感光性樹脂組合物的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種感光性樹脂組合物，其含有(A)、(B)、(C)及(D)，其中，(A)為具有具酚性羥基的結(jié)構(gòu)單元，且不具有含碳數(shù)4～6的全氟烷基的結(jié)構(gòu)單元的聚合物，(B)為含有含碳數(shù)4～6的全氟烷基的結(jié)構(gòu)單元的聚合物，(C)為聚合性化合物，(D)為聚合引發(fā)劑。
【專利說明】
感光性樹脂組合物
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明設(shè)及感光性樹脂組合物。
【背景技術(shù)】
[0002] 在近年的顯示設(shè)備等中，濾色器、液晶顯示元件的口 0電極、有機(jī)化顯示元件、電路 布線基板等通過噴墨法來制作。另外，噴墨法中，利用使用感光性樹脂組合物形成的隔壁。
[0003] 作為運(yùn)樣的感光性樹脂組合物，例如作為樹脂已知含有甲基丙締酸與3,4-環(huán)氧Ξ 環(huán)[5.2.1.02'6]癸基丙締酸醋的共聚物的感光性樹脂組合物(專利文獻(xiàn)1)。
[0004] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005] 專利文獻(xiàn)
[0006] 專利文獻(xiàn)1:日本特開2012-73603號公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007] 在W形成于基板上的隔壁和基板所共同區(qū)劃的凹部中，使用噴墨印刷裝置涂布含 有有機(jī)功能性材料的墨液時(shí)，優(yōu)選基盤表面的潤濕性高W使得凹部基盤表面完全被墨液被 覆，并且為了防止墨液漏出至目的領(lǐng)域W外而優(yōu)選隔壁的上表面的潤濕性低(疏液性高）。 然而，使用W往提出的感光性樹脂組合物所形成的隔壁與基板所區(qū)劃出的凹部基盤表面的 潤濕性有時(shí)無法滿足要求。
[000引本發(fā)明提供W下的[1]~[7]的技術(shù)方案。
[0009] [ 1 ]含有(A)、(B)、（C)及(D)的感光性樹脂組合物。
[0010] (A)具有具酪性徑基的結(jié)構(gòu)單元，且不具有含碳數(shù)4~6的全氣烷基的結(jié)構(gòu)單元的 聚合物
[0011] (B)含有含碳數(shù)4~6的全氣烷基的結(jié)構(gòu)單元的聚合物
[0012] (C)聚合性化合物 [001引（D)聚合引發(fā)劑。
[0014] [2]根據(jù)[1]所述的感光性樹脂組合物，其中（B)為進(jìn)一步具有來自選自由不飽和 簇酸及不飽和簇酸酢所組成的組中至少1種單體的結(jié)構(gòu)單元的聚合物。
[001引[3]根據(jù)聚合引發(fā)劑的山或[2]所述的感光性樹脂組合物，其中，（D)為含有選自 由聯(lián)咪挫化合物、烷基苯基酬化合物及0-酷基朽化合物所組成的組中的至少1種的聚合引 發(fā)劑。
[0016] [4]由[1]~[3]中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物所形成的圖案。
[0017] [引由[1]~[3]中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物所形成的噴墨印刷用隔壁。
[0018] [6]含有[4]記載的圖案的顯示設(shè)備。
[0019] [7]含有[引記載的噴墨印刷用隔壁的顯示設(shè)備。
[0020] 根據(jù)本發(fā)明的感光性樹脂組合物，可得到潤濕性優(yōu)異的圖案、即能夠得到隔壁與 基板所區(qū)劃出的凹部基盤表面的潤濕性高且隔壁上表面的疏液性高的圖案。
【附圖說明】
[0021] 圖1為將顯示設(shè)備1的一部分放大的示意截面圖。
[0022] 圖2為將本發(fā)明的一實(shí)施方式的顯示設(shè)備1的一部分放大的示意俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023] 本發(fā)明的感光性樹脂組合物為含有(A)、(B)、（C)及(D)的感光性樹脂組合物。
[0024] (A)為具有具酪性徑基的結(jié)構(gòu)單元，且不具有含碳數(shù)4~6的全氣烷基的結(jié)構(gòu)單元 的聚合物下有時(shí)稱"樹脂(ΑΓ)
