一種帶有液體去泡功能的供給裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及晶片涂膠顯影工藝中的供液裝置，具體地說是一種帶有液體去泡功能的供給裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在半導(dǎo)體晶片上或它的涂層上形成保護(hù)膜以及晶片曝光后的顯影工藝中，公知的液體供給裝置主要是采用泵供給或者是壓縮氣體從密封桶內(nèi)壓出的方式。這兩種方式供給的液體會(huì)溶解一部分氣體，在進(jìn)行工藝時(shí)會(huì)產(chǎn)生氣泡，影響工藝效果。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種帶有液體去泡功能的供給裝置。該裝置利用兩個(gè)藥液桶串聯(lián)，分兩級進(jìn)行去氣泡，最終利用自身重力產(chǎn)生的壓力進(jìn)行供液。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
[0005]一種帶有液體去泡功能的供給裝置，包括供液桶、除氣泡桶、補(bǔ)液管、排泡管及液體輸出管，其中供液桶的底部和除氣泡桶的底部通過補(bǔ)液管連通，使所述供液桶和除氣泡桶內(nèi)液體的液面在同一平面上，所述供液桶和除氣泡桶的上端均設(shè)有與排泡管連接的排氣口，所述除氣泡桶的底部設(shè)有液體輸出管。
[0006]本發(fā)明還包括補(bǔ)液桶和補(bǔ)液泵，其中補(bǔ)液桶通過補(bǔ)液泵和液體輸送管與供液桶連接。所述補(bǔ)液桶和補(bǔ)液泵之間的液體輸送管上設(shè)有液體傳感器。
[0007]所述補(bǔ)液泵和供液桶之間的液體輸送管上設(shè)有過濾器。所述液體輸送管的一端由供液桶的上端插入供液桶內(nèi)、并置于供液桶內(nèi)液面的上方。
[0008]所述供液桶和除氣泡桶內(nèi)分別設(shè)有供液桶液位傳感器和除氣泡桶液位傳感器。所述供液桶和除氣泡桶的底部分別設(shè)有供液桶排廢管和除氣泡桶排廢管。所述液體輸出管上設(shè)有供液藥液閥。
[0009]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)及有益效果是:
[0010]1.本發(fā)明使用的供液桶和除氣泡桶通過補(bǔ)液管串聯(lián)，且每個(gè)桶都有排泡管，可實(shí)現(xiàn)兩級除氣泡功能。
[0011]2.本發(fā)明使用的供液桶和除氣泡桶內(nèi)均有液位傳感器，可以檢測桶內(nèi)液體的液位，通過設(shè)置可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)供液，并在兩桶內(nèi)的液位不一致時(shí)發(fā)出報(bào)警。
[0012]3.本發(fā)明中從補(bǔ)液泵進(jìn)入供液桶的管路始終在桶內(nèi)液面之上，可減少新供給液體內(nèi)溶解的氣體進(jìn)入除氣泡桶內(nèi)。
[0013]4.本發(fā)明使用的供液桶和除氣泡桶通過補(bǔ)液管串聯(lián)，供液桶內(nèi)的液體完全靠自身壓力進(jìn)入除氣泡桶內(nèi)，該過程中與外界氣體無接觸，可減少液體溶解氣體的量。
【附圖說明】
