本發(fā)明涉及電子產(chǎn)品生產(chǎn)，尤其涉及一種掩膜版轉(zhuǎn)移裝置及掩膜版轉(zhuǎn)移方法。

背景技術(shù)：

1、掩膜版又稱光罩，是光刻工藝中的圖形模版，掩膜版需要放置在掩膜版存儲(chǔ)盒中，以便于出貨或存儲(chǔ)。掩膜版存儲(chǔ)盒包括盒體和蓋體，盒體用來(lái)定位和存放掩膜版，蓋體通過(guò)鉸鏈旋轉(zhuǎn)連接于盒體，可以壓緊掩膜版，并有一定的密封效果。使用過(guò)程，需要人工將蓋體打開(kāi)，并將內(nèi)部的掩膜版取出。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，掩膜版存儲(chǔ)盒的使用數(shù)量日益增多，人工處理弊端愈發(fā)明顯，其中，在抓取掩膜版過(guò)程中工人需要高度集中注意力，勞動(dòng)強(qiáng)度大，消耗大量人力；且在抓取過(guò)程中稍有偏差，例如掩膜版傾斜，則會(huì)損傷掩膜版下方的薄膜而導(dǎo)致掩膜版儲(chǔ)存盒的損傷。另外，手動(dòng)拿取需要較長(zhǎng)的準(zhǔn)備時(shí)間，使得蓋體開(kāi)啟后，掩膜版處于無(wú)保護(hù)狀態(tài)，長(zhǎng)時(shí)間無(wú)保護(hù)增加了掩膜版被污染概率。

2、為此，亟需研究一種掩膜版轉(zhuǎn)移裝置及掩膜版轉(zhuǎn)移方法，以解決上述問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種掩膜版轉(zhuǎn)移裝置及掩膜版轉(zhuǎn)移方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)中掩膜版轉(zhuǎn)移勞動(dòng)強(qiáng)度大，容易損傷掩膜版儲(chǔ)存盒以及掩膜版污染概率大的問(wèn)題。

2、為達(dá)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

3、掩膜版轉(zhuǎn)移裝置，能打開(kāi)掩膜版儲(chǔ)存盒，并將其中的掩膜版取出，包括：

4、底座；

5、開(kāi)蓋機(jī)構(gòu)，設(shè)于所述底座且用于將所述掩膜版儲(chǔ)存盒的蓋體打開(kāi)；

6、轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)，設(shè)于所述底座，且所述轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)的輸出端具有抓取組件，所述抓取組件用于從所述掩膜版儲(chǔ)存盒的盒體中抓取掩膜版，所述抓取組件包括：

7、抓取座；

8、兩個(gè)夾持件，均沿寬度方向能移動(dòng)地約束于所述抓取座，且能相互靠近或遠(yuǎn)離；

9、兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)件，沿寬度方向間隔設(shè)置，且均被布置成能以自身軸線為軸轉(zhuǎn)動(dòng)；

10、夾持傳動(dòng)件，呈帶狀，且繞設(shè)于兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)件之間，并于兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)件之間形成兩個(gè)均沿寬度方向延伸且相互平行的傳動(dòng)部，兩個(gè)所述傳動(dòng)部分別與對(duì)應(yīng)的夾持件傳動(dòng)連接；

11、夾持驅(qū)動(dòng)器，設(shè)于所述抓取座，且輸出端與所述夾持件或其中一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)連接。

12、作為一種掩膜版轉(zhuǎn)移裝置的可選技術(shù)方案，所述轉(zhuǎn)動(dòng)件包括轉(zhuǎn)動(dòng)輪以及與轉(zhuǎn)動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)配合的安裝軸，所述安裝軸沿高度方向延伸，且一端固接于所述抓取座；所述夾持件設(shè)有沿寬度方向延伸的限位滑槽，所述安裝軸的另一端穿設(shè)于所述限位滑槽，并能與限位滑槽在寬度方向相對(duì)滑動(dòng)，且能止動(dòng)于抵接所述限位滑槽的側(cè)壁。

13、作為一種掩膜版轉(zhuǎn)移裝置的可選技術(shù)方案，所述轉(zhuǎn)動(dòng)輪為周向設(shè)有齒部的同步輪，所述夾持傳動(dòng)件為內(nèi)側(cè)具有與兩個(gè)同步輪相適配的齒部的同步帶，所述同步帶與所述同步輪嚙合傳動(dòng)。

14、作為一種掩膜版轉(zhuǎn)移裝置的可選技術(shù)方案，所述抓取組件還包括抓取彈性件，所述抓取彈性件向兩個(gè)夾持件施加彈性力以使二者相互靠近。

15、作為一種掩膜版轉(zhuǎn)移裝置的可選技術(shù)方案，所述抓取彈性件包括拉簧，所述夾持件上安裝有具有勾部的連接塊，所述連接塊位于所述抓取座的下方，且所述勾部的開(kāi)口朝上，所述拉簧端部的掛環(huán)能自上向下鉤掛于勾部。