[0025] (B)為含有含碳數(shù)4~6的全氣烷基的結(jié)構(gòu)單元的聚合物下有時(shí)稱為"樹脂 (ΒΓ)
[0026] (C)為聚合性化合物
[0027] (D)為聚合引發(fā)劑
[0028] 進(jìn)而，本發(fā)明的感光性樹脂組合物可含有選自由樹脂(A)及樹脂(B)W外的樹脂 (W下有時(shí)稱"樹脂(Air)、聚合引發(fā)助劑(D1)、多官能硫醇化合物(T)、溶劑巧)及表面活性 劑(巧所組成的組中的至少1種。
[0029] 另外，本說明書中，作為各成分而例示的化合物在不特別限定時(shí)，可單獨(dú)或組合使 用。
[0030] 樹脂(A)為含有具有酪性徑基的結(jié)構(gòu)單元的樹脂，且該結(jié)構(gòu)單元衍生自具有酪性 徑基的單體(a) (W下有時(shí)稱"(a)")。
[0031] 樹脂(A)進(jìn)一步可含有來自（a) W外的單體(x)(但，不具有碳數(shù)4~6的全氣烷基） (W下有時(shí)稱"(χΓ)的結(jié)構(gòu)單元。
[0032] (a)優(yōu)選為具有酪性徑基與締屬不飽和雙鍵的單體。
[0033] 具有酪性徑基與締屬不飽和雙鍵的單體，具體上例如可舉出鄰徑基苯乙締、間徑 基苯乙締、對徑基苯乙締、徑基苯基（甲基)丙締酸醋、徑基苯基（甲基)丙締酷胺、徑基苯基 馬來酷亞胺等。
[0034] 本說明書中，"(甲基)丙締酸"是指選自由丙締酸及甲基丙締酸所組成的組中的至 少1種。"(甲基倆締酷基"及"(甲基倆締酸醋"等表示也有相同意義。
[0035] 若(X)為(a) W外的單體，且為不具有碳數(shù)4~6的全氣烷基的單體，則不特別限定， 例如可舉出具有碳數(shù)2~4的環(huán)狀酸結(jié)構(gòu)的單體(b)(W下有時(shí)稱為"(b)")、由不飽和簇酸及 不飽和簇酸酢所組成的組中選擇的至少一種的單體(e)(W下有時(shí)稱為"(e)")、其他的單體 ((3)(^下有時(shí)稱為"((3)")。優(yōu)選為化)和/或((3)。
[0036] (b)為具有碳數(shù)2~4的環(huán)狀酸結(jié)構(gòu)(例如從環(huán)氧乙燒、氧雜環(huán)下燒環(huán)及四氨巧喃環(huán) 所組成的組中選擇的至少巧巾）的單體，優(yōu)選為具有碳數(shù)2~4的環(huán)狀酸結(jié)構(gòu)與締屬不飽和雙 鍵的單體，更優(yōu)選為具有碳數(shù)2~4的環(huán)狀酸結(jié)構(gòu)與（甲基)丙締酷基氧基的單體。
[0037] 作為化），例如可舉出具有環(huán)氧乙基的單體(bl)(W下有時(shí)稱"(bin、具有氧雜環(huán) 下基的單體(b2)(W下有時(shí)稱"(b2)")、具有四氨巧喃基的單體(b3)(W下有時(shí)稱"(b3)") 等。
[0038] 作為(bl)，可舉出具有不飽和脂肪族控被環(huán)氧化的結(jié)構(gòu)的單體(bl-l)(W下有時(shí) 稱"(bl-ir)、具有不飽和脂環(huán)式控被環(huán)氧化的結(jié)構(gòu)的單體(bl-2)(w下有時(shí)稱"(bl-2)")。
[0039] 作為(bl)，優(yōu)選具有環(huán)氧乙基與（甲基)丙締酷基氧基的單體，更優(yōu)選具有不飽和 脂環(huán)式控被環(huán)氧化的結(jié)構(gòu)與（甲基)丙締酷基氧基的單體。若為運(yùn)些更優(yōu)選的單體，則感光 性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性優(yōu)異。
[0040] 作為(bl-1)，具體可舉出縮水甘油基（甲基)丙締酸醋、β-甲基縮水甘油基（甲基） 丙締酸醋、0-乙基縮水甘油基（甲基)丙締酸醋、縮水甘油基乙締基酸、鄰乙締基芐基縮水甘 油基酸、間乙締基芐基縮水甘油基酸、對乙締基芐基縮水甘油基酸、α-甲基-鄰乙締基芐基 縮水甘油基酸、曰-甲基-間乙締基芐基縮水甘油基酸、曰-甲基-對乙締基芐基縮水甘油基酸、 2,3-雙(縮水甘油基氧基甲基)苯乙締、2,4-雙(縮水甘油基氧基甲基)苯乙締、2,5-雙(縮水 甘油基氧基甲基)苯乙締、2,6-雙(縮水甘油基氧基甲基）苯乙締、2,3,4-Ξ(縮水甘油基氧 基甲基)苯乙締、2,3,5-Ξ(縮水甘油基氧基甲基)苯乙締、2,3,6-Ξ(縮水甘油基氧基甲基） 苯乙締、3,4,5-Ξ(縮水甘油基氧基甲基)苯乙締、2,4,6-Ξ(縮水甘油基氧基甲基)苯乙締、 日本特開平7-248625號公報(bào)記載的化合物等。
