光刻版自動翻轉(zhuǎn)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種光刻版清洗設(shè)備，特別是涉及光刻版清洗設(shè)備中對光刻版正反兩個面進(jìn)行翻轉(zhuǎn)的光刻版自動翻轉(zhuǎn)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]光刻版，也稱光掩模或者光罩，通常為高純度精密石英玻璃板，上面載有金屬鉻形成的集成電路圖形。集成電路制造中采用光刻機將光刻版上的圖形投影到硅片或其他半導(dǎo)體材質(zhì)上。一般一個集成電路芯片的生產(chǎn)需要許多光刻版套刻而成。光刻版是集成電路生產(chǎn)的關(guān)鍵工具，使用中其表面會殘余光刻膠、灰塵、指紋等，因此必須利用光刻版清洗機對它進(jìn)行清洗。傳統(tǒng)的全自動光刻版清洗機，由機械臂將光刻版放入具有清洗液的清洗腔體，通過擺臂的刷子對光刻版正面進(jìn)行刷洗，而光刻版背面則通過軟管噴淋清洗液沖洗。光刻版背面由于沒有刷子刷洗功能，潔凈度往往達(dá)不到要求，為使光刻版背面潔凈度達(dá)到要求，只好對光刻版背面進(jìn)行人工清洗或用手工正反面翻轉(zhuǎn)后再次裝入清洗機腔體清洗。傳統(tǒng)的光刻版清洗機由于不能對光刻版進(jìn)行翻轉(zhuǎn)達(dá)到在一道工序中進(jìn)行兩面清洗的效果，既增加了清洗光刻版人工勞動強度和清洗時間，又直接影響了光刻版的清洗質(zhì)量，進(jìn)而影響了硅片的產(chǎn)品質(zhì)量。中國專利申請?zhí)?01110138192.9給出了一種“光掩模沖洗的裝卡裝置”，該裝置設(shè)置的工作臺上安裝有開合驅(qū)動機構(gòu)和自動翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，該裝置中的自動翻轉(zhuǎn)機構(gòu)雖然解決了光刻版自動翻版得以完成兩面清洗的目的，但是該翻轉(zhuǎn)裝置采用氣缸控制，運動不夠平穩(wěn)，尤其是運動停止時對光刻版有沖擊；并且氣缸控制轉(zhuǎn)動的精度不夠，轉(zhuǎn)動角度有誤差。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是給出一種結(jié)構(gòu)簡單、制造成本低，能使光刻版正面與背面相互翻轉(zhuǎn)，以便光刻版清洗機能在同一工序步驟中對光刻版正面和背面進(jìn)行清洗，使用簡便且具有裝載三種規(guī)格光刻版中任意一種的光刻版自動翻轉(zhuǎn)裝置。
[0004]本發(fā)明的目的是能夠?qū)崿F(xiàn)的。本發(fā)明光刻版自動翻轉(zhuǎn)裝置包括臺板，其特征在于:所述臺板上固定有支座組和立板，支座組的上端固定有支座，支座的右端固定有減速器，左端安裝有軸承座，所述減速器輸入端與驅(qū)動單元連接，輸出端通過聯(lián)軸器與驅(qū)動軸連接，所述軸承座內(nèi)設(shè)有I號角接觸球軸承和II號角接觸球軸承，I號角接觸軸承通過軸承內(nèi)環(huán)由I號內(nèi)隔圈、鎖母以及頂絲與軸承座定位，II號角接觸球軸承的軸承外環(huán)通過軸承壓蓋以及軸承內(nèi)環(huán)由II號內(nèi)隔圈及側(cè)肩軸與軸承座定位，所述驅(qū)動軸右端通過I號角接觸球軸承和II號角接觸球軸承的軸承內(nèi)環(huán)安裝在軸承座上，所述立板上端設(shè)有Y向軸承座，Y向軸承座內(nèi)設(shè)有支撐軸承，所述驅(qū)動軸左端安裝在支撐軸承的軸承內(nèi)環(huán)中，處在軸承座與Y向軸承座之間的驅(qū)動軸上通過鍵連接一個片盒座，片盒座通過螺釘連接一個光刻版片盒，所述光刻版片盒上沿軸向設(shè)有一個上窄下寬形狀對稱的梯形槽，所述梯形槽兩側(cè)的壁面上對稱設(shè)有三組尺寸不等的光刻版卡口，所述三組光刻版卡口中的每一個卡口上均設(shè)有與光刻版片盒螺紋連接的定位柱，光刻版通過定位柱裝載在光刻版片盒上。
