專利名稱：8微米長波通濾光片的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及濾光片，具體地說涉及干涉濾片。
8微米長波通濾光片是一種用于航天、航空儀器的大氣熱紅外窗口或抑制紅外光柵高階次峰的光學(xué)薄膜器件?，F(xiàn)有技術(shù)的膜層結(jié)構(gòu)，在制造時(shí)由于膜層厚度監(jiān)控精度要求高等原因，所以成品率較低，使得產(chǎn)品的成本較高。
本實(shí)用新型的目的，是提供一種8微米長波通濾光片。
本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的，即，以表面拋光的鍺板作為基板，在其兩個(gè)面分別交替鍍有多層碲化鉛膜層和硒化鋅膜層，其中，第一面主膜系為nS/0.5L0.78HLHLHLHLHLHLHL0.78H2L/n0，第二面膜系為nS/(0.5LH0.5L)82.7L/n0，式中各符號(hào)的含義分別為nS表示鍺基板；L表示λ0/4硒化鋅膜層；H表示λ0/4碲化鉛膜層；n0表示空氣，中心波長λ0，對(duì)于第一面主膜系及第二面膜系分別為5.7微米和4微米。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的詳述。


圖1是本實(shí)用新型濾光片的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型濾光片的第一面主膜系的光譜計(jì)算曲線圖；圖3是本實(shí)用新型濾光片的第二面膜系的光譜計(jì)算曲線圖；圖4是本實(shí)用新型濾光片的理論計(jì)算光譜曲線圖；圖5是本實(shí)用新型濾光片的實(shí)測(cè)光譜曲線圖。
參閱
圖1，本實(shí)用新型濾光片包括一塊基板1，在該基板1的兩面分別鍍有多層干涉薄膜2、3。本實(shí)用新型以表面拋光的鍺板作為基板1，其外形和厚度可視實(shí)際需要而定，例如采用直徑為10毫米、18毫米、20毫米或25毫米的圓形，厚度介于0.5毫米-1.5毫米之間?；?兩面的多層干涉薄膜2、3系由互相交替間隔的碲化鉛膜2和硒化鋅膜3組成，在本實(shí)用新型中，是通過真空蒸鍍將高折射率碲化鉛膜料和低折射率硒化鋅膜料按設(shè)計(jì)的膜系分別交替蒸鍍?cè)诨?的兩個(gè)面上。
其中，設(shè)計(jì)的第一面主膜系為nS/0.5L0.78HLHLHLHLHLHLHL0.78H2L/n0；第二面膜系為nS/(0.5LH0.5L)82.7L/n0，式中各符號(hào)的含義分別為nS表示鍺基板；L表示λ0/4硒化鋅膜層；H表示λ0/4碲化鉛膜層；n0表示空氣，中心波長λ0，對(duì)于第一面主膜系及第二面膜系分別為5.7微米和4微米。
本實(shí)用新型采用反射式多級(jí)次間接直控光電法來監(jiān)控膜層蒸鍍的厚度，由于上述所設(shè)計(jì)的膜系，在蒸鍍時(shí)對(duì)于膜層的監(jiān)控的精度要求降低，因此，不僅使本實(shí)用新型濾光片的制造簡便，而且還使成品率提高。本實(shí)用新型的主膜系設(shè)計(jì)中，采用了減薄膜系兩邊碲化鉛H層來修正長波透過處的波紋。
圖5給出了本實(shí)用新型濾光片的實(shí)測(cè)光譜曲線，具體地，本實(shí)用新型8微米長波通濾光片的實(shí)測(cè)性能如下1、成品外形直徑φ10、φ18、φ20、φ25等，厚度d為0.5mm～1.5mm。
2、工作波段8μm-14μm，平均透過率T≥78％3、截止區(qū)域λ≤7.3μm，平均透過率T≤1％。
綜上所述，本實(shí)用新型具有以下有益效果1、8微米長波通濾光片特性指標(biāo)優(yōu)良，透過率高，通帶波紋小、截止波段寬、截止深度好。
2、本技術(shù)方案合理可行，使產(chǎn)品具有成品率高，可批量生產(chǎn)的特點(diǎn)，產(chǎn)品性能穩(wěn)定，滿足使用要求。
3、該濾光片對(duì)于大氣熱紅外窗口具有高的收集能量，而對(duì)于小于8微米波段區(qū)域具有良好的背景抑制及抗干擾能力。
4、本實(shí)用新型設(shè)計(jì)的主膜系還可用于其他要求的紅外波長前截止濾光片，只需相應(yīng)改變中心波長。
權(quán)利要求1.一種濾光片，包括一表面拋光的基板(1)，其第一和第二兩個(gè)面上分別交替鍍有多層碲化鉛膜層(2)和硒化鋅膜層(3)，其特征是該基板(1)系為鍺板；第一面主膜系為nS/0.5L0.78HLHLHLHLHLHLHL0.78H2L/n0；第二面膜系為nS/(0.5LH0.5L)82.7L/n0，式中各符號(hào)的含義分別為nS表示鍺基板；L表示λ0/4硒化鋅膜層；H表示λ0/4碲化鉛膜層；n0表示空氣，中心波長λ0，對(duì)于第一面主膜系及第二面膜系分別為5.7微米和4微米。
專利摘要一種8微米紅外長波通濾光片,它是以鍺為基底,硒化鋅、碲化鉛為膜層材料,采用真空蒸鍍制備的干涉濾光片。該濾光片主膜系設(shè)計(jì)了減薄膜系兩邊高折射率碲化鉛膜層的厚度,修正了透過波段因折射率失配產(chǎn)生的波紋,具有良好的光譜性能,并且降低了對(duì)蒸鍍膜層厚度精度的要求。本實(shí)用新型適于批量生產(chǎn),成品率高,適合于航天儀器熱紅外大氣窗口、紅外光柵截除高階次峰干擾等使用。
文檔編號(hào)G02B5/28GK2387549SQ9922699
公開日2000年7月12日 申請(qǐng)日期1999年6月18日 優(yōu)先權(quán)日1999年6月18日
發(fā)明者朱玲心, 張麟 申請(qǐng)人:中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所