[0041 ] 作為（bl-2)，可舉出乙締基環(huán)己締單氧化物、1,2-環(huán)氧-4-乙締基環(huán)己燒（例如 Celloxide(注冊商標(biāo))2000;大賽踰化學(xué)工業(yè)株式會社制）、丙締酸3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲醋(例 如切clomer(注冊商標(biāo))A400;大賽踰化學(xué)工業(yè)株式會社制）、甲基丙締酸3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲 醋（例如切clomer(注冊商標(biāo))M100;大賽踰化學(xué)工業(yè)株式會社制）、式（I)所表示的化合物、 式(II)所表示的化合物等。
[0042]
[0043] [式（I)及式（II)中，Ri及R2各自獨(dú)立地表示氨原子、或碳數(shù)1~4的烷基，該烷基所 包含的氨原子可W徑基取代。
[0044] χ?及χ2各自獨(dú)立地表示單鍵、*-r3-、*-r3-〇-、*-r3-s-、或 *-r3-nh-。
[0045] R3表示碳數(shù)1~6的燒控二基。
[0046] *表示與0的鍵合端。]
[0047] 作為Ri及R2所表示的碳數(shù)1~4的烷基，例如可舉出甲基、乙基、正丙基、異丙基、正 下基、仲下基、叔下基等。
[004引作為被徑基取代的烷基，例如可舉出徑基甲基、1-徑基乙基、2-徑基乙基、1-徑基 丙基、2-徑基丙基、3-徑基丙基、1-徑基-1-甲基乙基、2-徑基-1-甲基乙基、1-徑基下基、2- 徑基下基、3-徑基下基、4-徑基下基等。
[0049] 作為Ri及R2,優(yōu)選可舉出氨原子、甲基、徑基甲基、1-徑基乙基、2-徑基乙基，更優(yōu)選 可舉出氨原子、甲基。
[0050] 作為R3所表示的碳數(shù)1~6的燒控二基，例如可舉出亞甲基、亞乙基、丙烷-1,2-二 基、丙烷-1,3-二基、下燒-1,4-二基、戊燒-1,5-二基、己燒-1,6-二基等。
[0051 ] 作為χ?及X2,優(yōu)選可舉出單鍵、亞甲基、亞乙基、*-畑2-0-( *為與0的鍵合端） 基、* -c出c出-ο-基，更優(yōu)選可舉出單鍵、* -c出c出-ο-基。
[0052]作為式（I)所表示的化合物，例如可舉出式（1-1)~式（1-15)所表示的化合物等。 其中優(yōu)選式(1-1)、式(1-3)、式(1-5)、式(1-7)、式(1-9)或式(1-11)~式(1-15)所表示的化 合物，更優(yōu)選式(1-1)、式(1-7)、式(1-9)或式(1-15)所表示的化合物。
[0化3]
[0054]作為式(II)所表示的化合物，可舉出式（ΙΙ-1)~式(11-15)所表示的化合物等。其 中優(yōu)選式（11-1)、式（11-3)、式(11-5)、式(11-7)、式（ΙΙ-9)或式（11-11)~式(11-15)所表 示的化合物，更優(yōu)選式(11-1)、式(11-7)、式(ΙΙ-9)或式(11-15)所表示的化合物。
[ο化5]
[0056] 式(I)所表示的化合物及式(II)所表示的化合物可各自單獨(dú)使用或巧巾W上并用。 并用式（I)所表示的化合物及式（II)所表示的化合物時(shí)，它們的含有比率〔式（I)所表示的 化合物:式（II)所表示的化合物）W摩爾基準(zhǔn)計(jì)，優(yōu)選為5:95~95:5、更優(yōu)選為20:80~80: 20 〇
[0057] 作為化2)，優(yōu)選具有氧雜環(huán)下基與（甲基)丙締酷基氧基的單體。作為化2)，例如可 舉出3-甲基-3-(甲基)丙締酷基氧基甲基氧雜環(huán)下燒、3-乙基-3-(甲基)丙締酷基氧基甲基 氧雜環(huán)下燒、3-甲基-3-(甲基）丙締酷基氧基乙基氧雜環(huán)下燒、3-乙基-3-(甲基)丙締酷基 氧基乙基氧雜環(huán)下燒等。
[0058] 作為化3)，優(yōu)選具有四氨巧喃基與（甲基)丙締酷基氧基的單體。
[0059] 作為化3)，具體可舉出四氨慷基丙締酸醋(例如VISC0ATV#150、大阪有機(jī)化學(xué)工業(yè) 株式會社制）、四氨慷基甲基丙締酸醋等。