[0005]本發(fā)明光刻版自動翻面裝置，其中所述光刻版隨同光刻版片盒通過驅(qū)動軸帶動，具有在O °?180 °區(qū)域內(nèi)的往返間歇翻轉(zhuǎn)運動軌跡。
[0006]本發(fā)明光刻版自動翻轉(zhuǎn)裝置，其中所述光刻版片盒的三組卡口分別對應(yīng)安裝四寸、五寸和六寸三種規(guī)格的光刻版。
[0007]本發(fā)明光刻版自動翻轉(zhuǎn)裝置與現(xiàn)有技術(shù)不同之處在于本發(fā)明光刻版自動翻轉(zhuǎn)裝置是光刻版清洗機中的一套獨立機構(gòu)。光刻版自動翻轉(zhuǎn)裝置的驅(qū)動軸上安裝有光刻版片盒，光刻版片盒上可安裝三種規(guī)格光刻版中任意一種規(guī)格的光刻版。驅(qū)動軸由驅(qū)動單元帶動可在O °~180 °區(qū)域內(nèi)進(jìn)行往返間歇式的轉(zhuǎn)動，驅(qū)動軸帶動光刻版片盒翻轉(zhuǎn)，使得光刻版片盒上的光刻版在O °情況下正面朝上，在180 °情況下被面朝上，達(dá)到了將光刻版正反兩個面進(jìn)行翻轉(zhuǎn)的效果，進(jìn)而與光刻版清洗機中的其他機構(gòu)(機械臂，清洗腔體)協(xié)同完成對光刻版兩面清洗的工作。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理，制造成本低，通過脈沖控制電機運動，光刻版翻轉(zhuǎn)作業(yè)簡單、平穩(wěn)、精準(zhǔn)。光刻版片盒上設(shè)置的三種規(guī)格光刻版卡口可承載或四寸或五寸或六寸三種規(guī)格中任意一種的光刻版。它作業(yè)能力強，作業(yè)效率高，解決了全自動光刻版清洗機中光刻版背面無法刷洗造成光刻版潔凈度達(dá)不到技術(shù)要求的難題。
[0008]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的光刻版自動翻轉(zhuǎn)裝置作進(jìn)一步說明。
【附圖說明】
[0009]圖1是本發(fā)明光刻版自動翻轉(zhuǎn)裝置結(jié)構(gòu)剖面示意圖。
[0010]圖2是本發(fā)明光刻版自動翻轉(zhuǎn)裝置中翻轉(zhuǎn)部分結(jié)構(gòu)主視示意圖。
[0011]圖3是本發(fā)明光刻版自動翻轉(zhuǎn)裝置中光刻版和光刻版片盒連接狀態(tài)示意圖。
[0012]圖4是光刻版片盒中不同尺寸的三組卡口結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖5是本發(fā)明光刻版自動翻轉(zhuǎn)裝置將光刻版正面朝上的狀態(tài)示意圖。
[0014]圖6是本發(fā)明光刻版自動翻轉(zhuǎn)裝置將光刻版翻至背面朝上的狀態(tài)示意圖。
[0015]圖中，1.臺板；2.支座組；3.驅(qū)動單元；4.減速器；5.支座；6.聯(lián)軸器；7.鎖母；8.1.1號內(nèi)隔圈；8.2.1I號內(nèi)隔圈；9.1.1號角接觸球軸承；9.2.1I號角接觸球軸承；10.軸承座；11.軸承壓蓋；12.驅(qū)動軸；13.定位柱；14.光刻版片盒；15.片盒聯(lián)座；16.鍵；17.光刻版；18.支撐軸承；19.Y向軸承座；20.立板。
【具體實施方式】
