本技術(shù)涉及光刻機(jī)，尤其涉及一種光刻機(jī)版盒定位鎖緊裝置。

背景技術(shù)：

1、光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造過程中非常重要的設(shè)備，它是用來對一系列掩模板上的芯片圖形通過曝光依次轉(zhuǎn)移到硅片相應(yīng)層上的制作設(shè)備，而光刻機(jī)中的版盒是用來存儲與保護(hù)掩模版，其目的是保護(hù)掩模版不受外環(huán)境的污染，在日常生活中較為常見。

2、現(xiàn)有技術(shù)諸如公告號為cn219320651u的實(shí)用新型，該專利公開了版盒定位鎖緊裝置及光刻機(jī)，該專利包括：支撐模塊，包括至少兩個相對設(shè)置的支撐座，相對設(shè)置的所述支撐座相互靠近的一側(cè)具有用于放置版盒的凹槽，所述凹槽的側(cè)壁設(shè)置有與所述凹槽連通的通孔；壓緊模塊，包括轉(zhuǎn)軸、彈簧和滾動軸承，所述轉(zhuǎn)軸的一端穿過所述通孔進(jìn)入所述凹槽中，所述彈簧插入所述通孔且環(huán)繞設(shè)置于所述轉(zhuǎn)軸的外圍，所述滾動軸承與所述轉(zhuǎn)軸的所述一端連接，以使得所述滾動軸承的外側(cè)壁與所述版盒的側(cè)面接觸。該實(shí)用新型的技術(shù)方案能夠減少版盒與支撐模塊之間摩擦產(chǎn)生的顆粒，且能提高版盒的定位精度，進(jìn)而提高掩模版在傳輸過程中的質(zhì)量。

3、發(fā)明人在日常生活使用中發(fā)現(xiàn)，在對光刻機(jī)版盒進(jìn)行操作使用的過程中，需要對版盒的位置進(jìn)行限位固定，避免在光刻機(jī)進(jìn)行操作使用時(shí)，版盒的位置發(fā)生偏移，從而造成光刻機(jī)制作的產(chǎn)品質(zhì)量受損的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的是解決現(xiàn)有技術(shù)中存在對光刻機(jī)版盒進(jìn)行操作使用的過程中，需要對版盒的位置進(jìn)行限位固定，避免在光刻機(jī)進(jìn)行操作使用時(shí)，版盒的位置發(fā)生偏移，從而造成光刻機(jī)制作的產(chǎn)品質(zhì)量受損的缺點(diǎn)。

2、為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種光刻機(jī)版盒定位鎖緊裝置，包括：機(jī)座，所述機(jī)座的表面設(shè)置有版盒主體，所述機(jī)座兩端表面對應(yīng)版盒主體的位置均設(shè)有調(diào)節(jié)裝置，所述調(diào)節(jié)裝置包括兩個固定板，兩個所述固定板彼此靠近的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有同一個驅(qū)動桿，所述驅(qū)動桿的圓弧面開設(shè)有螺紋方向相反的螺紋，所述驅(qū)動桿的圓弧面兩端均螺紋連接有轉(zhuǎn)動環(huán)，所述轉(zhuǎn)動環(huán)的表面均轉(zhuǎn)動連接有連接板，所述連接板遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)動環(huán)的一端轉(zhuǎn)動連接有擠壓塊，所述機(jī)座表面對應(yīng)擠壓塊的位置固定連接有定位塊，所述定位塊兩側(cè)表面均開設(shè)有滑槽，所述滑槽的內(nèi)壁表面與擠壓塊的表面滑動連接。

