本發(fā)明涉及剝離劑，特別涉及一種可再生光刻膠剝離液及其制備方法。

背景技術(shù)：

1、光刻膠剝離液廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、集成電路制造等領(lǐng)域，能夠有效去除光刻膠層，以便進(jìn)行后續(xù)的蝕刻、摻雜等工藝。隨著電子行業(yè)的不斷發(fā)展，對光刻膠剝離液的性能和需求也在不斷提高，以滿足更高集成度和更精細(xì)制造工藝的要求。

2、對光刻膠剝離液的需求量日益增大的同時，光刻膠剝離液廢液的產(chǎn)生量也不斷增加。光刻膠剝離液廢液中含有有害化學(xué)物質(zhì)，如有機(jī)溶劑、酸、堿等，如果不正確處理，會對環(huán)境造成嚴(yán)重污染，與此同時，光刻膠剝離液廢液中仍然含有一些有價值的成分，如光刻膠、溶劑等，現(xiàn)有技術(shù)已能通過蒸餾等手段回收光刻膠剝離液廢液中的有效成分，如果能對回收的有效成分進(jìn)行再利用，則可以減少原材料的消耗、降低生產(chǎn)成本、減少環(huán)境的影響。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述技術(shù)問題之一。為此，本發(fā)明的目的之一在于提供一種光刻膠剝離液添加劑；本發(fā)明的目的之二在于提供一種可再生光刻膠剝離液；本發(fā)明的目的之三在于提供這種可再生光刻膠剝離液的制備方法。

2、本為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明所采取的技術(shù)方案是：

3、本發(fā)明的第一方面提供了一種光刻膠剝離液添加劑，包括以下質(zhì)量份的制備原料：

4、醇醚類化合物35～45份；

5、有機(jī)胺類化合物35～45份；

6、外加劑10～15份；

7、所述外加劑包括緩蝕劑、表面活性劑和剝離率促進(jìn)劑。

8、優(yōu)選地，所述緩蝕劑、表面活性劑和剝離率促進(jìn)劑的質(zhì)量比為(1.5～2.5):(1.5～2.5):1；進(jìn)一步優(yōu)選地，所述緩蝕劑、表面活性劑和剝離率促進(jìn)劑的質(zhì)量比為(1.8～2.2):(1.8～2.2):1。

9、優(yōu)選地，所述光刻膠剝離液添加劑，由以下質(zhì)量份的制備原料制成：

10、

11、優(yōu)選地，所述緩蝕劑包括甲基苯并三氮唑、苯并三氮唑、5-氨基四氮唑、巰基苯并三氮唑中的至少一種。

12、優(yōu)選地，所述表面活性劑包括2,4-二羥基嘧啶、4-羥基丁酸內(nèi)酯中的至少一種。

13、優(yōu)選地，所述剝離率促進(jìn)劑包括乙基硫脲、正丁基硫脲、氨基硫脲、乙胺硫脲、二甲基亞砜、二甲基砜、二乙基砜、環(huán)丁砜中的至少一種。

14、優(yōu)選地，所述醇醚類化合物包括二乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚中的至少一種。

