本公開總體上涉及光調制，并且更具體地涉及相位空間光調制的示例。

背景技術：

1、全息投影使用從相位空間光調制器反射的相干光源的各部分之間的干涉將圖像投影到指定距離或“遠場”或夫瑯和費區(qū)(fraunhofer?region)。相位空間光調制是一種光調制形式，其中每個像元的反射相位確定反射光相對于從相位空間光調制器(pslm)的其他像元反射的其他光的相位。因此，如果pslm將一個像元偏移四分之一波長，則從第一個像元反射的光與從第二個未偏移像元反射的光異相四分之一波長。來自第一像元和第二像元的光然后以引導組合光的可控方式干涉。

2、pslm可能具有數千或數百萬個可控像元。pslm可以基于由不同相位的像元引導的反射相干光的干涉來投影圖像。相比之下，傳統(tǒng)的振幅空間光調制器(slm)反射或不反射選定的像元以創(chuàng)建投影的圖像。此pslm投影的圖像具有若干用途。它可以掃描場景以用于按方向改變圖像的光檢測和測距(lidar)系統(tǒng)，以幫助檢測場景中的物體。在其他用途中，用戶直接查看圖像，例如使用投影到汽車的擋風玻璃上的平視顯示器。

3、在lidar方面，pslm可以掃描視場上的全息投影。僅振幅slm可以使用成像配置通過一次打開單個微鏡來實現這一點，但效率非常低(1/(像元數))。另一種掃描光束的方法是使用僅振幅slm來創(chuàng)建全息圖，每個全息圖對應于不同的光束位置。然而，由于衰減和生成未使用的衍射級，這可能只有大約12％的效率。然而，使用pslm來創(chuàng)建虛擬相位斜坡，效率可以高得多——在某些情況下接近100％。不像slm那樣衰減不需要的光，pslm可以操縱光波陣面以將光引導到需要它的地方。通過操縱光波陣面，pslm器件可以在遠處平面(無需投影透鏡)或某個中間平面處創(chuàng)建圖像。在遠平面上的圖像的情況下，pslm器件利用了夫瑯和費遠場平面上的傅里葉變換關系。pslm器件還可以通過引入相位曲率來生成數字全息圖，從而使光在各種中間距離處聚焦。

技術實現思路

1、根據一個示例，裝置包括襯底上的驅動電極。該裝置具有懸置在驅動電極上方并與平臺電極導電地耦合的平臺，其中平臺被配置為響應于施加在驅動電極和平臺電極之間的電壓差而在垂直于襯底的表面的方向上移動。該裝置在平臺上還具有鏡柱。該裝置具有通過鏡柱耦合到平臺的反射鏡，其中反射鏡是矩形的。

技術特征：

1.一種裝置，其包括：

2.根據權利要求1所述的裝置，其還包括：

3.根據權利要求2所述的裝置，其中所述相對側平行于所述兩個平臺柱之間的線。

4.根據權利要求2所述的裝置，其中所述至少兩個柔性鉸鏈和所述平臺鄰接。

5.根據權利要求1所述的裝置，其中所述反射鏡在第一維度上比在第二維度上長，其中所述第一維度和所述第二維度是垂直的。

6.根據權利要求1所述的裝置，其中所述驅動電極是兩個或更多個電極。

7.根據權利要求6所述的裝置，其中所述兩個或更多個電極是可單獨尋址的。

8.根據權利要求1所述的裝置，其中所述鏡柱是第一鏡柱，并且還包括：

9.一種投影系統(tǒng)，其包括：

10.根據權利要求9所述的投影系統(tǒng)，其還包括：

技術總結
本申請公開了基于MEMS的相位空間光調制架構。所描述的示例包括在襯底上具有驅動電極506的裝置。該裝置具有懸置在驅動電極上方并導電地耦合到平臺電極512的平臺504，其中平臺被配置為響應于施加在驅動電極和平臺電極之間的電壓差而在垂直于襯底表面的方向上移動。該裝置在平臺上還具有鏡柱508。該裝置具有通過鏡柱508耦合到平臺的反射鏡510，其中反射鏡是矩形的。

技術研發(fā)人員：J·霍爾,T·A·巴利特利,W·C·麥克唐納
受保護的技術使用者：德克薩斯儀器股份有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2024/12/19