3、上述部件所達(dá)到的效果為：在對光刻機(jī)版盒進(jìn)行操作使用的過程中，需要對版盒的位置進(jìn)行限位固定，避免在光刻機(jī)進(jìn)行操作使用時(shí)，版盒的位置發(fā)生偏移，從而容易造成光刻機(jī)制作的產(chǎn)品質(zhì)量受損，這時(shí)為了有效地對版盒主體的位置進(jìn)行限位固定，先將版盒主體放置在機(jī)座表面指定的位置，再轉(zhuǎn)動機(jī)座兩端的驅(qū)動桿，讓驅(qū)動桿帶動兩端轉(zhuǎn)動環(huán)位置的移動，從而讓轉(zhuǎn)動環(huán)表面借助連接板帶動擠壓塊沿著定位塊開設(shè)的滑槽進(jìn)行滑動，這時(shí)定位塊兩側(cè)內(nèi)壁中的擠壓塊將會對版盒主體的側(cè)壁進(jìn)行擠壓限位，從而讓整個版盒主體的位置進(jìn)行有效的防護(hù)定位。

4、優(yōu)選地，所述擠壓塊靠近版盒主體的一端均固定連接有擠壓墊，所述擠壓墊的表面開設(shè)有防滑紋。

5、上述部件所達(dá)到的效果為：通過擠壓墊可以對擠壓塊與版盒主體之間產(chǎn)生防護(hù)，避免擠壓塊對版盒主體側(cè)壁的過度擠壓。

6、優(yōu)選地，所述擠壓塊的兩端一側(cè)均轉(zhuǎn)動連接有滑輪，所述滑輪的表面與滑槽的內(nèi)壁表面滑動連接。

7、上述部件所達(dá)到的效果為：通過擠壓塊兩側(cè)的滑輪可以有效地減小摩擦，便于對擠壓塊的位置進(jìn)行更好的移動調(diào)節(jié)。

8、優(yōu)選地，所述機(jī)座表面對應(yīng)版盒主體四周邊角的位置均固定連接有限位塊，所述限位塊的截面呈“l(fā)”形。

9、上述部件所達(dá)到的效果為：在對版盒主體的位置進(jìn)行限位固定時(shí)，利用機(jī)座表面固定的限位塊可以便捷地對版盒主體的位置進(jìn)行臨時(shí)限位。

10、優(yōu)選地，所述機(jī)座表面對應(yīng)驅(qū)動桿的位置設(shè)有輔助裝置，所述輔助裝置包括銜接架，所述銜接架的底端與機(jī)座的表面固定連接，所述銜接架的上端內(nèi)壁轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)動板，所述驅(qū)動桿圓弧面對應(yīng)轉(zhuǎn)動板的位置固定連接有定位齒，所述轉(zhuǎn)動板表面對應(yīng)定位齒的位置開設(shè)有卡槽，所述卡槽的內(nèi)壁與定位齒的齒面相嚙合，所述銜接架的表面開設(shè)有限位槽，所述轉(zhuǎn)動板表面對應(yīng)限位槽的位置固定連接有銜接柱，所述銜接柱的表面螺紋連接有轉(zhuǎn)軸。

11、上述部件所達(dá)到的效果為：在整個驅(qū)動桿進(jìn)行轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)操作的過程中，為了方便對驅(qū)動桿的位置進(jìn)行限位，避免對驅(qū)動桿發(fā)生偏轉(zhuǎn)，從而造成版盒主體的松動脫落，此時(shí)通過轉(zhuǎn)動銜接架內(nèi)壁的轉(zhuǎn)動板，讓轉(zhuǎn)動板底端的銜接柱沿著限位槽進(jìn)行滑動，從而讓轉(zhuǎn)動板一側(cè)開設(shè)的卡槽與驅(qū)動桿表面的定位齒進(jìn)行嚙合卡接，這時(shí)驅(qū)動桿的位置無法偏轉(zhuǎn)，之后再轉(zhuǎn)動銜接柱表面的轉(zhuǎn)軸，讓轉(zhuǎn)軸與銜接架之間發(fā)生擠壓限位固定。

12、優(yōu)選地，所述銜接柱的圓弧面套有墊環(huán)，所述墊環(huán)的表面與轉(zhuǎn)軸的一側(cè)相抵接。

13、上述部件所達(dá)到的效果為：通過墊環(huán)可以讓轉(zhuǎn)軸固定得更牢固，避免轉(zhuǎn)軸在長時(shí)間使用過程中發(fā)生松動脫落。

