感光性膜層積體、柔性印刷布線板及其制造方法
【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及使用了感光性膜的感光性膜層積體、柔性印刷布線板及其制造方法， 所述感光性膜含有感光性樹脂組合物，作為半導體元件的表面保護膜、層間絕緣膜、半導體 封裝基板、柔性印刷基板用保護絕緣膜是有用的。
【背景技術】
[0002] 近年來，被稱為柔性印刷基板（下文中也稱為"FPC"）的膜狀印刷基板得到了積 極的發(fā)展。該FPC具有在布線加工后的FCCL(柔性覆銅層壓板，F(xiàn)lexible Copper Clad Laminate)上具備由聚酰亞胺膜等構成的覆蓋層的結構，其主要用于移動電話、智能手機、 平板型終端、筆記本型個人電腦、數(shù)字照相機等儀器中。FPC即使彎折也可維持功能，因而是 面向設備小型化、輕量化不可或缺的材料。特別是近年來隨著以智能手機和平板型終端為 代表的電子設備的小型化、輕量化的發(fā)展，通過在這樣的制品中采用FPC，可以有助于該電 子設備的尺寸和重量減少、制品成本的降低以及設計的簡單化等。
[0003] 在FPC上施有用于全部或部分覆蓋印刷板外側表面的導體圖案的作為絕緣材料 層的覆蓋層。最基本的覆蓋層為由可靠性高的非感光性沖切材構成的膜覆蓋層，但非常難 以進行其貼合工序的自動化，甚至未進行輥對輥化的嘗試，實際上還依賴于手工。作為覆蓋 層處理工藝中的現(xiàn)實性的解決方法，認為可與硬質(zhì)印刷基板的焊接掩模同樣地采用覆蓋層 油墨的絲網(wǎng)印刷，但與膜覆蓋層相比，目前市售的材料的機械特性、耐化學藥品性（特別是 耐鍍覆性）等均較差，尚未被廣泛地一般性使用。
[0004] 面向FPC的微細化、制造工序的省力化，為了利用光刻來進行微細加工，集中精力 進行了感光性覆蓋層的開發(fā)。近年來，出于對環(huán)境的考慮，進行了對應于堿水溶液顯影的材 料設計，其中，從源自聚酰亞胺的電氣絕緣可靠性、彎折耐性等機械物性、耐熱性、耐化學藥 品性、阻燃性的方面考慮，期待將使用了聚酰亞胺前體的感光性覆蓋層作為優(yōu)異的覆蓋層。 特別是與涂布液態(tài)感光性樹脂的方法相比，干膜型的感光性覆蓋層膜不僅可節(jié)省涂布和干 燥的功夫與時間，而且還可采用通過兩面一起的層積成膜和光刻來一次性進行多個打孔加 工的輥對輥生產(chǎn)方式，因而能夠達成FPC的制造工序的縮短化和省力化。
[0005] 為了得到能夠進行這些堿水溶液的顯影的感光性聚酰亞胺，開發(fā)出了基于下述方 法的型感光性聚酰亞胺，在該方法中，在由在全部堿溶性基團的一部分導入光反應性基團 的方法得到的堿性負顯影型感光性聚酰亞胺前體、或在聚酰亞胺中導入有堿溶性基團的堿 溶性聚酰亞胺中，加入聚合性化合物和光聚合引發(fā)劑（例如，參見專利文獻1?專利文獻 3) 〇
[0006] 但是，這些感光性聚酰亞胺未獲得充分的光靈敏度。另一方面，還開發(fā)出了作為光 靈敏度高的光聚合引發(fā)劑使用特定肟化合物的感光性樹脂組合物（例如，參見專利文獻4 和專利文獻5)。
[0007] 現(xiàn)有技術文獻
[0008] 專利文獻
[0009] 專利文獻1 :日本特開平3-220558號公報
[0010] 專利文獻2 :日本特開2002-182378號公報
[0011] 專利文獻3 :國際公開第2004/109403號小冊子
[0012] 專利文獻4 :日本特表2004-534797號公報
