一種uv掩膜板及其曝光方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種UV掩膜板及其曝光方法，屬于液晶制造技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]液晶顯示器(LCD，Liquid Crystal Display)等顯示裝置是一種被廣泛應(yīng)用的平面顯示裝置，其制作方法大體包括:提供兩片平行的基板、涂布在該兩片基板間的封框膠(sealant)以及灌注在封框膠和兩片襯底基板所組成空間中的液晶；下基板上設(shè)置薄膜場效應(yīng)晶體管(TFT，Thin Film Transistor)，上基板襯底上設(shè)置彩膜(CF，Color Filter)，通過TFT上的信號與電壓改變來控制液晶盒中液晶分子的轉(zhuǎn)動(dòng)方向，從而達(dá)到控制每個(gè)像素點(diǎn)偏振光出射與否而達(dá)到顯示目的。
[0003]現(xiàn)有的液晶加工工藝中，采用液晶滴下方式填充液晶時(shí)，由于在封框膠固化前，封框膠可與液晶接觸，因此，業(yè)界一般采用UV固化的方式來防止由于液晶和封框膠直接接觸造成對液晶的污染。所謂的UV固化(紫外固化)，主要是利用遮擋物(掩膜板，也可稱為掩模板)遮住液晶區(qū)域(也叫顯示區(qū)、即A/A區(qū))，暴露涂有封框膠的區(qū)域以利用UV固化設(shè)備對封框膠進(jìn)行UV固化，通常將這種掩膜板稱為UV掩膜板。
[0004]對封框膠固化時(shí)，針對不同尺寸的產(chǎn)品需要開發(fā)相應(yīng)尺寸的UV掩膜板，對每種尺寸的UV掩膜板只是進(jìn)行一次性的使用。所有不同尺寸的產(chǎn)品的UV掩膜板都是獨(dú)立的，每開發(fā)一款產(chǎn)品就需要開發(fā)一款相對應(yīng)的UV掩膜板，這種方式會(huì)增加顯示裝置的制作成本，不利于液晶制造成本的管控。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是:如何使UV掩膜板適用于不同尺寸的產(chǎn)品而不需要單獨(dú)制作UV掩膜板。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述的發(fā)明目的，本發(fā)明提供了一種UV掩膜板及其曝光方法。
[0007]—方面，本發(fā)明提供一種UV掩膜板，包括:掩膜板本體和遮光片；
[0008]所述掩膜板本體包括遮光區(qū)域和漏光區(qū)域；
[0009]所述相鄰遮光區(qū)域之間形成漏光區(qū)域；所述漏光區(qū)域?yàn)榈谝环较虻目p隙或第二方向的縫隙；
[0010]所述遮光片用于遮擋非曝光區(qū)域。
[0011]其中較優(yōu)地，所述第一方向?yàn)闄M向；
[0012]所述第二方向?yàn)榭v向。
[0013]其中較優(yōu)地，所述遮光區(qū)域?yàn)榫匦巍?br>[0014]其中較優(yōu)地，所述相鄰兩塊遮光區(qū)域成列或成行排列。
[0015]其中較優(yōu)地，所述縫隙的寬度與相鄰液晶面板的間隙寬度相同。
[0016]其中較優(yōu)地，所述縫隙的寬度是封框膠的寬度。
[0017]其中較優(yōu)地，所述UV掩膜板的長寬與液晶面板長寬相同。
[0018]另一方面，本發(fā)明還提供一種UV掩膜板曝光方法，應(yīng)用了上述的UV掩膜板和遮光片，包括如下步驟:
[0019]使所述縫隙對準(zhǔn)曝光區(qū)域；
[0020]用所述遮光片覆蓋非曝光區(qū)域；
[0021]曝光蝕刻形成刻蝕圖案。
[0022]其中較優(yōu)地，所述使縫隙對準(zhǔn)曝光區(qū)域的步驟包括:
[0023]遮擋所述縫隙，使所述縫隙寬度減小至相鄰液晶面板的間隙寬度或封框膠的寬度。
[0024]其中較優(yōu)地，還包括移動(dòng)所述UV掩膜板本體和所述遮光片完成其他曝光區(qū)域曝光。
[0025]本發(fā)明提供的UV掩膜板及其曝光方法，采用掩膜板與遮光片拼接遮擋方式對基板曝光，達(dá)到UV掩膜板共用的效果，不同尺寸的基板均可以采用本發(fā)明提供的UV掩膜板曝光顯影制作，而無需單獨(dú)制作UV掩膜板，節(jié)約了顯示裝置的制作成本。
【附圖說明】
[0026]圖1是本發(fā)明UV掩膜板結(jié)構(gòu)不意圖之一；
[0027]圖2是本發(fā)明UV掩膜板結(jié)構(gòu)示意圖之二；
[0028]圖3是本發(fā)明UV掩膜板與橫向封框膠對齊示意圖；
