一種顯影液分類回收處理裝置及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造中溶液分類回收處理的技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種顯影液分類回收處理裝置及方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造中，光阻涂布在晶圓上，經(jīng)過光刻后圖形需要顯影來獲取圖形，但是實現(xiàn)顯影之后將會產(chǎn)生顯影液廢液，同時在顯影過程中還需要DI水(去離子水)進行定影及清洗?，F(xiàn)有的顯影系統(tǒng)是顯影廢液與DI水經(jīng)由一根排放管道排放到廠務(wù)系統(tǒng)中，這使得兩種液體混合在一起，不但增加了廠務(wù)處理廢液的成本，也增加了 DI水的回收成本。同時有些顯影液是可以經(jīng)過回收重新配比重復(fù)使用的，如果直接排放會浪費掉，不能起到循環(huán)利用的效果，不僅浪費了資源，而且非常不環(huán)保。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種顯影液分類回收處理裝置及方法。該裝置及方法可有效地分離顯影液與DI水及顯影液回收，節(jié)約資源降低制造成本。
[0004]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
[0005]一種顯影液分類回收處理裝置，包括三通藥液閥、顯影溶劑收集罐、主排廢管、顯影液排放管及DI水排放管，其中三通藥液閥和顯影溶劑收集罐設(shè)置于顯影單元的下方、并三通藥液閥通過主排廢管與顯影單元連接，所述三通藥液閥通過顯影液排放管和DI水排放管分別與顯影溶劑收集罐和排廢口連接。
[0006]所述主排廢管上設(shè)有光纖對射傳感器A，用于檢測主排廢管中液體。所述顯影溶劑收集罐上設(shè)有光纖對射傳感器B，用于檢測顯影溶劑收集罐中的顯影液液位。所述三通藥液閥位于顯影溶劑收集罐的上方。
[0007]—種顯影液分類回收處理方法，所述三通藥液閥根據(jù)系統(tǒng)的工作狀態(tài)進行工位切換，分別使主排廢管與顯影液排放管聯(lián)通，處于顯影液排放工位；或者使主排廢管與DI水排放管聯(lián)通，處于DI水排放工位。
[0008]顯影過程中噴灑顯影液時，所述三通藥液閥位于顯影液排放工位；噴灑DI水時，三通藥液閥位于DI水排放工位，待光纖對射傳感器A檢測到主排廢管中無液體時，三通藥液閥自動切換至顯影液排放工位。所述光纖對射傳感器B檢測到顯影溶劑收集罐中液體到達限位時對系統(tǒng)進行提示。
[0009]本發(fā)明的優(yōu)點與積極效果為:
[0010]1.采用本發(fā)明的溶液分類回收處理裝置，可將顯影液和DI水分類回收，既降低了成本，又非常環(huán)保。
[0011]2.本發(fā)明的顯影溶劑收集罐，使可重復(fù)利用的顯影液回收，待重新配比后重復(fù)使用，可節(jié)約資源，降低制造成本。
【附圖說明】
[0012]圖1為本發(fā)明處于整個顯影系統(tǒng)的示意圖；
[0013]圖2為本發(fā)明處于顯影液排放工位時的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖3為本發(fā)明處于DI水排放工位時的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]其中:I為顯影單元，2為三通藥液閥，3顯影溶劑收集罐，4為光纖對射傳感器A，5為光纖對射傳感器B，6為主排廢管，7為顯影液排放管，8為DI水排放管，M為顯影液，N為去離子水。
【具體實施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步詳細描述。
[0017]如圖1所示，本發(fā)明一種顯影液分類回收處理裝置，包括三通藥液閥2、顯影溶劑收集罐3、主排廢管6、顯影液排放管7及DI水排放管8，其中三通藥液閥2和顯影溶劑收集罐3設(shè)置于顯影單元I的下方、并三通藥液閥2位于顯影溶劑收集罐3的上方。三通藥液閥2通過主排廢管6與顯影單元I連接，所述三通藥液閥2通過顯影液排放管7和DI水排放管8分別與顯影溶劑收集罐3和排廢口連接。