[0013] 專利文獻5 :日本特開2007-133377號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0014] 發(fā)明所要解決的課題
[0015] 但是，在對應于程序電路基板的薄膜化的需求還進行感光性覆蓋層的薄膜化的情 況下，若使用專利文獻5所記載的那樣的感光性樹脂組合物，則在布線上的被覆可靠性可 能會變差。并且，為了避免生產(chǎn)現(xiàn)場的二重曝光，曝光部和未曝光部可能得不到充分的可見 性。
[0016] 本發(fā)明是鑒于上述方面而進行的，其目的在于提供使用了感光性膜的感光性膜層 積體、柔性印刷布線板及其制造方法，該感光性膜能夠進行堿顯影、光靈敏度優(yōu)異，并且即 使在薄膜化的情況下也具有優(yōu)異的布線被覆性，同時曝光部與未曝光部的可見性優(yōu)異。
[0017] 解決課題的手段
[0018] 本發(fā)明的感光性膜層積體的特征在于，其具備基材以及設置在上述基材上的含有 感光性樹脂組合物的感光性膜，該感光性樹脂組合物含有（A)堿溶性樹脂、(B)具有不飽和 雙鍵的聚合性化合物和（C)光聚合引發(fā)劑，上述（C)光聚合引發(fā)劑為下述通式（1)所表示 的結構。
[0019] [化 1]
[0020] 通式（1)
[0021]
【主權項】
1. 一種感光性膜層積體，其特征在于， 該感光性膜層積體具備基材以及設置在所述基材上的含有感光性樹脂組合物的感光 性膜， 該感光性樹脂組合物含有（A)堿溶性樹脂、(B)具有不飽和雙鍵的聚合性化合物和（C) 光聚合引發(fā)劑，所述（C)光聚合引發(fā)劑為下述通式（1)所表示的結構， [化1] 通式（1)
通式（1)中，Ari為含有芳香族而成的1價有機基團，^為具有烷基或芳基的有機基團，R2為碳原子數(shù)為3?50的1價烴基，是支鏈烷基、直鏈烷基、具有脂環(huán)結構的烷基或具有芳 香族結構的烷基中的任一種。
2. 如權利要求1所述的感光性膜層積體，其特征在于，所述基材為載體膜。
3. 如權利要求1或權利要求2所述的感光性膜層積體，其特征在于，所述R2為下述通 式（2)所表示的結構， [化2] 通式（2)
通式⑵中，R3、R4、R5、R6以及R7為氫或碳原子數(shù)為1?20的烷基，彼此相同或不同；n為0?20的整數(shù)，m為0?20的整數(shù)。
4. 如權利要求3所述的感光性膜層積體，其特征在于，所述m為2?4的整數(shù)。
5. 如權利要求1?4的任一項所述的感光性膜層積體，其特征在于，所述Ar:為取代或 無取代的下述通式（3)或者取代或無取代的下述通式（4)， [化3] 通式（3)
通式（4)
通式（3)中，X為一價有機基團，R8為取代或無取代的呋喃基、噻吩基或苯基。
6. 如權利要求1?5的任一項所述的感光性膜層積體，其特征在于，所述（A)堿溶性樹 脂具有下述通式（5)所表示的聚酰亞胺結構以及下述通式（6)所表示的聚酰胺酸結構分別 作為重復結構單元， [化4] 通式（5)
通式（5)以及通式（6)中，"、1?12、1?13、1? 15、1?16、1?18、1?19、1?21以及1? 22各自獨立地表示 氫原子或碳原子數(shù)為1?20的1價有機基團，它們相同或不同；1^、1?14、1?17、1? 2(|以及1?23表 示碳原子數(shù)為1?20的4價有機基團，m、n以及p各自獨立地表示0以上100以下的整 數(shù)；R24表示4價有機基團，R25表示碳原子數(shù)為1?90的2價有機基團，R26表示碳原子數(shù) 為1?50的4價有機基團。