14、優(yōu)選地，所述轉(zhuǎn)動板為硬質(zhì)合金板，所述轉(zhuǎn)動板的截面呈“l(fā)”形。

15、上述部件所達(dá)到的效果為：在對轉(zhuǎn)動板進(jìn)行操作使用時(shí)，利用硬質(zhì)合金材質(zhì)的轉(zhuǎn)動板可以有效方便地操作，避免轉(zhuǎn)動板發(fā)生形變損壞。

16、與相關(guān)技術(shù)相比較，本實(shí)用新型提供的一種光刻機(jī)版盒定位鎖緊裝置具有如下有益效果：

17、本實(shí)用新型提供一種光刻機(jī)版盒定位鎖緊裝置，在對光刻機(jī)版盒進(jìn)行操作使用的過程中，需要對版盒的位置進(jìn)行限位固定，避免在光刻機(jī)進(jìn)行操作使用時(shí)，版盒的位置發(fā)生偏移，從而容易造成光刻機(jī)制作的產(chǎn)品質(zhì)量受損，這時(shí)為了有效地對版盒主體的位置進(jìn)行限位固定，先將版盒主體放置在機(jī)座表面指定的位置，再轉(zhuǎn)動機(jī)座兩端的驅(qū)動桿，讓驅(qū)動桿帶動兩端轉(zhuǎn)動環(huán)位置的移動，從而讓轉(zhuǎn)動環(huán)表面借助連接板帶動擠壓塊沿著定位塊開設(shè)的滑槽進(jìn)行滑動，這時(shí)定位塊兩側(cè)內(nèi)壁中的擠壓塊將會對版盒主體的側(cè)壁進(jìn)行擠壓限位，從而讓整個版盒主體的位置進(jìn)行有效的防護(hù)定位，通過對調(diào)節(jié)裝置的操作，達(dá)到了對版盒主體的位置進(jìn)行擠壓限位，避免版盒主體松動，導(dǎo)致位置發(fā)生偏移。

18、在整個驅(qū)動桿進(jìn)行轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)操作的過程中，為了方便對驅(qū)動桿的位置進(jìn)行限位，避免對驅(qū)動桿發(fā)生偏轉(zhuǎn)，從而造成版盒主體的松動脫落，此時(shí)通過轉(zhuǎn)動銜接架內(nèi)壁的轉(zhuǎn)動板，讓轉(zhuǎn)動板底端的銜接柱沿著限位槽進(jìn)行滑動，從而讓轉(zhuǎn)動板一側(cè)開設(shè)的卡槽與驅(qū)動桿表面的定位齒進(jìn)行嚙合卡接，這時(shí)驅(qū)動桿的位置無法偏轉(zhuǎn)，之后再轉(zhuǎn)動銜接柱表面的轉(zhuǎn)軸，讓轉(zhuǎn)軸與銜接架之間發(fā)生擠壓限位固定，通過對輔助裝置的操作，達(dá)到了對驅(qū)動桿位置的固定，避免在對光刻機(jī)進(jìn)行操作的過程中，對驅(qū)動桿發(fā)生偏轉(zhuǎn)，進(jìn)而造成版盒主體位置的偏移。

