[0074] 圖13是本發(fā)明的實施例4所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的通常觀察狀態(tài)下的像差圖。
[0075] 圖14是本發(fā)明的實施例4所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的放大觀察狀態(tài)下的像差圖。
[0076] 圖15是表示本發(fā)明的實施例5所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)的截面圖。
[0077] 圖16是本發(fā)明的實施例5所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的像差圖。
[0078] 圖17是表示本發(fā)明的實施例6所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)的截面圖。
[0079] 圖18是本發(fā)明的實施例6所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的像差圖。
[0080] 圖19是表示本發(fā)明的實施例7所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)的截面圖,(A) 表示通常觀察狀態(tài),(B)表示放大觀察狀態(tài)。
[0081] 圖20是本發(fā)明的實施例7所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的通常觀察狀態(tài)下的像差圖。
[0082] 圖21是本發(fā)明的實施例7所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的放大觀察狀態(tài)下的像差圖。
[0083] 圖22是表示本發(fā)明的實施例8所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)的截面圖。
[0084] 圖23是本發(fā)明的實施例8所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的像差圖。
[0085] 圖24是表示本發(fā)明的實施例9所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)的截面圖。
[0086] 圖25是本發(fā)明的實施例9所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的像差圖。
[0087]圖26是表示本發(fā)明的實施例10所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)的截面圖。
[0088] 圖27是本發(fā)明的實施例10所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的像差圖。
[0089] 圖28是表示本發(fā)明的實施例11所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)的截面圖。
[0090] 圖29是本發(fā)明的實施例11所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的像差圖。
[0091]圖30是表示本發(fā)明的實施例12所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)的截面圖。
[0092] 圖31是本發(fā)明的實施例12所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的像差圖。
[0093]圖32是表示本發(fā)明的實施例13所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)的截面圖,(A) 表示通常觀察狀態(tài),(B)表示放大觀察狀態(tài)。
[0094] 圖33是本發(fā)明的實施例13所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的通常觀察狀態(tài)下的像差圖。
[0095] 圖34是本發(fā)明的實施例13所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的放大觀察狀態(tài)下的像差圖。
[0096]圖35是表示本發(fā)明的實施例14所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)的截面圖,(A) 表示通常觀察狀態(tài),(B)表示放大觀察狀態(tài)。
