專利名稱：用于激光打標(biāo)機(jī)的激光諧振腔的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬激光打標(biāo)機(jī)領(lǐng)域。
目前激光打標(biāo)機(jī)的研究熱點(diǎn)是如何提高一次打標(biāo)面積，同時(shí)又能確保整機(jī)的可靠性。按常規(guī)方法欲達(dá)到上述目的必然導(dǎo)致激光器體積成倍或幾倍地增加，如打標(biāo)面積從一般的6×6mm2提高到12×12mm2，則激光器輸出能量就要提高4.2倍，即要求激光器的3-4焦?fàn)柕妮敵鎏岣叩?-16的焦?fàn)栞敵?。提高激光輸出能量就要擴(kuò)大激光器的放電體積，增加充氣壓力，這些無疑會(huì)導(dǎo)致增加激光器的體積并使其成本驟增，同時(shí)，技術(shù)難度也將隨著提高，必然嚴(yán)重地影響整機(jī)的可靠性。美國專利US5011253-A公開了一種“激光打標(biāo)的光學(xué)系統(tǒng)-在激光器與掩膜之間放置聚焦透鏡和凹面鏡”(Opticzl System for Laser Marking-Has Focussing Lens and Concave Mirror Between Laser and Mask)。該專利的發(fā)明目的是為提高激光的有效利用率，為此，它在激光器外部設(shè)計(jì)了一個(gè)紅外光學(xué)系統(tǒng)，多次利用掩膜反射的激光能量，但由于它在激光諧振腔外增加了一個(gè)光學(xué)系統(tǒng)，從而使結(jié)構(gòu)復(fù)雜化，成本也提高了。
根據(jù)上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺點(diǎn)，本發(fā)明的目的是將具有文字、圖案的掩膜腔鏡替代現(xiàn)有激光器中均勻部分透過的輸出腔鏡。
為完成上述目的，本發(fā)明采取以下技術(shù)方案，在激光打標(biāo)機(jī)的激光諧振腔中，其諧振腔的輸出腔鏡由具有文字、圖案特征的掩膜透過部分和剩余的全反射部分構(gòu)成，其中全反射部分與另一反射鏡構(gòu)成激光諧振腔。本發(fā)明基于以下原理，用掩膜的非透過部分鍍?nèi)茨ぃc另一全反腔鏡組成激光諧振腔，掩膜的透過部分作為激光器的輸出。掩膜非透過部分反射的光能返回激光諧振腔內(nèi)參與激光振蕩。由于返回腔內(nèi)的光能量參與振蕩是一個(gè)受激幅射光放大的過程，由此，掩膜透過部分的激光能量大大地增強(qiáng)，并且輸出的光能分布與掩膜一致，可以不經(jīng)任何光學(xué)元件在工件上打標(biāo)。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是成倍或幾倍地提高打標(biāo)面積而不需要增加光學(xué)系統(tǒng)和激光器的功率，對(duì)現(xiàn)有打標(biāo)機(jī)也不需要作較大變化，并可直接打標(biāo)。


圖1激光打標(biāo)機(jī)掩膜腔光學(xué)系統(tǒng)示意圖。
圖中1全反射鏡，2激光諧振腔，3輸出腔鏡(掩膜)，4工件。
圖2為圖1中輸出腔鏡(掩膜)(3)的A向視圖。
權(quán)利要求
1.一處用于激光打標(biāo)機(jī)的激光諧振腔，其特征為所述諧振腔的輸出鏡(3)是由具有文字、圖案特征的掩膜透過部分(6)和剩余的全反射部分(5)構(gòu)成，其中全反部分(5)與另一反鏡(1)構(gòu)成激光諧振腔(2)。
全文摘要
本發(fā)明屬激光打標(biāo)機(jī)中激光諧振腔，其輸出腔鏡由具有文字、圖案特征的掩膜透過部分和剩余的全反射部分構(gòu)成，其中全反射部分與另一全反鏡構(gòu)成激光諧振腔。本發(fā)明能成倍或幾倍地提高打標(biāo)面積而不需要增加光學(xué)系統(tǒng)和激光器的功率。
文檔編號(hào)G02B5/12GK1079828SQ9210431
公開日1993年12月22日 申請(qǐng)日期1992年6月6日 優(yōu)先權(quán)日1992年6月6日
發(fā)明者庫耕, 丘軍林, 陳清明, 劉揚(yáng)滿 申請(qǐng)人:華中理工大學(xué)