專利名稱：顯示裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及消耗電力小、顯示亮度大的顯示裝置，特別涉及通過按照被輸入的圖像信號(hào)的屬性控制致動(dòng)器部分對(duì)光波導(dǎo)板的接觸或分開方向的變位動(dòng)作，控制光波導(dǎo)板的規(guī)定部位的漏光，使得在光波導(dǎo)板上顯示根據(jù)圖像信號(hào)的影像的顯示裝置的改進(jìn)及其制造方法。
以往，作為顯示裝置，已知有陰極射線管(CRT)和液晶顯示裝置等的顯示裝置。
作為陰極射線管，已知有一般的電視接收機(jī)以及計(jì)算機(jī)用的監(jiān)視裝置等，但存在雖然畫面明亮但消耗電力大，另外與畫面的大小相比顯示裝置整體的深度大的問題。
另一方面，液晶顯示裝置，雖然具有可以使裝置整體小型化，消耗電力少的優(yōu)點(diǎn)，但存在畫面的亮度差，畫面視野角度窄的問題。
進(jìn)而在這些陰極射線管和液晶顯示裝置中，當(dāng)作成彩色畫面的情況下，象素?cái)?shù)必須作成黑白畫面的3倍，因此，還存在裝置本身變得復(fù)雜，消耗電力增加，不可避免地增加成本的問題。
因此，本申請(qǐng)人，為了解決上述問題，提出了新的顯示裝置(例如，參照特開平7-287176號(hào)公報(bào))。該顯示裝置，如圖63所示，具有被排列在每個(gè)象素上的致動(dòng)器部分400，各致動(dòng)器部分400，其構(gòu)成具有致動(dòng)器部分主體部分408，其具有壓電/電致伸縮層402和被分別形成在該壓電/電致伸縮層402的上面以及下面上的上部電極404和下部電極406；致動(dòng)器基板414，其由被配置在該致動(dòng)器部分主體408的下部上的振動(dòng)部分410和固定部分412組成。致動(dòng)器部分主體408的下部電極406和振動(dòng)部分410接觸，由該振動(dòng)部分410支撐上述致動(dòng)器部分主體408。
上述致動(dòng)器基板414，由振動(dòng)部分410以及固定部分412為一體由陶瓷構(gòu)成，進(jìn)而，在致動(dòng)器基板414上，形成凹部分416使得上述振動(dòng)部分410壁薄。
另外，在致動(dòng)器部分主體408的上部電極404上，連接有變位傳遞部分420，用于將和光波導(dǎo)板418的接觸面積設(shè)置成規(guī)定的大小。在圖63的例子中，上述變位傳遞部分420，在致動(dòng)器部分400處于靜止的斷開選擇狀態(tài)或者非選擇狀態(tài)中，被配置成接近光波導(dǎo)板418，在接通選擇狀態(tài)中被配置成以光波長(zhǎng)以下的距離接觸上述光波導(dǎo)板418。
而后，從上述光波導(dǎo)板418的例如端部導(dǎo)入光422。這種情況下，通過調(diào)節(jié)光波導(dǎo)板418的折射率的大小，全部光422在光波導(dǎo)板418前面以及背面不透過而在內(nèi)部全反射。在這種狀態(tài)下，通過上述上部電極404以及下部電極406在致動(dòng)器部分400上有選擇地附加按照?qǐng)D像信號(hào)的屬性的電壓信號(hào)，由于使該致動(dòng)器部分400進(jìn)行接通選擇、斷開選擇以及非選擇的各種變位動(dòng)作，從而控制上述變位傳遞部分420向光波導(dǎo)板418的接觸或分開，因此，可以控制上述光波導(dǎo)板418的規(guī)定部分的散射光(漏光)424，并完成在光波導(dǎo)板418上根據(jù)圖像信號(hào)的影像顯示。
而后，當(dāng)在該顯示裝置中進(jìn)行彩色顯示的情況下，例如切換三原色的光源，使光波導(dǎo)板和變位傳遞板的接觸時(shí)間與彩色顯象周期同步，從而控制三原色的發(fā)光時(shí)間，或者，使三原色的發(fā)光時(shí)間與彩色顯象周期同步，從而控制光波導(dǎo)板和變位傳遞板的接觸時(shí)間。
因此，在涉及此例示的顯示裝置中，即使適用于彩色顯示方式的情況下，也具和黑白圖面的情況相比不需要增加象素?cái)?shù)的優(yōu)點(diǎn)。
本發(fā)明的目的在于，提供改進(jìn)涉及上述示例的顯示裝置的構(gòu)成以實(shí)現(xiàn)以下的效果的顯示裝置及其制造方法。
(1)可以容易形成光波導(dǎo)板和象素結(jié)構(gòu)的間隙(間隔)，并且可以均勻地形成全部象素。
(2)可以容易控制上述間隔的大小。
(3)可以防止象素結(jié)構(gòu)粘在光波導(dǎo)板上，可以有效地實(shí)現(xiàn)高反應(yīng)速度。
(4)可以平滑地形成象素結(jié)構(gòu)的接觸面(和光波導(dǎo)板的接觸面)，使得在規(guī)定的象素結(jié)構(gòu)與光波導(dǎo)板接觸時(shí)，高效率地將光導(dǎo)入該象素結(jié)構(gòu)。
(5)可以確保象素的反應(yīng)速度。
(6)可以得到全部象素的均勻的亮度。
(7)可以提高象素的亮度。
涉及本發(fā)明的顯示裝置，通過設(shè)置以下部分構(gòu)成導(dǎo)入光的光波導(dǎo)板；被設(shè)置在該光波導(dǎo)板的一個(gè)面的對(duì)面，并且排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板；被形成在上述致動(dòng)器基板的各致動(dòng)器部分上的象素結(jié)構(gòu)；在上述光波導(dǎo)板和上述致動(dòng)器基板之間，被形成在上述象素結(jié)構(gòu)以外的部分上的擋條(權(quán)利要求1所述的發(fā)明)。
由此，從光波導(dǎo)板的例如端部導(dǎo)入的光，通過調(diào)節(jié)光波導(dǎo)板的折射率的大小，使全部的光不在光波導(dǎo)板的前面以及背面透過而在內(nèi)部全反射。在這種狀態(tài)中，如果由于致動(dòng)器部分的變位動(dòng)作，象素結(jié)構(gòu)接近光波導(dǎo)板一側(cè)，則此前被全反射的光，在象素結(jié)構(gòu)中反射，變?yōu)樯⑸涔?。該散射光，其一部分再次在光波?dǎo)板中反射，而散射光的大部分并不在光波導(dǎo)板中反射，而是透過光波導(dǎo)板的前面。
在上述例子中展示了由于致動(dòng)器部分的變位動(dòng)作，變位為象素結(jié)構(gòu)接近光波導(dǎo)板的方向的情況，但除此之外，即使在由于致動(dòng)器部分的變位動(dòng)作，變位為象素結(jié)構(gòu)離開光波導(dǎo)板的方向的情況下也可以同樣適用。
這樣，通過在光波導(dǎo)板的背面的象素結(jié)構(gòu)向光波導(dǎo)板的接近、離開，就可以控制在光波導(dǎo)板的前面發(fā)光(漏光)的有無(wú)。這種情況下，如果考慮將相對(duì)光波導(dǎo)板使象素結(jié)構(gòu)在接近或者離開方向上的位置變動(dòng)的1個(gè)單位例如作為1象素，則將該象素排列成多個(gè)矩陣形，通過根據(jù)被輸入的象素信號(hào)的屬性控制在各象素中的變位動(dòng)作，就可以和陰極射線管和液晶顯示裝置同樣地在光波導(dǎo)板的前面顯示與圖像信號(hào)對(duì)應(yīng)的影像(文字和圖形等)。
當(dāng)適用于彩色顯示方式的情況下，通過被配置在象素結(jié)構(gòu)上的著色層(例如三原色濾光器和互補(bǔ)色濾波器，或者有色散射體等)的配色等的關(guān)系，就可以例如用相互相鄰的3個(gè)象素結(jié)構(gòu)(RGB排列)和相互相鄰的4個(gè)象素結(jié)構(gòu)(方塊排列等)構(gòu)成1個(gè)象素。
而后，涉及本發(fā)明的顯示裝置，在上述光波導(dǎo)板和上述致動(dòng)器基板之間，在上述象素結(jié)構(gòu)以外的部分上形成擋條。
當(dāng)不設(shè)置擋條，而只在畫面的周邊固定了光波導(dǎo)板和致動(dòng)器基板的情況下，由于致動(dòng)器部分的動(dòng)作在致動(dòng)器基板上產(chǎn)生振動(dòng)，這時(shí)變位基準(zhǔn)變化，產(chǎn)生象素的開/關(guān)動(dòng)作和致動(dòng)器部分的變位不能對(duì)應(yīng)的現(xiàn)象。
但是，在本發(fā)明中，由于設(shè)置了上述那樣的擋條，所以即使假設(shè)某個(gè)致動(dòng)器部分進(jìn)行變位動(dòng)作，其振動(dòng)也會(huì)被擋條吸收，不會(huì)產(chǎn)生變位基準(zhǔn)的變化等的不良現(xiàn)象。
另外，由于被形成在象素結(jié)構(gòu)的周圍的多個(gè)擋條對(duì)光波導(dǎo)板的支撐，使得容易使象素結(jié)構(gòu)和光波導(dǎo)板之間的間隔在全部象素中均勻。而且，通過任意變更擋條的高度，就可以很容易控制上述間隔的大小。其結(jié)果，可以得到全部象素均勻的亮度。
而后，在上述構(gòu)成中，可以使上述致動(dòng)器部分具有以下構(gòu)成(權(quán)利要求2所述的發(fā)明)形狀保持層；具有被形成在該保持層上的至少一對(duì)電極的動(dòng)作部分；支撐該動(dòng)作部分的振動(dòng)部分；可以振動(dòng)地支撐該振動(dòng)部分的固定部分。
在此，所謂具有形狀保持層的致動(dòng)器部分，是指在同樣的電壓下，至少具有2個(gè)至2個(gè)以上的變位狀態(tài)的致動(dòng)器部分。另外，具有形狀保持層的致動(dòng)器部分的特征如下。
(1)因?yàn)閺拈_狀態(tài)到關(guān)狀態(tài)的閾值特性與形狀保持層不存在的情況相比陡峭，所以可以使電壓振幅窄，從而可以減輕電路的負(fù)載。
(2)開狀態(tài)以及關(guān)狀態(tài)的差變得明確，致使對(duì)比度提高。
(3)閾值的離散變小，在電壓的設(shè)定范圍中產(chǎn)生余裕。進(jìn)而，作為致動(dòng)器部分，從控制的容易性看，希望是例如向上變位的致動(dòng)器部分(在無(wú)電壓負(fù)載時(shí)是離開狀態(tài)，在施加電壓時(shí)是接觸狀態(tài))。特別希望是在表面上具有一對(duì)電極構(gòu)造。
(4)作為上述形狀保持層，例如最好使用壓電/電致伸縮層和抗鐵電體。
另外，在上述構(gòu)成中，可以將上述擋條固定在上述光波導(dǎo)板上(權(quán)利要求3所述的發(fā)明)，也可以在上述光波導(dǎo)板和擋條之間設(shè)置間隔形成層(權(quán)利要求4所述的發(fā)明)。在設(shè)置了該間隔形成層的情況下，更容易使象素結(jié)構(gòu)和光波導(dǎo)板之間的間隔在全部象素中均勻，并且可以很容易控制上述間隔的大小。
作為間隔形成層的構(gòu)成材料，例如可以列舉金屬膜，包含有碳黑、黑顏料、黑染料的膜，光散射性低的透明的膜等。由此，間隔形成層可以一并具有作為黑底的功能。如果在其中也使用Cr、Al、Ni、Ag等的金屬膜作為間隔形成層，則因?yàn)楣獾奈招?，所以可以控制光波?dǎo)板傳輸?shù)墓獾乃p、散射，特別理想。
另外，如果使用包含碳黑、黑顏料、黑染料的膜作為間隔形成層，則光吸收性好，可以提高對(duì)比度。另外，如果使用光散射性低的透明膜作為間隔形成層，則通過組合光吸收性良好的粘接劑(或者通過添加黑染料和黑顏料提高了光吸收性的粘接劑)，就可以抑制光散射，提高對(duì)比度。
另外，作為間隔形成層的尺寸，例如，如果取致動(dòng)器部分向光波導(dǎo)板一側(cè)凸出的方向的情況為例，則間隔量的小的極限(最小值)，被設(shè)定為在象素的關(guān)時(shí)可以無(wú)視因瞬逝效應(yīng)引起的光泄漏的程度，間隔量的大的極限(最大值)，被設(shè)定在通過致動(dòng)器部分的變位，可以使象素結(jié)構(gòu)接觸光波導(dǎo)板的范圍內(nèi)。因而，可以調(diào)整間隔形成層的厚度，使得上述間隔量被形成在上述范圍內(nèi)。但是，象素結(jié)構(gòu)和擋條的高度的差，最好是可以按照顯示裝置的各種實(shí)施例控制，與之對(duì)應(yīng)地使間隔形成層的厚度最佳化。
而后，在上述構(gòu)成中，也可以將上述擋條形成在各象素結(jié)構(gòu)的四邊(權(quán)利要求5所述的發(fā)明)。在此，所謂象素結(jié)構(gòu)的四邊，如果象素結(jié)構(gòu)例如是平面大致矩形或者橢圓，則可以列舉與各角部對(duì)應(yīng)的位置等，指1個(gè)擋條被相鄰的象素所剪切成的形態(tài)。這種情況下，因?yàn)槌蔀樵谙笏亟Y(jié)構(gòu)單位上形成4個(gè)擋條的形狀，所以可以有效地吸收因某個(gè)致動(dòng)器部分的變位動(dòng)作引起的振動(dòng)，幾乎不影響其他的致動(dòng)器部分的變位動(dòng)作。其結(jié)果，在全部象素中的開動(dòng)作/關(guān)動(dòng)作和變位的對(duì)應(yīng)關(guān)系良好，可以忠實(shí)地顯示與被輸入的圖形相互對(duì)應(yīng)的影像。另外，致動(dòng)器基板和光波導(dǎo)板的固定也變得牢固。
也可以使上述擋條的構(gòu)成具有包圍至少1個(gè)象素結(jié)構(gòu)的窗部分(權(quán)利要求6所述的發(fā)明)。作為有代表性的構(gòu)成例，例如，將擋條自身形成板形，進(jìn)而在與象素結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)的位置上形成窗口(開口)。由此，成為用擋條包圍象素結(jié)構(gòu)的整個(gè)側(cè)面的形狀，并且致動(dòng)器基板和光波導(dǎo)板的固定更加牢固。而且，因某個(gè)致動(dòng)器部分的變位動(dòng)作引起的振動(dòng)不會(huì)影響其他的致動(dòng)器部分的變位動(dòng)作。
另外，作為上述的構(gòu)成，也可以具有沿著上述象素結(jié)構(gòu)的排列方向延伸，包圍上述象素結(jié)構(gòu)的排列的帶狀開口(權(quán)利要求7所述的發(fā)明)。另外，也可以形成沿著上述象素結(jié)構(gòu)的排列方向延伸的線形(權(quán)利要求8所述的發(fā)明)。
另外，也可以使上述擋條和上述致動(dòng)器基板形成一體(權(quán)利要求9所述的發(fā)明)。這種情況下，可以提高形成有擋條的部分的機(jī)械強(qiáng)度，致動(dòng)器基板的剛性提高。其結(jié)果，在例如搬運(yùn)致動(dòng)器基板時(shí)和保管時(shí)，可以用上述擋條保護(hù)被形成在該致動(dòng)器基板上的致動(dòng)器部分。另外，與用另外形成擋條的情況相比，可以節(jié)省使擋條硬化的工序，可以實(shí)現(xiàn)削減工時(shí)。
另外，作為上述擋條，也可以用沿著上述象素結(jié)構(gòu)的排列方向延伸的金屬線部件構(gòu)成(權(quán)利要求10所述的發(fā)明)。
另外，在上述構(gòu)成中，也可以在上述象素結(jié)構(gòu)的表面形成凹部(權(quán)利要求11所述的發(fā)明)。這種情況下，通過按照與象素結(jié)構(gòu)的光波導(dǎo)板的相對(duì)的面積規(guī)定凹部的形成個(gè)數(shù)或者大小，就可以使在各象素結(jié)構(gòu)中相對(duì)光波導(dǎo)板的接觸面積幾乎相同，可以得到全部象素均勻的亮度。另外，由于凹部的存在，緩和象素結(jié)構(gòu)和光波導(dǎo)板的密合性，可以平滑地進(jìn)行象素結(jié)構(gòu)從光波導(dǎo)板的背離。其結(jié)果，可以防止象素結(jié)構(gòu)向光波導(dǎo)板的粘貼?？梢詫?shí)現(xiàn)高反應(yīng)速度。
另外，在上述構(gòu)成中，也可以在上述象素結(jié)構(gòu)的表面上形成臺(tái)階高差(權(quán)利要求12所述的發(fā)明)。這種情況下，通過在象素結(jié)構(gòu)上設(shè)置臺(tái)階高差，就可以在全部象素中使象素結(jié)構(gòu)與光波導(dǎo)板接觸的部分的面積為一定，并可以得到全部象素的均勻的亮度。另外，因?yàn)榭梢酝ㄟ^臺(tái)階高差的存在緩和象素結(jié)構(gòu)和光波導(dǎo)板的密合性，所以可以防止象素結(jié)構(gòu)向光波導(dǎo)板的粘附，可以有效地實(shí)現(xiàn)高反應(yīng)速度。
另外，在上述構(gòu)成中，也可以將上述象素結(jié)構(gòu)的表面設(shè)置成凹形狀(權(quán)利要求13所述的發(fā)明)。在致動(dòng)器部分位置變動(dòng)時(shí)，具有象素結(jié)構(gòu)的中央部分位置變化量最大的傾向。因此，通過將象素結(jié)構(gòu)的表面設(shè)置成凹形狀使該象素結(jié)構(gòu)的中央部分凹陷，就可以在致動(dòng)器部分變位象素結(jié)構(gòu)接近光波導(dǎo)板時(shí)，象素結(jié)構(gòu)的表面近似平坦，可以增大象素結(jié)構(gòu)相對(duì)光波導(dǎo)板的接觸面積。
如果凹形狀的彎曲的深度增大，則在象素結(jié)構(gòu)接觸光波導(dǎo)板時(shí)，成為象素結(jié)構(gòu)的中央部分不接觸光波導(dǎo)板的狀態(tài)，成為好象是在象素結(jié)構(gòu)的表面形成了凹部分的狀態(tài)。因此，可以緩和象素結(jié)構(gòu)和光波導(dǎo)板的密合性，可以使象素結(jié)構(gòu)平滑地離開光波導(dǎo)板。其結(jié)果，可以防止象素結(jié)構(gòu)粘附到光波導(dǎo)板上，可以有效地實(shí)現(xiàn)高反應(yīng)速度。
進(jìn)而，也可以分別單獨(dú)實(shí)現(xiàn)在上述象素結(jié)構(gòu)的表面形成凹部的構(gòu)成，和在上述象素結(jié)構(gòu)的表面形成臺(tái)階高差的構(gòu)成以及將上述象素結(jié)構(gòu)的表面設(shè)置為凹形狀的構(gòu)成，也可以進(jìn)行任意組合。通過組合，就可以得到各個(gè)構(gòu)成的合成效果。
以下，涉及本發(fā)明的顯示裝置的制造方法，以具有以下工序?yàn)樘卣?權(quán)利要求14所述的發(fā)明)擋條形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板中，在上述致動(dòng)器部分以外的位置上形成多個(gè)擋條；象素形成工序，在上述致動(dòng)器基板的各致動(dòng)器部分上形成象素結(jié)構(gòu)；加壓工序，至少在上述象素結(jié)構(gòu)未硬化的狀態(tài)下加壓粘貼光波導(dǎo)板之后，至少使上述象素結(jié)構(gòu)硬化。
在此，所謂象素結(jié)構(gòu)未硬化的狀態(tài)，包含在象素結(jié)構(gòu)由多層疊層膜構(gòu)成(多層構(gòu)造)的情況中，全部的疊層膜未硬化的狀態(tài)和一部分的膜未硬化的狀態(tài)。
這種情況下，可以得到相對(duì)致動(dòng)器基板的象素結(jié)構(gòu)和擋條的精密對(duì)位和強(qiáng)力的粘接力。而且，因?yàn)樽詈笳迟N光波導(dǎo)板，所以可以保持光波導(dǎo)板的高清潔度。
另外，涉及本發(fā)明的顯示裝置的制造方法，以具有以下工序?yàn)樘卣?權(quán)利要求15所述的發(fā)明)擋條形成工序，在光波導(dǎo)板中，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置以外的位置上形成多個(gè)擋條；象素形成工序，在光波導(dǎo)板中，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置上形成象素結(jié)構(gòu)；加壓工序，將排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板粘貼在上述擋條以及象素結(jié)構(gòu)上，在使上述光波導(dǎo)板和致動(dòng)器基板在相互接近的方向上加壓。
該方法，是在光波導(dǎo)板上形成象素結(jié)構(gòu)和擋條，并粘貼致動(dòng)器基板的方法。因?yàn)橹苯釉诠獠▽?dǎo)板上形成象素結(jié)構(gòu)，所以具有容易規(guī)定象素的面積(接觸到光波導(dǎo)板的接觸面積)的優(yōu)點(diǎn)，容易得到整個(gè)象素的均勻的亮度。
涉及本發(fā)明的顯示裝置的制造方法，以具有以下工序?yàn)樘卣?權(quán)利要求16所述的發(fā)明)擋條形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板中，在上述致動(dòng)器部分以外的位置上形成多個(gè)擋條；象素形成工序，在光波導(dǎo)板中，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置上形成象素結(jié)構(gòu)；加壓工序，粘合上述致動(dòng)器基板形成有上述擋條的面和上述光波導(dǎo)板形成有的上述象素結(jié)構(gòu)的面，并在使上述光波導(dǎo)板和致動(dòng)器基板在相互接近的方向上加壓。
該方法，是在光波導(dǎo)板上形成象素結(jié)構(gòu)，在致動(dòng)器基板上形成擋條，其后，粘合光波導(dǎo)板和致動(dòng)器基板的方法。
