本技術(shù)涉及曝光設(shè)備，尤其是一種用于電池片的ldi曝光設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、目前太陽(yáng)能電池領(lǐng)域的圖形化主要用于異質(zhì)結(jié)電池，異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池片的圖形化大都采用曝光-顯影工藝，其中曝光工藝有直寫式(ldi)和掩膜式兩種類型，相較于掩膜式曝光，直寫式曝光直接調(diào)制激光形成圖形，無(wú)需制作掩膜板，曝光圖形靈活多變。

2、目前用于電池片曝光的曝光設(shè)備，曝光鏡頭僅有一個(gè)加工工位，電池片的對(duì)位和曝光只能先后進(jìn)行，電池片的加工效率較低。隨著曝光效率需求的不斷提高，此點(diǎn)成為制約設(shè)備加工效率的關(guān)鍵因素。

3、另外，制備太陽(yáng)能電池柵線的方法有絲網(wǎng)印刷、無(wú)電沉積法、電沉積法等，其中，應(yīng)用最為廣泛的是絲網(wǎng)印刷。采用絲網(wǎng)印刷制備的柵線寬度一般在40-50μm，柵線寬度尺寸較大，而較寬的柵線的遮光面積大，影響光電轉(zhuǎn)換效率。為了獲得更高效的電池，需要減小柵線寬度，提高柵線的高寬比，而傳統(tǒng)的絲網(wǎng)印刷工藝已經(jīng)很難做到。

4、隨著光伏太陽(yáng)能電池技術(shù)的不斷提升，對(duì)復(fù)雜結(jié)構(gòu)的圖形化技術(shù)提出了更高的要求：更細(xì)的線徑、更高的精度、更高的加工速度以及更低的工藝成本。因此曝光工藝的應(yīng)用是太陽(yáng)能電池發(fā)展的必然趨勢(shì)。

5、為此，我們提出一種用于電池片的ldi曝光設(shè)備。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)人針對(duì)上述現(xiàn)有生產(chǎn)技術(shù)中的缺點(diǎn)，提供一種用于電池片的ldi曝光設(shè)備，從而實(shí)現(xiàn)電池片對(duì)位和曝光過程的同時(shí)進(jìn)行，充分提高加工效率。

2、本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案如下：

3、一種用于電池片的ldi曝光設(shè)備，包括：

4、工件臺(tái)，其上設(shè)置有多個(gè)平行的導(dǎo)軌；

5、加工臺(tái)，其數(shù)量至少為兩個(gè)且分別滑動(dòng)連接在不同的導(dǎo)軌上，加工臺(tái)上設(shè)置有多個(gè)用于固定電池片的吸盤；

6、對(duì)位機(jī)構(gòu)，其橫跨在工件臺(tái)多個(gè)導(dǎo)軌的上方，并通過橫移對(duì)加工臺(tái)上的電池片進(jìn)行對(duì)位；

7、曝光機(jī)構(gòu)，其橫跨在工件臺(tái)多個(gè)導(dǎo)軌的上方，并通過橫移對(duì)對(duì)位后的電池片進(jìn)行曝光。

8、進(jìn)一步的，還包括：

9、上料機(jī)構(gòu)、下料機(jī)構(gòu)，其分別位于加工臺(tái)的兩側(cè)，通過輸送裝置對(duì)電池片進(jìn)行上料和下料；

10、送料機(jī)構(gòu)，其位于上料機(jī)構(gòu)、下料機(jī)構(gòu)之間并用于搬送電池片，在上料機(jī)構(gòu)、加工臺(tái)和下料機(jī)構(gòu)之間傳遞。

11、進(jìn)一步的，所述送料機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)包括平移機(jī)構(gòu)，以及連接在平移機(jī)構(gòu)上的旋轉(zhuǎn)氣缸、頂升氣缸以及搬送板，且搬送板用于搬送電池片。