[0060] 作為(e)，可舉出不飽和簇酸類、不飽和簇酸酢類。
[0061] 作為不飽和簇酸類，可舉出丙締酸、甲基丙締酸、己豆酸、乙締基苯甲酸、馬來酸、 富馬酸、巧康酸、甲基延胡索酸、衣康酸、乙締基鄰苯二甲酸、3,4,5,6-四氨鄰苯二甲酸、1， 2,3,6-四氨鄰苯二甲酸、二甲基四氨鄰苯二甲酸、1、4-環(huán)己締二簇酸、甲基-5-降冰片締-2， 3-二簇酸、5-簇基雙環(huán)[2.2.1 ]庚-2-締、5，6-二簇基雙環(huán)[2.2.1 ]庚-2-締、5-簇基-5-甲基 雙環(huán)[2.2.1]庚-2-締、5-簇基-5-乙基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-締、5-簇基-6-甲基雙環(huán)[2.2.1] 庚-2-締、5-簇基-6-乙基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-締、班巧酸單〔2-(甲基)丙締酷基氧基乙基)醋、 鄰苯二甲酸單〔2-(甲基)丙締酷基氧基乙基)醋、α-巧圣基甲基)丙締酸等。
[0062] 作為不飽和簇酸酢類，可舉出馬來酸酢、巧康酸酢、衣康酸酢、3-乙締基鄰苯二甲 酸酢、4-乙締基鄰苯二甲酸酢、3，4,5,6-四氨鄰苯二甲酸酢、1，2,3,6-四氨鄰苯二甲酸酢、 二甲基四氨鄰苯二甲酸酢、5,6-二簇基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-締酸酢等不飽和二簇酸類酸酢 等。
[0063] 作為(C)，可舉出（甲基)丙締酸醋類、N-取代馬來酷亞胺類不飽和二簇酸二醋類、 脂環(huán)式不飽和化合物類、苯乙締類、其他的乙締基化合物等。其中優(yōu)選（甲基)丙締酸醋類、 苯乙締類。
[0064] 作為（甲基)丙締酸醋類，可舉出甲基丙締酸甲基醋、（甲基)丙締酸甲基醋、（甲基） 丙締酸乙基醋、（甲基)丙締酸正下基醋、（甲基)丙締酸仲下基醋、（甲基)丙締酸叔下基醋等 烷基醋類；
[0065] 環(huán)己基（甲基）丙締酸醋、2-甲基環(huán)己基（甲基）丙締酸醋、Ξ環(huán)[5.2.1.02'6]癸燒- 8-基（甲基)丙締酸醋(在該技術(shù)領(lǐng)域，慣用名為二環(huán)戊烷基（甲基)丙締酸醋。）、二環(huán)戊烷基 氧基乙基（甲基)丙締酸醋、Ξ環(huán)[5.2.1.02'6]癸締-8-基（甲基)丙締酸醋(在該技術(shù)領(lǐng)域，慣 用名為"二環(huán)戊締（甲基)丙締酸醋"。）、異冰片基（甲基)丙締酸醋等環(huán)烷基醋類；
[0066] 2-徑基乙基（甲基)丙締酸醋、2-徑基丙基（甲基)丙締酸醋等徑基烷基醋類；
[0067] 苯基（甲基)丙締酸醋、芐基（甲基)丙締酸醋等芳基及芳烷基醋類等。
[0068] (甲基)丙締酸醋類中，優(yōu)選烷基醋類。
[0069] 作為不飽和二簇酸二醋類，可舉出馬來酸二乙基醋、富馬酸二乙基醋、衣康酸二乙 基酯等。
[0070] 作為N-取代馬來酷亞胺類，可舉出N-苯基馬來酷亞胺、N-環(huán)己基馬來酷亞胺、N-節(jié) 基馬來酷亞胺、N-班巧酷亞胺-3-馬來酷亞胺苯甲酸醋、N-班巧酷亞胺-4-馬來酷亞胺下酸 醋、N-班巧酷亞胺-6-馬來酷亞胺己酸醋、N-班巧酷亞胺-3-馬來酷亞胺丙酸醋、N-(9-日丫晚 基)馬來酷亞胺等。
[0071] 作為脂環(huán)式不飽和化合物類，可舉出雙環(huán)[2.2.1]庚-2-締、5-甲基雙環(huán)[2.2.1] 庚-2-締、5-乙基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-締、5-徑基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-締、5-徑基甲基雙環(huán)
