專利名稱:可變形反射鏡器件及其加工方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一個(gè)可變形反射鏡器件(DMD)及其加工方法,更具體地是涉及一個(gè)DMD和它的一個(gè)能夠增加光反射效率,減少控制電路板損壞的制造方法。
一個(gè)通過(guò)靜電力轉(zhuǎn)動(dòng),用于反射光束的DMD通常應(yīng)用于高清晰度電視的屏幕。如
圖1所示,這樣的一個(gè)DMD是由許多通過(guò)絞鏈3相互連接起來(lái),圍繞柱體2轉(zhuǎn)動(dòng)的反射鏡1構(gòu)成。然而,由于這樣的DMD使用了許多柱體2,這就降低了光反射率。
一個(gè)在美國(guó)專利5,083,857中公開的加工DMD的方法將參考圖2A到2D進(jìn)行描述。
如圖2A所示,一個(gè)靜態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(SRAM)502和一個(gè)氧化保護(hù)膜501被依次形成在一個(gè)含有地址掃描電路的襯底503的表面上。然后,第一間隔層701被形成在氧化保護(hù)膜501上以便有一個(gè)預(yù)定圖案702。
此后,如圖2B所示,通過(guò)濺射在具有預(yù)定圖案702的第一間隔層701的表面上形成絞鏈401。具有絞鏈支承柱406的電極704被形成在絞鏈401的表面。
如圖2C所示,第二間隔層705被形成在電極704上以便有一個(gè)預(yù)定的圖案。然后,帶有反射鏡支承柱201的反射鏡200被形成在第二間隔層705上。最后,第一和第二間隔層701和705被清除。如圖2D所示。
這樣,反射鏡200通常就有了一個(gè)通過(guò)濺射形成的反射面。
可是,用上述工藝加工的DMD表現(xiàn)出了下述缺點(diǎn),首先,既然SRAM502、氧化保護(hù)膜501、第一間隔層701、絞鏈401、絞鏈支承柱406、反射鏡200、和反射鏡支承柱201是被依次淀積在襯底503的表面上,那么在加工絞鏈401和反射鏡200時(shí)可能出現(xiàn)的失敗將損壞SRAM502。
再者,由于反射鏡支承柱201和反射鏡200是通過(guò)濺射集成在一起而使反射鏡200有一個(gè)凸出部分,這樣就降低了光反射效率。
本發(fā)明將克服上述缺陷。本發(fā)明的目的是提供一個(gè)可變形反射鏡器件及其能增加光反射效率,減少控制電路板的損壞的加工方法。
為了達(dá)到上述目的,提供了一個(gè)可變形反射鏡器件,它包括一個(gè)帶有地址掃描電路的襯底、許多形成在襯底表面上的電極、可旋轉(zhuǎn)的形成在上述電極上的第一移動(dòng)反射鏡、在電極和第一移動(dòng)反射鏡之間的用于支承第一移動(dòng)反射鏡的第一柱體、形成在第一移動(dòng)反射鏡的表面上的第二柱體、和由第二柱體以可旋轉(zhuǎn)方式支承的第二移動(dòng)反射鏡,其中第二柱體是垂直形成在第一移動(dòng)反射鏡和第二移動(dòng)反射鏡之間。
依據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面,第一和第二移動(dòng)反射鏡是用鋁形成的。
為了達(dá)到本發(fā)明的上述目的,還提供了一個(gè)加工可變形反射鏡器件的方法,這個(gè)器件包括,一個(gè)帶有地址掃描電路的襯底、許多形成在襯底表面上的電極、可旋轉(zhuǎn)的形成在上述電極上的第一移動(dòng)反射鏡、電極和第一移動(dòng)反射鏡之間用于支承第一移動(dòng)反射鏡的第一柱體、形成在第一移動(dòng)反射鏡的表面上的第二柱體、和由第二柱體以可旋轉(zhuǎn)方式支承的第二移動(dòng)反射鏡;這個(gè)方法包括的步驟有
在一個(gè)襯底上形成第二移動(dòng)反射鏡以便有一個(gè)預(yù)定的圖案;在第二移動(dòng)反射鏡上形成第二柱體;在第二柱體上形成第一移動(dòng)反射鏡;在第一移動(dòng)反射鏡上形成第一柱體;在第一柱體上形成電極;和把第一和第二移動(dòng)反射鏡,第一和第二柱體及電極與襯底結(jié)合在一起。