這種情況下，因?yàn)榭梢苑謩e用獨(dú)立的工序進(jìn)行象素結(jié)構(gòu)的形成和擋條的形成，所以，對(duì)于象素結(jié)構(gòu)和擋條來說，它們的材料選擇的范圍寬，可以降低制造成本和工時(shí)。另外，因?yàn)樵谄教苟雀叩墓獠▽?dǎo)板上形成象素結(jié)構(gòu)，所以可以使象素結(jié)構(gòu)的大小一致。
涉及本發(fā)明的顯示裝置的制造方法，以具有以下工序?yàn)樘卣?權(quán)利要求17所述的發(fā)明)擋條形成工序，在光波導(dǎo)板中，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置以外的位置上形成多個(gè)擋條；象素形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板中，在各致動(dòng)器部分上形成象素結(jié)構(gòu)；加壓工序，粘合上述致動(dòng)器基板的形成有上述象素結(jié)構(gòu)的面和上述光波導(dǎo)板的形成有上述擋條的面，并在使上述光波導(dǎo)板和致動(dòng)器基板在相互接近的方向上加壓。
該方法，是在光波導(dǎo)板上形成擋條，在致動(dòng)器基板上形成象素結(jié)構(gòu)，其后，粘合光波導(dǎo)板和致動(dòng)器基板的方法。
這種情況下，因?yàn)榭梢苑謩e用獨(dú)立的工序進(jìn)行象素結(jié)構(gòu)的形成和擋條的形成，所以對(duì)于象素結(jié)構(gòu)和擋條來說，它們的材料選擇范圍寬，可以降低制造成本和工時(shí)。另外，因?yàn)樵谄教苟雀叩墓獠▽?dǎo)板上形成擋條，所以可以使擋條的高度嚴(yán)格一致。而且，在象素結(jié)構(gòu)的形成中，因?yàn)椴淮嬖谡系K物(擋條等)，所以可以高精度地形成象素結(jié)構(gòu)。
涉及本發(fā)明的顯示裝置的制造方法，以具有以下工序?yàn)樘卣?權(quán)利要求18所述的發(fā)明)象素形成工序，在排列與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分，并且在上述致動(dòng)器部分以外的位置上具有與多個(gè)擋條一體的致動(dòng)器基板的各致動(dòng)器部分上形成象素結(jié)構(gòu)；加壓工序，至少在上述象素結(jié)構(gòu)未硬化的狀態(tài)下加壓粘合光波導(dǎo)板，之后，至少使上述象素結(jié)構(gòu)硬化。
該方法，是在預(yù)先一體地設(shè)置擋條的致動(dòng)器基板上形成象素結(jié)構(gòu)，其后，加壓粘合光波導(dǎo)板的方法。
這種情況下，作為致動(dòng)器基板，因?yàn)槭褂妙A(yù)先一體地具有擋條的致動(dòng)器基板，所以擋條部分的機(jī)械強(qiáng)度高，隨之，致動(dòng)器基板的剛性增高。其結(jié)果，例如在搬運(yùn)致動(dòng)器基板時(shí)和保管時(shí)，可以用上述擋條保護(hù)被形成在該致動(dòng)器基板上的致動(dòng)器部分。另外，與單獨(dú)形成擋條相比，可以節(jié)省使擋條硬化的工序，可以實(shí)現(xiàn)工時(shí)的削減。
在這些制造方法中，因?yàn)橹辽僭谙笏亟Y(jié)構(gòu)未硬化的狀態(tài)下加壓粘貼光波導(dǎo)板，所以在加壓時(shí)，變?yōu)楣獠▽?dǎo)板將擋條和象素結(jié)構(gòu)壓在致動(dòng)器基板一側(cè)的狀態(tài)，至少在使上述象素結(jié)構(gòu)硬化后擋條的上面和象素結(jié)構(gòu)的上面大致為同一面。
這種情況下，作為象素結(jié)構(gòu)的構(gòu)成材料，通過使用在象素結(jié)構(gòu)的硬化時(shí)該象素結(jié)構(gòu)收縮的材料，就可以在擋條和象素結(jié)構(gòu)的硬化時(shí)在象素結(jié)構(gòu)和光波導(dǎo)板之間形成間隙。
另外，作為用于形成間隙的其他方法，例如，可以采用在加壓粘貼光波導(dǎo)板時(shí)，加熱象素結(jié)構(gòu)使其膨脹，或者通過使致動(dòng)器部分位置變化使象素結(jié)構(gòu)與光波導(dǎo)板接觸等的方法，和組合它們的方法。在其后的擋條和象素結(jié)構(gòu)的硬化時(shí)，通過象素結(jié)構(gòu)收縮或者致動(dòng)器部分的位置復(fù)位(復(fù)原)在象素結(jié)構(gòu)和光波導(dǎo)板之間形成一定的間隔。
其他，當(dāng)假設(shè)了在自然狀態(tài)下象素結(jié)構(gòu)與光波導(dǎo)板接觸的形態(tài)下，作為致動(dòng)器部分的變位動(dòng)作，可以適用于象素結(jié)構(gòu)向離開光波導(dǎo)板的方向的變位情況。
在這些制造方法中，當(dāng)粘貼上述光波導(dǎo)板時(shí)，最好使擋條硬化，或者一部分硬化。這種情況下，擋條起到隔板的作用，確定了致動(dòng)器基板和光波導(dǎo)板之間的距離。
涉及本發(fā)明的顯示裝置的制造方法，以具有以下工序?yàn)樘卣?權(quán)利要求19所述的發(fā)明)擋條形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板中，在上述致動(dòng)器部分以外的位置上形成多個(gè)擋條；象素形成工序，在上述致動(dòng)器基板的各致動(dòng)器部分上形成象素結(jié)構(gòu)；第1粘貼工序，至少在上述象素結(jié)構(gòu)未硬化的狀態(tài)下粘貼板材；加壓工序，在使上述致動(dòng)器基板和板材在相互接近的方向上加壓之后，至少使上述象素結(jié)構(gòu)硬化；第2粘貼工序，在去掉上述板材之后，至少在上述擋條上粘貼光波導(dǎo)板。
該方法，是暫時(shí)在形成有象素結(jié)構(gòu)和擋條的致動(dòng)器基板上粘貼板材，在使象素結(jié)構(gòu)和擋條的各自上面大致為同一面之后，去掉板材，粘貼光波導(dǎo)板的方法。
這種情況下，可以得到相對(duì)致動(dòng)器基板的象素結(jié)構(gòu)與擋條的精密的對(duì)位和強(qiáng)力的粘接力。
在加壓粘貼致動(dòng)器基板時(shí)，形成在致動(dòng)器基板上的擋條成為隔板由此規(guī)定致動(dòng)器基板和板材之間的間隔。在粘貼光波導(dǎo)板時(shí)，擋條已硬化?；蛘咴谝徊糠忠延不那闆r下，上述規(guī)定的距離，就相當(dāng)于致動(dòng)器基板和光波導(dǎo)板之間的距離。
另外，當(dāng)作為板材使用平滑板材的情況下，在象素結(jié)構(gòu)的表面形成和板材相同的平滑面。該優(yōu)異的平滑性起到提高象素發(fā)光時(shí)的亮度的作用。最好在板材上涂抹脫膜劑。
在上述方法中，在致動(dòng)器基板上形成擋條后，最好只對(duì)擋條進(jìn)行成型(擋條形成→硬化成型)。在粘貼板材時(shí)，擋條補(bǔ)償不挨著板材的部分，可以用吸收致動(dòng)器基板的彎曲的形式確定擋條的高度。進(jìn)而，在象素結(jié)構(gòu)形成時(shí)，也可以在擋條之上同時(shí)形成象素結(jié)構(gòu)并使其露出。這種情況下，也可以用吸收致動(dòng)器基板的彎曲的形式確定擋條的高度。
涉及本發(fā)明的顯示裝置的制造方法，以具有以下工序?yàn)樘卣?權(quán)利要求20所述的發(fā)明)擋條形成工序，在板材中，在對(duì)應(yīng)多個(gè)象素的位置以外的位置上形成多個(gè)擋條；象素形成工序，在板材中，在對(duì)應(yīng)多個(gè)象素的位置上形成象素結(jié)構(gòu)；第1粘貼工序，將排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板粘貼在上述擋條以及象素結(jié)構(gòu)上；加壓工序，在使上述板材和致動(dòng)器基板在相互接近的方向上加壓；第2粘貼工序，在除去上述板材并將上述擋條以及上述象素結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印在上述致動(dòng)器基板上后，至少在上述擋條上粘貼光波導(dǎo)板。
該方法，是在板材上形成象素結(jié)構(gòu)和擋條，分別將它們硬化后，或者在不使它們硬化的狀態(tài)下，粘貼致動(dòng)器基板，其后，除去板材，粘貼光波導(dǎo)板的方法。
這種情況下，在板材上形成擋條以及象素結(jié)構(gòu)之前，最好在板材上涂抹例如脫膜劑。可以使象素結(jié)構(gòu)和擋條順利地轉(zhuǎn)印在致動(dòng)器基板上。
而后，在本發(fā)明中，在形成有擋條以及象素結(jié)構(gòu)的板材上加壓粘貼了致動(dòng)器基板時(shí)，由于形成在板材上的擋條成為隔板由此確定致動(dòng)器基板和板材之間的距離。如果在板材上形成了擋條時(shí)使擋條硬化，或者使一部分硬化，則由此確定的距離就相當(dāng)于致動(dòng)器基板和光波導(dǎo)板之間的距離。
涉及本發(fā)明的顯示裝置的制造方法，以具有以下工序?yàn)樘卣?權(quán)利要求21所述的發(fā)明)擋條形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板中，在上述致動(dòng)器部分以外的位置上形成多個(gè)擋條；象素形成工序，在板材中，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置上形成象素結(jié)構(gòu)；第1粘貼工序，粘合上述致動(dòng)器基板的形成有上述擋條的面和上述板材的形成有上述象素結(jié)構(gòu)的面；加壓工序，在使上述板材和致動(dòng)器基板在相互接近的方向上加壓；第2粘貼工序，在除去上述板材并將上述象素結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印在上述致動(dòng)器基板上之后，至少在上述擋條上粘貼光波導(dǎo)板。
該方法，是在致動(dòng)器基板上形成擋條，在板材上形成象素結(jié)構(gòu)，將這些致動(dòng)器基板和板材粘合后，除去板材，粘貼光波導(dǎo)板的方法。
這種情況下，因?yàn)橐部梢杂酶髯元?dú)立的工序形成象素結(jié)構(gòu)和擋條，所以對(duì)于象素結(jié)構(gòu)和擋條來說，它們的材料選擇的范圍寬，可以降低制造成本和工時(shí)數(shù)。另外，由于在平坦度高的板材上形成象素結(jié)構(gòu)，所以可以使象素結(jié)構(gòu)的大小一致。
本發(fā)明的顯示裝置的制造方法，以具有以下工序?yàn)樘卣?權(quán)利要求22所述的發(fā)明)象素形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板中，在擋條致動(dòng)器部分上形成象素結(jié)構(gòu)；擋條形成工序，在板材中，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置以外的位置上形成多個(gè)擋條；第1粘貼工序，粘合上述致動(dòng)器基板的形成有上述象素結(jié)構(gòu)的面和上述板材的形成有上述擋條的面；加壓工序，在使上述板材和致動(dòng)器基板在相互接近的方向上加壓；第2粘貼工序，在除去上述板材將上述擋條轉(zhuǎn)印到上述致動(dòng)器基板上后，至少在上述擋條上粘貼光波導(dǎo)板。
該方法，是在致動(dòng)器基板上形成象素結(jié)構(gòu)，在板材上形成擋條，在粘合致動(dòng)器基板和板材之后，除去板材，粘貼光波導(dǎo)板的方法。
這種情況下，由于可以分別用獨(dú)立的工序形成象素結(jié)構(gòu)和擋條，所以可以使擋條的高度嚴(yán)格的一致。而且，在象素結(jié)構(gòu)的形成中，因?yàn)椴淮嬖谡系K物(擋條等)，所以可以高精度地形成象素結(jié)構(gòu)。
涉及本發(fā)明的顯示裝置的制造方法，以具有以下工序?yàn)樘卣?權(quán)利要求23所述的發(fā)明)象素形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分，并且在上述致動(dòng)器部分以外的位置上一體地具有多個(gè)擋條的致動(dòng)器基板的各致動(dòng)器部分上形成象素結(jié)構(gòu)；第1粘貼工序，至少在上述象素結(jié)構(gòu)未硬化的狀態(tài)下粘貼板材；加壓工序，在使上述致動(dòng)器基板和板材在相互接近的方向上加壓后，至少使上述象素結(jié)構(gòu)硬化；第2粘貼工序，在除去上述板材后，至少在上述擋條上粘貼光波導(dǎo)板。
該方法，是在一體地具有擋條的致動(dòng)器基板上形成象素結(jié)構(gòu)之后，在上述致動(dòng)器基板上粘貼板材，其后，除去板材，粘貼光波導(dǎo)板的方法。
這種情況下，作為致動(dòng)器基板，由于使用預(yù)先一體地具有擋條的致動(dòng)器基板，因此擋條部分的機(jī)械強(qiáng)度高，隨之，致動(dòng)器基板的剛性增高。其結(jié)果，例如在搬送致動(dòng)器基板時(shí)和保管時(shí)，可以用上述擋條保護(hù)被形成在該致動(dòng)器基板上的致動(dòng)器部分。另外，與用單獨(dú)形成擋條的情況相比，可以節(jié)省硬化擋條的工序，并可以實(shí)現(xiàn)削減工時(shí)數(shù)。
涉及本發(fā)明的顯示裝置的制造方法，以具有以下工序?yàn)樘卣?權(quán)利要求24所述的發(fā)明)象素形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板中，在各致動(dòng)器部分上形成象素結(jié)構(gòu)；第1粘貼工序，在板部件一個(gè)面上，使用形成有多個(gè)被設(shè)置成和被形成在上述致動(dòng)器基板上的擋條大致同樣高度的尺寸確定部件的模子，粘合形成有該模子的上述尺寸確定部件的面和上述致動(dòng)器基板的形成有上述象素結(jié)構(gòu)的面；加壓工序，在使上述模子和致動(dòng)器基板在相互接近的方向上加壓；擋條形成工序，在拆下上述模子之后，在上述致動(dòng)器基板中，在上述致動(dòng)器部分以外的位置上形成多個(gè)擋條；第2粘貼工序，在上述致動(dòng)器基板的至少上述擋條上粘貼光波導(dǎo)板。
該方法，是在致動(dòng)器基板上形成象素結(jié)構(gòu)之后，通過加壓粘合在板部件上設(shè)置了多個(gè)尺寸確定部件的模子和上述致動(dòng)器基板規(guī)定象素結(jié)構(gòu)的尺寸，其后，拆下模子，在致動(dòng)器基板上形成擋條后，粘貼光波導(dǎo)板的方法。
這種情況下，如果用例如金屬等的具有剛性的部件構(gòu)成上述模子，就可以通過該模子和致動(dòng)器基板的加壓粘合減輕形成有象素結(jié)構(gòu)的致動(dòng)器基板的彎曲，在其后的擋條形成工序中，可以高精度地形成擋條。
涉及本發(fā)明的顯示裝置的制造方法，以具有以下工序?yàn)樘卣?權(quán)利要求25所述的發(fā)明)象素形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板中，在各致動(dòng)器部分上形成象素結(jié)構(gòu)；第1粘貼工序，在板部件一個(gè)面上，使用形成有多個(gè)被設(shè)置成和被形成在上述致動(dòng)器基板上的擋條大致同樣高度的尺寸確定部件的模子，粘合形成有該模子的上述尺寸確定部件的面和上述致動(dòng)器基板的形成有上述象素結(jié)構(gòu)的面；加壓工序，在使上述模子和致動(dòng)器基板在相互接近的方向上加壓；擋條形成工序，在拆下上述模子之后，在上述光波導(dǎo)板中，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置以外的位置上形成多個(gè)擋條；第2粘貼工序，粘合上述致動(dòng)器基板的形成有上述象素結(jié)構(gòu)的面和上述光波導(dǎo)板的形成有上述擋條的面。
該方法，是在致動(dòng)器基板上形成象素結(jié)構(gòu)之后，通過加壓粘貼在板部件上設(shè)置有多個(gè)尺寸確定部件的模子和上述致動(dòng)器基板規(guī)定象素結(jié)構(gòu)的尺寸，在拆下模子后，在光波導(dǎo)板上形成擋條，粘合該光波導(dǎo)板和致動(dòng)器基板的方法。
這種情況下，如果也用例如金屬等的有剛性的部件構(gòu)成上述模子，就可以通過該模子和致動(dòng)器基板的加壓粘合降低形成有象素結(jié)構(gòu)的致動(dòng)器基板的彎曲，可以高精度地進(jìn)行其后的和光波導(dǎo)板的粘合。另外，因?yàn)樵谄教苟雀叩墓獠▽?dǎo)板上形成擋條，所以可以使擋條的高度嚴(yán)格一致。
涉及本發(fā)明的顯示裝置的制造方法，以具有以下工序?yàn)樘卣?權(quán)利要求26所述的發(fā)明)象素形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板中，在各致動(dòng)器部分上形成象素結(jié)構(gòu)；擋條形成工序，在板部件一個(gè)面上，在使用形成有多個(gè)被設(shè)置成和被形成在上述致動(dòng)器基板上的擋條大致同樣高度的尺寸確定部件的模子，形成有該模子的上述尺寸確定部件的面中，是沒有形成上述尺寸確定部件的部分，并且，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置以外的位置上形成多個(gè)擋條；第1粘貼工序，粘合形成有上述模子的上述尺寸確定部件的面和上述致動(dòng)器基板的形成有上述象素結(jié)構(gòu)的面；加壓工序，在使上述模子和致動(dòng)器基板在相互接近的方向上加壓；第2粘貼工序，在拆下上述模子并將上述擋條轉(zhuǎn)印到上述致動(dòng)器基板上之后，在上述致動(dòng)器基板的至少上述擋條上粘貼光波導(dǎo)板。
該方法，是在致動(dòng)器基板上形成象素結(jié)構(gòu)，在在板部件上設(shè)置有多個(gè)尺寸確定部件的模子上形成擋條，通過加壓粘貼這些致動(dòng)器基板和模子規(guī)定象素結(jié)構(gòu)的尺寸，其后，在拆下模子，將擋條轉(zhuǎn)印到致動(dòng)器基板上后，粘貼光波導(dǎo)板的方法。
這種情況下，如果用例如金屬等的有剛性的部件構(gòu)成上述模子，則可以通過該模子和致動(dòng)器基板的加壓粘貼降低形成有象素結(jié)構(gòu)的致動(dòng)器基板的彎曲，可以高精度地形成擋條以及象素結(jié)構(gòu)。
涉及本發(fā)明的顯示裝置的制造方法，以具有以下工序?yàn)樘卣?權(quán)利要求27所述的發(fā)明)擋條形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板中，在上述致動(dòng)器部分以外的位置上形成多個(gè)擋條；象素形成工序，在上述致動(dòng)器基板的各致動(dòng)器部分上形成象素結(jié)構(gòu)；第1粘貼工序，在板部件一個(gè)面上，使用形成有多個(gè)被設(shè)置成和被形成在上述致動(dòng)器基板上的擋條大致同樣高度的尺寸確定部件的模子，粘合形成有該模子的上述尺寸確定部件的面和上述致動(dòng)器基板的形成有上述象素結(jié)構(gòu)的面；加壓工序，在使上述模子和致動(dòng)器基板在相互接近的方向上加壓；第2粘貼工序，在拆下上述模子之后，在上述致動(dòng)器基板的至少上述擋條上粘貼光波導(dǎo)板。
該方法，是在致動(dòng)器基板上形成象素結(jié)構(gòu)和擋條，通過加壓粘貼該致動(dòng)器基板和在板部件上設(shè)置有多個(gè)尺寸確定部件的模子確定擋條和象素結(jié)構(gòu)的尺寸，其后，取下模子，粘貼光波導(dǎo)板的方法。
這種情況下，如果使用例如金屬等的有剛性的部件構(gòu)成上述模子，就可以通過該模子和致動(dòng)器基板的加壓粘合降低形成有上述象素結(jié)構(gòu)的致動(dòng)器基板的彎曲，可以高精度地形成擋條和象素結(jié)構(gòu)。
涉及本發(fā)明的顯示裝置的制造方法，以具有以下工序?yàn)樘卣?權(quán)利要求28所述的發(fā)明)擋條形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板中，在上述致動(dòng)器部分以外的位置上形成多個(gè)擋條；擋條形成工序，在板部件一個(gè)面上，在使用形成有多個(gè)被設(shè)置成和被形成在上述致動(dòng)器基板上的擋條大致同樣高度的尺寸確定部件的模子，形成有該模子的上述尺寸確定部件的面中，是沒有形成上述尺寸確定部件的部分，并且在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置以外的位置上形成多個(gè)擋條；第1粘貼工序，粘合形成有上述模子的上述尺寸確定部件的面和上述致動(dòng)器基板的形成有上述象素結(jié)構(gòu)的面；加壓工序，在使上述模子和致動(dòng)器基板在相互接近的方向上加壓；第2粘貼工序，在拆下上述模子并將上述象素結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到上述致動(dòng)器基板上之后，在上述致動(dòng)器基板的至少上述擋條上粘貼光波導(dǎo)板。
