感光性樹脂組合物、耐熱性樹脂膜的制造方法及顯示裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種包含以特定結(jié)構(gòu)為主要成分的樹脂的感光性樹脂組合物。更 詳細(xì)而言，涉及一種適用于半導(dǎo)體元件的表面保護(hù)膜或?qū)娱g絕緣膜、有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光 (Electroluminescence :以下記作EL)元件的絕緣膜、使用了有機(jī)EL元件的顯示裝置的驅(qū) 動(dòng)用薄膜晶體管（Thin Film Transistor:以下記作TFT)基板的平整膜、電路基板的布線 保護(hù)絕緣膜、固體攝像元件的單片微透鏡（on-chip microlens)或各種顯示器?固體攝像 元件用平整膜等用途的感光性樹脂組合物。
【背景技術(shù)】
[0002] 聚酰亞胺被廣泛用于半導(dǎo)體元件的表面保護(hù)膜、層間絕緣膜和平整膜等，最近，例 如用于有機(jī)EL元件的絕緣膜、TFT基板的平整膜等。這些用途與半導(dǎo)體用途相比，基板尺 寸非常大，因此，通常利用狹縫涂布來涂布樹脂組合物。狹縫涂布是使用狹縫噴嘴的涂布方 式，與以往的旋轉(zhuǎn)涂布不同，狹縫涂布不需要旋轉(zhuǎn)基板，因此，從削減樹脂組合物的使用量 和工序安全性的觀點(diǎn)考慮，狹縫涂布被廣泛采用。在狹縫涂布中，由于從狹縫噴嘴中排出的 涂布膜含有大量溶劑，所以通常在涂布后立即進(jìn)行減壓干燥將溶劑除去，之后使用熱板等 進(jìn)行加熱干燥。
[0003] 對(duì)于狹縫涂布而言，膜厚取決于來自狹縫噴嘴的排出量和成為涂液的樹脂組合物 中的固態(tài)成分濃度。因此，為了形成厚膜，需要使排出量較大或使樹脂組合物中的固態(tài)成分 濃度較高。然而，如果排出量過多，則液面在基板搬運(yùn)中波動(dòng)，所以會(huì)導(dǎo)致膜厚均勻性惡化。 另一方面，使用了聚酰亞胺或聚酰亞胺前體的樹脂組合物存在下述問題：如果使樹脂組合 物中的固態(tài)成分濃度較高，則粘度變得過高。
[0004] 樹脂組合物的粘度可以通過使用對(duì)樹脂而言為良溶劑、溶劑本身的粘度低的溶劑 來降低。聚酰亞胺、聚酰亞胺前體因其具有剛直的結(jié)構(gòu)，所以在多數(shù)情況下在各種溶劑中的 溶解性低。迄今為止，提出了在有機(jī)溶劑中的溶解性得以改善的聚酰亞胺（例如，參見專利 文獻(xiàn)1)、聚酰亞胺前體（例如，參見專利文獻(xiàn)2~3)。然而，這些樹脂在有機(jī)溶劑中的溶解 性仍然不充分。此外，由這些樹脂無法得到具有適于狹縫涂布的粘度的樹脂組合物。
[0005] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開2005-41936號(hào)公報(bào)
[0006] 專利文獻(xiàn)2 :日本特開2011-42701號(hào)公報(bào)
[0007] 專利文獻(xiàn)3 :日本特開2011-202059號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 鑒于上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種包含在有機(jī)溶劑中的溶解性高的聚酰 亞胺前體、粘度低且涂布性優(yōu)異、由此形成均勻的膜厚、具有良好的圖案加工性的感光性樹 脂組合物。
[0009] 即，本發(fā)明為下述感光性樹脂組合物：包含（al)具有酰胺基、三氟甲基和芳香環(huán)， 且可溶于丙二醇單甲醚乙酸酯的芳香族酰胺樹脂、（b)感光劑及（C)溶劑，固態(tài)成分濃度為 20重量％，25 °C時(shí)的粘度為1~15cp ;或者包含（a2)具有酰胺基、酰胺酸酯基、三氟甲基和 芳香環(huán)，且可溶于丙二醇單甲醚乙酸酯的芳香族酰胺樹脂、（b)感光劑及（C)溶劑，固態(tài)成 分濃度為20重量％，25°C時(shí)的粘度為1~15cp ;或者含有（a)具有通式（1)表示的結(jié)構(gòu)作 為主要重復(fù)單元的樹脂、（b)感光劑及（C)溶劑。
[0010]
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種感光性樹脂組合物，包含（al)具有酰胺基、三氟甲基和芳香環(huán)，且可溶于丙二 醇單甲醚乙酸酯的芳香族酰胺樹脂；(b)感光劑及（c)溶劑，所述感光性樹脂組合物的固態(tài) 成分濃度為20重量％，25°C時(shí)的粘度為1~15cp。
2. -種感光性樹脂組合物，包含（a2)具有酰胺基、酰胺酸酯基、三氟甲基和芳香環(huán)，且 可溶于丙二醇單甲醚乙酸酯的芳香族酰胺樹脂；(b)感光劑及（c)溶劑，所述感光性樹脂組 合物的固態(tài)成分濃度為20重量％，25 °C時(shí)的粘度為1~15cp。
3. -種感光性樹脂組合物，含有（a)具有通式（1)表示的結(jié)構(gòu)作為主要重復(fù)單元的樹 月旨、（b)感光劑及（C)溶劑，