[0029]圖4是本發(fā)明遮光片遮擋非曝光區(qū)域示意圖；
[0030]圖5是本發(fā)明UV掩膜板與縱向封框膠對齊示意圖；
[0031]圖6是本發(fā)明遮光片遮擋非曝光區(qū)域示意圖；
[0032]圖7是本發(fā)明UV掩膜板曝光方法流程示意圖；
[0033]圖8是本發(fā)明移動(dòng)UV掩膜板與橫向封框膠對齊示意圖；
[0034]圖9是本發(fā)明移動(dòng)遮光片遮擋非曝光區(qū)域不意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0035]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。
[0036]如圖1、圖2所示，本發(fā)明提供一種UV掩膜板，該UV掩膜板包括:掩膜板本體I和遮光片2(圖中未示出)；所述掩膜板本體I包括遮光區(qū)域11和漏光區(qū)域12 ;所述相鄰遮光區(qū)域11之間形成漏光區(qū)域12 ;所述漏光區(qū)域12為第一方向的縫隙121或第二方向的縫隙122 ;所述遮光片2用于遮擋非曝光區(qū)域。下面對本發(fā)明提供的UV掩膜板展開詳細(xì)的說明。
[0037]如圖1、圖2所示，第一方向的縫隙121與第二方向的縫隙122的方向根據(jù)液晶面板3的邊緣設(shè)置成相應(yīng)的形狀，若液晶面板3為不規(guī)則的形狀，則UV掩膜板可能也是不規(guī)則形狀，遮光區(qū)域11也可能按實(shí)際情況設(shè)置呈不規(guī)則形狀。二相鄰的遮光區(qū)域11之間漏光區(qū)域12也可能是適應(yīng)液晶面板3的邊緣設(shè)置相應(yīng)的形狀。一般情況下液晶面板3的形狀為矩形，因此，遮光區(qū)域11適應(yīng)液晶面板3的邊緣設(shè)置成矩形，相鄰的遮光區(qū)11域形成的第一方向的縫隙121為橫向，相鄰的遮光區(qū)11域形成的第二方向的縫隙122為縱向。
[0038]如圖3所示，對液晶面板3的封框膠固化時(shí)，利用遮光區(qū)11形成橫向的第一方向的縫隙121，第一方向的縫隙121對準(zhǔn)液晶面板3的橫向封框膠固定。如圖4所示，非曝光區(qū)域用遮光板2覆蓋，對液晶面板3的橫向封框膠固化，按此方法將所有橫向封框膠固化。如圖5所示，將遮光區(qū)11形成縱向的第二方向的縫隙122，第二方向的縫隙122對準(zhǔn)液晶面板3的縱向封框膠固定。如圖6所示，非曝光區(qū)域用遮光板2覆蓋，對液晶面板3的縱向封框膠固化，按此方法將所有縱向封框膠固化。
[0039]為了盡可能減少遮光板2的使用，所述相鄰遮光區(qū)域11之間形成漏第一方向的縫隙121或第二方向的縫隙122的寬度優(yōu)選與相鄰液晶面板的間隙寬度相同。這種方式在曝光固化相鄰液晶面板的封框膠時(shí)，可以同時(shí)曝光相鄰液晶面板的靠近的兩條封框膠。如果縫隙寬度過大就需要足夠多的遮光板2遮擋非曝光區(qū)域，造成曝光工序繁雜。如果縫隙寬度過小有可能導(dǎo)致封框膠不能完全曝光固化，影響液晶面板的穩(wěn)定性。優(yōu)選將所述縫隙的寬度設(shè)置為封框膠的寬度，對封框膠曝光時(shí)，縫隙對準(zhǔn)封框膠以實(shí)現(xiàn)對封框膠的一次性精準(zhǔn)曝光，由于縫隙寬度與封框膠寬度相同。因此，曝光時(shí)不用遮擋縫隙寬度，還可以使封框膠完全曝光固化。
[0040]如圖1至圖6所示，所述UV掩膜板的長寬與液晶面板長寬相同。當(dāng)UV掩膜板的長度與液晶面板的長度相同時(shí)，所述相鄰遮光區(qū)域11之間形成漏光區(qū)域12的長度與液晶面板的長度相同，因此曝光時(shí)第一方向的縫隙121與液晶面板3的橫向(長度方向)的封框膠固定，完成液晶面板橫向封框膠的固化。當(dāng)UV掩膜板的寬度與液晶面板的寬度相同時(shí)，所述相鄰遮光區(qū)域11之間形成漏光區(qū)域12的長度與液晶面板的寬度相同，因此曝光時(shí)第二方向的縫隙122與液晶面板3的縱向(長度方向)的封框膠固定，完成液晶面板縱向封框膠的固化。
[0041]為進(jìn)一步體現(xiàn)本發(fā)明提供的UV掩膜板的優(yōu)越性，本發(fā)明還提供一種UV掩膜板曝光方法，應(yīng)用了時(shí)述的UV掩膜板和遮光片，如圖7所示，包括如下步驟:使所述縫隙對準(zhǔn)曝光區(qū)域；用所述遮光片覆蓋非曝光區(qū)域；曝光蝕刻形成刻蝕圖案。下面對本發(fā)明提供的UV掩膜板曝光方法展開詳細(xì)的說明。