12、進(jìn)一步的，所述工件臺(tái)包括：

13、平臺(tái)，其上用于設(shè)置多個(gè)平行的導(dǎo)軌；

14、對(duì)位支架，其設(shè)置于平臺(tái)上，并跨越多個(gè)導(dǎo)軌，對(duì)位支架包括對(duì)位立柱以及對(duì)位橫梁，對(duì)位機(jī)構(gòu)通過x軸移動(dòng)軌道一在對(duì)位橫梁上移動(dòng)；

15、曝光支架，其設(shè)置在平臺(tái)上并與對(duì)位支架平行，曝光支架包括曝光立柱和曝光橫梁，且曝光機(jī)構(gòu)通過x軸移動(dòng)軌道二同時(shí)連接在曝光橫梁和對(duì)位橫梁上，并能在x軸方向上移動(dòng)；

16、底盤組件，其設(shè)置在平臺(tái)的底部，并起到支撐調(diào)平作用。

17、更進(jìn)一步的，所述對(duì)位機(jī)構(gòu)包括對(duì)位相機(jī)，且對(duì)位相機(jī)通過抓取電池片上的標(biāo)記點(diǎn)并對(duì)電池片進(jìn)行對(duì)位。

18、更進(jìn)一步的，所述曝光機(jī)構(gòu)包括曝光鏡頭組件、微鏡組件以及激光器組件，用于對(duì)電池片進(jìn)行曝光。

19、進(jìn)一步的，所述加工臺(tái)上設(shè)置有兩個(gè)并排分布的吸盤，且其中第一吸盤通過調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)一實(shí)現(xiàn)在x軸和y軸方向的移動(dòng)以及θ軸方向的旋轉(zhuǎn)，第二吸盤通過調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)二實(shí)現(xiàn)θ軸方向的旋轉(zhuǎn)。

20、進(jìn)一步的，所述加工臺(tái)包括：

21、直線輸送裝置，其能夠驅(qū)動(dòng)加工臺(tái)在導(dǎo)軌上移動(dòng)；

22、結(jié)構(gòu)板，其用于將調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)一和調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)二固定安裝在直線輸送裝置上。

23、進(jìn)一步的，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)一包括三個(gè)對(duì)位電機(jī)，且其中兩個(gè)對(duì)位電機(jī)用于控制對(duì)應(yīng)第一吸盤水平面x軸和y軸方向的移動(dòng)，另一個(gè)對(duì)位電機(jī)用于控制對(duì)應(yīng)第一吸盤水平面上θ軸方向的旋轉(zhuǎn)。

24、進(jìn)一步的，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)二包括一個(gè)用于帶動(dòng)對(duì)應(yīng)第二吸盤水平面上θ軸方向旋轉(zhuǎn)的對(duì)位電機(jī)。

25、本實(shí)用新型的有益效果如下：

26、本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊、合理，操作方便，通過設(shè)置至少兩個(gè)加工臺(tái)，同時(shí)設(shè)置有能夠橫移的對(duì)位機(jī)構(gòu)和曝光機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)多工位工作，實(shí)現(xiàn)電池片對(duì)位和曝光過程的同時(shí)進(jìn)行，消除了對(duì)位過程對(duì)整體加工速度的制約因素，充分提高加工效率，降低加工成本。

27、同時(shí)，本實(shí)用新型還具備如下優(yōu)點(diǎn)：

28、1、每個(gè)加工臺(tái)設(shè)置多個(gè)吸盤，可以同時(shí)曝光多個(gè)電池片。

29、2、實(shí)現(xiàn)了對(duì)位過程和曝光過程的并行，提高了曝光設(shè)備的加工效率。

30、3、通過設(shè)置不同結(jié)構(gòu)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)一和調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)二，能夠提高空間利用率，特別是針對(duì)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)二的結(jié)構(gòu)改進(jìn)，大大減小了空間占用，使得整體結(jié)構(gòu)更加緊湊，布局更加合理。

技術(shù)特征：

1.一種用于電池片的ldi曝光設(shè)備，其特征在于，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的一種用于電池片的ldi曝光設(shè)備，其特征在于：還包括：