本發(fā)明的上述目的和優(yōu)點(diǎn)通過(guò)參考附圖描述一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例會(huì)變得更清楚。在附圖中圖1是一種傳統(tǒng)的DMD的方案圖;圖2A到2D表示加工傳統(tǒng)的DMD的工藝步驟;圖3A到3N表示依據(jù)本發(fā)明加工DMD的工藝步驟;圖4是依據(jù)本發(fā)明的DMD的示意圖;圖4表示依據(jù)本發(fā)明的一個(gè)DMD。如圖4,一個(gè)熱氧化膜20和一個(gè)預(yù)定圖案的電極30被形成在帶有地址掃描電路(未畫出)的襯底10的表面上。第一柱體40形成在電極30上。第一移動(dòng)反射鏡50是由第一柱體40以可旋轉(zhuǎn)方式支承的。第二柱體60是形成在第一移動(dòng)反射鏡50上,和第二移動(dòng)反射鏡70是以可旋轉(zhuǎn)支承方式形成在第二柱體60上。
依據(jù)本發(fā)明的特性,第二柱體60是垂直形成在第一移動(dòng)反射鏡50和第二移動(dòng)反射鏡70之間。第二柱體60可以通過(guò)濺射形成在第二移動(dòng)反射鏡70的下表面。因此,與先有技術(shù)不同,沒有凹面部分形成在第二柱體60和第二移動(dòng)反射鏡70的邊界上。這里,第一和第二移動(dòng)反射鏡50和70是用鋁形成的。
在如上述所構(gòu)成的DMD中,當(dāng)一個(gè)預(yù)定的電位通過(guò)襯底20的地址掃描電路加到第一柱體40上時(shí),第一移動(dòng)反射鏡50就依據(jù)電位差轉(zhuǎn)動(dòng)。于是,支承在第一移動(dòng)反射鏡50上的第二柱體60和第二移動(dòng)反射鏡70也轉(zhuǎn)動(dòng)。
這里,因?yàn)闆]有在第二柱體60和第二移動(dòng)反射鏡70的邊界上產(chǎn)生凹面部分,第二移動(dòng)反射鏡70的光反射效率與先有技術(shù)相比增加了。
此后,將描述依據(jù)本發(fā)明的加工DMD的方法。
如圖3A所示,第二移動(dòng)反射鏡70以一個(gè)預(yù)定的形狀形成在硅或玻璃襯底100上。這里,第二移動(dòng)反射鏡70是通過(guò)蒸發(fā)或?yàn)R射用鋁形成的。如圖3B和3C所示,一個(gè)光刻膠層71被形成在襯底100和第二移動(dòng)反射鏡上使之形成有一個(gè)預(yù)定的圖案。如圖3D所示,第二柱體60的形成在第一光刻膠層71的圖案中。這里,第二柱體60是通過(guò)濺射從第二移動(dòng)反射鏡上延伸出來(lái)的。
如圖3E和3F所示,第二光刻膠層61被形成在第二柱體60和第一光刻膠層71上,并使之形成一個(gè)預(yù)定的圖案。如圖3G所示,第一移動(dòng)反射鏡50被形成在第二光刻膠層61的圖案中。這里,第一移動(dòng)反射鏡50是通過(guò)蒸發(fā)或?yàn)R射用鋁形成的。第二柱體60是垂直形成在第一移動(dòng)反射鏡50和第二移動(dòng)反射鏡70之間。
此后,如圖3H和3I所示,第三光刻膠層51被形成在第一移動(dòng)反射鏡50和第二光刻膠層61之上,并使之有一個(gè)預(yù)定的圖案。如圖3J所示,第一柱體40被形成在第三光刻膠層51的圖案中。
這里,第一和第二柱體40和60是用導(dǎo)電金屬形成的。
然后,如圖3K所示。第四光刻膠層41被形成在第一柱體40和第三光刻膠層51之上,并使之有一個(gè)預(yù)定的圖案。如圖3L所示,電極30被形成在第四光刻膠層41的圖案中。
如圖3M和3N所示,在上述步驟中形成的第一和第二移動(dòng)反射鏡50和70,第一和第二柱體40和60,及電極30被結(jié)合到帶有地址掃描電路并且上面已形成有電極11和熱氧化膜20的襯底10上。
最后,光刻膠層被除掉,襯底100被剝離,就得到了一個(gè)如圖4所示的完整的DMD。