[2.2.1] 庚-2-締、5-(2'-徑基乙基)雙環(huán)[2.2.1]庚-2-締、5-甲氧基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-締、 5-乙氧基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-締、5,6-二徑基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-締、5,6-二巧圣基甲基)雙環(huán) [2.2.^庚-2-締、5,6-二（2'-徑基乙基)雙環(huán)[2.2.。庚-2-締、5,6-二甲氧基雙環(huán)[2.2.1] 庚-2-締、5,6-二乙氧基雙環(huán)[2.2.1 ]庚-2-締、5-徑基-5-甲基雙環(huán)[2.2.1 ]庚-2-締、5-美圣 基-5-乙基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-締、5-徑基甲基-5-甲基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-締、5-叔下氧基幾 基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-締、5-環(huán)己基氧基幾基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-締、5-苯氧基幾基雙環(huán)
[2.2.1] 庚-2-締、5,6-雙(叔下氧基幾基)雙環(huán)[2.2.1]庚-2-締、5,6-雙(環(huán)己基氧基幾基） 雙環(huán)[2.2.1 ]庚-2-締等雙環(huán)不飽和化合物類等。
[00巧作為苯乙締類，可舉出苯乙締、α-甲基苯乙締、間甲基苯乙締、對甲基苯乙締、乙締 基甲苯、對甲氧基苯乙締等。其中優(yōu)選苯乙締、乙締基甲苯。
[0073] 作為其他的乙締基化合物，可舉出（甲基）丙締臘、氯代乙締、偏氯乙締、（甲基）丙 締酷胺、乙酸乙締醋、1,3-下二締、異戊二締及2,3-二甲基-1,3-下二締等。
[0074] 樹脂(Α)可為僅由來自（a)的結(jié)構(gòu)單元所構(gòu)成的樹脂，但優(yōu)選為包含來自（a)的結(jié) 構(gòu)單元與來自（X)的結(jié)構(gòu)單元的樹脂。
[0075] 樹脂(A)為包含來自（a)的結(jié)構(gòu)單元與來自（X)的結(jié)構(gòu)單元的樹脂時(shí)，來自各單體 的結(jié)構(gòu)單元的比率，相對構(gòu)成樹脂(A)的結(jié)構(gòu)單元的合計(jì)摩爾數(shù)，優(yōu)選W處于W下范圍。
[0076] 來自（a)的結(jié)構(gòu)單元;5~70摩爾％ (更優(yōu)選為10~60摩爾％ )
[0077] 來自（X)的結(jié)構(gòu)單元;30~95摩爾％ (更優(yōu)選為40~90摩爾％ )
[0078] 若上述樹脂(A)的結(jié)構(gòu)單元的比率處于上述范圍內(nèi)，則感光性樹脂組合物的保存 穩(wěn)定性、由感光性樹脂組合物形成圖案時(shí)的顯影性、W及得到的涂膜及圖案的耐溶劑性、耐 熱性及機(jī)械強(qiáng)度有變得良好的傾向。
[0079] 樹脂(A)可參考例如文獻(xiàn)《高分子合成的實(shí)驗(yàn)法》(大津隆行著發(fā)行所(株)化學(xué)同 人第1版第1次印刷1972年3月1日發(fā)行)記載的方法及該文獻(xiàn)記載的引用文獻(xiàn)來制造。
[0080] 具體而言，例如將(a)及根據(jù)需要使用的（X)的特定量、聚合引發(fā)劑W及溶劑等投 入反應(yīng)容器中，例如W氮將大氣中的氧取代，由此設(shè)定脫氧環(huán)境，并邊攬拌邊加熱及保溫的 方法。另外，在此對使用的聚合引發(fā)劑及溶劑等不特別限定，在該領(lǐng)域通常使用的物質(zhì)皆可 使用。例如作為聚合引發(fā)劑，例如可舉出偶氮化合物(2,2'-偶氮雙異下臘、2,2'-偶氮雙(2， 4-二甲基戊臘)等)或有機(jī)過氧化物(苯甲酯基過氧化物等），溶劑只要為溶解各單體的溶劑 即可，作為感光性樹脂組合物的溶劑化)可使用后述溶劑等。為了調(diào)整得到的樹脂的分子 量，聚合反應(yīng)時(shí)，可添加鏈轉(zhuǎn)移劑。作為鏈轉(zhuǎn)移劑，可舉出正下燒硫醇、叔下燒硫醇、正十二 燒硫醇、2-琉基乙醇、乙硫醇酸、乙硫醇酸乙基醋、乙硫醇酸2-乙基己基醋、乙硫醇酸甲氧基 下基醋、3-琉基丙酸、含琉基娃酬化F-2001:信越化學(xué)制)等硫醇類;氯仿、四氯化碳、四漠化 碳等面素代烷基醋類等。
[0081] 聚合時(shí)，可使用將(a)所具有的酪性徑基預(yù)先W保護(hù)基保護(hù)的單體。作為保護(hù)基， 可舉出叔下基等叔烷基；乙酷基等酷基。使用運(yùn)樣的預(yù)先W保護(hù)基保護(hù)的單體進(jìn)行聚合后， 通過使該保護(hù)基脫保護(hù)，由此可得到樹脂(A)。