[0014]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]其中:1為補(bǔ)液桶，2為液體傳感器，3為補(bǔ)液泵，4為供液桶，5為除氣泡桶，6為供液藥液閥，7為補(bǔ)液管，8為供液桶排廢管，9為除氣泡桶排廢管，10為排泡管，11為液體輸出管，12為供液桶液位傳感器，13為除氣泡桶液位傳感器，Hl為供液桶上限位，NI為供液桶工作位，H2為供液桶下限位，Kl為除氣泡桶上限位，N2為除氣泡桶工作位，K2為除氣泡桶下限位。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0017]如圖1所示，本發(fā)明包括供液桶4、除氣泡桶5、補(bǔ)液管7、排泡管10及液體輸出管11，其中供液桶4的底部和除氣泡桶5的底部通過補(bǔ)液管7連通，可保證供液桶4和除氣泡桶5內(nèi)液體的液面在同一平面上，所述供液桶4和除氣泡桶5的上端均設(shè)有與排泡管10連接的排氣口，供液桶4和除氣泡桶5內(nèi)液體內(nèi)的氣體由排氣口排出，這樣可以實(shí)現(xiàn)雙重除氣泡功能。所述除氣泡桶5的底部設(shè)有液體輸出管11，所述液體輸出管11上設(shè)有供液藥液閥6。所述供液桶4和除氣泡桶5的底部分別設(shè)有供液桶排廢管8和除氣泡桶排廢管9，供液桶排廢管8可以將供液桶4內(nèi)剩余或者多余的液體排出，除氣泡桶排廢管9可以將除氣泡桶5內(nèi)剩余或者多余的液體排出。
[0018]本發(fā)明還包括補(bǔ)液桶I和補(bǔ)液泵3，其中補(bǔ)液桶I通過補(bǔ)液泵3和液體輸送管與供液桶4連接，所述液體輸送管的一端由供液桶4的上端插入供液桶4內(nèi)、并置于供液桶4內(nèi)液面的上方，這樣可減少新供給液體內(nèi)溶解的氣體進(jìn)入除氣泡桶5內(nèi)。所述補(bǔ)液桶I和補(bǔ)液泵3之間的液體輸送管上設(shè)有液體傳感器2，在工作時(shí)，當(dāng)液體傳感器2檢測到補(bǔ)液泵3前端液體輸送管中沒有液體，這說明補(bǔ)液桶I內(nèi)的液體已經(jīng)使用完畢，就向控制系統(tǒng)發(fā)出信號(hào)，整個(gè)裝置停止工作，提醒工作人員進(jìn)行補(bǔ)液。所述補(bǔ)液泵3和供液桶4之間的液體輸送管上設(shè)有過濾器14，保證進(jìn)入供液桶4內(nèi)液體的純凈。
[0019]所述供液桶4和除氣泡桶5內(nèi)分別設(shè)有供液桶液位傳感器12和除氣泡桶液位傳感器13，用來檢測桶內(nèi)的液位和比較兩桶之間液位的差異，當(dāng)供液桶4和除氣泡桶5內(nèi)的液位不一致時(shí)控制系統(tǒng)報(bào)警，該裝置停止工作。為了達(dá)到最佳效果，可采用規(guī)格參數(shù)相同的供液桶4和除氣泡桶5，且工作時(shí)放于同一水平面上。
[0020]本發(fā)明的工作過程是:
[0021]所述補(bǔ)液桶I中已有液體，補(bǔ)液泵3將補(bǔ)液桶I內(nèi)的液體抽入供液桶4內(nèi)。液體經(jīng)過過濾器14后進(jìn)入供液桶4內(nèi)，液體進(jìn)入供液桶4的液體輸送管路在液面之上，這樣能減少新供給的液體與原有液體接觸時(shí)產(chǎn)生沖擊對補(bǔ)液管7內(nèi)液體的影響。供液桶4內(nèi)有一供液桶液位傳感器12，該供液桶液位傳感器12均可檢測三處的液位，分別為供液桶上限位H1、供液桶工作位NI和供液桶下限位H2，正常工作時(shí)液面在供液桶工作位NI。當(dāng)供液桶4內(nèi)液位低于供液桶下限位H2時(shí)，補(bǔ)液泵3工作，為供液桶4供給液體，液位到達(dá)供液桶工作位NI時(shí)停止供液。除氣泡桶5內(nèi)有一除氣泡桶液位傳感器13，該除氣泡桶液位傳感器13均可檢測三處的液位，分別為除氣泡桶上限位K1、除氣泡桶工作位N2和除氣泡桶下限位K2，正常工作時(shí)液面在除氣泡桶工作位N2。正常工作時(shí)，供液桶4內(nèi)的液位在供液桶工作位NI，除氣泡桶5內(nèi)的液位在除氣泡桶工作位N2，并且供液桶工作位NI和除氣泡桶工作位N2在同一水平面上。當(dāng)供液桶4和除氣泡桶5內(nèi)液位不一致時(shí)向控制系統(tǒng)發(fā)出信號(hào)，整個(gè)裝置停止工作。