該方法，是在致動(dòng)器基板上形成擋條，在板部件上設(shè)置有多個(gè)尺寸確定部件的模子上形成象素結(jié)構(gòu)，通過加壓粘合這些致動(dòng)器基板和模子規(guī)定擋條和象素結(jié)構(gòu)的尺寸，其后，在拆下模子，將擋條轉(zhuǎn)印到致動(dòng)器基板上之后，粘貼光波導(dǎo)板的方法。
這種情況下，也是如果用例如金屬等的有剛性的部件構(gòu)成上述模子，就可以通過該模子和致動(dòng)器基板的加壓粘貼降低形成有象素結(jié)構(gòu)的致動(dòng)器基板的彎曲，并可以高精度地形成擋條以及象素結(jié)構(gòu)。
涉及本發(fā)明的顯示裝置的制造方法，以具有以下工序?yàn)樘卣?權(quán)利要求29所述的發(fā)明)擋條形成工序，在板部件一個(gè)面上，在使用形成有多個(gè)被設(shè)置成和被形成在上述致動(dòng)器基板上的擋條大致同樣高度的尺寸確定部件的模子，形成有該模子的上述尺寸確定部件的面中，是在沒有形成上述尺寸確定部件的部分，并且在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置以外的位置上形成多個(gè)擋條；象素形成工序，在形成有該模子的上述尺寸確定部件的面中，是在沒有形成上述尺寸確定部件的部分，并且在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置上形成象素結(jié)構(gòu)；第1粘貼工序，將排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板粘貼在上述模子上的上述擋條以及象素結(jié)構(gòu)上；加壓工序，在使上述擋條以及上述象素結(jié)構(gòu)相互接近的方向上加壓；第2粘貼工序，在拆下上述模子并將上述擋條以及上述象素結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到上述致動(dòng)器基板上之后，至少在上述擋條上粘貼光波導(dǎo)板。
該方法，是在板部件上設(shè)置有多個(gè)尺寸確定部件的模子上形成擋條和象素結(jié)構(gòu)，通過加壓粘貼該模子和致動(dòng)器基板規(guī)定象素結(jié)構(gòu)的尺寸，其后，在拆下模子，將擋條和象素結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到致動(dòng)器基板上之后，粘貼光波導(dǎo)板的方法。
這種情況下，如果用例如金屬等的有剛性的部件構(gòu)成上述模子，就可以通過該模子和致動(dòng)器基板的粘貼降低致動(dòng)器基板的彎曲，對(duì)于致動(dòng)器基板可以高精度地轉(zhuǎn)印形成擋條以及象素結(jié)構(gòu)。
在這些制造方法中，在板材和模子上形成擋條的制造方法中，也可以利用液體的表面張力粘合在上述板材和模子上構(gòu)成上述擋條的部件(權(quán)利要求30所述的發(fā)明)。這種情況下，可以簡(jiǎn)單地進(jìn)行其后的板材和模子的除去。
在這些制造方法中，在板材和模子上形成擋條的制造方法中，也可以在上述板材和模子的所需要的位置上形成上述擋條之后，使該擋條硬化(權(quán)利要求31所述的發(fā)明)。
而后，在這些制造方法的上述加壓工序中，也可以在加壓上述致動(dòng)器基板和應(yīng)該和該致動(dòng)器基板一同加壓的部件的狀態(tài)下，至少使上述象素結(jié)構(gòu)硬化(權(quán)利要求32所述的發(fā)明)。另外，在上述光波導(dǎo)板中，也可以在與上述擋條對(duì)應(yīng)的位置上具有間隔形成層(權(quán)利要求33所述的發(fā)明)。
另外，在這些方法中，也可以在粘貼上述光波導(dǎo)板之前，預(yù)先在上述擋條上形成間隔形成層(權(quán)利要求34所述的發(fā)明)。這種情況下，由于存在間隔形成層，因此使象素結(jié)構(gòu)和光波導(dǎo)板之間的間隔在全部象素中均勻變得容易，上述間隔的大小也容易控制。
另外，在板材與模子和致動(dòng)器基板的粘合，或者光波導(dǎo)板和致動(dòng)器基板的粘合中，當(dāng)在至少象素結(jié)構(gòu)未硬化的狀態(tài)下加壓粘貼光波導(dǎo)板和板材或者模子的情況下，在其加壓時(shí)，變位光波導(dǎo)板和板材或者模子將擋條和象素結(jié)構(gòu)壓在致動(dòng)器基板一側(cè)的狀態(tài)，至少在使上述象素結(jié)構(gòu)硬化時(shí)擋條的上面和象素結(jié)構(gòu)的上面大致變?yōu)橥幻妗?br> 這種情況下，作為象素結(jié)構(gòu)的構(gòu)成材料，通過使用在象素結(jié)構(gòu)的硬化時(shí)該象素結(jié)構(gòu)收縮的材料，就可以在擋條和象素結(jié)構(gòu)的硬化時(shí)在象素結(jié)構(gòu)和光波導(dǎo)板之間形成間隔。
另外，作為用于形成間隔的其它方法，例如，可以采用在加壓粘貼光波導(dǎo)板時(shí)，使象素結(jié)構(gòu)加熱膨脹，或者通過使致動(dòng)器部分位置變化使象素結(jié)構(gòu)接觸光波導(dǎo)板等的方法，和組合它們的方法。在此后的擋條和象素結(jié)構(gòu)的硬化時(shí)，通過象素結(jié)構(gòu)收縮或者致動(dòng)器部分的位置復(fù)位(復(fù)原)在象素結(jié)構(gòu)和光波導(dǎo)板之間形成一定的間隔。
除此之外，當(dāng)假設(shè)在自然狀態(tài)下象素結(jié)構(gòu)與光波導(dǎo)板接觸的形態(tài)的情況下，作為致動(dòng)器部分的變位動(dòng)作，可以適用于向象素結(jié)構(gòu)離開光波導(dǎo)板的方向變位的情況。
在這些制造方法中，最好在致動(dòng)器基板上粘貼上述板材或者光波導(dǎo)板時(shí)，擋條已硬化，或者一部分已硬化。這種情況下，擋條起到隔板的作用，可以規(guī)定致動(dòng)器基板和板材或者光波導(dǎo)板之間的距離。
也可以在上述致動(dòng)器基板和應(yīng)該與該致動(dòng)器基板一同加壓的部件(光波導(dǎo)板和板材或者模子)加壓時(shí)，進(jìn)行用于形成間隔的前處理，在其后的至少上述象素結(jié)構(gòu)的硬化中，在上述象素結(jié)構(gòu)和上述光波導(dǎo)板之間形成規(guī)定的間隔(權(quán)利要求35所述的發(fā)明)。
這正如已經(jīng)說明的那樣，是在加壓粘貼光波導(dǎo)板和板材或者模子時(shí)，使象素結(jié)構(gòu)加熱膨脹，或者通過使致動(dòng)器部分變位使象素結(jié)構(gòu)接觸光波導(dǎo)板和板材或者模子的方法。通過采用該方法，在象素結(jié)構(gòu)和光波導(dǎo)板之間形成一定的間隔變得容易，可以在整個(gè)象素中得到均勻的亮度。
尤其是最好在上述致動(dòng)器基板和應(yīng)該與該致動(dòng)器基板加壓的部件(光波導(dǎo)板和板材或者模子)的加壓中使用真空封裝法(權(quán)利要求36所述的發(fā)明)。即，例如即使在致動(dòng)器基板上有翹曲和彎曲的情況下，也可以均勻地加壓致動(dòng)器基板和光波導(dǎo)板和板材或者模子，由此，因?yàn)楣獠▽?dǎo)板和板材或者模子和致動(dòng)器基板相互仿形，所以在粘貼光波導(dǎo)板時(shí)，可以最終在全部的象素結(jié)構(gòu)和光波導(dǎo)板之間形成一定的間隔。
在此，如果象素結(jié)構(gòu)的厚度參差不齊，則象素形成后的致動(dòng)器部分的變位(變位量)不勻，但在此方法中，因?yàn)樵谡w上均勻地形成象素結(jié)構(gòu)的厚度，所以可以抑制這種致動(dòng)器部分的變位(變位量)的不勻。
另外，因?yàn)楹茈y在象素結(jié)構(gòu)的厚度上產(chǎn)生參差不齊，所以沒有由熱膨脹和收縮引起的象素結(jié)構(gòu)的變形的不勻，即使在受熱的情況下也具有在間隔量中很難產(chǎn)生不勻的優(yōu)點(diǎn)。
另外，也可以在上述致動(dòng)器基板和應(yīng)該與該致動(dòng)器基板一同加壓的部件(光波導(dǎo)板和板材或者模子)的加壓中使用低壓加壓法(權(quán)利要求37所述的發(fā)明)。這種情況下，因?yàn)榧釉谥聞?dòng)器基板上的應(yīng)力變小，所以可以防止致動(dòng)器部分的損傷等。而且，因?yàn)橛烧迟N引起的致動(dòng)器基板和光波導(dǎo)板的變形少，殘余應(yīng)力小，所以可以提高間隔的穩(wěn)定性和耐久性。
另外，在這些方法中，作為在上述第1粘貼工序中被粘貼在上述致動(dòng)器基板上的部件(板材和模子)，可以使用在與上述象素結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)的位置上分別具有凸部分的部件，在上述板材及模子和致動(dòng)器基板的加壓時(shí)，在上述象素結(jié)構(gòu)的表面上形成與上述凸部分對(duì)應(yīng)的凹部分(權(quán)利要求38所述的發(fā)明)。
另外，在這些方法中，作為在上述第1粘貼工序中被粘貼在上述致動(dòng)器基板上的部件(板材和模子)，可以使用在與上述象素結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)的位置上分別具有凸部分的部件，在上述板材或模子和致動(dòng)器基板的加壓時(shí)，在上述象素結(jié)構(gòu)的表面上形成與上述凸部分對(duì)應(yīng)的臺(tái)階高差(權(quán)利要求39所述的發(fā)明)。
另外，在這些方法中，作為在上述第1粘貼工序中被粘貼在上述致動(dòng)器基板上的部件(板材和模子)，可以使用在與上述象素結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)的位置上分別形成有凸形狀的部件，在上述板材及模子和致動(dòng)器基板的加壓時(shí)，在上述象素結(jié)構(gòu)的表面上形成與上述凸形狀對(duì)應(yīng)的凹形狀(權(quán)利要求40所述的發(fā)明)。
進(jìn)而，擋條以及象素結(jié)構(gòu)的形成，也可以使用膜形成法和陶瓷燒結(jié)法進(jìn)行。在該膜形成法中，有網(wǎng)板印刷、光刻法、薄膜粘貼法、噴浸(spray dipping)、涂抹、壓印(如蓋章那樣沾上液體材料的方法)等的厚膜形成方法，和離子束、噴鍍、真空蒸鍍、離子鍍、CVD、電鍍等的薄膜形成方法。
另外，作為在象素結(jié)構(gòu)的表面形成凹部和臺(tái)階高差的方法，使用在表面上具有凸部的板材。在此，最好使用在用玻璃構(gòu)成的板材上通過一般的薄膜形成法形成金屬膜和抗蝕劑膜的方法。具有可以自由地變更凸部的圖形和高度的優(yōu)點(diǎn)。凸部的高度最好是0.1～2μm左右。
作為在象素結(jié)構(gòu)的表面形成凹部和臺(tái)階高差的方法，除此之外，還可以對(duì)象素結(jié)構(gòu)的表面采用平面研磨和由激光進(jìn)行的表面加工。激光加工，不只形成凹部，還有由加熱而產(chǎn)生的表面改性的效果，而且，因?yàn)榭梢匀我庠O(shè)計(jì)加工圖形，所以使用特別理想。
另外，作為將象素結(jié)構(gòu)的表面制成凹形狀的方法，有在象素結(jié)構(gòu)的硬化時(shí)在致動(dòng)器部分上施加電壓的方法和加熱的方法。有使用板材的露出硬化中加熱的方法，和在板材除去后加熱的方法，可以根據(jù)象素結(jié)構(gòu)的材質(zhì)選擇。加熱溫度使用15℃～150℃，最好使用20℃～80℃。


圖1是展示實(shí)施例1的顯示裝置的構(gòu)成圖。
圖2是展示致動(dòng)器部分和象素結(jié)構(gòu)的第1構(gòu)成例的構(gòu)成圖。
圖3是展示被形成在致動(dòng)器部分上的一對(duì)電極的平面形狀的一例的圖。
圖4A是展示沿著形狀保持層的長(zhǎng)軸排列一對(duì)電極的梳齒的1個(gè)例子的說明圖。
圖4B是展示另一例的說明圖。
圖5A是展示沿著形狀保持層的短軸排列一對(duì)電極的梳齒的1個(gè)例子的說明圖。
圖5B上展示另一例的說明圖。
圖6是展示被形成在致動(dòng)器部分上的一對(duì)電極的另一例的構(gòu)成圖。
圖7是展示使致動(dòng)器部分向另一方向彎曲變位在空腔一側(cè)形成凸部分的情況下的顯示裝置的構(gòu)成圖。
圖8是展示致動(dòng)器部分和象素結(jié)構(gòu)的第2構(gòu)成例的構(gòu)成圖。
圖9是展示致動(dòng)器部分和象素結(jié)構(gòu)的第3構(gòu)成例的構(gòu)成圖。
圖10是展示致動(dòng)器部分和象素結(jié)構(gòu)的第4構(gòu)成例的構(gòu)成圖。
圖11是展示在象素結(jié)構(gòu)的四方分別形成擋條的情況下的構(gòu)成的說明圖。
圖12是展示涉及第1變形例的擋條的構(gòu)成的說明圖。
圖13是展示涉及第2變形例的擋條的構(gòu)成的說明圖。
圖14是展示涉及第3變形例的擋條的構(gòu)成的說明圖。
圖15是展示涉及第4變形例的擋條的構(gòu)成的說明圖。
圖16是展示涉及第5變形例的擋條的構(gòu)成的說明圖。
圖17用于說明電壓調(diào)制方式的灰度控制的致動(dòng)器部分的變位特性圖。
圖18是展示由象素的點(diǎn)面積和接觸性以及由瞬逝效應(yīng)進(jìn)行的灰度控制的原理的說明圖。
圖19是展示涉及實(shí)施例2的顯示裝置的構(gòu)成圖。
圖20展示涉及實(shí)施例2的顯示裝置的變形例的構(gòu)成圖。
圖21是展示涉及實(shí)施例3的顯示裝置的構(gòu)成圖。
圖22是展示涉及實(shí)施例4的顯示裝置的構(gòu)成圖。
圖23是展示涉及實(shí)施例5的顯示裝置的構(gòu)成圖。
圖24是展示涉及實(shí)施例6的顯示裝置的構(gòu)成圖。
圖25是展示從背面一側(cè)看涉及實(shí)施例1～6的顯示裝置的大畫面顯示裝置的斜視圖。
圖26A～圖26C是展示第1制造方法的工程圖。
圖27A～圖27C是展示噴浸法的第1方法的工程圖。
圖28A～圖28C是展示噴浸法的第2方法的工程圖。
圖29是展示薄膜粘貼法的說明圖。
圖30是展示真空封裝法的說明圖。
圖31是展示低壓加壓法的說明圖。
圖32A～圖32D是展示第2制造方法的工程圖。
圖33A～圖33C是展示第3制造方法的工程圖。
圖34是展示作為板材使用具有凸部的板材，在象素結(jié)構(gòu)上形成多個(gè)凹部的狀態(tài)的說明圖。
圖35是展示作為板材使用具有凸部的板材，在象素結(jié)構(gòu)上形成臺(tái)階高差的狀態(tài)的說明圖。
圖36是展示作為板材使用具有凸形狀的板材，在象素結(jié)構(gòu)上形成凹形狀的狀態(tài)的說明圖。
圖37是展示作為板材使用具有凸部的板材，形成象素結(jié)構(gòu)的上端比擋條的上端還高的形狀的說明圖。
圖38A以及圖38B，是展示在第3以及第4制造方法中，在擋條上面直接粘貼光波導(dǎo)板的例子的工程圖。
圖39A～圖39D是展示第4制造方法的工程圖。
圖40A以及圖40B，是展示在第3以及第4制造方法中，在光波導(dǎo)板上形成間隔形成層后在擋條的上面粘貼光波導(dǎo)板的例子的工程圖。
圖41A～圖41C是展示第5制造方法的工程圖。
圖42A～圖42C是展示第6制造方法的工程圖。
圖43A～圖43B是展示第7制造方法的工程圖。
圖44A～圖44C是展示第8制造方法的工程圖(其1)。
圖45A～圖45B是展示第8制造方法的工程圖(其2)。
圖46A～圖46C是展示第9制造方法的工程圖(其1)。
圖46A～圖46B是展示第9制造方法的工程圖(其2)。
圖48是展示利用液體(例如水)的表面張力將由薄膜構(gòu)成的擋條對(duì)板材進(jìn)行粘合的狀態(tài)的說明圖。
圖49A～圖49C是展示第10制造方法的工程圖(其1)。
圖50A～圖50B是展示第10制造方法的工程圖(其2)。
圖51A～圖51C是展示第11制造方法的工程圖(其1)。
圖52A～圖52B是展示第11制造方法的工程圖(其2)。
圖53A～圖53C是展示第12制造方法的工程圖(其1)。
圖54A～圖54B是展示第12制造方法的工程圖(其2)。
圖55A～圖55C是展示第13制造方法的工程圖(其1)。
圖56A～圖56B是展示第13制造方法的工程圖(其2)。
圖57A～圖57C是展示第14制造方法的工程圖(其1)。
圖58A～圖58B是展示第14制造方法的工程圖(其2)。
圖59A～圖59C是展示第15制造方法的工程圖(其1)。
圖60A～圖60B是展示第15制造方法的工程圖(其2)。
圖61A～圖61C是展示第16制造方法的工程圖(其1)。
圖62A～圖62B是展示第16制造方法的工程圖(其2)。
圖63是展示涉及示例的顯示裝置的構(gòu)成圖。
以下，參照?qǐng)D1～圖62B說明涉及本發(fā)明的顯示裝置以及顯示裝置的制造方法的幾個(gè)實(shí)施例。
涉及實(shí)施例1的顯示裝置Da，如圖1所示，其構(gòu)成具有光波導(dǎo)板12，其導(dǎo)入來自光源100的光10；驅(qū)動(dòng)部分16，被設(shè)置在該光波導(dǎo)板12的對(duì)面，并且將多個(gè)致動(dòng)器部分14對(duì)應(yīng)象素排列成矩陣形或者梳齒形。
在各致動(dòng)器部分14上分別疊層象素結(jié)構(gòu)102。象素結(jié)構(gòu)102，具有設(shè)置成加大和光波導(dǎo)板12的接觸面積以對(duì)應(yīng)象素的面積的功能。
驅(qū)動(dòng)部分16，具有例如用陶瓷構(gòu)成的致動(dòng)器基板18，在與該致動(dòng)器基板18的各象素相應(yīng)的位置上配置有致動(dòng)器部分14。上述致動(dòng)器基板18，被配置成一主要面與光波導(dǎo)板12的背面相對(duì)，該一主要面被設(shè)置成連續(xù)的面(齊平面)。在致動(dòng)器基板18的內(nèi)部，設(shè)置用于在與各象素對(duì)應(yīng)的位置上分別形成后述的振動(dòng)部分的空間20，各空間20，通過被設(shè)置在致動(dòng)器基板18的另一端上的小直徑的貫通孔18a和外部連接。
在上述致動(dòng)器基板18中，形成有空間20的部分被設(shè)置成薄壁，除此之外的部分被設(shè)置成厚壁。壁薄的部分，成為相對(duì)外部應(yīng)力容易受到振動(dòng)的構(gòu)造具有作為振動(dòng)部分的功能，空間20以外的部分被設(shè)置成厚壁具有作為支撐上述振動(dòng)部分22的固定部分24的功能。
總之，致動(dòng)器基板18，是作為最下層的基板層18A和作為中間層的隔板層18B和作為最上層的薄板層18C的疊層體，在隔板層18B中，可以控制作為在與象素對(duì)應(yīng)的位置上形成有空間20的一體構(gòu)造體。疊層板18A，除了具有作為增強(qiáng)用基板的功能外，還具有作為配線用的基板的功能。進(jìn)而，上述致動(dòng)器基板18，可以一體燒成，也可以后安裝。
在此，根據(jù)圖2～圖10說明致動(dòng)器部分14和象素結(jié)構(gòu)102的具體例子。進(jìn)而，在圖2～圖10中，展示在后述的擋條70和光波導(dǎo)板12之間設(shè)置了間隔層50的情況。
首先，致動(dòng)器部分14，如圖2所示，除了上述振動(dòng)部分22和固定部分24之外，具有壓電/電致伸縮層和抗鐵電體層等的形狀保持層26，被直接形成在該振動(dòng)部分22之上；一對(duì)電極28(行電極28a以及列電極28b)，被形成在該形狀保持層26的上面。
一對(duì)電極28，可以是相對(duì)形狀保持層26形成在上下的構(gòu)造或只形成在一側(cè)的構(gòu)造，但為了有利于致動(dòng)器基板18和形狀保持層26的接合性，最好如此例子那樣，只在形狀保持層26的上部(和致動(dòng)器基板18相反一側(cè))形成一對(duì)電極28，使得致動(dòng)器基板18和形狀保持層26在沒有臺(tái)階高差的狀態(tài)下直接接觸。
作為一對(duì)電極28的平面形狀，如圖3所示，可以設(shè)置成多個(gè)梳齒互補(bǔ)性對(duì)峙的形狀，除此之外，還可以如特開平10-78549號(hào)公報(bào)所示，采取螺旋形或多枝杈形等。
當(dāng)將形狀保持層26的平面形狀設(shè)置成例如橢圓形，將一對(duì)電極28形成為梳齒形的情況下，有如圖4A以及圖4B所示，沿著形狀保持層26的長(zhǎng)軸排列一對(duì)電極28的梳齒的形態(tài)，和如圖5A以及5B所示，沿著形狀保持層26的短軸排列一對(duì)電極28的梳齒的形態(tài)等。
而后，有如圖4A以及圖5A所示，一對(duì)電極28的梳齒的部分被包含在形狀保持層26的平面形狀內(nèi)的形態(tài)，和如圖4B以及圖5B所示，一對(duì)電極28的梳齒部分從形狀保持層28的平面形狀中凸出的形態(tài)等。圖4B以及圖5B所示的形態(tài)對(duì)致動(dòng)器部分14的彎曲變位更有利。