[0042]如圖3所示，采用本發(fā)明提供的UV掩膜板曝光方法曝光時(shí)，首先需要將相鄰遮光區(qū)域11之間形成的漏光區(qū)域?qū)?zhǔn)曝光區(qū)域，如果所述漏光區(qū)域12形成的縫隙寬度寬于待曝光相鄰液晶面板的間隙寬度封框膠的寬度，使用遮光板遮擋所述縫隙，使所述縫隙寬度減小至相鄰液晶面板的間隙寬度或封框膠的寬度。如圖4所示，將所述漏光區(qū)域12形成的縫隙對準(zhǔn)曝光區(qū)域后，將非曝光區(qū)域用遮光板遮擋，避免其它區(qū)域曝光。對當(dāng)前的曝光區(qū)域曝光形成刻蝕圖案。如圖8、圖9所示完成一次曝光后，移動(dòng)所述UV掩膜板本體和所述遮光片完成其他曝光區(qū)域曝光。完成所有橫向封框膠曝光固化后采用上述同樣的方法曝光固化縱向封框膠。具體過程與曝光固化橫向封框膠的方法相同，再次不再一一贅述了。
[0043]綜上所述，本發(fā)明提供的UV掩膜板及其曝光方法，采用掩膜板與遮光片拼接遮擋方式對基板曝光，達(dá)到UV掩膜板共用的效果，不同尺寸的基板均可以采用本發(fā)明提供的UV掩膜板曝光顯影制作，而無需單獨(dú)開打UV掩膜板，節(jié)約了顯示裝置的制作成本。
[0044]以上實(shí)施方式僅用于說明本發(fā)明，而并非對本發(fā)明的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本發(fā)明的范疇，本發(fā)明的專利保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求限定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種UV掩膜板，用于液晶面板的封框膠固化，其特征在于，包括:掩膜板本體和遮光片； 所述掩膜板本體包括遮光區(qū)域和漏光區(qū)域； 相鄰所述遮光區(qū)域之間形成漏光區(qū)域；所述漏光區(qū)域?yàn)榈谝环较虻目p隙或第二方向的縫隙； 所述遮光片用于遮擋非曝光區(qū)域。2.如權(quán)利要求1所述的UV掩膜板，其特征在于，所述第一方向?yàn)闄M向； 所述第二方向?yàn)榭v向。3.如權(quán)利要求1所述的UV掩膜板，其特征在于，所述遮光區(qū)域?yàn)榫匦巍?.如權(quán)利要求1所述的UV掩膜板，其特征在于，所述相鄰遮光區(qū)域成列或成行排列。5.如權(quán)利要求1所述的UV掩膜板，其特征在于，所述縫隙的寬度與相鄰液晶面板的間隙寬度相同。6.如權(quán)利要求1所述的UV掩膜板，其特征在于，所述縫隙的寬度是封框膠的寬度。7.如權(quán)利要求1所述的UV掩膜板，其特征在于，所述UV掩膜板的長寬與液晶面板長寬相同。8.—種UV掩膜板曝光方法，其特征在于，應(yīng)用了權(quán)利要求1-7任意一項(xiàng)所述的UV掩膜板和遮光片，包括如下步驟: 使所述縫隙對準(zhǔn)曝光區(qū)域； 用所述遮光片覆蓋非曝光區(qū)域； 曝光蝕刻形成刻蝕圖案。9.如權(quán)利要求8所述的曝光方法，其特征在于，使所述縫隙對準(zhǔn)曝光區(qū)域的步驟包括: 遮擋所述縫隙，使所述縫隙寬度減小至相鄰液晶面板的間隙寬度或封框膠的寬度。10.如權(quán)利要求8所述的曝光方法，其特征在于，還包括移動(dòng)所述UV掩膜板本體和所述遮光片完成其他曝光區(qū)域的曝光。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種UV掩膜板及其曝光方法，其中，UV掩膜板包括：掩膜板本體和遮光片；所述掩膜板本體包括遮光區(qū)域和漏光區(qū)域；所述相鄰遮光區(qū)域之間形成漏光區(qū)域；所述漏光區(qū)域?yàn)榈谝环较虻目p隙或第二方向的縫隙；所述遮光片用于遮擋非曝光區(qū)域。本發(fā)明采用掩膜板與遮光片拼接遮擋方式對基板曝光，達(dá)到UV掩膜板共用的效果，不同尺寸的基板均可以采用本發(fā)明提供的UV掩膜板曝光顯影制作，無需單獨(dú)開打UV掩膜板，節(jié)約了顯示裝置的制作成本。
【IPC分類】G03F1/00, G02F1/13
【公開號】CN105093806
【申請?zhí)枴緾N201510512365
【發(fā)明人】代磊, 高永益, 黃煒赟, 龍躍
【申請人】京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 成都京東方光電科技有限公司
【公開日】2015年11月25日
【申請日】2015年8月19日