[0018]所述主排廢管6的末端設(shè)有光纖對射傳感器A4，用于檢測主排廢管6中液體是否排放干凈。所述顯影溶劑收集罐3上設(shè)有光纖對射傳感器B4，用于檢測顯影溶劑收集罐3中的顯影液液位。
[0019]一種顯影液分類回收處理方法，所述三通藥液閥2根據(jù)系統(tǒng)的工作狀態(tài)進行工位切換，分別使主排廢管6與顯影液排放管7聯(lián)通，處于顯影液排放工位；或者使主排廢管6與DI水排放管8聯(lián)通，處于DI水排放工位。
[0020]如圖2所示，當顯影單元I噴出顯影液過程時，三通藥液閥2位于顯影液排放工位，即主排廢管6通過三通藥液閥2與顯影液排放管7聯(lián)通，使顯影液通過顯影液排放管7流入顯影溶劑收集罐3中進行回收。
[0021]如圖3所示，當顯影單元I噴出DI水時，三通藥液閥2位于DI水排放工位，即主排廢管6通過三通藥液閥2切換至與DI水排放管8聯(lián)通，使DI水由排廢口排出，待光纖對射傳感器A4檢測到主排廢管6中無液體時，三通藥液閥2自動切換至顯影液排放工位，以便下次顯影進行，這樣可有效避免顯影液被稀釋。在生產(chǎn)過程中，如光纖對射傳感器B5檢測到液面過高，對系統(tǒng)進行提示，可方便顯影溶劑收集罐3進行回收清理，防止顯影溶劑溢出。
【主權(quán)項】
1.一種顯影液分類回收處理裝置，其特征在于:包括三通藥液閥(2)、顯影溶劑收集罐(3)、主排廢管￠)、顯影液排放管(7)及DI水排放管(8)，其中三通藥液閥(2)和顯影溶劑收集罐(3)設(shè)置于顯影單元(I)的下方、并三通藥液閥(2)通過主排廢管￠)與顯影單元(1)連接，所述三通藥液閥(2)通過顯影液排放管(7)和DI水排放管(8)分別與顯影溶劑收集罐(3)和排廢口連接。
2.按權(quán)利要求1所述的顯影液分類回收處理裝置，其特征在于:所述主排廢管(6)上設(shè)有光纖對射傳感器A (4)，用于檢測主排廢管￠)中液體。
3.按權(quán)利要求1所述的顯影液分類回收處理裝置，其特征在于:所述顯影溶劑收集罐(3)上設(shè)有光纖對射傳感器B(4)，用于檢測顯影溶劑收集罐(3)中的顯影液液位。
4.按權(quán)利要求1所述的顯影液分類回收處理裝置，其特征在于:所述三通藥液閥(2)位于顯影溶劑收集罐(3)的上方。
5.一種按權(quán)利要求1-4任一項所述裝置的顯影液分類回收處理方法，其特征在于:所述三通藥液閥(2)根據(jù)系統(tǒng)的工作狀態(tài)進行工位切換，分別使主排廢管(6)與顯影液排放管(7)聯(lián)通，處于顯影液排放工位；或者使主排廢管(6)與DI水排放管(8)聯(lián)通，處于DI水排放工位。
6.按權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于:顯影過程中噴灑顯影液時，所述三通藥液閥(2)位于顯影液排放工位；噴灑DI水時，三通藥液閥(2)位于DI水排放工位，待光纖對射傳感器A(4)檢測到主排廢管(6)中無液體時，三通藥液閥(2)自動切換至顯影液排放工位。
7.按權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于:所述光纖對射傳感器B(4)檢測到顯影溶劑收集罐(3)中液體到達限位時對系統(tǒng)進行提示。
【專利摘要】本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造中溶液分類回收處理的技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種顯影液分類回收處理裝置及方法。包括三通藥液閥、顯影溶劑收集罐、主排廢管、顯影液排放管及DI水排放管，其中三通藥液閥和顯影溶劑收集罐設(shè)置于顯影單元的下方、并三通藥液閥通過主排廢管與顯影單元連接，所述三通藥液閥通過顯影液排放管和DI水排放管分別與顯影溶劑收集罐和排廢口連接。本發(fā)明可以使顯影液與DI水分類回收降低成本，有利于廠務(wù)處理排出廢液，增進環(huán)保。
【IPC分類】G03F7-30
【公開號】CN104614953
【申請?zhí)枴緾N201310536267
【發(fā)明人】張浩淵
【申請人】沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司
【公開日】2015年5月13日
【申請日】2013年11月1日