作為一對(duì)電極28，例如如圖6所示，可以在形狀保持層26的下面形成例如行電極28a，在形狀保持層26的上面形成列電極28b。
這種情況下，如圖1所示，可以使致動(dòng)器部分14向光波導(dǎo)板12一側(cè)凸出那樣地向一方向彎曲變位，除此之外，如圖7所示，也可以使致動(dòng)器部分14向空間20一側(cè)凸出那樣向另一方彎曲變位。
另一方面，象素結(jié)構(gòu)102，例如如圖2所示，可以由作為被形成在致動(dòng)器部分14上的變位傳遞部分的白色散射體32和濾色器40和透明體48的疊層體構(gòu)成。
進(jìn)而，如圖8所示，也可在白色散射體32的下層介入光反射層72。這種情況下，如果用金屬等的導(dǎo)電層構(gòu)成光反射層72，則因?yàn)樵谥聞?dòng)器部分14中的一對(duì)電極28a以及28b之間有可能短路，所以希望在上述光反射層72和致動(dòng)器部分14之間形成絕緣層74。
作為象素結(jié)構(gòu)102的另一例子，例如如圖9所示，也可以用被形成在致動(dòng)器部分14上的兼作變位傳遞部分的有色散射體44和透明層48的疊層體構(gòu)成。這種情況下也如圖10所示，可以在致動(dòng)器部分14和有色散射體44之間介入光反射層72和絕緣層74。
而后，在涉及本實(shí)施例1的顯示裝置Da中，如圖1所示，在光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18之間，其構(gòu)成是具有被形成在象素結(jié)構(gòu)102以外的部分上的擋條70，在圖1的例子中，展示了在擋條70的上面直接固定了光波導(dǎo)板12的情況。擋條70的材料，最好是對(duì)熱、壓力不變形的材料。
擋條70，例如可以形成在象素結(jié)構(gòu)102的四方。在此，所謂象素結(jié)構(gòu)102的四方，如圖11所示，例如如果象素結(jié)構(gòu)102是平面大致矩形或者橢圓，則可以列舉與各角部分對(duì)應(yīng)的位置，展示1個(gè)擋條70和相鄰的象素結(jié)構(gòu)102共有的形態(tài)。
以下，參照?qǐng)D12～圖16說明有關(guān)擋條70構(gòu)成的幾個(gè)變形例。
首先，第1變形例的擋條，如圖12所示，在擋條70上具有至少包圍1個(gè)象素結(jié)構(gòu)102的窗部分70a。作為有代表性的構(gòu)成例，例如，將擋條70本身制成板形狀，進(jìn)而在與象素結(jié)構(gòu)102對(duì)應(yīng)的位置上形成類似象素結(jié)構(gòu)102的外形形狀的窗部分(開口)70a。由此，象素結(jié)構(gòu)102的整個(gè)側(cè)面成為由擋條70包圍的形態(tài)，致動(dòng)器基板18和光波導(dǎo)板12的固定變得更加牢固。
第2變形例的擋條，如圖13所示，沿著象素結(jié)構(gòu)的排列方向延長(zhǎng)，并且，具有包圍上述象素結(jié)構(gòu)排列的帶狀開口220。各開口220的開口寬度足以包含1列或者1列以上的列，在本實(shí)施例中，展示具有包含1列象素結(jié)構(gòu)102的組的開口寬度的例子。
第3變形例的擋條70，如圖14所示，具有沿著上述象素結(jié)構(gòu)102的排列方向在行形狀上延伸的形狀，這種情況下，如圖15所示的第4變形例的擋條70所示，可以使用例如斷面形狀大致被設(shè)置成圓形的線形部件222。在圖15的例子中，展示用粘接劑224將構(gòu)成擋條70的線形部件222粘貼在致動(dòng)器基板18上的例子。作為線形部件222的斷面形狀，除了上述圓形以外，有橢圓和六角形和八角形等的多角形。
第5變形例的擋條70，如圖16所示，在致動(dòng)器基板18中，具有在象素結(jié)構(gòu)102以外的部分上和該致動(dòng)器基板18一體地由陶瓷形成的結(jié)構(gòu)。
這種情況下，可以使致動(dòng)器基板18上形成有擋條70的部分的機(jī)械強(qiáng)度提高，由此致動(dòng)器基板18的剛性提高。其結(jié)果，例如在搬運(yùn)致動(dòng)器基板18和保管時(shí)，可以用上述擋條70保護(hù)被形成在該致動(dòng)器基板18上的致動(dòng)器部分14，特別是其振動(dòng)部分22。
在此，說明顯示裝置Da的各構(gòu)成部件，特別是各構(gòu)成部件的材料等的選定。
首先，作為被導(dǎo)入光波導(dǎo)板12的光10，可以是紫外區(qū)域，可見光區(qū)域，紅外區(qū)域的任何一種。作為光源100，可以使用白熾燈、重氫放電燈、熒光燈、水銀燈、金屬鹵化物燈、鹵素?zé)?、氙氣燈、氚燈、發(fā)光二極管、激光、等離子光源、熱陰極管、冷陰極管等。
振動(dòng)部分22，最好是高耐熱材料。其理由是，在假設(shè)將致動(dòng)器部分14不使用有機(jī)粘接劑等的耐熱性差的材料，而用固定部分24直接支撐振動(dòng)部分22的構(gòu)造的情況下，因?yàn)橹辽僭谛螤畋３謱?6的形成時(shí)，使振動(dòng)部分22不變質(zhì)，所以振動(dòng)部分22最好是高耐熱性材料。
另外，振動(dòng)部分22，為了電氣分離被形成在致動(dòng)器基板18上的一對(duì)電極28中的連通行電極28a的配線(例如行選擇線)和連通列電極28b的配線(例如信號(hào)線)，最好是電氣絕緣材料。
因而，振動(dòng)部分22，可以是高耐熱性的金屬材料或者用玻璃等的陶瓷材料包覆該金屬表面的搪瓷材料，而陶瓷材料最佳。
作為構(gòu)成振動(dòng)部分22的陶瓷，可以使用例如被穩(wěn)定化的氧化鋯、氧化鋁、氧化鎂、氧化鈦、尖晶石、莫來石、氮化鋁、氮化硅、玻璃、這些物質(zhì)的混合物等。被穩(wěn)定化的氧化鋯，即使振動(dòng)部分22的厚度薄，但機(jī)械強(qiáng)度高，韌性高，形狀保持層26以及一對(duì)電極28的化學(xué)反應(yīng)性小等，因此特別理想。所謂被穩(wěn)定化的氧化鋯，包含穩(wěn)定化氧化鋯以及部分穩(wěn)定化氧化鋯。在被穩(wěn)定化的氧化鋯中，因?yàn)槿×⒎骄У鹊慕Y(jié)晶構(gòu)造，所以不產(chǎn)生相變。
另一方面，在1000℃左右，氧化鋯在單斜晶和正方晶之間相變，存在在該相變時(shí)發(fā)生裂紋的情況。穩(wěn)定化后的氧化鋯包含有1～30克分子％的穩(wěn)定劑，如氧化鈣、氧化鎂、氧化釔、氧化鈧、氧化鐿、氧化鈰或者稀土類金屬的氧化物等。為了提高振動(dòng)部分22的機(jī)械強(qiáng)度，穩(wěn)定劑最好含有1.5～6克分子％，更好含有2～4克分子％的氧化釔，最好還含有0.1～5克分子％的氧化鋁。
另外，可以是立方晶+單斜晶的混合相，正方晶+單斜晶的混合相，立方晶+正方晶+單斜晶的混合相等，但其中主要的結(jié)晶相設(shè)置成正方晶、或者正方晶+立方晶的混合相，從強(qiáng)度，韌性、耐久性的觀點(diǎn)看最佳。
振動(dòng)部分22在由陶瓷構(gòu)成時(shí)，多個(gè)結(jié)晶粒構(gòu)成振動(dòng)部分22，但由于振動(dòng)部分22的機(jī)械強(qiáng)度提高，因此希望結(jié)晶粒的平均粒直徑是0.05～2μm，最好是0.1～1μm。
固定部分24，最好由陶瓷構(gòu)成，但可以是和振動(dòng)部分22的材料相同的陶瓷，也可以不同。作為構(gòu)成固定部分24的陶瓷，和振動(dòng)部分22的材料同樣，例如可以使用被穩(wěn)定化的氧化鋯、氧化鋁、氧化鎂、氧化鈦、尖晶石、莫來石、氮化鋁、氮化硅、玻璃、這些物質(zhì)的混合物等。
特別是在該實(shí)施例1中的顯示裝置Da中使用的致動(dòng)器基板18，最好采用以氧化鋯為主要成分的材料，和以氧化鋁為主要成分的材料，或者以這些材料的混合物為主要成分的材料等。這其中，最理想的也是以氧化鋯為主要成分的材料。
進(jìn)而，加粘土等作為燒結(jié)輔助劑，但需要調(diào)節(jié)輔助劑成分，以使得不至包含過多的氧化硅、氧化硼等易于玻璃化的成分。因?yàn)檫@些容易玻璃化的材料，雖然有利于使致動(dòng)器基板18和形狀保持層26接合，但是在促進(jìn)致動(dòng)器基板18和形狀保持層26的反應(yīng)，維持規(guī)定的形狀保持層26的組成方面變得困難，其結(jié)果，成為使元件特性低下的原因。
即，限制致動(dòng)器基板18中的氧化硅等在重量比中是3％以下，最好在1％以下。在此，所謂主要成分，是指重量比在5％以上的成分。
形狀保持層26，如上所述，可以使用壓電/電致伸縮層和抗鐵電體層等，但作為形狀保持層26在使用壓電/電致伸縮層的情況下，作為該壓電/電致伸縮層，例如，可以列舉包含鋯酸鉛、鈮酸鎂鉛、鈮酸鎳鉛、鈮酸鋅鉛、鈮酸錳鉛、鉭酸鎂鉛、鉭酸鎳鉛、錫酸銻鉛、鈦酸鉛、鈦酸鋇、鎢酸鎂鉛、鈮酸鈷鉛等、或者這些物質(zhì)的任意組合的陶瓷。
當(dāng)然主要成分也可以是含有這些化合物50重量％以上。另外，在上述陶瓷中，含有鋯酸鉛的陶瓷，作為構(gòu)成形狀保持層26的壓電/電致伸縮層的構(gòu)成材料使用頻度最高。
另外，當(dāng)用陶瓷構(gòu)成壓電電致伸縮層的情況下，可以使用在上述陶瓷中進(jìn)一步適量地添加了鑭、鈣、鍶、鉬、鎢、鋇、鈮、鋅、鎳、錳等的氧化物，或者組合這些物質(zhì)的幾種，或者其它的化合物的陶瓷。例如，希望使用以由鈮酸鎂鉛和鋯酸鉛以及鈦酸鉛組成的成分為主要成分，并進(jìn)一步含有鑭和鍶的陶瓷。
壓電/電致伸縮層，可以是致密的，也可以是多孔質(zhì)的，在多孔質(zhì)的情況下，其孔隙率最好在40％以下。
當(dāng)作為形狀保持層26使用抗鐵電體層的情況下，作為該抗鐵電體層，希望是以鋯酸鉛為主要成分的材料，或者是以由鋯酸鉛和錫酸鉛組成的成分為主要成分的材料，或者是進(jìn)一步在鋯酸鉛中添加了氧化鑭的材料，或者是對(duì)于由鋯酸鉛和錫酸鉛組成的成分添加了鋯酸鉛和鈮酸鉛的材料。
特別是在如下述組成那樣將包含由鋯酸鉛和錫酸鉛組成的成分的抗鐵電體膜作為如致動(dòng)器部分14那樣的膜型元件使用的的情況下，因?yàn)榭梢砸员容^低的電壓驅(qū)動(dòng)，所以非常理想。
Pb0.99Nb0.02[(ZrxSn1-x)1-yTiy]0.98O3其中，0.5＜x＜0.6，0.05＜y＜0.063，0.01＜Nb＜0.03另外，該抗鐵電體膜，也可以是多孔質(zhì)，在多孔質(zhì)的情況下，希望其孔隙率在30％以下。
而后，希望在上述致動(dòng)器基板18中的振動(dòng)部分22的厚度和被形成在該振動(dòng)部分22上的形狀保持層26的厚度數(shù)量級(jí)相同。這是因?yàn)槿绻駝?dòng)部分22的厚度比形狀保持層26的厚度厚得多(如果相差1個(gè)數(shù)量級(jí)以上)，則由于形狀保持層26燒結(jié)時(shí)收縮，振動(dòng)部分22起到了妨礙其收縮的作用，所以在形狀保持層26和致動(dòng)器基板18界面的應(yīng)力增大，容易剝落。與之相反，如果厚度的數(shù)量級(jí)相同，因?yàn)樵谛螤畋３謱?6的燒成收縮中致動(dòng)器基板18(振動(dòng)部分22)容易適應(yīng)，所以很適合一體化。具體地說，振動(dòng)部分22的厚度，是1～100μm，理想的是3～50μm，最理想的是5～20μm。另一方面，形狀保持層26，其厚度希望是5～100μm，5～50μm更好，最理想的是5～30μm。
被形成在上述形狀保持層26上的一對(duì)電極28，根據(jù)用途設(shè)置適宜的厚度，但希望厚度為0.01～50μm，最好是0.1～5μm。另外，上述一對(duì)電極28，在室溫下是固體，理想的是用導(dǎo)電性金屬構(gòu)成。例如，可以列舉含有鋁、鈦、鉻、鐵、鈷、鎳、銅、鋅、鈮、鉬、釕、銠、銀、錫、鉭、鎢、銥、鉑、金、鉛等的金屬單體或者合金。當(dāng)然也可以包含這些元素的任意組合。
光波導(dǎo)板12，是具有如被導(dǎo)入其內(nèi)部的光10不透過到光波導(dǎo)板12的外部而在前面和背面中全反射那樣的光折射率的光波導(dǎo)板，需要被導(dǎo)入的光在全波長(zhǎng)范圍中的透過率均勻，并且透過率高。如果具備這種特性，則不特別限制其材質(zhì)，但具體地，例如，作為一般的材料，可以列舉玻璃、石英、丙烯酸塑料等的透光性塑料、透光性陶瓷、或者具有不同的折射率的材料的多層結(jié)構(gòu)，或者在表面設(shè)置有涂層的材料。
另外，所謂包含在象素結(jié)構(gòu)102中的濾色器40以及有色散射體44等的著色層，是用于只取出特定波長(zhǎng)區(qū)域的光的層，例如有通過吸收、透過、反射、散射特定波長(zhǎng)的光發(fā)色的層，和將射入的光變換為其它波長(zhǎng)的光的層等?？梢詥为?dú)或者組合透明體、半透明體以及不透明體使用。
其構(gòu)成，有例如將染料、顏料、離子等的色素和熒光體，分散并溶解在橡膠、有機(jī)樹脂、透光性塑料、玻璃、液體等的內(nèi)部的構(gòu)成，和涂抹在它們的表面上的構(gòu)成，進(jìn)而燒結(jié)上述的色素和熒光體等的粉末，或者通過擠壓固化的構(gòu)成等。對(duì)于材料以及構(gòu)造，可以單獨(dú)使用它們，也可以組合使用它們。
濾色器40和有色散射體44的不同，是在使象素結(jié)構(gòu)102接觸導(dǎo)入光10的光波導(dǎo)板12處于發(fā)光狀態(tài)時(shí)，如果只因著色層的反射、散射引起的漏光的亮度值，是包含有象素結(jié)構(gòu)102以及致動(dòng)器部分14的全部結(jié)構(gòu)的反射、散射引起的亮度值的0.5倍以上，則定義該著色層是有色散射體44，如果不到0.5倍則定義該著色層是濾色器40。
如果列舉測(cè)定的具體例子，則在導(dǎo)入光10的光波導(dǎo)板12的背面上，當(dāng)使上述著色層單體接觸時(shí)，從該著色層通過該光波導(dǎo)板12，漏到前面的光的正面亮度是A(nt)，另外，當(dāng)進(jìn)一步使象素結(jié)構(gòu)102接觸和該著色層的光波導(dǎo)板12接觸的面相反一側(cè)的面時(shí)，如果假設(shè)漏到前面的光的正面亮度是B(nt)，則在滿足了A≥0.5×B時(shí)，上述著色層是有色散射體44，在滿足A＜0.5×B時(shí)是濾色器40。
所謂上述的正面亮度，是如此配置亮度計(jì)(亮度計(jì)的檢出面與光波導(dǎo)板的板面平行)測(cè)定出的亮度，即，連接測(cè)定亮度的亮度計(jì)和上述著色層的線，相對(duì)和上述光波導(dǎo)板12的上述著色層接觸的面是垂直的。
有色散射體44的優(yōu)點(diǎn)，是由于層厚色調(diào)和亮度難以變化，作為其層形成方法，層厚度的嚴(yán)格控制困難，但可以適用成本便宜的網(wǎng)板印刷等多種方法。
另外，由于通過有色散射體兼有變位傳遞部分，除了可以簡(jiǎn)化層形成過程，還可以使全部的層厚度薄，因此可以使顯示裝置整體的厚度薄，另外，可以防止致動(dòng)器部分14的變位量低下以及提高應(yīng)答速度。
濾色器40的優(yōu)點(diǎn)是，因?yàn)楣獠▽?dǎo)板12是平面表面平滑性高，所以在光波導(dǎo)板12一側(cè)形成層時(shí)，層形成變得容易，不僅加工工藝的選擇范圍寬，價(jià)格便宜，而且容易控制色調(diào)、亮度不受影響的層厚度。
進(jìn)而，作為濾色器40和有色散射體44等的著色層的膜形成方法，并沒有特別限制，可以適用公知的各種膜形成方法。例如在光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器部分14的面上，除了直接粘貼片狀、薄膜狀的著色層的薄膜粘貼法外，還有將作為著色層的原材料的粉末、膏、液體、氣體、離子等，用網(wǎng)板印刷、光刻法、噴浸涂層法、涂抹等的厚膜形成方法，和離子束、濺射法、真空蒸鍍、離子鍍、CVD、電鍍等的薄膜形成法形成膜，從而形成著色層的方法。
以下，參照?qǐng)D1簡(jiǎn)單地說明涉及實(shí)施例1的顯示裝置Da的動(dòng)作。首先，從光波導(dǎo)板12的例如端部導(dǎo)入光10。這種情況下，通過調(diào)節(jié)光波導(dǎo)板12的折射率的大小，使全部光10在光波導(dǎo)板12的前面及背面不透過而在內(nèi)部全反射。這種情況下，作為光波導(dǎo)板12的反射率n，希望在1.3～1.8之間，最好在1.4～1.7之間。
在該狀態(tài)下，如果某個(gè)致動(dòng)器部分14處于選擇狀態(tài)，該致動(dòng)器部分14向光波導(dǎo)板12一側(cè)凸出那樣彎曲變位，即，向一方向彎曲變位，象素結(jié)構(gòu)102的端面相對(duì)光波導(dǎo)板12在光10的波長(zhǎng)以下的距離接觸時(shí)，此前全反射的光10，在象素結(jié)構(gòu)102的表面反射，成為散射光42。該散射光42，一部分再次在光波導(dǎo)板12中反射，而散射光42的大部分并不在光波導(dǎo)板12上反射，而是透過光波導(dǎo)板12的前面(表面)。因而，對(duì)應(yīng)致動(dòng)器部分14的象素變?yōu)閷?dǎo)通狀態(tài)，其導(dǎo)通狀態(tài)以發(fā)光的形式實(shí)現(xiàn)，而且，該發(fā)光顏色變?yōu)榕c包含在象素結(jié)構(gòu)102中的濾色器40或者有色散射體44的顏色對(duì)應(yīng)的顏色。
總之，該顯示裝置Da，通過象素結(jié)構(gòu)102有無(wú)向光波導(dǎo)板12的接觸，就可以控制在光波導(dǎo)板12的前面的發(fā)光(漏光)。特別，在該實(shí)施例1的顯示裝置Da中，如果考慮將使象素結(jié)構(gòu)相對(duì)光波導(dǎo)板12在接近或離開方向上的變位動(dòng)作的1個(gè)單位例如作為1象素，則因?yàn)閷⒃撓笏嘏帕谐啥鄠€(gè)矩陣形，或者對(duì)有關(guān)各行排列成梳齒形，所以通過根據(jù)輸入的圖像信號(hào)的屬性控制在各象素中的變位動(dòng)作，就可以和陰極射線管和液晶顯示裝置以及等離子顯示裝置一樣，在光波導(dǎo)板12的前面，即，在顯示面上顯示與圖像信號(hào)對(duì)應(yīng)的影像(文字和圖形等)。
而后，在顯示的灰度控制中，例如可以采用電壓調(diào)制方式和時(shí)間調(diào)制方式。例如在電壓調(diào)制方式中，例如在選擇了1行的情況下中，對(duì)排列在該選擇行中的多個(gè)致動(dòng)器部分14，施加與各致動(dòng)器部分14的灰度對(duì)應(yīng)的電壓。各致動(dòng)器部分14，與被施加的電壓的電平相應(yīng)地向一方向變位，在圖17的例子中，相對(duì)電壓V1、V2、…Vn變位量如Z1、Z2、…Zn那樣線性變化。
而后，例如在致動(dòng)器部分14變位到大約變位量Z1的時(shí)刻，例如如圖14所示，象素結(jié)構(gòu)102的一主面和光波導(dǎo)板12的背面之間的距離D相當(dāng)于光10(被導(dǎo)入光波導(dǎo)板12的光10)的波長(zhǎng)λ的距離，例如在變位大約為Zn的時(shí)刻，理想的是象素結(jié)構(gòu)的一主面和光波導(dǎo)板12的背面完全密合。
當(dāng)象素結(jié)構(gòu)102向著光波導(dǎo)板12的背面接近，該象素結(jié)構(gòu)102的一主面和光波導(dǎo)板12的背面之間的距離變到光10的波長(zhǎng)λ以下的情況下，隨著其距離的縮短從光波導(dǎo)板12的表面放射出的散射光的量增多，與該致動(dòng)器部分14對(duì)應(yīng)的象素的亮度水平增高。
該現(xiàn)象可以用以下的瞬逝效應(yīng)說明。一般，在光波導(dǎo)板12中的例如背面的周圍，如圖18所示，存在光發(fā)散(瞬逝波)的區(qū)域(瞬逝區(qū)域)104。該瞬逝區(qū)域104的深度dp，表示在光波導(dǎo)板12和外部空間的界面(在此例子中，是光波導(dǎo)板12的背面)中的瞬逝波的能量值為1/e的深度，用下式(1)給出，另外，瞬逝波的能量E，用下式(2)給出。dp=λ/[2πn1{sin2θ-(n2/n1)2}]---(1)]]>E＝exp{-(D/dp)} …(2)在此，λ表示光10的波長(zhǎng)，θ如圖18所示，表示從光波導(dǎo)板12到外部空間光10入射時(shí)的角度(入射角)。另外，n1表示光波導(dǎo)板12的光折射率，n2表示外部空間的光折射率。
根據(jù)上述(1)式，可以預(yù)想上述深度dp，隨著光10的波長(zhǎng)λ的增加而增大，隨著入射角θ接近臨界角而增大。另一方面，瞬逝波的能量E，如上述(2)式所示，越接近光波導(dǎo)板12的背面越大，隨著離開上述光波導(dǎo)板12的背面而按照指數(shù)函數(shù)衰減。在象素結(jié)構(gòu)102的表面上反射的光(散射光42)的光量，由于和上述瞬逝波的能量E成比例，因此散射光42的光量，也隨著象素結(jié)構(gòu)102接近光波導(dǎo)板12的背面而增加，隨著離開光波導(dǎo)板12的背面而按指數(shù)函數(shù)減少。
這時(shí)，由于致動(dòng)器部分14中的形狀保持層26的形狀保持效果，該致動(dòng)器部分14，繼續(xù)保持選擇時(shí)的變位量，該象素的發(fā)光狀態(tài)維持一定時(shí)間。