技術(shù)特征：

1.一種光刻機(jī)版盒定位鎖緊裝置，其特征在于，包括：機(jī)座（2），所述機(jī)座（2）的表面設(shè)置有版盒主體（1），所述機(jī)座（2）兩端表面對應(yīng)版盒主體（1）的位置均設(shè)有調(diào)節(jié)裝置（4），所述調(diào)節(jié)裝置（4）包括兩個固定板（401），兩個所述固定板（401）彼此靠近的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有同一個驅(qū)動桿（402），所述驅(qū)動桿（402）的圓弧面開設(shè)有螺紋方向相反的螺紋，所述驅(qū)動桿（402）的圓弧面兩端均螺紋連接有轉(zhuǎn)動環(huán)（403），所述轉(zhuǎn)動環(huán)（403）的表面均轉(zhuǎn)動連接有連接板（405），所述連接板（405）遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)動環(huán)（403）的一端轉(zhuǎn)動連接有擠壓塊（406），所述機(jī)座（2）表面對應(yīng)擠壓塊（406）的位置固定連接有定位塊（404），所述定位塊（404）兩側(cè)表面均開設(shè)有滑槽（410），所述滑槽（410）的內(nèi)壁表面與擠壓塊（406）的表面滑動連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻機(jī)版盒定位鎖緊裝置，其特征在于，所述擠壓塊（406）靠近版盒主體（1）的一端均固定連接有擠壓墊（407），所述擠壓墊（407）的表面開設(shè)有防滑紋。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻機(jī)版盒定位鎖緊裝置，其特征在于，所述擠壓塊（406）的兩端一側(cè)均轉(zhuǎn)動連接有滑輪（409），所述滑輪（409）的表面與滑槽（410）的內(nèi)壁表面滑動連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻機(jī)版盒定位鎖緊裝置，其特征在于，所述機(jī)座（2）表面對應(yīng)版盒主體（1）四周邊角的位置均固定連接有限位塊（408），所述限位塊（408）的截面呈“l(fā)”形。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻機(jī)版盒定位鎖緊裝置，其特征在于，所述機(jī)座（2）表面對應(yīng)驅(qū)動桿（402）的位置設(shè)有輔助裝置（3），所述輔助裝置（3）包括銜接架（33），所述銜接架（33）的底端與機(jī)座（2）的表面固定連接，所述銜接架（33）的上端內(nèi)壁轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)動板（32），所述驅(qū)動桿（402）圓弧面對應(yīng)轉(zhuǎn)動板（32）的位置固定連接有定位齒（31），所述轉(zhuǎn)動板（32）表面對應(yīng)定位齒（31）的位置開設(shè)有卡槽（38），所述卡槽（38）的內(nèi)壁與定位齒（31）的齒面相嚙合，所述銜接架（33）的表面開設(shè)有限位槽（34），所述轉(zhuǎn)動板（32）表面對應(yīng)限位槽（34）的位置固定連接有銜接柱（35），所述銜接柱（35）的表面螺紋連接有轉(zhuǎn)軸（37）。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種光刻機(jī)版盒定位鎖緊裝置，其特征在于，所述銜接柱（35）的圓弧面套有墊環(huán)（36），所述墊環(huán)（36）的表面與轉(zhuǎn)軸（37）的一側(cè)相抵接。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種光刻機(jī)版盒定位鎖緊裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動板（32）為硬質(zhì)合金板，所述轉(zhuǎn)動板（32）的截面呈“l(fā)”形。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及光刻機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種光刻機(jī)版盒定位鎖緊裝置。包括機(jī)座，所述機(jī)座的表面設(shè)置有版盒主體，所述機(jī)座兩端表面對應(yīng)版盒主體的位置均設(shè)有調(diào)節(jié)裝置，所述調(diào)節(jié)裝置包括兩個固定板，兩個所述固定板彼此靠近的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有同一個驅(qū)動桿，所述驅(qū)動桿的圓弧面開設(shè)有螺紋方向相反的螺紋，所述驅(qū)動桿的圓弧面兩端均螺紋連接有轉(zhuǎn)動環(huán)，所述轉(zhuǎn)動環(huán)的表面均轉(zhuǎn)動連接有連接板，所述連接板遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)動環(huán)的一端轉(zhuǎn)動連接有擠壓塊，所述機(jī)座表面對應(yīng)擠壓塊的位置固定連接有定位塊。本技術(shù)提供的一種光刻機(jī)版盒定位鎖緊裝置具有方便快捷地對版盒位置進(jìn)行擠壓限位，避免版盒發(fā)生松動偏移的情況出現(xiàn)。

技術(shù)研發(fā)人員：謝紅,謝丁生,呂學(xué)飛,王韶華,晏建發(fā),趙振浩,謝和
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海亞曼光電科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240403
技術(shù)公布日：2024/11/28