[0082] 另外，得到的聚合物，可直接使用反應(yīng)后的溶液、也可使用濃縮或者經(jīng)稀釋的溶 液、也可使用W再沉淀等方法取出為固體(粉體）的物質(zhì)。尤其，該聚合時(shí)，作為溶劑通過使 用與后述溶劑化)相同溶劑，反應(yīng)后的溶液可直接使用，可簡化制造工序。
[0083] 樹脂(A)的聚苯乙締換算的重均分子量，優(yōu)選為3，000~100，000、更優(yōu)選為5，000 ~50,000。若樹脂(A)的重均分子量在上述范圍內(nèi)，則有涂布性優(yōu)異的傾向，且顯影時(shí)不易 產(chǎn)生曝光部的膜減少，進(jìn)一步非曝光部易在顯影中除去。
[0084] 樹脂(A)的分子量分布[重均分子量(Mw)/數(shù)均分子量(Μη)]優(yōu)選為1.1~6.0、更優(yōu) 選為1.2~4.0。若分子量分布在上述范圍，則有顯影性優(yōu)異的傾向。
[0085] 樹脂(Α)的酸值，通常為20~150m排OH/g、優(yōu)選為40~135m巧OH/g、更優(yōu)選為50~ 135mgK0H/g。在此酸值為W中和樹脂Ig所需要氨氧化鐘的量(mg)測定的值，可通過使用氨 氧化鐘水溶液進(jìn)行滴定求出。
[0086] 樹脂(A)的含量，相對樹脂(A)、樹脂(B)、樹脂(A1)及聚合性化合物(C)的合計(jì)量， 優(yōu)選為5~95質(zhì)量％、更優(yōu)選為20~80質(zhì)量％、特佳為40~60質(zhì)量％。若樹脂(A)的含量在上 述范圍內(nèi)，則感光性樹脂組合物的顯影性、得到的圖案的密合性、耐溶劑性及機(jī)械特性有變 得良好的傾向。
[0087] 本發(fā)明的感光性樹脂組合物含有樹脂(B)。樹脂(B)為含有含碳數(shù)4~6的全氣烷基 的結(jié)構(gòu)單元、來自單體(d)(w下有時(shí)稱為"(d)")的結(jié)構(gòu)單元的聚合物。
[0088] 作為(d)，可舉出式(d-0)所表示的化合物。
[0089]
[0090] [式(d-0)中，Rf表示碳數(shù)4~6的全氣烷基。
[0091] Rd表示氨原子、面素原子、氯基、苯基、芐基或碳數(shù)1~21的烷基，該烷基所包含的 氨原子可被面素原子或徑基取代。
[0092] Xd表示單鍵、碳數(shù)1~10的2價(jià)脂肪族控基、碳數(shù)3~10的2價(jià)脂環(huán)式控基或碳數(shù)6~ 12的2價(jià)芳香族控基，該脂肪族控基及該脂環(huán)式控基所包含的-C也-可被-0-、-C0-、-NR6-、- 5- 或-SO廠所置換。]
[0093] Rf為碳數(shù)4~6的全氣烷基，優(yōu)選全氣下基及全氣己基。
[0094] Rd中的碳數(shù)1~21的烷基，可舉出甲基、乙基、正丙基、正下基、正戊基、正己基、正 庚基、正辛基、正壬基、正癸基等直鏈狀烷基;異丙基、異下基、仲下基、異戊基、1-甲基戊基、 2- 甲基戊基、3-甲基戊基、4-甲基戊基、1-乙基下基、2-乙基下基、1-甲基己基、2-甲基己基、 3- 甲基己基、4-甲基己基、5-甲基己基、1-乙基戊基、2-乙基戊基、3-乙基戊基、1-丙基了基、 1- 甲基庚基、2-甲基庚基、3-甲基庚基、4-甲基庚基、5-甲基庚基、6-甲基庚基、1-乙基己基、 2- 乙基己基、3-乙基己基、4-乙基己基、2-丙基戊基、1-下基下基、1-下基-2-甲基下基、1-下 基-3-甲基下基、叔下基、1,1-二甲基丙基、1,1-二甲基下基、1,2-二甲基下基、1,3-二甲基 下基、2,3-二甲基下基、1-乙基-2-甲基丙基、1,1-二甲基戊基、1,2-二甲基戊基、1,3-二甲 基戊基、1,4-二甲基戊基、2,2-二甲基戊基、2,3-二甲基戊基、2,4-二甲基戊基、3,3-二甲基 戊基、3,4-二甲基戊基、1-乙基-1-甲基下基、2-乙基-3-甲基下基等支鏈狀烷基等。
[00M]作為Rd優(yōu)選為氨原子、面素原子及甲基。
[0096] 作為Xd中的碳數(shù)1~10的2價(jià)脂肪族控基，可舉出亞甲基、亞乙基、丙烷-1,3-二基、 丙烷-1,2-^基、了燒-1,4-^基、了燒-1,3-^基、了燒-1,2-^基、戊燒-1,5-^基、己燒-1, 6- 二基、庚燒-1，7-二基、辛燒-1，8-二基等燒控二基。