而后，當(dāng)將其適用于彩色顯示方式的情況下，根據(jù)被包含在象素結(jié)構(gòu)102中的濾色器40(例如三原色濾波器和互補(bǔ)色濾波器)的配色等的關(guān)系，就可以用例如相互相鄰的3個(gè)象素結(jié)構(gòu)(RGB排列)和相互相鄰的4個(gè)象素結(jié)構(gòu)(方塊排列等)構(gòu)成1個(gè)象素。
這樣，在實(shí)施例1的顯示裝置Da中，在光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18之間，在象素結(jié)構(gòu)102之外的部分上形成了擋條70。
當(dāng)不設(shè)置擋條70，而只用畫面的四邊固定光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18的情況下，因致動(dòng)器部分14的動(dòng)作而使致動(dòng)器基板18產(chǎn)生振動(dòng)，由此變位基準(zhǔn)變化，產(chǎn)生象素的開/關(guān)動(dòng)作和致動(dòng)器部分14的變位不能對(duì)應(yīng)的情況。
但是，在該實(shí)施例1的顯示裝置Da中，因?yàn)槿缟鲜瞿菢釉O(shè)置了擋條70，所以即使某個(gè)致動(dòng)器部分14進(jìn)行了變位動(dòng)作，其振動(dòng)也被擋條70吸收，而不產(chǎn)生變位的基準(zhǔn)變化等的問題。
另外，由于被形成在象素結(jié)構(gòu)102的周邊上的擋條70對(duì)光波導(dǎo)板12的支撐，使象素結(jié)構(gòu)102和光波導(dǎo)板12之間的間隙g在整個(gè)象素中均勻變得容易。而且，通過任意變更擋條70的高度，就可以容易控制上述間隙g的大小。其結(jié)果，可以得到整個(gè)象素均勻的亮度。
特別，如圖11所示，當(dāng)將擋條70形成在各象素結(jié)構(gòu)102的四方的情況下，因?yàn)樽兂稍谙笏亟Y(jié)構(gòu)102單位上形成了4個(gè)擋條70的形態(tài)，所以可以有效地吸收由某個(gè)致動(dòng)器部分14的變位動(dòng)作引起的振動(dòng)，而幾乎不對(duì)其他的致動(dòng)器部分14的變位動(dòng)作產(chǎn)生影響。其結(jié)果，在全部象素中的開動(dòng)作/關(guān)動(dòng)作和變位的對(duì)應(yīng)關(guān)系變得良好，可以忠實(shí)地顯示與被輸入的圖象信號(hào)對(duì)應(yīng)的影像。另外，致動(dòng)器基板18和光波導(dǎo)板12的連接也變得牢固。
另外，如圖12所示，當(dāng)在擋條70上具有至少包圍1個(gè)象素結(jié)構(gòu)102的窗部分70a的情況下，象素結(jié)構(gòu)102的整個(gè)側(cè)面成為由擋條70包圍的形態(tài)，致動(dòng)器基板18和光波導(dǎo)板12的連接更加牢固。而且，因某個(gè)致動(dòng)器部分14的變位動(dòng)作引起的振動(dòng)完全不會(huì)影響其他的致動(dòng)器部分14的變位動(dòng)作。
接著，參照?qǐng)D19說明實(shí)施例2的顯示裝置Db。進(jìn)而，與圖1對(duì)應(yīng)的部分標(biāo)有同一符號(hào)并省略說明。
涉及該實(shí)施例2的顯示裝置，如圖19所示，具有和實(shí)施例1的顯示裝置Da(參照?qǐng)D1)大致相同的構(gòu)成，但在擋條70的前端和光波導(dǎo)板12之間設(shè)置有間隔形成層50這一點(diǎn)上不同。
因?yàn)橛捎诖嬖谠撻g隔形成層50，可以用該間隔形成層50調(diào)整象素結(jié)構(gòu)102和光波導(dǎo)板12之間的間隔g，所以具有可以使整個(gè)象素的間隔均勻化的效果。這種情況下，如果使象素結(jié)構(gòu)102的上面和擋條70的上面(和間隔形成層50接觸的面)的位置一致，則具有容易調(diào)整上述間隔g的優(yōu)點(diǎn)。
作為實(shí)現(xiàn)其的方法，例如，有使用平坦的玻璃面同時(shí)形成象素結(jié)構(gòu)102和擋條70的方法，和在形成象素結(jié)構(gòu)102和擋條70之后，通過研磨使其露出的方法等。
在此，作為間隔形成層50的構(gòu)成材料，例如可以列舉金屬膜，和包含碳黑、黑顏料、黑染料的膜，和散射性低的透明薄膜等。由此，間隔形成層50就可以兼具有作為黑底的功能。
如果使用Cr、Al、Ni、Ag等的金屬膜作為間隔形成層50，則因?yàn)楣馕招。钥梢钥刂苽鬏斢诠獠▽?dǎo)板的光的衰減和散射，使用特別理想。
另外，如果使用包含碳黑、黑顏料、黑染料的膜作為間隔形成層50，則光的吸收性好，可以提高對(duì)比度。另外，如果使用光散射性低的透明的膜作為間隔形成層50，則通過和光吸收性良好的粘接劑(或者通過添加黑染料和黑顏料提高光吸收性的粘接劑)組合，就可以抑制光散射，提高對(duì)比度。
另外，作為間隔形成層50的尺寸，例如，如果采用致動(dòng)器部分14向光波導(dǎo)板12一側(cè)凸出變位的情況為例，則間隔量g的小極限(最小值)，被設(shè)定成在象素結(jié)構(gòu)102的關(guān)動(dòng)作時(shí)可以不考慮因瞬逝效應(yīng)引起的漏光的程度，間隔量g的大極限(最大值)，被設(shè)定成通過致動(dòng)器部分14的變位，象素結(jié)構(gòu)102可以接觸光波導(dǎo)板12的范圍。因而，間隔形成層50的厚度，被調(diào)整為上述間隔量g形成在上述范圍內(nèi)，最好在1～5μm之間。但是，象素結(jié)構(gòu)102和擋條70的高度差，可以相應(yīng)于顯示裝置的各種實(shí)施例進(jìn)行控制，最好與各實(shí)施例對(duì)應(yīng)地選擇最佳的間隔形成層50的厚度。
可是，在如圖19所示的實(shí)施例2的顯示裝置Db中，展示了使間隔形成層50的寬度比擋條70的寬度還寬的例子，但除此之外，如圖20的變形例的顯示裝置Dba所示，還可以使間隔形成層50的寬度比擋條70的寬度窄。這種情況下，因?yàn)殚g隔形成層50和光波導(dǎo)板12的接觸面積減小，所以可以降低不需要的散射光，在提高對(duì)比度上有利。
接著，參照?qǐng)D21說明實(shí)施例3的顯示裝置Dc。進(jìn)而，與圖19對(duì)應(yīng)的部分標(biāo)有同一符號(hào)并省略其重復(fù)說明。
本實(shí)施例3的顯示裝置Dc，如圖21所示，具有和實(shí)施例2的顯示裝置Db(參照?qǐng)D19)大致相同的構(gòu)成，但在象素結(jié)構(gòu)102的表面上形成有多個(gè)凹部110這一點(diǎn)上不同。該凹部110，可以作為連續(xù)的溝形成。
如果采用實(shí)施例3的顯示裝置Dc，則由于按照象素結(jié)構(gòu)102與光波導(dǎo)板12相對(duì)的面積確定凹部110的形成個(gè)數(shù)或者大小，因此可以使各象素結(jié)構(gòu)102中的與光波導(dǎo)板12相對(duì)的接觸面積幾乎相同，可以得到整個(gè)象素均勻的亮度。
另外，由于凹部110的存在，象素結(jié)構(gòu)102和光波導(dǎo)板12的密合性緩和，由此可以平滑地使象素結(jié)構(gòu)102從光波導(dǎo)板12離開。其結(jié)果，可以防止象素結(jié)構(gòu)102粘貼到光波導(dǎo)板12上，并可以有效地實(shí)現(xiàn)高反應(yīng)速度。
以下，參照?qǐng)D22說明實(shí)施例4的顯示裝置Dd。進(jìn)而，與圖19對(duì)應(yīng)的部分標(biāo)有相同的符號(hào)并省略其重復(fù)說明。
本實(shí)施例4的顯示裝置Dd，如圖22所示，具有與實(shí)施例2的顯示裝置Db大致相同的構(gòu)成，但在上述象素結(jié)構(gòu)102的周邊部分上形成有臺(tái)階高差112這一點(diǎn)上不同。
如果采用本實(shí)施例4的顯示裝置Dd，由于在象素結(jié)構(gòu)102的周邊部分上設(shè)置臺(tái)階高差112，因此可以使象素結(jié)構(gòu)102與光波導(dǎo)板12接觸部分的面積在整個(gè)象素中一定，可以得到在整個(gè)象素中均勻的亮度。另外，由于存在臺(tái)階高差112，象素結(jié)構(gòu)102和光波導(dǎo)板12的密合性緩和，因此可以防止象素結(jié)構(gòu)102粘貼到光波導(dǎo)板12上，可以實(shí)現(xiàn)高反應(yīng)速度。
以下，參照?qǐng)D23說明實(shí)施例5的顯示裝置De。進(jìn)而，與圖19對(duì)應(yīng)的部分標(biāo)有相同的符號(hào)并省略其重復(fù)說明。
本實(shí)施例5的顯示裝置De，如圖23所示，具有和實(shí)施例2的顯示裝置Db大致相同的構(gòu)成，但在象素結(jié)構(gòu)102的表面設(shè)置凹形狀114這一點(diǎn)上不同。
在致動(dòng)器部分14變位時(shí)，具有象素結(jié)構(gòu)102的中央部分具有變位量最大的傾向。因此，通過將象素結(jié)構(gòu)102的表面作成凹形狀部分114使該象素結(jié)構(gòu)102的中央部分例如只凹陷相當(dāng)于上述變位量的深度，就可以在致動(dòng)器部分14變位象素結(jié)構(gòu)102接觸光波導(dǎo)板12時(shí)，象素結(jié)構(gòu)102的表面接近于平坦，增大象素結(jié)構(gòu)102對(duì)光波導(dǎo)板12的接觸面積。
這種情況下，如果加大凹形狀114的彎曲深度，則在象素結(jié)構(gòu)102與光波導(dǎo)板12接觸時(shí)，變?yōu)橄笏亟Y(jié)構(gòu)102的中央部分不與光波導(dǎo)板12接觸的狀態(tài)，近似于在象素結(jié)構(gòu)102的表面形成了凹部分的狀態(tài)。因此，使象素結(jié)構(gòu)102和光波導(dǎo)板12的密合性緩和，可以光滑地使象素結(jié)構(gòu)102離開光波導(dǎo)板。其結(jié)果，可以防止象素結(jié)構(gòu)102向光波導(dǎo)板12的粘貼，可以有效地實(shí)現(xiàn)應(yīng)答速度的高速化。
可以分別單獨(dú)實(shí)現(xiàn)涉及實(shí)施例3的顯示裝置Dc的構(gòu)成(在象素結(jié)構(gòu)102的表面上形成凹部分110的構(gòu)成)、涉及實(shí)施例4的顯示裝置Dd的構(gòu)成(在象素結(jié)構(gòu)102的表面上形成臺(tái)階高差112的構(gòu)成)以及涉及實(shí)施例5的顯示裝置De的構(gòu)成(在象素結(jié)構(gòu)102的表面設(shè)置成凹形狀114的構(gòu)成)，也可以進(jìn)行任意組合。通過組合，就可以實(shí)現(xiàn)由各自的構(gòu)成產(chǎn)生的協(xié)同效果。圖24是組合有實(shí)施例3～5的顯示裝置Dc～De的所有構(gòu)成的實(shí)施例6的顯示裝置Df的例子。
但是，涉及實(shí)施例1～6的顯示裝置Da～Df，除了可以單獨(dú)使用外，如圖25所示，還可以將這些實(shí)施例的顯示裝置Da～Df當(dāng)作大畫面顯示裝置250的1個(gè)顯示元件252。在該圖25的例子中，展示在具有大畫面的顯示面積的波導(dǎo)板254的背面，將顯示元件252在縱向排列7個(gè)，在橫向排列18個(gè)的例子。這種情況下，波導(dǎo)板254，使用玻璃和丙烯酸板等在可見光范圍中光透過率大且均勻的材料，在各顯示元件252之間，通過用引線接合和錫焊、端面接插件、背面接插件等連接就可以進(jìn)行相互間的信號(hào)供給。
另外，在如圖25所示的大畫面顯示裝置250中，作為適用于各顯示元件252的顯示裝置使用實(shí)施例1～實(shí)施例6的顯示裝置Da～Df，用將該象素的排列設(shè)置成在水平方向32個(gè)，在垂直方向32個(gè)的形式。在這些實(shí)施例的顯示裝置Da～Df中，當(dāng)把與各行有關(guān)的象素的排列設(shè)置成梳齒形狀的情況下，可以使象素的水平方向的排列間距非常小，當(dāng)把水平方向以及垂直方向的象素的排列數(shù)設(shè)置成相同的情況下，整個(gè)的平面形狀，成為縱長(zhǎng)形狀。
雖然在如圖25所示的大畫面顯示裝置250中，展示了在大型的波導(dǎo)板254的板面上，將包含光波導(dǎo)板12的顯示元件252排列成矩陣形狀的例子，但除此之外，也可以省略大型波導(dǎo)板254，通過將包含光波導(dǎo)板12的顯示元件252配置成矩陣形狀構(gòu)成大畫面顯示裝置250。這種情況下，被排列成矩陣形狀的多個(gè)光波導(dǎo)板12兼作上述大型波導(dǎo)板254用。除了上述構(gòu)成之外，還可以在大型的波導(dǎo)板254的板面上，將不包含光波導(dǎo)板12的顯示元件252配置成矩陣形狀構(gòu)成上述大畫面顯示裝置250。
上述波導(dǎo)板254和光波導(dǎo)板12最好是折射率接近的波導(dǎo)板，當(dāng)粘合波導(dǎo)板254和光波導(dǎo)板12的情況下，可以使用透明的粘接劑。該粘接劑，最好和光波導(dǎo)板12和波導(dǎo)板254一樣，在可見光區(qū)域均勻，并具有高的透過率，另外，折射率也設(shè)定成波導(dǎo)板254和光波導(dǎo)板12接近對(duì)于確保畫面的透明度很理想。
以下，參照?qǐng)D26A～圖26B說明實(shí)施例1～實(shí)施例6的顯示裝置Da～Df的制造方法。
首先，第1制造方法，如圖26A所示，在致動(dòng)器基板18的一主面中，在沒有形成致動(dòng)器部分14的部分上例如用膜形成法形成擋條70。作為擋條70的材料，并沒有特別限定，但最好是使用硬化后的硬度硬的材料。例如如果是樹脂，最好是熱硬化樹脂(單組分、雙組分環(huán)氧樹脂等)。作為擋條的厚度是50～100μm之間。
在此，作為膜形成方法，例如有網(wǎng)板印刷法、光刻法、薄膜粘貼法等。
光刻法，例如具有如圖27A～27B那樣，曝光顯像成為擋條70的膜120形成擋條70的第1方法，和如圖28A～圖28B所示，在掩模122的開口122a上埋入成為擋條70的材料124形成擋條70的第2方法。
第1方法，例如通過以下的順序進(jìn)行。首先，如圖27A所示，在致動(dòng)器基板18上的整個(gè)面上均勻地涂抹了成為擋條70的膜120后，如圖27B所示，通過在應(yīng)該形成擋條70的部分上具有開口的掩模130有選擇地曝光成為擋條70的膜120。其后，如圖27C所示，對(duì)成為擋條70的膜120進(jìn)行顯像。通過該顯像在成為擋條70的膜120中，被曝光的部分作為擋條70殘存下來，未被曝光的部分被溶解除去。
作為涂抹構(gòu)成擋條70的膜的方法，可以使用通過印刷的涂抹、通過旋涂器的涂抹、DIP(浸漬法)、滾涂、還有玻璃壓迫法等。另外，也可以適用具有和感光膠同樣功能的感光性薄膜。
另一方面，第2方法，按照以下的順序進(jìn)行。首先，如圖28A所示，通過實(shí)施感光膠的涂抹、曝光以及顯像在致動(dòng)器基板18上形成由感光膠產(chǎn)生的掩模122。該掩模122，在應(yīng)該形成擋條70的部分上具有開口122a。
其后，如圖28B所示，在掩模122的開口122a內(nèi)埋入了成為擋條70的材料124之后，如圖28C所示，通過除去掩模122，就可以在致動(dòng)器基板18上形成擋條70。
上述第1方法(涂抹方法)，由于感光成為條件，所以對(duì)于構(gòu)成擋條70的膜120的材料選擇性降低，但第2方法(埋入法)，由于可以不考慮感光等，所以對(duì)于構(gòu)成擋條70的膜120的材料的選擇性的自由度提高。
薄膜粘貼法，如圖29所示，是在預(yù)先對(duì)薄膜(用成為擋條的材料形成的薄膜干膜等)進(jìn)行切斷或者打孔等制成擋條70后，例如通過粘接劑132將擋條70粘貼在致動(dòng)器基板18上的方法。在擋條的粘貼時(shí)，例如可以使用真空封裝法、層壓法等。
陶瓷燒結(jié)法，例如是在致動(dòng)器基板18上用例如膜形成法形成成為第1層的擋條70的部分之后，通過燒結(jié)使致動(dòng)器基板18和第1層的擋條70一體化的方法。
再回到第1制造方法的說明，如圖26B所示，在致動(dòng)器基板18的各致動(dòng)器部分14上例如用膜形成法分別形成象素結(jié)構(gòu)102。膜形成法，可以采用如圖27～圖29所示的各種方法。
而后，如圖26C所示，在使致動(dòng)器基板18上的擋條70以及象素結(jié)構(gòu)102硬化之前，將光波導(dǎo)板12按壓在致動(dòng)器基板18上的擋條70以及象素結(jié)構(gòu)102上，在使光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使擋條70和象素結(jié)構(gòu)102硬化至完成。
在該第1制造方法中，因?yàn)橹辽僭谙笏亟Y(jié)構(gòu)102未硬化的狀態(tài)下加壓致動(dòng)器基板18和光波導(dǎo)板12，所以在加壓時(shí)，光波導(dǎo)板12變?yōu)閷鯒l和象素結(jié)構(gòu)102壓在致動(dòng)器基板18一側(cè)的形態(tài)，預(yù)先被形成的擋條70成為隔板由此規(guī)定象素結(jié)構(gòu)102的厚度。其結(jié)果，至少在使象素結(jié)構(gòu)102硬化時(shí)擋條70的上面和象素結(jié)構(gòu)102的上面大致變?yōu)橥幻妗?br> 這種情況下，作為象素結(jié)構(gòu)102的構(gòu)成材料，由于使用在象素結(jié)構(gòu)102的硬化時(shí)該象素結(jié)構(gòu)102收縮的材料，所以在擋條70和象素結(jié)構(gòu)102的硬化時(shí)可以在象素結(jié)構(gòu)102和光波導(dǎo)板12之間形成一定的間隔g。
另外，作為用于形成間隔g的另一方法，例如，也可以在加壓粘貼光波導(dǎo)板12時(shí)，使象素結(jié)構(gòu)102加熱膨脹，或者使致動(dòng)器部分14變位使象素結(jié)構(gòu)102接觸光波導(dǎo)板12。在其后的擋條70和象素結(jié)構(gòu)102的硬化時(shí)，通過象素結(jié)構(gòu)102收縮或者致動(dòng)器部分14的變位復(fù)位(復(fù)原)就可以在象素結(jié)構(gòu)102和光波導(dǎo)板12之間形成一定的間隔g。
除此之外，假設(shè)在自然狀態(tài)下象素結(jié)構(gòu)102處于與光波導(dǎo)板12接觸的狀態(tài)的情況下，例如如圖7所示，作為致動(dòng)器部分14的變位動(dòng)作，可以適用于象素結(jié)構(gòu)102向離開光波導(dǎo)板12的方向變位的情況。
作為致動(dòng)器基板18和光波導(dǎo)板12的加壓方法，有采用砝碼的負(fù)荷、真空封裝法、CIP法(靜水壓負(fù)荷法)、采用倒裝式接合的負(fù)荷、定值控制和低壓加壓法等的各種負(fù)荷法。
其中，真空封裝法，如圖30所示，是通過把在致動(dòng)器基板18上按壓著光波導(dǎo)板12的整體裝入真空封裝袋140內(nèi)并將該袋140抽真空，使致動(dòng)器基板18和光波導(dǎo)板12相互加壓的方法。這種情況下，為了抑制氣泡的產(chǎn)生，可以在粘接劑和象素結(jié)構(gòu)中加入消泡劑，或者在硬化前實(shí)施脫泡處理。
圖30所示的真空封裝法和CIP法，即使在致動(dòng)器基板18上有翹曲和彎曲的情況下，也可以均勻地加壓致動(dòng)器基板18和光波導(dǎo)板12，因此，由于光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板相互仿形，因而可以在全部的象素結(jié)構(gòu)102和光波導(dǎo)板12之間形成一定的間隔g。進(jìn)而，也可以組合真空封裝法和CIP法。
低壓加壓法，如圖31所示，是把在致動(dòng)器基板18上按壓著光波導(dǎo)板12的整體插入下模142和上模144之間，在低壓下加壓的方法。這種情況下，因?yàn)榧釉谥聞?dòng)器基板18上的應(yīng)力小，所以可以防止對(duì)致動(dòng)器部分14的損傷等。
使用由倒裝式接合產(chǎn)生負(fù)荷的方法，因?yàn)榭梢赃M(jìn)行位置控制、加壓控制、加熱，所以使用上理想。
以下，參照?qǐng)D32A～32D說明有關(guān)第2制造方法。該第2制造方法，是在光波導(dǎo)板12上形成象素結(jié)構(gòu)102和擋條70，并加壓粘貼致動(dòng)器基板18的方法。
首先，如圖32A所示，在光波導(dǎo)板12中，在使用例如膜形成法在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置以外的位置上形成多個(gè)擋條70之后，如圖32B所示，在光波導(dǎo)板12中，用例如膜形成法在與多個(gè)象素結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)的位置上形成象素結(jié)構(gòu)102。
而后，如圖32C所示，在預(yù)先與象素對(duì)應(yīng)位置上形成有致動(dòng)器部分14的致動(dòng)器基板18的一主面中，在與擋條70對(duì)應(yīng)的位置和致動(dòng)器部分14的上面涂抹粘接劑150。