15、優(yōu)選地，所述有機(jī)胺類化合物包括n-羥乙基哌嗪，或者是n-羥乙基哌嗪以及二甘醇胺、羥乙基乙二胺中的至少一種。

16、優(yōu)選地，所述光刻膠剝離液添加劑，由包括以下步驟的方法制得：

17、將各制備原料混合，得到所述的光刻膠剝離液添加劑。

18、本法發(fā)明的第二方面提供了一種可再生光刻膠剝離液，包括本發(fā)明第一方面所述的光刻膠剝離液添加劑，以及光刻膠剝離液廢液。

19、本發(fā)明的第三方面提供了本發(fā)明第二方面所述的可再生光刻膠剝離液的制備方法，包括以下步驟：

20、1)所述光刻膠剝離液廢液經(jīng)過稀釋、過濾、蒸餾，得到再生液；

21、2)在所述再生液中加入光刻膠剝離液添加劑，得到所述的可再生光刻膠剝離液。

22、優(yōu)選地，所述步驟1)中，所述稀釋為加純凈水稀釋所述光刻膠剝離液廢液。

23、優(yōu)選地，所述步驟1)中，所述過濾為通過6～10μm的濾膜過濾所述光刻膠剝離液廢液的稀釋液。

24、優(yōu)選地，所述步驟1)中，所述蒸餾的溫度為150～300℃；進(jìn)一步優(yōu)選地，所述蒸餾的溫度為150～200℃。

25、優(yōu)選地，所述步驟1)中，所述蒸餾的壓力為1.5～2kpa。

26、優(yōu)選地，所述步驟2)中，所述光刻膠剝離液添加劑與再生液的質(zhì)量比為1:(4～6)；進(jìn)一步優(yōu)選地，所述光刻膠剝離液添加劑與再生液的質(zhì)量比為1:(4～5.5)。

27、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

28、本發(fā)明提供的光刻膠剝離液添加劑組分簡單，與光刻膠剝離液廢液按特定比例混合后得到的可再生光刻膠剝離液除膠效果穩(wěn)定；可根據(jù)光刻膠剝離液廢液中有效成分靈活調(diào)整添加劑組分，通過特定比例復(fù)配使用緩蝕劑、表面活性劑和剝離率促進(jìn)劑，能夠在快速除膠的同時，保障基板不受損傷。

29、本發(fā)明提供的可再生光刻膠剝離液制備方法簡單，能夠?qū)崿F(xiàn)光刻膠剝離液廢液中有效成分的再利用，降低光刻膠剝離液成本，減少資源浪費(fèi)且利于環(huán)境保護(hù)，適于工業(yè)實(shí)用。

技術(shù)特征：

1.一種光刻膠剝離液添加劑，其特征在于，包括以下質(zhì)量份的制備原料：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離液添加劑，其特征在于，所述緩蝕劑、表面活性劑和剝離率促進(jìn)劑的質(zhì)量比為(1.5～2.5):(1.5～2.5):1。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離液添加劑，其特征在于，所述緩蝕劑包括甲基苯并三氮唑、苯并三氮唑、5-氨基四氮唑、巰基苯并三氮唑中的至少一種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離液添加劑，其特征在于，所述表面活性劑包括2,4-二羥基嘧啶、4-羥基丁酸內(nèi)酯中的至少一種。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離液添加劑，其特征在于，所述剝離率促進(jìn)劑包括乙基硫脲、正丁基硫脲、氨基硫脲、乙胺硫脲、二甲基亞砜、二甲基砜、二乙基砜、環(huán)丁砜中的至少一種。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離液添加劑，其特征在于，所述醇醚類化合物包括二乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚中的至少一種。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離液添加劑，其特征在于，所述有機(jī)胺類化合物包括n-羥乙基哌嗪，或者是n-羥乙基哌嗪以及二甘醇胺、羥乙基乙二胺中的至少一種。

8.一種可再生光刻膠剝離液，其特征在于，包括以下制備原料：權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的光刻膠剝離液添加劑，以及光刻膠剝離液廢液。

9.權(quán)利要求8所述的可再生光刻膠剝離液的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的制備方法，其特征在于，所述步驟1)中，蒸餾的溫度為150～300℃；

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及剝離技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種可再生光刻膠剝離液及其制備方法。一種光刻膠剝離液添加劑，包括以下質(zhì)量份的制備原料：醇醚類化合物35～45份；有機(jī)胺類化合物35～45份；外加劑10～15份；所述外加劑包括緩蝕劑、表面活性劑和剝離率促進(jìn)劑。本發(fā)明提供的光刻膠剝離液添加劑組分簡單，與光刻膠剝離液廢液按特定比例混合后得到的可再生光刻膠剝離液除膠效果穩(wěn)定；可靈活調(diào)整添加劑組分，按特定比例復(fù)配使用緩蝕劑、表面活性劑和剝離率促進(jìn)劑，能夠快速除膠，保障基板不受損傷?？稍偕饪棠z剝離液制備方法簡單，能夠?qū)崿F(xiàn)光刻膠剝離液廢液中有效成分的再利用，降低光刻膠剝離液成本，減少資源浪費(fèi)且利于環(huán)境保護(hù)，適于工業(yè)實(shí)用。

技術(shù)研發(fā)人員：陳美玲,盧燕燕,張麗燕
受保護(hù)的技術(shù)使用者：惠州達(dá)誠微電子材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/10