3.如權(quán)利要求2所述的一種用于電池片的ldi曝光設(shè)備，其特征在于：所述送料機(jī)構(gòu)(300)的結(jié)構(gòu)包括平移機(jī)構(gòu)(303)，以及連接在平移機(jī)構(gòu)(303)上的旋轉(zhuǎn)氣缸(302)、頂升氣缸(304)以及搬送板(301)，且搬送板(301)用于搬送電池片。

4.如權(quán)利要求1所述的一種用于電池片的ldi曝光設(shè)備，其特征在于：所述工件臺(tái)(100)包括：

5.如權(quán)利要求1-4任一所述的一種用于電池片的ldi曝光設(shè)備，其特征在于：所述對(duì)位機(jī)構(gòu)(500)包括對(duì)位相機(jī)(501)，且對(duì)位相機(jī)(501)通過抓取電池片上的標(biāo)記點(diǎn)并對(duì)電池片進(jìn)行對(duì)位。

6.如權(quán)利要求1-4任一所述的一種用于電池片的ldi曝光設(shè)備，其特征在于：所述曝光機(jī)構(gòu)(600)包括曝光鏡頭組件(601)、微鏡組件(602)以及激光器組件(604)，用于對(duì)電池片進(jìn)行曝光。

7.如權(quán)利要求1所述的一種用于電池片的ldi曝光設(shè)備，其特征在于：所述加工臺(tái)(400)上設(shè)置有兩個(gè)并排分布的吸盤，且其中第一吸盤(401)通過調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)一實(shí)現(xiàn)在x軸和y軸方向的移動(dòng)以及θ軸方向的旋轉(zhuǎn)，第二吸盤(401’)通過調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)二實(shí)現(xiàn)θ軸方向的旋轉(zhuǎn)。

8.如權(quán)利要求1所述的一種用于電池片的ldi曝光設(shè)備，其特征在于：所述加工臺(tái)(400)包括：

9.如權(quán)利要求8所述的一種用于電池片的ldi曝光設(shè)備，其特征在于：所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)一包括三個(gè)對(duì)位電機(jī)(403)，且其中兩個(gè)對(duì)位電機(jī)(403)用于控制對(duì)應(yīng)第一吸盤(401)水平面x軸和y軸方向的移動(dòng)，另一個(gè)對(duì)位電機(jī)(403)用于控制對(duì)應(yīng)第一吸盤(401)水平面上θ軸方向的旋轉(zhuǎn)。

10.如權(quán)利要求8所述的一種用于電池片的ldi曝光設(shè)備，其特征在于：所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)二包括一個(gè)用于帶動(dòng)對(duì)應(yīng)第二吸盤(401’)水平面上θ軸方向旋轉(zhuǎn)的對(duì)位電機(jī)(403)。

技術(shù)總結(jié)
一種用于電池片的LDI曝光設(shè)備，包括工件臺(tái)，其上設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)軌；加工臺(tái)，其數(shù)量至少為兩個(gè)且滑動(dòng)連接在導(dǎo)軌上，加工臺(tái)上設(shè)置有多個(gè)吸盤；對(duì)位機(jī)構(gòu)，其橫跨在工件臺(tái)多個(gè)導(dǎo)軌的上方，并通過橫移對(duì)兩個(gè)加工臺(tái)上的電池片進(jìn)行對(duì)位；曝光機(jī)構(gòu)，其橫跨在工件臺(tái)多個(gè)導(dǎo)軌的上方，并通過橫移對(duì)對(duì)位后的電池片進(jìn)行曝光。本技術(shù)結(jié)構(gòu)緊湊、合理，操作方便，通過設(shè)置至少兩個(gè)加工臺(tái)，同時(shí)設(shè)置有能夠橫移的對(duì)位機(jī)構(gòu)和曝光機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)多工位工作，實(shí)現(xiàn)電池片對(duì)位和曝光過程的同時(shí)進(jìn)行，消除了對(duì)位過程對(duì)整體加工速度的制約因素，充分提高加工效率，降低加工成本。

技術(shù)研發(fā)人員：李天航,王方江,陳海巍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇影速集成電路裝備股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240229
技術(shù)公布日：2024/12/26