上述的依據(jù)本發(fā)明的加工DMD的方法具有下述優(yōu)點(diǎn)首先,由第一和第二移動(dòng)反射鏡50和70、第一和第二柱體40和60、和電極30的制造中的可能的失敗引起的襯底10的損壞可以防止,因?yàn)橐r底10的加工獨(dú)立于第一和第二移動(dòng)反射鏡50和70、第一和第二柱體40和60、及電極30。
第二,因?yàn)闆]有凹面部分形成在第二柱體60和第二移動(dòng)反射鏡70的邊界上,與傳統(tǒng)工藝相比,光反射效率增加了。
權(quán)利要求
1.一個(gè)可變形反射鏡器件,包括一個(gè)帶有地址掃描電路的襯底、多個(gè)形成在所說(shuō)的襯底表面上的電極、可旋轉(zhuǎn)的形成在所說(shuō)的電極上方的第一移動(dòng)反射鏡、在所說(shuō)的電極和第一移動(dòng)反射鏡之間用于支承第一移動(dòng)反射鏡的第一柱體、形成在第一移動(dòng)反射鏡的表面上的第二柱體、和由第二柱體以可旋轉(zhuǎn)方式支承的第二移動(dòng)反射鏡,其特征在于,所說(shuō)的第二柱體是垂直形成在第一移動(dòng)反射鏡和第二移動(dòng)反射鏡之間。
2.權(quán)利要求1所述的可變形反射鏡器件,其特征在于所說(shuō)的第一和第二移動(dòng)反射鏡是用鋁形成的。
3.權(quán)利要求1所述的可變形反射鏡器件,其特征在于所說(shuō)的第一和第二柱體是由導(dǎo)電金屬制成的。
4.一個(gè)加工由帶有地址掃描電路的襯底、多個(gè)形成在所說(shuō)的襯底的表面上的電極、可旋轉(zhuǎn)的形成在所說(shuō)的電極上方的第一移動(dòng)反射鏡、在所說(shuō)的電極與第一移動(dòng)反射鏡之間用于支承所說(shuō)的第一移動(dòng)反射鏡的第一柱體、形成在第一移動(dòng)反射鏡的表面上的第二柱體、和由第二柱體以可旋轉(zhuǎn)方式支承的第二移動(dòng)反射鏡構(gòu)成的可變形反射鏡器件的方法包括的步驟有在一個(gè)襯底上形成所說(shuō)的第二移動(dòng)反射鏡,使它有一個(gè)預(yù)定的圖案;在所說(shuō)的第二移動(dòng)反射鏡上形成所說(shuō)的第二柱體;在第二柱體上形成所說(shuō)的第一移動(dòng)反射鏡;在第一移動(dòng)反射鏡上形成所說(shuō)的第一柱體;在第一柱體上形成所說(shuō)的電極;和把所說(shuō)的第一和第二移動(dòng)反射鏡、第一和第二柱體、及電極的組合與所說(shuō)的襯底結(jié)合在一起。
5.權(quán)利要求4所述的加工可變形反射鏡器件的方法,其特征在于所說(shuō)的第一和第二移動(dòng)反射鏡是用濺射鋁形成的。
6.權(quán)利要求4所述的加工可變形反射鏡器件的方法,其特征在于所說(shuō)的第一和第二移動(dòng)反射鏡是用蒸鋁形成的。
7.權(quán)利要求4所述的加工可變形反射鏡器件的方法,其特征在于所說(shuō)的第一和第二柱體是由導(dǎo)電金屬制成的。
8.權(quán)利要求4所述的加工可變形反射鏡器件的方法,其特征在于所說(shuō)的第二柱體是用濺射法從第二移動(dòng)反射鏡垂直延伸形成的。
全文摘要
提供了一種可變形反射鏡器件及加工方法,它減少了帶有地址掃描電路的襯底的損壞并增加了移動(dòng)反射鏡的光反射效率。在加工方法中,第一和第二移動(dòng)反射鏡,及第一和第二柱體是加工在一個(gè)襯底上。地址掃描電路(SRAM)是單獨(dú)加工在另一個(gè)襯底上。最后,兩個(gè)襯底結(jié)合在一起。第二柱體是在第二移動(dòng)反射鏡被形成后用濺射法垂直形成的。
文檔編號(hào)G02B26/08GK1160861SQ96106269
公開日1997年10月1日 申請(qǐng)日期1996年4月26日 優(yōu)先權(quán)日1995年7月27日
發(fā)明者崔范圭 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社