[0097] 作為Xd中的碳數(shù)3~10的2價(jià)脂環(huán)式控基，可舉出環(huán)丙烷二基、環(huán)下燒二基、環(huán)戊燒 二基、環(huán)己燒二基、環(huán)庚燒二基、環(huán)癸燒二基等。
[009引作為Xd中的碳數(shù)6~12的2價(jià)芳香族控基，例如可舉出亞苯基、糞二基等。
[0099]作為碳數(shù)1~10的2價(jià)脂肪族控基及碳數(shù)3~10的2價(jià)脂環(huán)式控基所包含的-(：出- 被-0-、-C0-、-NR6-、-S-或者S〇2-所置換而得的xd，例如可舉出式(xd-1)~式(xd-10)所表示 的基團(tuán)等。
[0100]
[0101] 作為xd優(yōu)選碳數(shù)1~6的燒控二基、更優(yōu)選亞乙基。
[0102] 作為(d)優(yōu)選式(d-θ'）所表示的化合物。
[0103]
[0104] [式(d-θ'）中，Rh表示碳數(shù)4~6的全氣烷基。
[0105] Rg表示氨原子、面素原子或甲基。]
[0106] 作為式(d-0)所表示的化合物，例如可舉出化合物(d-1)~化合物(d-94)等。表中， xd欄所示的式編號為上述例示基團(tuán)的式編號。另外，例如化合物(d-1)為下述式(d-1)所表 示的化合物。
[0107]
[010 引[表 1]
[0109]
[0110]
[0113]
[0114] 作為樹脂(B)優(yōu)選含有來自含碳數(shù)4~6的全氣烷基的單體(d)的結(jié)構(gòu)單元、與來自 由不飽和簇酸及不飽和簇酸酢所組成的組中選出的至少1種的單體(e)的結(jié)構(gòu)單元的聚合 物，更優(yōu)選含有來自（d)的結(jié)構(gòu)單元與來自（e)的結(jié)構(gòu)單元與來自（b)的結(jié)構(gòu)單元的樹脂。通 過樹脂(B)含有來自（e)的結(jié)構(gòu)單元，顯影性優(yōu)異，因此有抑制來自殘?jiān)蝻@影的不均的傾 向。
[0115] 通過樹脂(B)含有來自（b)的結(jié)構(gòu)單元，有耐溶劑性優(yōu)異的傾向，因而優(yōu)選。另外， 樹脂(B)也可含有來自（C)的結(jié)構(gòu)單元。作為(e)、（b)及（C)，例如可舉出與上述相同的結(jié)構(gòu) 單元。
[0116] 樹脂(B)為（e)與（d)的聚合物時(shí)，來自各單體的結(jié)構(gòu)單元的比率，相對構(gòu)成樹脂 (B)的結(jié)構(gòu)單元的合計(jì)摩爾數(shù)，優(yōu)選處于W下范圍。
[0117]來自（e)的結(jié)構(gòu)單元;5~50質(zhì)量％ (更優(yōu)選為10~40質(zhì)量％)
[0118] 來自（d)的結(jié)構(gòu)單元;50~95質(zhì)量％(更優(yōu)選為70~90質(zhì)量％)
[0119] 樹脂(B)為(e)、（b)及(d)的聚合物時(shí)，來自各單體的結(jié)構(gòu)單元的比率，相對構(gòu)成樹 月旨(B)的結(jié)構(gòu)單元的合計(jì)摩爾數(shù)，優(yōu)選處于W下范圍。
[0120] 來自（e)的結(jié)構(gòu)單元;5~40質(zhì)量％ (更優(yōu)選為10~30質(zhì)量％ )
[0121] 來自（b)的結(jié)構(gòu)單元;5~80質(zhì)量％ (更優(yōu)選為10~70質(zhì)量％ )
[0122] 來自（d)的結(jié)構(gòu)單元;10~80質(zhì)量％ (更優(yōu)選為20~70質(zhì)量％ )
[0123] 樹脂(B)為(e)、（b)、（c)及(d)的聚合物時(shí)，來自各單體的結(jié)構(gòu)單元的比率，相對構(gòu) 成樹脂(B)的結(jié)構(gòu)單元的合計(jì)摩爾數(shù)，優(yōu)選處于W下范圍。
[0124] 來自（e)的結(jié)構(gòu)單元;5~40質(zhì)量％ (更優(yōu)選為10~30質(zhì)量％ )
[0125] 來自（b)的結(jié)構(gòu)單元;5~70質(zhì)量％ (更優(yōu)選為10~60質(zhì)量％ )
[01%]來自（C)的結(jié)構(gòu)單元;10~50質(zhì)量％ (更優(yōu)選為20~40質(zhì)量％ )