7. 如權利要求6所述的感光性膜層積體，其特征在于，其含有下述通式（7)所表示的二 胺作為構成所述通式（5)所表示的聚酰亞胺結構的二胺成分， [化5] 通式（7)
通式（7)中，"、1?12、1?13、1?15、1? 16、1?18、1?19、1?21以及1?22各自獨立地表示氫原子或碳原子 數(shù)為1?20的1價有機基團，它們相同或不同；1^、1?14、1?17、1?2(|以及1? 23表示碳原子數(shù)為1? 20的4價有機基團，m、n以及p各自獨立地為0以上30以下的整數(shù)，滿足1蘭（m+n+p)蘭30。
8. 如權利要求1?7的任一項所述的感光性膜層積體，其特征在于，其含有至少一種 (D)含有亞硝基化合物和/或硝基化合物的阻聚劑。
9. 如權利要求1?8的任一項所述的感光性膜層積體，其特征在于，其含有（二）季戊 四醇（甲基）丙烯酸酯化合物作為所述（B)具有不飽和雙鍵的聚合性化合物。
10. 如權利要求1?9的任一項所述的感光性膜層積體，其特征在于，其含有至少一種 (E) 封端異氰酸酯化合物。
11. 如權利要求1?10的任一項所述的感光性膜層積體，其特征在于，其含有至少一種 (F) 磷化合物。
12. -種柔性印刷布線板，其特征在于，其具備： 具有布線的電路基板、以及 在所述電路基板上進行燒制成膜而成的權利要求1?11的任一項所述的感光性膜。
13. -種柔性印刷布線板的制造方法，其特征在于，使用輥式熱真空層合機，在具有布 線的電路基板上的布線面上層積權利要求1?11的任一項所述的感光性膜層積體后進行 燒制成膜。
14. 一種柔性印刷布線板，其特征在于，其由權利要求13的制造方法制造。
15. -種柔性印刷布線板，其具備： 具有布線的電路基板、以及 在所述電路基板上將以覆蓋所述布線的方式設置的覆蓋層膜燒制而得到的膜， 其特征在于， 所述布線上的所述燒制而得到的膜的最小厚度（a)為0. 1ym以上且小于10ym。
16. -種柔性印刷布線板，其具備： 具有布線的電路基板、以及 在所述電路基板上將以覆蓋所述布線的方式設置的覆蓋層膜燒制而得到的膜， 其特征在于， 所述布線上與無布線的部分的、所述燒制得到的膜的表面高低差的最大值（b)為3ym以下。
17. 如權利要求16所述的柔性印刷布線板，其特征在于，所述布線上的所述燒制而得 到的膜的最小厚度（a)為0. 1ym以上且小于10ym。
【專利摘要】感光性膜層積體具備基材以及設置在基材上的含有感光性樹脂組合物的感光性膜，該感光性樹脂組合物含有(A)堿溶性樹脂、(B)具有不飽和雙鍵的聚合性化合物以及(C)光聚合引發(fā)劑，(C)光聚合引發(fā)劑為下述通式(1)所表示的結構。(通式(1)中，Ar1為含有芳香族而成的1價有機基團，R1為具有烷基或芳基的有機基團，R2為 碳原子數(shù)為3～50的1價烴基，是支鏈烷基、直鏈烷基、具有脂環(huán)結構的烷基或具有芳香族結構的烷基的任一種。)本發(fā)明可提供感光性膜以及使用其的柔性印刷 布線板，該感光性膜能夠進行堿顯影、光靈敏度優(yōu)異，并且即使在薄膜化的情況下也具有優(yōu)異的布線被覆性，同時曝光部與未曝光部的可見性優(yōu)異。
【IPC分類】G03F7-027, H05K3-28, G03F7-031, G03F7-037, G03F7-004
【公開號】CN104583867
【申請?zhí)枴緾N201380041043
【發(fā)明人】有久慎司, 佐佐木洋朗
【申請人】旭化成電子材料株式會社
【公開日】2015年4月29日
【申請日】2013年8月8日
【公告號】WO2014024951A1