16、作為一種掩膜版轉(zhuǎn)移裝置的可選技術(shù)方案，所述轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)還包括位置檢測(cè)件和觸發(fā)件，所述觸發(fā)件與其中一個(gè)夾持件連接，所述位置檢測(cè)件具有兩個(gè)且在觸發(fā)件的移動(dòng)路徑上間隔布置；在兩個(gè)所述夾持件移動(dòng)過(guò)程中，所述觸發(fā)件能依次位于張開(kāi)位置、夾持位置和夾空位置，所述觸發(fā)件位于張開(kāi)位置時(shí)，能觸發(fā)其中一個(gè)位置檢測(cè)件，所述觸發(fā)件位于夾空位置時(shí)，能觸發(fā)其中另一個(gè)位置檢測(cè)件，所述觸發(fā)件位于夾持位置時(shí)，能同時(shí)觸發(fā)兩個(gè)位置檢測(cè)件。

17、作為一種掩膜版轉(zhuǎn)移裝置的可選技術(shù)方案，所述轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)還包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器和兩個(gè)方位檢測(cè)件，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器的輸出端與所述抓取座驅(qū)動(dòng)連接，以驅(qū)動(dòng)所述抓取座繞自身軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，兩個(gè)所述方位檢測(cè)件沿長(zhǎng)度方向間隔設(shè)置，兩個(gè)方位檢測(cè)件之間的距離大于0，且小于掩膜版的長(zhǎng)度和寬度之差。

18、作為一種掩膜版轉(zhuǎn)移裝置的可選技術(shù)方案，所述夾持驅(qū)動(dòng)器為直線驅(qū)動(dòng)器，所述直線驅(qū)動(dòng)器的平行于自身軸線的側(cè)壁與所述抓取座連接，所述直線驅(qū)動(dòng)器的輸出端能沿寬度方向往復(fù)移動(dòng)，并與所述夾持件驅(qū)動(dòng)連接。

19、作為一種掩膜版轉(zhuǎn)移裝置的可選技術(shù)方案，所述轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)還包括轉(zhuǎn)移座、橫移件和橫移驅(qū)動(dòng)器，所述轉(zhuǎn)移座設(shè)于所述底座，所述橫移件沿長(zhǎng)度方向能移動(dòng)地約束于所述轉(zhuǎn)移座，所述抓取座設(shè)于所述橫移件上，所述橫移驅(qū)動(dòng)器的輸出端與所述橫移件驅(qū)動(dòng)連接。

20、掩膜版轉(zhuǎn)移方法，應(yīng)用于上述任一項(xiàng)所述的掩膜版轉(zhuǎn)移裝置，包括以下步驟：

21、s100、將掩膜版儲(chǔ)存盒放置于承載座；

22、s200、開(kāi)蓋機(jī)構(gòu)將蓋體打開(kāi)；

23、s300、兩個(gè)夾持件相互靠近以?shī)A緊掩膜版；

24、s400、將掩膜版從盒體中移出。

25、本發(fā)明的有益效果為：

26、本發(fā)明提供一種掩膜版轉(zhuǎn)移裝置，該掩膜版轉(zhuǎn)移裝置包括開(kāi)蓋機(jī)構(gòu)和轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)，其中，開(kāi)蓋機(jī)構(gòu)用于將掩膜版儲(chǔ)存盒的蓋體打開(kāi)，以將掩膜版露出，轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)的抓取組件能將盒體中的掩膜版取出并移出盒體，以便于和其他接料機(jī)構(gòu)對(duì)接，實(shí)現(xiàn)了掩膜版儲(chǔ)存盒的自動(dòng)開(kāi)蓋，以及掩膜版的自動(dòng)取出動(dòng)作，降低了人工的勞動(dòng)強(qiáng)度；同時(shí)，轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)通過(guò)兩個(gè)夾持件的夾持動(dòng)作完成掩膜版的抓取，能保證抓取位置精準(zhǔn)，避免掩膜版傾斜，以保證掩膜版下方的薄膜的完整性；最后，夾持件通過(guò)夾持驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)，能保證抓取效率，從而在蓋體開(kāi)啟后可以迅速完成抓取動(dòng)作，減少了準(zhǔn)備時(shí)間，降低掩膜版被污染的概率。

27、本發(fā)明提供一種掩膜版轉(zhuǎn)移方法，能實(shí)現(xiàn)掩膜版儲(chǔ)存盒的自動(dòng)開(kāi)蓋以及自動(dòng)取出掩膜版的動(dòng)作，節(jié)省人力；保證抓取效率，減少準(zhǔn)備時(shí)間，降低掩膜版被污染的概率。

