。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振鏡裝置，其特征在于，所述快轉(zhuǎn)軸梁包括梁部主體及與反射鏡連接的過渡連接端；

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的振鏡裝置，其特征在于，所述中心梁的寬度大于所述擴展梁的寬度；和/或，

10.一種mems振鏡集成產(chǎn)品，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至9中任一項所述的振鏡裝置；

技術(shù)總結(jié)
本申請?zhí)峁┮环N振鏡裝置及MEMS振鏡集成產(chǎn)品，所述振鏡裝置包括：框架，包括固定結(jié)構(gòu)及通過慢轉(zhuǎn)軸梁與所述固定結(jié)構(gòu)連接的可動框架；反射鏡，通過快轉(zhuǎn)軸梁與所述可動框架連接；傳感組件，包括對應(yīng)所述慢轉(zhuǎn)軸梁設(shè)置的第一傳感元件、和/或?qū)?yīng)所述快轉(zhuǎn)軸梁設(shè)置的第二傳感元件；應(yīng)力隔離結(jié)構(gòu)，包括設(shè)于所述慢轉(zhuǎn)軸梁外側(cè)的應(yīng)力隔離槽，用于隔離垂直于所述應(yīng)力隔離槽延伸方向上的應(yīng)力傳遞。

技術(shù)研發(fā)人員：熊筆鋒,倪偉鑒
受保護的技術(shù)使用者：覺芯電子（無錫）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/9/9