除氣泡桶5內(nèi)的液體通過底部的液體輸出管11供給給其它裝置，供液桶4再通過補(bǔ)液管7將液體補(bǔ)充到除氣泡桶5內(nèi)，補(bǔ)液泵3再將補(bǔ)液桶I內(nèi)的液體抽取到供液桶4內(nèi)，從而完成整個(gè)工作過程。該裝置在工作時(shí)，供液桶4和除氣泡桶5頂端均與排泡管10連接，可將液體釋放的氣體及時(shí)排出。由于除氣泡桶5內(nèi)液體表面距離液體輸出管11底部距離一定，液體輸出管11出口壓力也就一定，每次供液可根據(jù)所需液體多少控制供液藥液閥6的通斷間隔時(shí)間來實(shí)現(xiàn)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)供液功能。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種帶有液體去泡功能的供給裝置，其特征在于:包括供液桶(4)、除氣泡桶(5)、補(bǔ)液管(7)、排泡管(10)及液體輸出管(11)，其中供液桶(4)的底部和除氣泡桶(5)的底部通過補(bǔ)液管(7)連通，使所述供液桶(4)和除氣泡桶(5)內(nèi)液體的液面在同一平面上，所述供液桶(4)和除氣泡桶(5)的上端均設(shè)有與排泡管(10)連接的排氣口，所述除氣泡桶(5)的底部設(shè)有液體輸出管(11)。
2.按權(quán)利要求1所述的帶有液體去泡功能的供給裝置，其特征在于:還包括補(bǔ)液桶(I)和補(bǔ)液泵(3)，其中補(bǔ)液桶⑴通過補(bǔ)液泵(3)和液體輸送管與供液桶⑷連接。
3.按權(quán)利要求2所述的帶有液體去泡功能的供給裝置，其特征在于:所述補(bǔ)液桶(I)和補(bǔ)液泵(3)之間的液體輸送管上設(shè)有液體傳感器(2)。
4.按權(quán)利要求2所述的帶有液體去泡功能的供給裝置，其特征在于:所述補(bǔ)液泵(3)和供液桶(4)之間的液體輸送管上設(shè)有過濾器(14)。
5.按權(quán)利要求2所述的帶有液體去泡功能的供給裝置，其特征在于:所述液體輸送管的一端由供液桶(4)的上端插入供液桶(4)內(nèi)、并置于供液桶(4)內(nèi)液面的上方。
6.按權(quán)利要求1或2所述的帶有液體去泡功能的供給裝置，其特征在于:所述供液桶(4)和除氣泡桶(5)內(nèi)分別設(shè)有供液桶液位傳感器(12)和除氣泡桶液位傳感器(13)。
7.按權(quán)利要求1或2所述的帶有液體去泡功能的供給裝置，其特征在于:所述供液桶(4)和除氣泡桶(5)的底部分別設(shè)有供液桶排廢管(8)和除氣泡桶排廢管(9)。
8.按權(quán)利要求1所述的帶有液體去泡功能的供給裝置，其特征在于:所述液體輸出管(11)上設(shè)有供液藥液閥(6)。
【專利摘要】本發(fā)明涉及晶片涂膠顯影工藝中的供液裝置，具體地說是一種帶有液體去泡功能的供給裝置。包括供液桶、除氣泡桶、補(bǔ)液管、排泡管及液體輸出管，其中供液桶的底部和除氣泡桶的底部通過補(bǔ)液管連通，所述供液桶和除氣泡桶內(nèi)液體的液面在同一平面上，所述供液桶和除氣泡桶的上端均設(shè)有與排泡管連接的排氣口，所述除氣泡桶的底部設(shè)有液體輸出管。所述裝置還包括補(bǔ)液桶和補(bǔ)液泵，其中補(bǔ)液桶通過補(bǔ)液泵和液體輸送管與供液桶連接。本發(fā)明利用兩個(gè)藥液桶串聯(lián)，分兩級進(jìn)行去氣泡，最終利用自身重力產(chǎn)生的壓力進(jìn)行供液。
【IPC分類】G03F7-30
【公開號(hào)】CN104570625
【申請?zhí)枴緾N201310488954
【發(fā)明人】胡延兵, 盧繼奎
【申請人】沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司
【公開日】2015年4月29日
【申請日】2013年10月17日