技術(shù)特征：

1.掩膜版轉(zhuǎn)移裝置，能打開(kāi)掩膜版儲(chǔ)存盒(1000)，并將其中的掩膜版(2000)取出，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動(dòng)件包括轉(zhuǎn)動(dòng)輪以及與轉(zhuǎn)動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)配合的安裝軸(313)，所述安裝軸(313)沿高度方向延伸，且一端固接于所述抓取座(311)；所述夾持件(312)設(shè)有沿寬度方向延伸的限位滑槽(3122)，所述安裝軸(313)的另一端穿設(shè)于所述限位滑槽(3122)，并能與限位滑槽(3122)在寬度方向相對(duì)滑動(dòng)，且能止動(dòng)于抵接所述限位滑槽(3122)的側(cè)壁。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜版轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動(dòng)輪為周向設(shè)有齒部的同步輪，所述夾持傳動(dòng)件(314)為內(nèi)側(cè)具有與兩個(gè)同步輪相適配的齒部的同步帶，所述同步帶與所述同步輪嚙合傳動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述抓取組件(310)還包括抓取彈性件(318)，所述抓取彈性件(318)向兩個(gè)夾持件(312)施加彈性力以使二者相互靠近。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的掩膜版轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述抓取彈性件(318)包括拉簧，所述夾持件(312)上安裝有具有勾部的連接塊(3123)，所述連接塊(3123)位于所述抓取座(311)的下方，且所述勾部的開(kāi)口朝上，所述拉簧端部的掛環(huán)能自上向下鉤掛于勾部。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)(300)還包括位置檢測(cè)件(351)和觸發(fā)件(350)，所述觸發(fā)件(350)與其中一個(gè)夾持件(312)連接，所述位置檢測(cè)件(351)具有兩個(gè)且在觸發(fā)件(350)的移動(dòng)路徑上間隔布置；在兩個(gè)所述夾持件(312)移動(dòng)過(guò)程中，所述觸發(fā)件(350)能依次位于張開(kāi)位置、夾持位置和夾空位置，所述觸發(fā)件(350)位于張開(kāi)位置時(shí)，能觸發(fā)其中一個(gè)位置檢測(cè)件(351)，所述觸發(fā)件(350)位于夾空位置時(shí)，能觸發(fā)其中另一個(gè)位置檢測(cè)件(351)，所述觸發(fā)件(350)位于夾持位置時(shí)，能同時(shí)觸發(fā)兩個(gè)位置檢測(cè)件(351)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的掩膜版轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)(300)還包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器(380)和兩個(gè)方位檢測(cè)件(360)，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器(380)的輸出端與所述抓取座(311)驅(qū)動(dòng)連接，以驅(qū)動(dòng)所述抓取座(311)繞自身軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，兩個(gè)所述方位檢測(cè)件(360)沿長(zhǎng)度方向間隔設(shè)置，兩個(gè)方位檢測(cè)件(360)之間的距離大于0，且小于掩膜版(2000)的長(zhǎng)度和寬度之差。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的掩膜版轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述夾持驅(qū)動(dòng)器(315)為直線驅(qū)動(dòng)器，所述直線驅(qū)動(dòng)器的平行于自身軸線的側(cè)壁與所述抓取座(311)連接，所述直線驅(qū)動(dòng)器的輸出端能沿寬度方向往復(fù)移動(dòng)，并與所述夾持件(312)驅(qū)動(dòng)連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的掩膜版轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)(300)還包括轉(zhuǎn)移座(320)、橫移件(330)和橫移驅(qū)動(dòng)器(340)，所述轉(zhuǎn)移座(320)設(shè)于所述底座(100)，所述橫移件(330)沿長(zhǎng)度方向能移動(dòng)地約束于所述轉(zhuǎn)移座(320)，所述抓取座(311)設(shè)于所述橫移件(330)上，所述橫移驅(qū)動(dòng)器(340)的輸出端與所述橫移件(330)驅(qū)動(dòng)連接。

10.掩膜版轉(zhuǎn)移方法，應(yīng)用于權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的掩膜版轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，包括以下步驟：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及電子產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體公開(kāi)了一種掩膜版轉(zhuǎn)移裝置及掩膜版轉(zhuǎn)移方法，其中，開(kāi)蓋機(jī)構(gòu)設(shè)于底座且用于將掩膜版儲(chǔ)存盒的蓋體打開(kāi)；轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)設(shè)于底座，且轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)的輸出端具有用于從掩膜版儲(chǔ)存盒中抓取掩膜版的抓取組件，抓取組件中，兩個(gè)夾持件均沿寬度方向能移動(dòng)地約束于抓取座，且能相互靠近或遠(yuǎn)離；兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)件沿寬度方向間隔設(shè)置，且均被布置成能以自身軸線為軸轉(zhuǎn)動(dòng)；夾持傳動(dòng)件呈帶狀，且繞設(shè)于兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)件之間，并于兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)件之間形成兩個(gè)均沿寬度方向延伸且相互平行的傳動(dòng)部，兩個(gè)傳動(dòng)部分別與對(duì)應(yīng)的夾持件傳動(dòng)連接；夾持驅(qū)動(dòng)器設(shè)于抓取座，且輸出端與夾持件或其中一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)連接。上述設(shè)置降低了人工的勞動(dòng)強(qiáng)度。

技術(shù)研發(fā)人員：梁杰,周昊,鄭教增
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海御微半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/10