[0016]如圖1-圖4所示，本發(fā)明光刻版自動翻轉(zhuǎn)裝置含有一個臺板I。臺板I上固定有支座組2和立板20。支座組2的上端固定有支座5。支座5的右端固定有減速器4，左端安裝有軸承座10。減速器4輸入端與驅(qū)動單元3連接，輸出端通過聯(lián)軸器6與驅(qū)動軸12連接。為消除軸向間隙，軸承座10內(nèi)設(shè)有I號角接觸球軸承9.1和II號角接觸球軸承9.2。I號角接觸軸承9.1通過軸承內(nèi)環(huán)由I號內(nèi)隔圈8.1、鎖母7以及頂絲與軸承座10定位。II號角接觸球軸承9.2的軸承外環(huán)通過軸承壓蓋11以及軸承內(nèi)環(huán)由II號內(nèi)隔圈8.2及側(cè)肩軸與軸承座10定位。驅(qū)動軸12右端通過I號角接觸球軸承9.1和II號角接觸球軸承9.2的軸承內(nèi)環(huán)安裝在軸承座10上。立板20上端設(shè)有Y向軸承座19。Y向軸承座19內(nèi)設(shè)有支撐軸承18，驅(qū)動軸12左端安裝在支撐軸承18的軸承內(nèi)環(huán)中。處在軸承座10與Y向軸承座11之間的驅(qū)動軸12上通過鍵16連接一個片盒座15。片盒座15通過螺釘連接一個光刻版片盒17。通過驅(qū)動單元3的驅(qū)動，帶動驅(qū)動軸12旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動光刻版片盒14及光刻版17在空間翻轉(zhuǎn)。
[0017]如圖1、圖5和圖6所示，光刻版17隨同光刻版片盒14通過驅(qū)動軸12帶動，具有在O °?180 °區(qū)域內(nèi)的往返間歇翻轉(zhuǎn)運動軌跡。
[0018]如圖4所示，光刻版片盒14上沿軸向設(shè)有一個上窄下寬形狀對稱的梯形槽。梯形槽兩側(cè)的壁面上對稱設(shè)有三組尺寸不等的光刻版卡口 a、b、c。三組光刻版卡口 a、b、c中的每一個卡口上均設(shè)有與光刻版片盒14螺紋連接的定位柱13。光刻版17通過定位柱13裝載在光刻版片盒14上。光刻版片盒14的三組卡口 a、b、c分別對應(yīng)安裝四寸、五寸和六寸三種規(guī)格的光刻版14。
[0019]使用本發(fā)明的光刻版自動翻轉(zhuǎn)裝置，當(dāng)光刻版清洗機將光刻版17正面刷洗完后，通過機械臂將清洗腔體中的光刻版17取出，放在本發(fā)明O °狀態(tài)下光刻版自動翻轉(zhuǎn)裝置的光刻版片盒14上，由本裝置對光刻版17進(jìn)行翻版。光刻版17翻轉(zhuǎn)到180 °其被面朝上時，再由有機械臂將翻版后的光刻版再次放入清洗腔體中進(jìn)行背面的刷洗，從而使得背面達(dá)到和正面相同的清洗效果，解決了全自動光刻版清洗機中光刻版背面清洗潔凈度不夠的問題。
[0020]以上所述實施例，僅僅是對本發(fā)明優(yōu)選實施方式進(jìn)行的描述，并非對本發(fā)明的范圍進(jìn)行限定，在不脫離本發(fā)明設(shè)計精神的前提下，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員對本發(fā)明的技術(shù)方案做出的各種變形和改進(jìn)，均應(yīng)落入本發(fā)明權(quán)利要求書確定的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種光刻版自動翻轉(zhuǎn)裝置，包括臺板(1)，其特征在于:所述臺板(I)上固定有支座組(2)和立板(20)，支座組(2)的上端固定有支座(5)，支座(5)的右端固定有減速器(4)，左端安裝有軸承座(10)，所述減速器(4)輸入端與驅(qū)動單元(3)連接，輸出端通過聯(lián)軸器(6)與驅(qū)動軸(12)連接，所述軸承座(10)內(nèi)設(shè)有I號角接觸球軸承(9.1)和II號角接觸球軸承(9.2)，I號角接觸軸承(9.1)通過軸承內(nèi)環(huán)由I號內(nèi)隔圈(8.1)、鎖母(7)以及頂絲與軸承座(10 )定位，II號角接觸球軸承(9.2)的軸承外環(huán)通過軸承壓蓋(11)以及軸承內(nèi)環(huán)由II號內(nèi)隔圈(8.2)及側(cè)肩軸與軸承座(10)定位，所述驅(qū)動軸(12)右端通過I號角接觸球軸承(9.1)和II號角接觸球軸承(9.2)的軸承內(nèi)環(huán)安裝在軸承座(10)上，所述立板(20)上端設(shè)有Y向軸承座(19)，Y向軸承座(19)內(nèi)設(shè)有支撐軸承(18)，所述驅(qū)動軸(12)左端安裝在支撐軸承(18)的軸承內(nèi)環(huán)中，處在軸承座(10)與Y向軸承座(11)之間的驅(qū)動軸(12)上通過鍵(16)連接一個片盒座(15)，片盒座(15)通過螺釘連接一個光刻版片盒(14)，所述光刻版片盒(14)上沿軸向設(shè)有一個上窄下寬形狀對稱的梯形槽，所述梯形槽兩側(cè)的壁面上對稱設(shè)有三組尺寸不等的光刻版卡口(a、b、c)，所述三組光刻版卡口(a、b、c)中的每一個卡口上均設(shè)有與光刻版片盒(14)螺紋連接的定位柱(13)，光刻版(17)通過定位柱(13)裝載在光刻版片盒(14)上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻版自動翻面裝置，其特征在于:所述光刻版(17)隨同光刻版片盒(14)通過驅(qū)動軸(12)帶動，具有在O °J80 °區(qū)域內(nèi)的往返間歇翻轉(zhuǎn)運動軌跡。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光刻版自動翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于:所述光刻版片盒(14)的三組卡口(a、b、c)分別對應(yīng)安裝四寸、五寸和六寸三種規(guī)格的光刻版(17)。
【專利摘要】一種光刻版自動翻轉(zhuǎn)裝置，其中的支座組、立板、驅(qū)動單元、驅(qū)動軸及驅(qū)動軸上安裝的光刻版片盒構(gòu)成光刻版翻轉(zhuǎn)裝置。光刻版片盒上設(shè)置的三種規(guī)格光刻版卡口可承載或四寸或五寸或六寸三種規(guī)格中任意一種的光刻版。驅(qū)動軸可在0o~180？o區(qū)域內(nèi)進(jìn)行往返間歇式的轉(zhuǎn)動。驅(qū)動軸帶動光刻版片盒翻轉(zhuǎn)，使光刻版片盒上的光刻版在0o情況下正面朝上，在180o情況下被面朝上，達(dá)到了將光刻版正反兩面進(jìn)行翻轉(zhuǎn)的效果，進(jìn)而通過其他工藝步驟達(dá)到對光刻版兩面清洗的目的。作為光刻版清洗機中的一套獨立機構(gòu)結(jié)構(gòu)合理，制造成本低，作業(yè)能力強、效率高，脈沖控制電機運動，翻轉(zhuǎn)作業(yè)平穩(wěn)、精準(zhǔn)，解決了全自動光刻版清洗機中光刻版背面無法刷洗的難題。
【IPC分類】G03F1/82
【公開號】CN105204288
【申請?zhí)枴緾N201510659924
【發(fā)明人】吳光慶, 侯為萍, 郭春華, 陳仲武, 高建利
【申請人】中國電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所
【公開日】2015年12月30日
【申請日】2015年10月14日