其后，在使光波導(dǎo)板12上的擋條70以及象素結(jié)構(gòu)102硬化之前，把致動(dòng)器基板18的一主面?zhèn)劝磯涸诠獠▽?dǎo)板12上的擋條70以及象素結(jié)構(gòu)102上，在使光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，如圖32D所示，在該狀態(tài)下使擋條70和象素結(jié)構(gòu)102以及粘接劑150硬化直至完成。
如果采用該第2制造方法，因?yàn)橹苯釉诠獠▽?dǎo)板12上形成象素結(jié)構(gòu)102，所以具有容易規(guī)定象素的面積(接觸光波導(dǎo)板12的接觸面積)的優(yōu)點(diǎn)，容易得到整個(gè)象素均勻的亮度。
這種情況下，也是當(dāng)致動(dòng)器部分14在自然狀態(tài)時(shí)象素結(jié)構(gòu)102處于接觸光波導(dǎo)板12的形態(tài)的情況下，如圖7所示，作為致動(dòng)器部分14的變位動(dòng)作，可以適用于象素結(jié)構(gòu)102向離開光波導(dǎo)板12的方向變位的情況。
另外，在加壓粘貼光波導(dǎo)板12時(shí)，如果通過加熱象素結(jié)構(gòu)102使其膨脹，或者通過使致動(dòng)器部分14變位使象素結(jié)構(gòu)102接觸光波導(dǎo)板12，可以在擋條70和象素結(jié)構(gòu)102的硬化時(shí)在象素結(jié)構(gòu)102和光波導(dǎo)板12之間形成一定的間隔g。
以下，參照?qǐng)D33A～圖33C說明第3制造方法。該第3制造方法，是在形成有象素結(jié)構(gòu)102和擋條70的致動(dòng)器基板18上暫時(shí)粘貼板材200，在使象素結(jié)構(gòu)102和擋條70的各自上面大致為同一面之后，除去板材200，粘貼光波導(dǎo)板12的方法。
首先，如圖33A所示，在致動(dòng)器基板18的一主面中，用例如膜形成法在沒有形成致動(dòng)器部分14的部分上形成擋條70。
其后，如圖33B所示，使用例如膜形成法在致動(dòng)器基板18的各致動(dòng)器部分14上形成象素結(jié)構(gòu)102。
其后，如圖33C所示，在使致動(dòng)器基板18上的擋條70以及象素結(jié)構(gòu)102硬化前，把板材200按壓在致動(dòng)器基板18上的擋條70以及象素結(jié)構(gòu)102上，在使板材200和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使擋條70和象素結(jié)構(gòu)102硬化。
作為板材200，可以使用玻璃、陶瓷、金屬等。在其中也是玻璃最理想。這是因?yàn)槿菀椎玫骄哂懈弑砻嫫交院瓦m度的剛性的板材的緣故。
板材的表面平滑性，因?yàn)槠鸬教岣呦笏氐牧炼鹊淖饔?，所以希望Ra＜0.1μm，最好Ra＜0.01μm。
另外，板材的剛性，設(shè)定成在加壓過程中沒有塑性變形，靠彈性變形跟隨致動(dòng)器基板的翹曲。例如，在作為板材使用玻璃，作為加壓法使用真空封裝法的情況下，希望板材的厚度是致動(dòng)器基板的厚度的0.5～10倍之間，最好是1～5倍之間。
另一方面，作為加壓法，當(dāng)使用低壓加壓法的情況下，因?yàn)樽詈檬前宀牡淖冃瘟可俚姆椒?，所以從剛性和使用的容易性的觀點(diǎn)看板厚的一方好。
作為板材200和致動(dòng)器基板18的加壓方法，如上所述，可以使用采用砝碼的負(fù)荷、真空封裝法、CIP(靜水壓負(fù)荷法)、采用倒裝式接合的負(fù)荷、定值控制和低壓加壓法等的各種負(fù)荷法。
在致動(dòng)器基板18上加壓粘貼板材200時(shí)，在致動(dòng)器基板18上形成的擋條70成為隔板規(guī)定了致動(dòng)器基板18和板材200之間的距離。因?yàn)樵诩訅汉?，或者加壓的狀態(tài)下使擋條70和象素結(jié)構(gòu)102硬化，所以該被規(guī)定的距離相當(dāng)于致動(dòng)器基板18和光波導(dǎo)板12之間的距離。
這種情況下，作為象素結(jié)構(gòu)102的構(gòu)成材料，通過使用在象素結(jié)構(gòu)102的硬化時(shí)該象素結(jié)構(gòu)102收縮的材料，就可以在擋條70和象素結(jié)構(gòu)102的硬化時(shí)在象素結(jié)構(gòu)102和板材200之間形成一定的間隔g。這和在象素結(jié)構(gòu)102和光波導(dǎo)板12之間形成一定的間隔g是等價(jià)的。
另外，在不使用在象素結(jié)構(gòu)102的硬化時(shí)該象素結(jié)構(gòu)102收縮的材料的情況中，當(dāng)在擋條70和象素結(jié)構(gòu)102的硬化時(shí)在象素結(jié)構(gòu)102和板材200之間形成間隔g的情況下，例如，可以在加壓粘貼板材200之時(shí)，加熱象素結(jié)構(gòu)102使其膨脹，或者通過使致動(dòng)器部分14變位使象素結(jié)構(gòu)102接觸板材200。在其后的擋條70和象素結(jié)構(gòu)102的硬化時(shí)，通過象素結(jié)構(gòu)102收縮或者致動(dòng)器部分14的變位復(fù)位(復(fù)原)在象素結(jié)構(gòu)102和板材200之間形成一定的間隔g。
除此之外，當(dāng)在自然狀態(tài)下象素結(jié)構(gòu)102處于接觸光波導(dǎo)板12的形態(tài)的情況下，例如如圖7所示，作為致動(dòng)器部分14的變位動(dòng)作，可以適用于象素結(jié)構(gòu)102向離開光波導(dǎo)板12的方向變位的情況。
而且，當(dāng)作為板材200使用了平滑材料的情況下，可以在象素結(jié)構(gòu)102的表面上形成和板材200同等的平滑面。該優(yōu)異的平滑性，起到提高象素發(fā)光時(shí)亮度的作用。
如圖34所示，作為板材200，如果使用在與象素結(jié)構(gòu)102對(duì)應(yīng)的位置上分別具有多個(gè)凸部分202的材料，則在板材200和致動(dòng)器基板18加壓時(shí)，在象素結(jié)構(gòu)102的表面形成與上述凸部分202對(duì)應(yīng)的凹部分110，可以制作圖21所示的實(shí)施例3的顯示裝置Dc。
另外，如圖35所示，作為板材200，如果使用在與象素結(jié)構(gòu)102的周邊部分對(duì)應(yīng)的位置上分別具有凸部分204的材料，則在板材200和致動(dòng)器基板18加壓時(shí)，在象素結(jié)構(gòu)102周邊部分上形成與上述凸部分204對(duì)應(yīng)的臺(tái)階高差112，可以制作如圖22所示的實(shí)施例4的顯示裝置Dd。
另外，如圖36所示，作為板材200，如果使用在與象素結(jié)構(gòu)102對(duì)應(yīng)的位置上分別形成有凸形狀206的材料，則在板材200和致動(dòng)器基板18加壓時(shí)，在象素結(jié)構(gòu)102的表面上形成與上述凸形狀206對(duì)應(yīng)的凹形狀114，可以制作圖23所示的實(shí)施例5的顯示裝置De。
另外，如圖37所示，作為板材200，如果使用在與擋條70對(duì)應(yīng)的位置上分別具有多個(gè)凸部分208的材料，則在板材200和致動(dòng)器基板18加壓時(shí)，形成象素結(jié)構(gòu)102的上端比擋條70的上端還高。這種情況下，在自然狀態(tài)下表示開狀態(tài)的例如圖7所示的顯示裝置Da中，象素結(jié)構(gòu)102更完全地接觸到光波導(dǎo)板12。當(dāng)然，在圖7的顯示裝置Da中，也可以很好地使用于沒有間隔形成層50的材料。
作為其他的效果，因?yàn)榭梢孕纬珊竦拈g隔形成層50，所以在間隔形成層50具有作為光吸收層的功能的情況下，在對(duì)比度等的提高畫質(zhì)上有效，另外，對(duì)于間隔形成層50的材料選擇的范圍也寬。當(dāng)然，也可以適用于在自然狀態(tài)下象素結(jié)構(gòu)102從光波導(dǎo)板12離開的類型的顯示裝置。
另一方面，作為板材200，如果利用在與擋條70對(duì)應(yīng)的位置上分別具有多個(gè)凹部分的材料，則在板材200和致動(dòng)器基板18的加壓時(shí)象素結(jié)構(gòu)102的上端形成的比擋條70的上端還低。這種情況下，即使在沒有間隔形成層50的形態(tài)中，也可以形成精密的間隔g。
有關(guān)圖34～圖37所示的板材200的凸部分202等，在后述的第4制造方法中也可以用同樣敘述。
其后，如圖38A所示，在除去上述板材200之后，用例如膜形成法在致動(dòng)器基板18上的擋條70的上面涂抹粘接劑210。
粘接劑，因?yàn)楸仨氁种乒馍⑸?，所以希望設(shè)置成光吸收性高的粘接劑。例如，可以使用添加了碳黑、黑顏料、黑染料的粘接劑。
而后，如圖38所示，在使粘接劑210硬化之前，將光波導(dǎo)板12按壓在致動(dòng)器基板18上的擋條70上，在使光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓后，在該狀態(tài)下使粘接劑210硬化直至完成。
作為光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18的加壓的方法，如上所述，最好使用采用砝碼的負(fù)荷、真空封裝法、CIP(靜水壓負(fù)荷法)、采用倒裝式接合的負(fù)荷、定值控制和低壓加壓法等的各種負(fù)荷法。
作為在象素結(jié)構(gòu)102的表面形成凹部分110和臺(tái)階高差112，或者將象素結(jié)構(gòu)102的表面設(shè)置成凹形狀114的方法，如上所述，最好使用在表面上具有凸部分202、204以及206的板材200。在此，最好使用用一般的膜形成方法在用玻璃構(gòu)成的板材200上形成金屬膜和抗蝕劑膜的方法。具有可以自由地變更凸部分202、204以及206的圖形和高度的優(yōu)點(diǎn)。凸部分202、204以及206的高度，最好是0.1～2μm之間。
這其中，作為在象素結(jié)構(gòu)102的表面形成凹部分110和臺(tái)階高差112的方法，另外，還可以對(duì)象素結(jié)構(gòu)102的表面使用平面研磨和由激光進(jìn)行的表面加工。激光加工，不只形成凹部分110和臺(tái)階高差112，而且還具有由加熱產(chǎn)生的表面改性的效果。而且，由于可以容易設(shè)計(jì)加工圖形所以特別好用。
另一方面，作為將象素結(jié)構(gòu)102的表面設(shè)置成凹形狀114的方法，除了上述的方法之外，還有在象素結(jié)構(gòu)102的硬化時(shí)在致動(dòng)器部分14上加電壓的方法和加熱的方法。有在板材200上在硬化中加熱的方法，和在除去板材200后加熱的方法，可以根據(jù)象素結(jié)構(gòu)102的材質(zhì)進(jìn)行選擇。加熱溫度可以使用15℃～150℃，最好使用20℃～80℃。
以下，參照?qǐng)D39A～圖39D說明第4制造方法。該第4制造方法，是在板材200上形成象素結(jié)構(gòu)102和擋條70，并分別使其硬化，之后，粘貼致動(dòng)器基板18，其后，除去板材200，粘貼光波導(dǎo)板12的方法。
首先，如圖39A所示，在板材200中，在用例如膜形成法在與多個(gè)象素結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)的位置以外的位置上形成擋條70之后，使擋條70硬化。接著，如圖39B所示，在板材200中，在用例如膜形成法在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置上形成象素結(jié)構(gòu)102之后，使象素結(jié)構(gòu)102硬化。
其后，如圖39C所示，在預(yù)先與象素對(duì)應(yīng)的位置上形成有致動(dòng)器部分14的致動(dòng)器基板18的一主面中，在與擋條70對(duì)應(yīng)的位置和致動(dòng)器部分14的上面涂抹粘接劑212。
其后，在使上述粘接劑212硬化前，將致動(dòng)器基板18的一主面壓在板材200上的擋條70以及象素結(jié)構(gòu)102上，在使板材200和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓后，在該狀態(tài)下使粘接劑212硬化。
其后，如圖39D所示除去板材200。在該時(shí)刻，成為被形成在板材200上的擋條70和象素結(jié)構(gòu)102被轉(zhuǎn)印到致動(dòng)器基板18上的形態(tài)。因而，如圖39A所示，在板材200上形成擋條70以及象素結(jié)構(gòu)102之前，最好在板材200上涂抹例如脫膜劑。這是因?yàn)榭梢允瓜笏亟Y(jié)構(gòu)102和擋條70順利地轉(zhuǎn)印到致動(dòng)器基板18上的緣故。
其后，如圖38A所示，在致動(dòng)器基板18上的擋條70的上面用例如膜形成法涂抹粘接劑210。
而后，如圖38B所示，在上述粘接劑210硬化之前，把光波導(dǎo)板12按壓在致動(dòng)器基板18上的擋條70上，在使光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使粘接劑210硬化直至完成。
在圖38A以及圖38B的例子中，展示了在擋條70的上面直接粘貼光波導(dǎo)板12的情況，但除此之外，也可以采用圖40A以及圖40B所示的方法。
即，如圖40A所示，用例如膜形成法在致動(dòng)器基板18上的擋條70的上面涂抹粘貼劑210。
而后，如圖40B所示，在光波導(dǎo)板12中，在與擋條對(duì)應(yīng)的部分上，預(yù)先用例如膜形成法形成間隔形成層50，在使上述粘接劑210硬化之前，把光波導(dǎo)板12按壓在致動(dòng)器基板18上的擋條70上(按壓間隔形成層50和擋條70)，在使光波導(dǎo)板2和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使粘接劑210硬化直至完成。
如圖40A以及圖40B所示，在設(shè)置了間隔形成層50的情況下，更容易使象素結(jié)構(gòu)102和光波導(dǎo)板12之間的間隔g在整個(gè)象素中均勻，上述間隔g的大小也變得容易控制。
接著，參照?qǐng)D41A～圖41C說明第5制造方法。該第5制造方法，是在光波導(dǎo)板12上形成象素結(jié)構(gòu)102，在致動(dòng)器基板18上形成擋條70，其后，加壓粘貼這些光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18的方法。
首先，如圖41A所示，在光波導(dǎo)板12中，在用例如膜形成法在與多個(gè)象素結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)的位置上形成象素結(jié)構(gòu)102之后，如圖41B所示，在致動(dòng)器基板18的一主面中，用例如膜形成法在沒有形成致動(dòng)器部分14的部分上形成擋條70。其后，用例如膜形成法在致動(dòng)器基板18上的擋條70的上面涂抹粘接劑210。
而后，如圖41C所示，在使粘接劑210硬化之前，使致動(dòng)器基板18的形成有上述擋條70的面和光波導(dǎo)板12的形成有上述象素結(jié)構(gòu)102的面粘合，在使光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使粘接劑210硬化直至完成。
在該第5制造方法中，因?yàn)榭梢苑謩e用獨(dú)立的工序形成象素結(jié)構(gòu)102和擋條70，所以與象素結(jié)構(gòu)102和擋條70有關(guān)的材料的選定范圍寬，可以降低制造成本和工時(shí)數(shù)。另外，因?yàn)樵谄教苟雀叩墓獠▽?dǎo)板12上形成象素結(jié)構(gòu)102，所以可以使象素結(jié)構(gòu)102的大小一致。
以下，參照?qǐng)D42A～圖42C說明第6制造方法。該第6制造方法，是在光波導(dǎo)板12上形成擋條70，在致動(dòng)器基板18上形成象素結(jié)構(gòu)102，其后，加壓粘貼光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18的方法。
首先，如圖42A所示，在光波導(dǎo)板12中，在用例如膜形成法在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置以外的位置上形成多個(gè)擋條70之后，如圖42B所示，在致動(dòng)器基板18的一主面中，用例如膜形成法在致動(dòng)器基板14上形成象素結(jié)構(gòu)102。其后，用例如膜形成法在光波導(dǎo)板12的擋條70的上面涂抹粘接劑212?；蛘?，在致動(dòng)器基板18的一主面中，用例如膜形成法在沒有致動(dòng)器部分14的部分上形成粘接劑212。
其后，如圖42C所示，在使粘接劑212硬化之前，粘合致動(dòng)器基板18的形成有上述象素結(jié)構(gòu)102的面和在光波導(dǎo)板12的形成有上述擋條70的面，并在使光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使粘接劑210硬化直至完成。
在該第6制造方法中，因?yàn)榭梢苑謩e用獨(dú)立的工序形成上述象素結(jié)構(gòu)102和擋條70，所以與象素結(jié)構(gòu)102和擋條70有關(guān)的材料選擇的范圍寬，可以降低制造成本和工時(shí)數(shù)。另外，因?yàn)樵谄教苟雀叩墓獠▽?dǎo)板12上形成擋條70，所以可以使擋條70的高度嚴(yán)格一致。而且，在象素結(jié)構(gòu)102的形成中，因?yàn)椴淮嬖谡系K物(擋條70等)，所以可以高精度地形成象素結(jié)構(gòu)102。
以下，參照?qǐng)D43A以及圖43B說明第7制造方法。該第7制造方法，是在預(yù)先一體地設(shè)置有擋條的致動(dòng)器基板18上形成象素結(jié)構(gòu)102，其后，加壓粘貼光波導(dǎo)板12的方法。
首先，如圖43A所示，在致動(dòng)器部分14以外的位置上具有一體的多個(gè)擋條70的致動(dòng)器基板18的各致動(dòng)器部分14上形成象素結(jié)構(gòu)102。其后，用例如膜形成法在致動(dòng)器基板18的擋條70的上面涂抹粘接劑210。
而后，如圖43B所示，在使致動(dòng)器基板18上的擋條70以及象素結(jié)構(gòu)102硬化之前，把光波導(dǎo)板12按壓在致動(dòng)器基板18上的擋條70以及象素結(jié)構(gòu)102上，在使光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18在相互接近方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使擋條70和象素結(jié)構(gòu)102硬化直至完成。
在該第7制造方法中，作為致動(dòng)器基板18，因?yàn)槭褂妙A(yù)先一體地具有擋條70的致動(dòng)器基板18，所以擋條70部分的機(jī)械強(qiáng)度高，隨之，致動(dòng)器基板18的剛性增高。其結(jié)果，例如在搬運(yùn)致動(dòng)器基板18時(shí)和保管時(shí)，可以用上述擋條70保護(hù)被形成在該致動(dòng)器基板18上的致動(dòng)器部分14，特別是振動(dòng)部分22。另外，與單獨(dú)形成擋條70的情況相比，可以節(jié)省使擋條70硬化的工序，可以實(shí)現(xiàn)削減工時(shí)。
以下，參照?qǐng)D44A～圖45B說明第8制造方法。該第8制造方法，是在致動(dòng)器基板18上形成擋條70，在板材200上形成象素結(jié)構(gòu)102，并在加壓粘合致動(dòng)器基板18和板材200之后，除去板材200，加壓粘貼光波導(dǎo)板12的方法。
首先，如圖44A所示，在板材200中，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置上形成象素結(jié)構(gòu)102之后，如圖44B所示，在致動(dòng)器基板18中，在上述致動(dòng)器部分14以外的位置上形成多個(gè)擋條70。
接著，如圖44C所示，在使致動(dòng)器基板18上的擋條70以及象素結(jié)構(gòu)102硬化之前，粘合致動(dòng)器基板18的形成有上述擋條70的面和板材200的形成有上述象素結(jié)構(gòu)102的面，在使板材200和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使擋條70和象素結(jié)構(gòu)102硬化。
其后，如圖45A所示，在除去上述板材200將象素結(jié)構(gòu)102轉(zhuǎn)印到致動(dòng)器基板18上之后，用例如膜形成法在致動(dòng)器基板18上的擋條70的上面涂抹粘接劑210。