[0097] 圖36是本發(fā)明的實施例14所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的通常觀察狀態(tài)下的像差圖。
[0098] 圖37是本發(fā)明的實施例14所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的放大觀察狀態(tài)下的像差圖。 [0099]圖38是表示本發(fā)明的實施例15所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)的截面圖,(A) 表示通常觀察狀態(tài),(B)表示放大觀察狀態(tài)。
[0100] 圖39是本發(fā)明的實施例15所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的通常觀察狀態(tài)下的像差圖。
[0101] 圖40是本發(fā)明的實施例15所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)的放大觀察狀態(tài)下的像差圖。
【具體實施方式】
[0102] (第一實施方式)
[0103] 以下,參照附圖對本發(fā)明的第一實施方式所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)進行說明。
[0104]圖1示出了表示物鏡光學(xué)系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)的截面圖。如圖1所示,物鏡光學(xué)系統(tǒng) 從物體側(cè)起依次具備前組GF、亮度光圈S以及后組GR。
[0105] 前組GF從物體側(cè)的面起依次具備負的第一透鏡L1和正的第二透鏡L2,且具有正 的折射力。后組GR具備平行平板F以及接合透鏡CL1 (第一接合透鏡),且具有正的折射 力,其中,該接合透鏡CL1 (第一接合透鏡)是正的第三透鏡L3與負的第四透鏡L4接合而 成的。
[0106] 而且,接合透鏡CL1被構(gòu)成為滿足以下的條件式(1)和條件式(2)。
[0107] 15. 0 <vA-ndA< 15. 75. . . (1)
[0108] -0. 2 >rdyAl/ih> -20. . . (2)
[0109] 其中,vA為接合透鏡CL1的負的透鏡的阿貝數(shù),ndA為負的透鏡的d線的折射率, rdyAl為接合透鏡CL1的負的透鏡的接合面的曲率半徑,ih為像高。
[0110] 當(dāng)超過條件式(1)的上限時,負透鏡的折射率過低,因此無法獲得所需的負的折 射力。為了獲得負的折射力而需要增強接合面和空氣接觸面的曲率,但是會特別導(dǎo)致產(chǎn)生 軸外的像差。當(dāng)超過條件式(1)的下限時,負透鏡的阿貝數(shù)過小,容易產(chǎn)生軸上和軸外的色 像差。
[0111] 另外,當(dāng)超過條件式⑵的上限時,接合透鏡的曲率變得過弱,因此會導(dǎo)致接合透 鏡的顏色校正效果減弱,因此容易產(chǎn)生軸上和軸外的色像差。當(dāng)超過條件式(2)的下限時, 接合透鏡的曲率變得過強,因此容易產(chǎn)生軸上和軸外的色像差。
[0112] 因此,更優(yōu)選的是,代替條件式(1)和條件式(2)而應(yīng)用以下的條件式(1)'和條 件式(2) '、或者條件式(1) "和條件式(2) "。
[0113] 15. 3 < vA-ndA< 15. 7· · · (1) '
[0114] -1· 0 > rdyAl/ih>-5· 0· · · (2),
[0115] 15. 5 < νA-ndA< 15. 6· · · (1) "
[0116] -1· 2 > rdyAl/ih> -2· 5· ·· (2) "
[0117] 另外,接合透鏡CL1的負的第四透鏡L4被構(gòu)成為滿足以下的條件式(3)。
[0118] -〇. 2> (rdyAl+rdyA2) / (rdyAl-rdyA2) >-10··· (3)
[0119] 其中,rdyA2為接合透鏡CL1的負透鏡的空氣接觸面的曲率半徑。
[0120] 條件式(3)是與接合透鏡CL1的負的第四透鏡L4的shapefactor(形狀因子)相 關(guān)的條件式。通過使接合透鏡CL1的負的第四透鏡L4滿足條件式(3),能夠獲得所需的負 的折射力并且校正軸上和軸外的色像差。當(dāng)超過條件式(3)的上限時,接合面的曲率半徑 變得過小而加工困難。另外,接合透鏡CL1的正的第三透鏡L3的曲率也變強,因此難以確 保正的第三透鏡L3的邊緣壁。當(dāng)超過條件式(3)的下限時,接合面的曲率半徑變得過大, 難以校正軸上和軸外的色像差。
[0121] 因此,更優(yōu)選的是,代替條件式(3)而應(yīng)用以下的條件式(3) '或條件式(3) "。