其中，復(fù)數(shù)個(gè)重復(fù)單元中R1~R3分別可以以不同的基團(tuán)存在；R1為4價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，所 有重復(fù)單元中的R1的95~100摩爾％為下式（2)表示的基團(tuán)；R2為2價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，所有 重復(fù)單元中的R2的50~99摩爾％為下式（3)表示的基團(tuán)、1~50摩爾％為下式（4)表示 的基團(tuán)；R3表示碳原子數(shù)1~20的有機(jī)基團(tuán)；1和m分別表示0~2的整數(shù)，1+m = 2，
通式⑷中，Z表示羥基或甲基，p和q分別為0或1。
4. 如權(quán)利要求3所述的感光性樹脂組合物，其中，所述（a)具有通式（1)表示的結(jié)構(gòu)作 為主要重復(fù)單元的樹脂經(jīng)單胺封端，相對(duì)于100摩爾％作為單體成分的四羧酸，所述單胺 為10~100摩爾％。
5. 如權(quán)利要求3所述的感光性樹脂組合物，其中，所述（a)具有通式（1)表示的結(jié)構(gòu)作 為主要重復(fù)單元的樹脂經(jīng)酸酐封端，相對(duì)于100摩爾％作為單體成分的二胺，所述酸酐為 10~100摩爾％。
6. 如權(quán)利要求4所述的感光性樹脂組合物，其中，所述單胺為具有通式（5)表示的基團(tuán) 的單胺，
通式（5)中，R5表示碳原子數(shù)1~6的飽和烴基，r表示O或I ;A和B可以相同也可以 不同，分別表示羥基、羧基或磺酸基；s和t分別表示O或1，s+t 3 1。
7. 如權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其中，所述（b)感光劑為醌二 疊氮化合物。
8. -種耐熱性樹脂膜的制造方法，包含下述工序：將權(quán)利要求1~7中任一項(xiàng)所述的 感光性樹脂組合物涂布于基板上從而形成感光性樹脂膜的工序；將所述感光性樹脂膜進(jìn)行 干燥的工序；將干燥過的感光性樹脂膜進(jìn)行曝光的工序；將曝光過的感光性樹脂膜進(jìn)行顯 影的工序以及將顯影過的感光性樹脂膜進(jìn)行加熱處理的工序。
9. 一種耐熱性樹脂膜的制造方法，包含下述工序：將權(quán)利要求1~7中任一項(xiàng)所述的 感光性樹脂組合物涂布于基板上從而形成感光性樹脂膜的工序；將所述感光性樹脂膜進(jìn)行 干燥的工序；將干燥過的感光性樹脂膜進(jìn)行曝光的工序；將曝光過的感光性樹脂膜進(jìn)行顯 影的工序以及將顯影過的感光性樹脂膜進(jìn)行加熱處理的工序， 其中，使用輸送過除權(quán)利要求1~7中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物以外的感光性 樹脂組合物的涂布裝置，在不進(jìn)行所述涂布裝置的輸送路徑內(nèi)的清洗的情況下，使用所述 涂布裝置將權(quán)利要求1~7中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物涂布于基板上。
10. 如權(quán)利要求9所述的耐熱性樹脂膜的制造方法，其中，所述除權(quán)利要求1~7中 任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物以外的感光性樹脂組合物，為含有選自乙二醇單乙醚乙酸 酯、乙基一 3 -乙氧基丙酸酯、甲基一 3 -甲氧基丙酸酯、2 -庚酮、丙二醇單甲醚乙酸酯、環(huán) 己酮中的至少1種溶劑的感光性樹脂組合物。
11. 一種顯示裝置，其包含形成于基板上的第一電極、以使第一電極部分地露出的方式 形成于第一電極上的絕緣層、和與第一電極相對(duì)設(shè)置的第二電極，所述顯示裝置的特征在 于，所述絕緣層為利用權(quán)利要求8~10中任一項(xiàng)所述的耐熱性樹脂膜的制造方法而得到的 耐熱性樹脂膜。
12. -種顯示裝置，其是具備以覆蓋形成有薄膜晶體管（TFT)的基板上的凹凸的狀態(tài) 而設(shè)置的平整膜、和設(shè)置于平整膜上的顯示元件而成，所述顯示裝置的特征在于，所述平整 膜為利用權(quán)利要求8~10中任一項(xiàng)所述的耐熱性樹脂膜的制造方法而得到的耐熱性樹脂 膜。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種使用了下述聚酰亞胺前體的感光性樹脂組合物，所述聚酰亞胺前體在有機(jī)溶劑中的溶解性優(yōu)異、且可降低得到的樹脂組合物的粘度，本發(fā)明的感光性樹脂組合物含有：具有酰胺基、三氟甲基和芳香環(huán)的特定結(jié)構(gòu)作為主要重復(fù)單元的芳香族酰胺樹脂、(b)感光劑及(c)溶劑。
【IPC分類】G03F7-037, C09D7-12, C09D179-08, C08G73-10, G03F7-023
【公開號(hào)】CN104854508
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201380065421
【發(fā)明人】小森悠佑, 越野美加, 三好一登
【申請(qǐng)人】東麗株式會(huì)社
【公開日】2015年8月19日
【申請(qǐng)日】2013年12月13日
【公告號(hào)】WO2014097992A1