而后，如圖45B所示，在使粘接劑210硬化前，把光波導(dǎo)板12按壓在致動(dòng)器基板18上的擋條70上，在使光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使粘接劑210硬化直至完成。
這種情況下，因?yàn)榭梢苑謩e用獨(dú)立的工序形成象素結(jié)構(gòu)102和擋條70，所以與象素結(jié)構(gòu)102和擋條70有關(guān)的材料選擇范圍寬，可以降低制造成本和工時(shí)數(shù)。另外，因?yàn)樵谄教苟雀叩陌宀?00上形成象素結(jié)構(gòu)102，所以可以使象素結(jié)構(gòu)102的大小一致。
以下，參照?qǐng)D46A～圖47B說明第9制造方法。該第9制造方法，是在致動(dòng)器基板18上形成象素結(jié)構(gòu)102，在板材200上形成擋條70，并在加壓粘合致動(dòng)器基板18和板材200之后，除去板材200，加壓粘貼光波導(dǎo)板12的方法。
首先，如圖46A所示，在板材200中，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置以外的位置上形成擋條70之后，如圖46B所示，在致動(dòng)器基板18的各致動(dòng)器部分14上形成象素結(jié)構(gòu)102。其后，在被形成在板材200上的擋條70的下面用例如膜形成法涂抹粘接劑212。粘接劑212不僅涂抹在擋條70的上面，也可以涂抹在致動(dòng)器基板18的致動(dòng)器部分14以外的地方。
接著，如圖46C所示，在使致動(dòng)器基板18上的象素結(jié)構(gòu)102硬化之前，粘合致動(dòng)器基板18的形成有上述象素結(jié)構(gòu)102的面和板材200的形成有上述擋條70的面，在使板材200和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使象素結(jié)構(gòu)102硬化。
其后，如圖47A所示，在除去上述板材200將擋條70轉(zhuǎn)印到致動(dòng)器基板18上之后，用例如膜形成法在致動(dòng)器基板18上的擋條70的上面涂抹粘接劑210。
而后，如圖47B所示，在使粘接劑210硬化之前，把光波導(dǎo)板12按壓在致動(dòng)器基板18上的擋條70上，在使光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使粘接劑210硬化直至完成。
這種情況下，因?yàn)榭梢苑謩e用獨(dú)立的工序形成象素結(jié)構(gòu)102和擋條70，所以與象素結(jié)構(gòu)102和擋條70有關(guān)的材料的選定范圍寬，可以降低制造成本和工時(shí)數(shù)。另外，因?yàn)樵谄教苟雀叩陌宀?00上形成擋條70，所以可以使擋條70的高度嚴(yán)格一致。而且，在象素結(jié)構(gòu)102的形成中，因?yàn)椴淮嬖谡系K物(擋條70等)，所以可以高精度地形成象素結(jié)構(gòu)102。
該第9制造方法，尤其適合于，如圖13所示，具有帶狀開口220的擋條70，和如圖14所示，形成線狀的擋條70的情況下。即，對(duì)薄膜進(jìn)行打孔加工形成帶狀開口220，或者將薄膜細(xì)細(xì)地切斷制成線狀。
其后，如圖48所示，利用液體(例如水)的表面張力將由薄膜構(gòu)成的擋條70對(duì)著板材200粘合。以后，繼續(xù)圖46A所示的工序。這種情況下，因?yàn)閾鯒l70只靠液體的表面張力吸附在板材200上，所以其后可以簡(jiǎn)單地除去板材200。
以下，參照?qǐng)D49A～圖50B說明第10制造方法。該第10制造方法，是在致動(dòng)器基板18上形成象素結(jié)構(gòu)102之后，通過加壓將致動(dòng)器基板18粘合在板部件230上設(shè)置有多個(gè)尺寸確定部件232的模子234上從而確定象素結(jié)構(gòu)102的尺寸，其后，再拆下模子234，在致動(dòng)器基板18上形成擋條70之后，加壓粘貼光波導(dǎo)板12的方法。
首先，如圖49A所示，在致動(dòng)器基板18的各致動(dòng)器部分14上形成象素結(jié)構(gòu)102。
其后，如圖49B所示，在板部件230的一個(gè)面上，使用形成有多個(gè)和應(yīng)該形成在上述致動(dòng)器基板18上的擋條70高度大致相同的尺寸確定部件232的模子234，粘合該模子234的形成有尺寸確定部件232的面和致動(dòng)器基板18的形成有上述象素結(jié)構(gòu)102的面，在使模子234和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使象素結(jié)構(gòu)102硬化。
接著，如圖49C所示，在拆下上述模子234之后，如圖50A所示，在致動(dòng)器基板18中，在致動(dòng)器部分14以外的位置上形成多個(gè)擋條70。其后，用例如膜形成法在致動(dòng)器基板18上的擋條70的上面涂抹粘接劑210。
而后，如圖50所示，在使粘接劑210硬化之前，把光波導(dǎo)板12按壓在致動(dòng)器基板18上的擋條70上，在使光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使粘接劑210硬化直至完成。
在該第10制造方法中，如果用例如金屬等的有剛性的部件構(gòu)成上述模子234，則可以通過該模子234和致動(dòng)器基板18的加壓粘合降低形成有象素結(jié)構(gòu)102的致動(dòng)器基板18的彎曲，在其后的擋條70的形成工序中，可以高精度地形成擋條70。
以下，參照?qǐng)D51A～52B說明第11制造方法。該第11制造方法，是在致動(dòng)器基板18上形成象素結(jié)構(gòu)102之后，通過加壓粘合在板部件230上設(shè)置有多個(gè)尺寸確定部件232的模子234和上述致動(dòng)器基板18確定象素結(jié)構(gòu)102的尺寸，在拆下模子234之后，在光波導(dǎo)板12上形成擋條70，并加壓粘合該光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18的方法。
首先，如圖51所示，在致動(dòng)器基板18的各致動(dòng)器部分14上形成象素結(jié)構(gòu)102。
其后，如圖51B所示，在板部件230的一個(gè)面上，使用形成有多個(gè)和應(yīng)該形成在上述致動(dòng)器基板18上的擋條70高度大致相同的尺寸確定部件2332的模子234，粘合該模子234的形成有尺寸確定部件232的面和致動(dòng)器基板18的形成有上述象素結(jié)構(gòu)102的面，在使模子234和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使象素結(jié)構(gòu)102硬化。
接著，如圖51C所示，在拆下上述模子234之后，如圖52A所示，在光波導(dǎo)板12中，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置以外的位置上形成擋條70之后，用例如膜形成法在板材上的擋條70的下面涂抹粘接劑212。
而后，如圖52B所示，在使粘接劑212硬化之前，粘合致動(dòng)器基板18的形成有上述象素結(jié)構(gòu)102的面和光波導(dǎo)板12的形成有上述擋條70的面，在使光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使粘接劑212硬化直至完成。
即使在該第11制造方法中，如果也是用例如金屬等的有剛性的部件構(gòu)成模子234，則可以通過該模子234和致動(dòng)器基板18的加壓粘合降低形成有象素結(jié)構(gòu)102的致動(dòng)器基板18的彎曲，可以高精度地進(jìn)行其后的和光波導(dǎo)板12的粘合。
在上述光波導(dǎo)板12上也可以有間隔形成層50。這種情況下，通過調(diào)節(jié)擋條70的高度和尺寸確定部件232的高度的差就可以容易調(diào)整間隔量。
以下，參照?qǐng)D53A～圖54B說明第12制造方法。該第12制造方法，是在致動(dòng)器基板18上形成象素結(jié)構(gòu)102，在板部件230上設(shè)置有多個(gè)尺寸部件232的模子234上形成擋條70，通過加壓粘合致動(dòng)器基板18和模子234確定擋條70和象素結(jié)構(gòu)102的尺寸，其后，在拆下模子234，在致動(dòng)器基板18上轉(zhuǎn)印擋條70之后，粘貼光波導(dǎo)板12的方法。
首先，如圖53A所示，在上述模子234的形成有尺寸確定部件232的面中，是沒有形成尺寸確定部件232的部分，并且，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置以外的位置上形成多個(gè)擋條70。其后，用例如膜形成法在形成于模子234上的擋條70的下面上涂抹粘接劑212。
另外，在致動(dòng)器基板18的各致動(dòng)器部分14上形成象素結(jié)構(gòu)102。
接著，如圖53B所示，在使致動(dòng)器基板18上的象素結(jié)構(gòu)102硬化之前，粘合致動(dòng)器基板18的形成有上述象素結(jié)構(gòu)102的面和模子234的形成有上述擋條70的面，在使模子234和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使象素結(jié)構(gòu)102硬化。
其后，如圖53C所示，在除去上述模子234將擋條70轉(zhuǎn)印到致動(dòng)器基板上之后，如圖54A所示，用例如膜形成方法在致動(dòng)器基板18上的擋條70的上面涂抹粘接劑210。
而后，如圖54B所示，在使粘接劑210硬化之前，把光波導(dǎo)板12按壓在致動(dòng)器基板18上的擋條70上，在使光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使粘接劑210硬化直至完成。
這種情況下，如果用例如金屬等的有剛性的部件構(gòu)成上述模子234，則可以通過該模子234和致動(dòng)器基板18的粘貼降低形成有象素結(jié)構(gòu)102的致動(dòng)器基板18的彎曲，可以高精度地形成擋條70以及象素結(jié)構(gòu)102。
以下，參照?qǐng)D55A～圖56B說明第13制造方法。該第13制造方法，是在致動(dòng)器基板18上形成象素結(jié)構(gòu)102和擋條70，通過加壓粘合該致動(dòng)器基板18和在板部件230上設(shè)置有多個(gè)尺寸確定部件232的模子234確定擋條70和象素結(jié)構(gòu)102的尺寸，其后，拆下模子234，粘貼光波導(dǎo)板12的方法。
首先，如圖55A所示，在致動(dòng)器基板18的一主面中，用例如膜形成法在沒有形成致動(dòng)器部分14的部分上形成擋條70，用例如膜形成法在致動(dòng)器基板18的各致動(dòng)器部分14上形成象素結(jié)構(gòu)102。
其后，如圖55B所示，在使上述致動(dòng)器基板18上的擋條70以及象素結(jié)構(gòu)102硬化之前，把模子234按壓在致動(dòng)器基板18上的擋條70以及象素結(jié)構(gòu)102上，在使模子和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使擋條70和象素結(jié)構(gòu)102硬化。
接著，如圖55C所示，在拆下上述模子234之后，如圖56A所示，用例如膜形成法在致動(dòng)器基板18上的擋條70的上面涂抹粘接劑210。
而后，如圖56B所示，在使粘接劑210硬化之前，把光波導(dǎo)板12按壓在致動(dòng)器基板18上的擋條70上，在使光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使粘接劑210硬化直至完成。
這種情況下，如果用例如金屬等的有剛性的材料構(gòu)成上述模子234，就可以通過該模子234和致動(dòng)器基板18的加壓粘貼降低形成有象素結(jié)構(gòu)102和擋條70的致動(dòng)器基板18的彎曲，可以高精度地形成擋條70以及象素結(jié)構(gòu)102。
以下，參照?qǐng)D57A～58B說明第14制造方法。該第14制造方法，是在致動(dòng)器基板18上形成擋條70，在板部件230上設(shè)置有多個(gè)尺寸確定部件232的模子234上形成象素結(jié)構(gòu)102，通過加壓粘合致動(dòng)器基板18和模子234確定擋條70和象素結(jié)構(gòu)102的尺寸，其后，拆下模子234，將象素結(jié)構(gòu)102轉(zhuǎn)印到致動(dòng)器基板18上之后，粘貼光波導(dǎo)板12的方法。
首先，如圖57A所示，在模子234的形成有尺寸確定部件232的面中，是在沒有形成該尺寸確定部件232的部分，并且，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置上形成象素結(jié)構(gòu)102，在致動(dòng)器基板18中，在上述致動(dòng)器部分14以外的位置上形成多個(gè)擋條70。
其后，如圖57B所示，在使被形成在致動(dòng)器基板18上的擋條70和被形成在模子234上的象素結(jié)構(gòu)102硬化之前，使模子234的形成有上述象素結(jié)構(gòu)102的面和致動(dòng)器基板18的形成有上述擋條70的面粘合，在使模子234和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使擋條70和象素結(jié)構(gòu)102硬化。
其后，如圖57C所示，在除去上述模子234使象素結(jié)構(gòu)102轉(zhuǎn)印到致動(dòng)器基板18上之后，如圖58A所示，用例如膜形成法在致動(dòng)器基板18上的擋條70的上面涂抹粘接劑210。
而后，如圖58B所示，在使粘接劑210硬化之前，把光波導(dǎo)板12按壓在致動(dòng)器基板18上的擋條70上，在使光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使粘接劑210硬化直至完成。
這種情況下，如果用例如金屬等的有剛性的部件構(gòu)成上述模子234，就可以通過該模子234和致動(dòng)器基板18的加壓粘合降低形成有象素結(jié)構(gòu)102的致動(dòng)器基板18的彎曲，可以高精度地形成擋條70以及象素結(jié)構(gòu)102。
以下，參照?qǐng)D59A～圖60B說明第15制造方法。該第15制造方法，是在板部件230上設(shè)置有多個(gè)尺寸確定部件232的模子234上形成擋條70和象素結(jié)構(gòu)102，通過加壓粘合該模子234和致動(dòng)器基板18確定擋條70和象素結(jié)構(gòu)102的尺寸，其后，在拆下模子234，使擋條70和象素結(jié)構(gòu)102轉(zhuǎn)印到致動(dòng)器基板18上之后，粘貼光波導(dǎo)板12的方法。
首先，如圖59A所示，在模子234的形成有尺寸確定部件232的面中，是在沒有形成尺寸確定部件232的部分，并且，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置以外的位置上形成多個(gè)擋條70，在該模子234的形成有上述尺寸確定部件232的面中，是在沒有形成尺寸確定部件232的部分，并且，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置上形成象素結(jié)構(gòu)102。
其后，如圖59B所示，在使被形成在模子234上的擋條70以及象素結(jié)構(gòu)102硬化之前，使模子234和致動(dòng)器基板18粘合，在使模子234和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使擋條70和象素結(jié)構(gòu)102硬化。
其后，如圖59C所示，在除去上述模子234使擋條70和象素結(jié)構(gòu)102轉(zhuǎn)印到致動(dòng)器基板18上之后，如圖60A所示，用例如膜形成法在致動(dòng)器基板18上的擋條70上面涂抹粘接劑210。
而后，如圖60B所示，在使粘接劑210硬化之前，把光波導(dǎo)板12按壓在致動(dòng)器基板18上的擋條70上，在使光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使粘接劑210硬化直至完成。
這種情況下，如果用例如金屬等的有剛性的部件構(gòu)成上述模子，就可以通過該模子234和致動(dòng)器基板18的加壓粘合降低致動(dòng)器基板18的彎曲，可以對(duì)致動(dòng)器基板18高精度地轉(zhuǎn)印擋條70以及象素結(jié)構(gòu)102。
以下，參照?qǐng)D61A～圖62B說明第16制造方法。該第16制造方法，是在一體地具有擋條70的致動(dòng)器基板18上形成象素結(jié)構(gòu)102之后，將板材200粘合在致動(dòng)器基板18上，其后，除去板材200，粘貼光波導(dǎo)板12的方法。
首先，如圖61A所示，在致動(dòng)器部分14以外的位置上一體地具有多個(gè)擋條70的致動(dòng)器基板18的各致動(dòng)器部分14上形成象素結(jié)構(gòu)102。
其后，如圖61B所示，在使致動(dòng)器基板18上的象素結(jié)構(gòu)102硬化之前，把板材200按壓在致動(dòng)器基板18上的擋條70以及象素結(jié)構(gòu)102上，在使板材200和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使象素結(jié)構(gòu)102硬化。
其后，如圖62A所示，在除去上述板材200之后，用例如膜形成法在致動(dòng)器基板18上的擋條70上面涂抹粘接劑210。
而后，如圖62B所示，在使粘接劑210硬化之前，把光波導(dǎo)板12按壓在致動(dòng)器基板18上的擋條70上，在使光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18在相互接近的方向上加壓之后，在該狀態(tài)下使粘接劑210硬化直至完成。
這種情況下，作為致動(dòng)器基板18，因?yàn)槭褂妙A(yù)先一體地具有擋條70的致動(dòng)器基板18，所以例如在搬運(yùn)致動(dòng)器基板18時(shí)和保管時(shí)，可以用上述擋條70保護(hù)被形成該致動(dòng)器基板18上的致動(dòng)器部分14上。另外，與單獨(dú)形成擋條的情況相比，可以省掉使擋條70硬化的工序，可以實(shí)現(xiàn)削減工時(shí)數(shù)。
在上述各實(shí)施例中，也可以將擋條70設(shè)置成多層構(gòu)造。這種情況下，除了使用膜形成法形成多層構(gòu)造的擋條70之外，例如也可以用組合陶瓷燒結(jié)法和上述膜形成法的方法形成多層構(gòu)造的擋條。多層構(gòu)造的擋條70，在間隔量的調(diào)整中有利。
另外，例如當(dāng)在擋條70上涂抹粘接劑的情況下，由于使用例如有光吸收性的粘接劑因此用該粘接劑可以起到間隔形成層50的作用，當(dāng)在象素結(jié)構(gòu)102上或者致動(dòng)器部分14上涂抹粘接劑的情況下，通過使用例如有光反射性的粘接劑就可以使該粘接劑具有作為象素結(jié)構(gòu)102的一部分的功能。
進(jìn)而，涉及本發(fā)明的顯示裝置及其制造方法，并不限于上述的實(shí)施例，在不脫離本發(fā)明的主旨的前提下，可以采用各種的構(gòu)成。
如上所述，如果采用涉及本發(fā)明的顯示裝置及其制造方法，則可以起到以下的效果。
(1)可以容易形成光波導(dǎo)板和象素結(jié)構(gòu)的間隙(間隔)，并且可以在全部象素中均勻。
(2)可以容易控制上述間隔的大小。
(3)可以防止象素結(jié)構(gòu)向光波導(dǎo)板的粘貼，并可以有效地實(shí)現(xiàn)反應(yīng)速度的高速度化。
(4)在規(guī)定的象素結(jié)構(gòu)與光波導(dǎo)板接觸時(shí)，可以平滑地形成象素結(jié)構(gòu)的接觸面(和光波導(dǎo)板的接觸面)，使得可以高效率地將光導(dǎo)入該象素結(jié)構(gòu)。
(5)可以確保象素的反應(yīng)速度。
(6)可以得到整個(gè)象素的均勻的亮度。
(7)可以提高象素的亮度。
權(quán)利要求
1.一種顯示裝置，其特征在于具備導(dǎo)入光的光波導(dǎo)板；致動(dòng)器基板，相對(duì)該光波導(dǎo)板的一個(gè)面設(shè)置，并且排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分；象素結(jié)構(gòu)，形成在上述致動(dòng)器基板的各致動(dòng)器部分上；擋條，形成在上述光波導(dǎo)板和上述致動(dòng)器基板之間的上述象素結(jié)構(gòu)以外的部分上。