[0122] -〇. 3> (rdyAl+rdyA2) / (rdyAl-rdyA2) >-3. 0··· (3) ?
[0123] 更優(yōu)選的是,
[0124] -〇· 4> (rdyAl+rdyA2) / (rdyAl_rdyA2) >_2· 5... (3) ',
[0125] 本實施方式所涉及的物鏡光學(xué)系統(tǒng)被構(gòu)成為,優(yōu)選如圖1中的前組GF的第一透鏡 L1那樣將負的透鏡配置在最靠近物體側(cè)面,并且最靠近物體側(cè)面的負的透鏡滿足以下的條 件式(4)。
[0126] -3. 0rdyl2/rdyAl< -〇. 2. . . (4)
[0127] 其中,rdyl2表示負的第一透鏡的像側(cè)的曲率半徑。
[0128] 條件式(4)是負的第一透鏡L1的像側(cè)的曲率半徑和接合透鏡CL1的曲率半徑的 條件式,通過滿足條件式(4),能夠良好地保持負的第一透鏡L1的像側(cè)的曲率半徑與接合 透鏡CL1的曲率半徑的平衡,能夠良好地校正彗星像差、像面彎曲、軸上色像差、倍率色像 差。另一方面,當(dāng)超過條件式(4)的上限時,負的第一透鏡L1的曲率半徑變大,彗星像差、 像面彎曲、畸變變得困難。另外,當(dāng)超過條件式(4)的下限時,接合透鏡CL1的曲率半徑變 得過小,難以校正軸上色像差、倍率色像差。
[0129] 因此,更優(yōu)選的是,代替條件式(4)而應(yīng)用以下的條件式(4) '或條件式(4) "。
[0130] -2. 5 rdyl2/rdyAl< -〇. 3. . . (4)'
[0131] -2. 0 彡rdyl2/rdyAl< -0· 39. · · (4) "
[0132] 另外,接合透鏡CL1被構(gòu)成為滿足以下的條件式(5)。
[0133] 1. 0 < DB/DA< 10. . . (5)
[0134] 0. 1 < DA/ih< 2. 0. . . (6)
[0135] 其中,DA為接合透鏡CL1中的負的第四透鏡L4的中部厚度,DB為接合透鏡CL1中 的正的第三透鏡L3的中部厚度。
[0136] 條件式(5)和條件式(6)是與接合透鏡CL1的中部厚度相關(guān)的條件式。通過滿足 條件式(5)和條件式(6),能夠?qū)崿F(xiàn)適當(dāng)?shù)娜L且不易在透鏡產(chǎn)生裂紋、缺口等制造不良的 物鏡光學(xué)系統(tǒng)。
[0137] 當(dāng)超過條件式(5)的上限時,接合透鏡CL1的負的第四透鏡L4的中部厚度變得過 薄,容易產(chǎn)生裂紋、缺口。當(dāng)超過條件式(5)的下限時,接合透鏡的正的第三透鏡L3的中部 厚度變得過薄,因此無法確保邊緣壁,加工性明顯變差。
[0138] 當(dāng)超過條件式(6)的上限時,負的第四透鏡L4的中部厚度變得過厚且全長變得過 長。當(dāng)超過條件式(6)的下限時,負的第四透鏡L4的中部厚度變得過薄,容易產(chǎn)生裂紋、缺 □ 〇
[0139] 因此,更優(yōu)選的是,代替條件式(5)和條件式(6)而應(yīng)用以下的條件式(5) '和條 件式(6) '、或者條件式(5) "和條件式(6) "。
[0140] 2. 5 <DB/DA< 7. 5. · · (5) '
[0141] 0· 15 <DA/ih< 1. 0· · · (6),
[0142] 更優(yōu)選的是,
[0143] 4. 0 <DB/DA< 4. 5. · · (5) "
[0144] 0· 2 <DA/ih< 0· 7··· (6) "
[0145] 另外,被配置在最靠近物體側(cè)面的負的第一透鏡L1和接合透鏡CL1的負的透鏡被 構(gòu)成為滿足以下的條件式。
[0146] 0. 5 <PW1/PW4 < 10. . . (7)
[0147] 其中,PW1為負的第一透鏡的折射力,PW4為接合透鏡中的負透鏡的折射力。
[0148] 條件式(7)是負的第一透鏡L1的折射力與接合透鏡CL1的負的第四透鏡L4的折 射力的條件式。通過滿足條件式(7),能夠良好地保持負的第一透鏡L1的折射力與接合透 鏡CL1的負的第三透鏡L3的折射力的平衡,能夠良好地校正彗星像差、像面彎曲、軸上色像 差以及倍率色像差。當(dāng)超過條件式(7)的上限時,負的第一透鏡L1的折射力變得過強,彗 星像差、像面彎曲、歪曲變得困難。當(dāng)超過條件式(7)的下限時,接合透鏡CL1的負的第四 透鏡L4的折射力變得過強,難以校正軸上色像差、倍率色像差。
[0149] 因此,更優(yōu)選的是,代替條件式(7)而應(yīng)用以下的條件式(7) '或條件式(7) "。
[0150] 1. 5 <PW1/PW4 < 5. 0· · · (7) '
[0151] 1. 58 <PW1/PW4 < 3. 0· · · (7) "
[0152] 被配置在最靠近物體側(cè)面的負的第一透鏡被構(gòu)成為滿足以下的條件式(8