2.如權(quán)利要求1所述的顯示裝置，其特征在于上述致動(dòng)器部分具備形狀保持層；具有形成在該形狀保持層上的至少一對(duì)電極的動(dòng)作部分；支撐該動(dòng)作部分的振動(dòng)部分；可以振動(dòng)地支撐該振動(dòng)部分的固定部分。
3.如權(quán)利要求1或者2所述的顯示裝置，其特征在于上述擋條固定在上述光波導(dǎo)板上。
4.如權(quán)利要求1或者2所述的顯示裝置，其特征在于在上述光波導(dǎo)板和擋條之間設(shè)置有間隔形成層。
5.如權(quán)利要求1～4的任意1項(xiàng)所述的顯示裝置，其特征在于上述擋條，形成在各象素結(jié)構(gòu)的四方。
6.如權(quán)利要求1～5的任意1項(xiàng)所述的顯示裝置，其特征在于上述擋條至少具有包圍1個(gè)象素結(jié)構(gòu)的窗部分。
7.如權(quán)利要求1～5的任意1項(xiàng)所述的顯示裝置，其特征在于上述擋條具有沿著上述象素結(jié)構(gòu)的排列方向延伸，并包圍上述象素結(jié)構(gòu)的排列的帶狀開口。
8.如權(quán)利要求1～5的任意1項(xiàng)所述的顯示裝置，其特征在于上述擋條被形成沿著上述象素結(jié)構(gòu)的排列方向延伸的線狀。
9.如權(quán)利要求1～8的任意1項(xiàng)所述的顯示裝置，其特征在于上述擋條和上述致動(dòng)器基板一體形成。
10.如權(quán)利要求1～8的任意1項(xiàng)所述的顯示裝置，其特征在于上述擋條用沿著上述象素結(jié)構(gòu)的排列方向延伸的金屬線部件構(gòu)成。
11.如權(quán)利要求1～10的任意1項(xiàng)所述的顯示裝置，其特征在于在上述象素結(jié)構(gòu)的表面上形成有凹部分。
12.如權(quán)利要求1～11的任意1項(xiàng)所述的顯示裝置，其特征在于在上述象素結(jié)構(gòu)的表面上形成有臺(tái)階高差。
13.如權(quán)利要求1～12的任意1項(xiàng)所述的顯示裝置，其特征在于上述象素結(jié)構(gòu)的表面是凹形狀。
14.一種顯示裝置的制造方法，其特征在于具有以下工序擋條形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板中，在上述致動(dòng)器部分以外的位置上形成多個(gè)擋條；象素形成工序，在上述致動(dòng)器基板的各致動(dòng)器部分上形成象素結(jié)構(gòu)；加壓工序，至少在上述象素結(jié)構(gòu)未硬化的狀態(tài)下加壓粘貼光波導(dǎo)板之后，至少使上述象素結(jié)構(gòu)硬化。
15.一種顯示裝置的制造方法，其特征在于具有以下工序擋條形成工序，在光波導(dǎo)板中，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置以外的位置上形成多個(gè)擋條；象素形成工序，在光波導(dǎo)板中，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置上形成象素結(jié)構(gòu)；加壓工序，把排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板粘貼在上述擋條以及象素結(jié)構(gòu)上，在使上述光波導(dǎo)板和致動(dòng)器基板在相互接近的方向上加壓。
16.一種顯示裝置的制造方法，其特征在于具有以下工序擋條形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板中，在上述致動(dòng)器部分以外的位置上形成多個(gè)擋條；象素形成工序，在光波導(dǎo)板中，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置上形成象素結(jié)構(gòu)；加壓工序，使上述致動(dòng)器基板的形成有上述擋條的面和上述光波導(dǎo)板的形成有上述象素結(jié)構(gòu)的面粘合，并使上述光波導(dǎo)板和致動(dòng)器基板在相互接近的方向上加壓。
17.一種顯示裝置的制造方法，其特征在于具有以下工序擋條形成工序，在光波導(dǎo)板中，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置以外的位置上形成多個(gè)擋條；象素形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板中，在各致動(dòng)器部分上形成象素結(jié)構(gòu)；加壓工序，使上述致動(dòng)器基板的形成有上述象素結(jié)構(gòu)的面和上述光波導(dǎo)板的形成有上述擋條的面粘合，并在使上述光波導(dǎo)板和致動(dòng)器基板在相互接近的方向上加壓。
18.一種顯示裝置的制造方法，其特征在于具有以下工序象素形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分，并且在上述致動(dòng)器部分以外的位置上一體地具有多個(gè)擋條的致動(dòng)器基板的各致動(dòng)器部分上形成象素結(jié)構(gòu)；加壓工序，至少在上述象素結(jié)構(gòu)未硬化的狀態(tài)下加壓粘貼光波導(dǎo)板之后，至少使上述象素結(jié)構(gòu)硬化。
19.一種顯示裝置的制造方法，其特征在于具有以下工序擋條形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板中，在上述致動(dòng)器部分以外的位置上形成多個(gè)擋條；象素形成工序，在上述致動(dòng)器基板的各致動(dòng)器部分上形成象素結(jié)構(gòu)；第1粘貼工序，至少在上述象素結(jié)構(gòu)未硬化的狀態(tài)下粘貼板材；加壓工序，在使上述致動(dòng)器基板和板材在相互接近的方向上加壓之后，至少使上述象素結(jié)構(gòu)硬化；第2粘貼工序，在除去上述板材之后，至少在上述擋條上粘貼光波導(dǎo)板。
20.一種顯示裝置的制造方法，其特征在于具有以下工序擋條形成工序，在板材中，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置以外的位置上形成多個(gè)擋條；象素形成工序，在板材中，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置上形成象素結(jié)構(gòu)；第1粘貼工序，把排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板粘貼在上述擋條以及象素結(jié)構(gòu)上；加壓工序，在使上述板材和致動(dòng)器基板在相互接近的方向上加壓；第2粘貼工序，在除去上述板材將上述擋條以及上述象素結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到上述致動(dòng)器基板之后，至少在上述擋條上粘貼光波導(dǎo)板。
21.一種顯示裝置的制造方法，其特征在于具有以下工序擋條形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板中，在上述致動(dòng)器部分以外的位置上形成多個(gè)擋條；象素形成工序，在板材中，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置上形成象素結(jié)構(gòu)；第1粘貼工序，粘合上述致動(dòng)器基板的具有上述擋條的面和上述板材的形成有上述象素結(jié)構(gòu)的面；加壓工序，在使上述板材和致動(dòng)器基板在相互接近的方向上加壓；第2粘貼工序，在除去上述板材將上述象素結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到致動(dòng)器基板上后，至少在上述擋條上粘貼光波導(dǎo)板。
22.一種顯示裝置的制造方法，其特征在于具有以下工序象素形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板中，在各致動(dòng)器部分上形成象素結(jié)構(gòu)；擋條形成工序，在板材中，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置以外的位置上形成多個(gè)擋條；第1粘貼工序，粘合上述致動(dòng)器基板的形成有上述象素結(jié)構(gòu)的面和上述板材的形成有上述擋條的面；加壓工序，在使上述板材和致動(dòng)器基板在相互接近的方向上加壓；第2粘貼工序，在除去上述板材將上述擋條轉(zhuǎn)印到上述致動(dòng)器基板上之后，至少在上述擋條上粘貼光波導(dǎo)板。
23.一種顯示裝置的制造方法，其特征在于具有以下工序象素形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分，并且在上述致動(dòng)器部分以外的位置上一體地具有多個(gè)擋條的致動(dòng)器基板的各致動(dòng)器部分上形成象素結(jié)構(gòu)；第1粘貼工序，至少在上述象素結(jié)構(gòu)未硬化的狀態(tài)下粘貼板材；加壓工序，在使上述致動(dòng)器基板和板材在相互接近的方向上加壓之后，至少使上述象素結(jié)構(gòu)硬化；第2粘貼工序，在除去上述板材之后，至少在上述擋條上粘貼光波導(dǎo)板。
24.一種顯示裝置的制造方法，其特征在于具有以下工序象素形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板中，在各致動(dòng)器部分上形成象素結(jié)構(gòu)；第1粘貼工序，在板部件的一個(gè)面上，用形成有多個(gè)和應(yīng)該被形成在上述致動(dòng)器基板上的擋條高度大致相同的尺寸確定部件的模子，粘合上述模子的形成有上述尺寸確定部件的面和上述致動(dòng)器基板的形成有上述象素結(jié)構(gòu)的面；加壓工序，在使上述模子和致動(dòng)器基板在相互接近的方向上加壓；擋條形成工序，在拆下上述模子后，在上述致動(dòng)器基板中，在上述致動(dòng)器部分以外的位置上形成多個(gè)擋條；第2粘貼工序，在上述致動(dòng)器基板的至少上述擋條上粘貼光波導(dǎo)板。
25.一種顯示裝置的制造方法，其特征在于具有以下工序象素形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板中，在各致動(dòng)器部分上形成象素結(jié)構(gòu)；第1粘貼工序，在板部件的一個(gè)面上，用形成有多個(gè)和應(yīng)該被形成在上述致動(dòng)器基板上的擋條高度大致相同的尺寸確定部件的模子，粘合上述模子的形成有上述尺寸確定部件的面和上述致動(dòng)器基板的形成有上述象素結(jié)構(gòu)的面；加壓工序，在使上述模子和致動(dòng)器基板在相互接近的方向上加壓；擋條形成工序，在拆下上述模子后，在光波導(dǎo)板中，在與上述多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置以外的位置上形成多個(gè)擋條；第2粘貼工序，粘合上述致動(dòng)器基板的形成有上述象素結(jié)構(gòu)的面和上述光波導(dǎo)板的形成有上述擋條的面。
26.一種顯示裝置的制造方法，其特征在于具有以下工序象素形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板中，在各致動(dòng)器部分上形成象素結(jié)構(gòu)；擋條形成工序，在板部件的一個(gè)面上，在使用形成有多個(gè)和應(yīng)該被形成在上述致動(dòng)器基板上的擋條高度大致相同的尺寸確定部件的模子，在形成有該模子的上述尺寸確定部件的面中未形成上述尺寸確定部件的部分，并且，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置以外的位置上形成多個(gè)擋條；第1粘貼工序，粘合形成有上述模子的上述尺寸確定部件和擋條的面和上述致動(dòng)器基板的形成有上述象素結(jié)構(gòu)的面；加壓工序，在使上述模子和致動(dòng)器基板在相互接近的方向上加壓；第2粘貼工序，在拆下上述模子將上述擋條轉(zhuǎn)印在上述致動(dòng)器基板上之后，在上述致動(dòng)器基板的至少上述擋條上粘貼光波導(dǎo)板。
27.一種顯示裝置的制造方法，其特征在于具有以下工序擋條形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板中，在上述致動(dòng)器部分以外的位置上形成多個(gè)擋條；象素形成工序，在上述致動(dòng)器基板的各致動(dòng)器部分上形成象素結(jié)構(gòu)；第1粘貼工序，在板部件的一個(gè)面上，使用形成有多個(gè)和應(yīng)該被形成在上述致動(dòng)器基板上的擋條高度大致相同的尺寸確定部件的模子，粘合形成有該模子的上述尺寸確定部件的面和上述致動(dòng)器基板的形成有上述擋條和上述象素結(jié)構(gòu)的面；加壓工序，在使上述模子和致動(dòng)器基板在相互接近的方向上加壓；第2粘貼工序，在拆下上述模子后，在上述致動(dòng)器基板的至少上述擋條上粘貼光波導(dǎo)板。
28.一種顯示裝置的制造方法，其特征在于具有以下工序擋條形成工序，在排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板中，在上述致動(dòng)器部分以外的位置上形成多個(gè)擋條的工序；象素構(gòu)成工序，在板部件的一個(gè)面上，在使用形成有多個(gè)和應(yīng)該被形成在上述致動(dòng)器基板上的擋條高度大致相同的尺寸確定部件的模子，在形成有該模子的上述尺寸確定部件的面中未形成上述尺寸確定部件的部分，并且，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置上形成象素結(jié)構(gòu)；第1粘貼工序，粘合形成有上述模子的上述尺寸確定部件和象素結(jié)構(gòu)的面和上述致動(dòng)器基板的形成有上述擋條的面；加壓工序，在使上述模子和致動(dòng)器基板在相互接近的方向上加壓；第2粘貼工序，在拆下上述模子將上述象素結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印在上述致動(dòng)器基板上之后，在上述致動(dòng)器基板的至少上述擋條上粘貼光波導(dǎo)板。
29.一種顯示裝置的制造方法，其特征在于具有以下工序擋條形成工序，在板部件的一個(gè)面上，在使用形成有多個(gè)和應(yīng)該被形成在上述致動(dòng)器基板上的擋條高度大致相同的尺寸確定部件的模子，在形成上述模子的上述尺寸確定部件的面中未形成上述尺寸確定部件的部分，并且，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置以外的位置上形成多個(gè)擋條；象素形成工序，在形成有該模子的上述尺寸確定部件的面中未形成上述尺寸確定部件的部分，并且，在與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)的位置上形成象素結(jié)構(gòu)；第1粘貼工序，將排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分的致動(dòng)器基板粘貼在上述模子上的上述擋條以及象素結(jié)構(gòu)上；加壓工序，在使上述模子和致動(dòng)器基板在相互接近的方向上加壓；第2粘貼工序，在拆下上述模子將上述擋條以及上述象素結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到上述致動(dòng)器基板上之后，至少在上述擋條上粘貼光波導(dǎo)板。
30.如權(quán)利要求20、22、25、26或者29所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于上述擋條的形成是通過利用液體的表面張力粘合構(gòu)成上述擋條的部件來進(jìn)行的。
31.如權(quán)利要求20、22、25、26或者29所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于上述擋條形成工序包含在上述板材的所需位置上形成上述擋條之后，使該擋條硬化的工序。
32.如權(quán)利要求14～31的任意1項(xiàng)所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于上述加壓工序，包含在加壓上述致動(dòng)器基板和應(yīng)該和該致動(dòng)器基板一同加壓的部件的狀態(tài)下，至少使上述象素結(jié)構(gòu)硬化的工序。
33.如權(quán)利要求14～32的任意1項(xiàng)所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于上述光波導(dǎo)板，在與上述擋條對(duì)應(yīng)的位置上具有間隔形成層。
34.如權(quán)利要求14～32的任意1項(xiàng)所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于在粘貼上述光波導(dǎo)板之前，預(yù)先在上述擋條上形成間隔形成層。
35.如權(quán)利要求14～34的任意1項(xiàng)所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于在進(jìn)行上述致動(dòng)器基板和應(yīng)該和該致動(dòng)器基板一同加壓的部件的加壓時(shí)，進(jìn)行用于間隔形成的前處理，在其后的至少上述象素結(jié)構(gòu)的硬化中，在上述象素結(jié)構(gòu)和上述光波導(dǎo)板之間形成規(guī)定的間隔。
36.如權(quán)利要求14～35的任意1項(xiàng)所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于在上述致動(dòng)器基板和應(yīng)該和該致動(dòng)器基板一同加壓的部件的加壓中使用真空封裝法。
37.如權(quán)利要求14～35的任意1項(xiàng)所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于在上述致動(dòng)器基板和應(yīng)該和該致動(dòng)器基板一同加壓的部件的加壓中使用低壓加壓法。
38.如權(quán)利要求19～37的任意1項(xiàng)所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于作為在上述第1粘貼工序中被粘貼在上述致動(dòng)器基板上的部件，使用在與上述象素結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)的位置上分別具有凸部分的部件；在上述第1粘貼工序后的加壓工序的加壓時(shí)，在上述象素結(jié)構(gòu)的表面形成與上述凸部分對(duì)應(yīng)的凹部分。
39.如權(quán)利要求19～38的任意1項(xiàng)所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于作為在上述第1粘貼工序中被粘貼在上述致動(dòng)器基板上的部件，使用在與上述象素結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)的位置上分別具有凸部分的部件；在上述第1粘貼工序后的加壓工序中的加壓時(shí)，在上述象素結(jié)構(gòu)的表面形成與上述凸部分對(duì)應(yīng)的臺(tái)階高差部分。
40.如權(quán)利要求19～39的任意1項(xiàng)所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于作為在上述第1粘貼工序中被粘貼在上述致動(dòng)器基板上的部件，使用在與上述象素結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)的位置上分別具有凸形狀的部件；在上述第1粘貼工序后的加壓工序中的加壓時(shí)，在上述象素結(jié)構(gòu)的表面形成與上述凸形狀對(duì)應(yīng)的凹形狀。
全文摘要
具有以下構(gòu)成:光波導(dǎo)板12,導(dǎo)入光10,致動(dòng)器基板18,被相對(duì)于該光波導(dǎo)板12的一個(gè)板面設(shè)置,并且排列有與多個(gè)象素對(duì)應(yīng)數(shù)量的致動(dòng)器部分14;象素結(jié)構(gòu)102,被形成在該致動(dòng)器基板18的各致動(dòng)器部分14上;擋條70,在光波導(dǎo)板12和致動(dòng)器基板18之間,被形成在象素結(jié)構(gòu)102以外的部分上。由此,能容易形成光波導(dǎo)板和象素結(jié)構(gòu)的間隔,并且可以均勻地形成在全部象素中。
文檔編號(hào)G02B26/02GK1246930SQ98802396
公開日2000年3月8日 申請(qǐng)日期1998年11月6日 優(yōu)先權(quán)日1997年11月6日
發(fā)明者武內(nèi)幸久, 七瀧努, 下河夏己, 赤尾隆嘉 申請(qǐng)人:日本礙子株式會(huì)社