[0127] 來自（d)的結(jié)構(gòu)單元;10~80質(zhì)量％ (更優(yōu)選為20~70質(zhì)量％ )
[0128] 各結(jié)構(gòu)單元的比率處于上述范圍時(shí)，有疏液性、顯影性優(yōu)異的傾向。
[01巧]樹脂（B)的聚苯乙締換算的重均分子量，優(yōu)選為3000~20000,更優(yōu)選為5000~ 15000。若樹脂(B)的重均分子量在上述優(yōu)選范圍，則有涂布性優(yōu)異的傾向且顯影時(shí)難W產(chǎn) 生曝光部的膜減少，進(jìn)一步非曝光部易于在顯影中除去。
[0130] 樹脂(B)的酸值為20~200m巧OH/g、優(yōu)選為40~150m巧OH/g。
[0131] 相對樹脂(A)、樹脂(A1)及聚合性化合物(C)的合計(jì)量100質(zhì)量份，樹脂(B)的含量 優(yōu)選為0.001~10質(zhì)量份、更優(yōu)選為0.01~5質(zhì)量份。若樹脂(B)的含量在上述優(yōu)選范圍內(nèi)， 則圖案形成時(shí)顯影性優(yōu)，且得到的圖案有疏液性優(yōu)異的傾向。
[0132] 本發(fā)明的感光性樹脂組合物只要為樹脂(A)及樹脂(B)W外的樹脂、即不同時(shí)具有 酪性徑基及碳數(shù)4~6的全氣烷基的樹脂則沒有特別的限制。作為樹脂(A1)，例如可舉出
[0133] 樹脂(Al-l):(e)與(b)進(jìn)行聚合而成的聚合物、
[0134] 樹脂(Al-2):(e)與(b)與（C)進(jìn)行聚合而成的聚合物、
[0135] 樹脂(Al-3):(e)與（C)進(jìn)行聚合而成的聚合物、
[0136] 樹脂(Al-4):(e)與（C)進(jìn)行聚合而成的聚合物與(b)反應(yīng)而得到的樹脂、
[0137] 樹脂(Al-5):(b)與(C)進(jìn)行聚合而成的共聚物與(e)反應(yīng)而得到的樹脂等。
[013引其中優(yōu)選樹脂(A1-1)、樹脂(A1-2)。
[0139] 樹脂(A1-1)中，來自各單體的結(jié)構(gòu)單元的比率，相對構(gòu)成樹脂(A1-1)的全部結(jié)構(gòu) 單元的合計(jì)摩爾數(shù)，優(yōu)選處于W下范圍。
[0140] 來自（e)的結(jié)構(gòu)單元;5~60摩爾％ (更優(yōu)選為10~50摩爾％ )
[0141 ] 來自（b)的結(jié)構(gòu)單元;40~95摩爾％ (更優(yōu)選為50~90摩爾％ )
[0142] 若樹脂(A1-1)的結(jié)構(gòu)單元的比率處于上述范圍，則有感光性樹脂組合物的保存穩(wěn) 定性、由感光性樹脂組合物形成圖案時(shí)的顯影性、W及得到的涂膜及圖案的耐溶劑性變得 良好的傾向。
[0143] 樹脂(A1-2)中，來自各單體的結(jié)構(gòu)單元的比率，相對構(gòu)成樹脂(A1-2)的全部結(jié)構(gòu) 單元的合計(jì)摩爾數(shù)優(yōu)選處于W下范圍。
[0144] 來自（e)的結(jié)構(gòu)單元;2~45摩爾％ (更優(yōu)選為5~40摩爾％ )
[0145] 來自（b)的結(jié)構(gòu)單元;2~95摩爾％ (更優(yōu)選為5~80摩爾％ )
[0146] 來自（C)的結(jié)構(gòu)單元;1~65摩爾％ (更優(yōu)選為5~60摩爾％ )
[0147] 若樹脂(A1-2)的結(jié)構(gòu)單元的比率處于上述范圍，則有感光性樹脂組合物的保存穩(wěn) 定性、由感光性樹脂組合物形成圖案時(shí)的顯影性、W及得到的涂膜及圖案的耐溶劑性變得 良好的傾向。
[0148] 樹脂(A1-3)中，來自各單體的結(jié)構(gòu)單元的比率，相對構(gòu)成樹脂(A1-3)的全部結(jié)構(gòu) 單元的合計(jì)摩爾數(shù)，優(yōu)選處于W下范圍。
[0149] 來自（e)的結(jié)構(gòu)單元;2~40摩爾％ (更優(yōu)選為5~35摩爾％ )
[0150] 來自（C)的結(jié)構(gòu)單元;60~98摩爾％ (更優(yōu)選為65~95摩爾％ )
[0151] 若樹脂(A1-3)的結(jié)構(gòu)單元的比率處于上述范圍，則有感光性樹脂組合物的保存穩(wěn) 定性、由感光性樹脂組合物形成圖案時(shí)的顯影性、W及得到的涂膜及圖案的耐溶劑性變得 良好的傾向。
[0152] 樹脂(A1-1)~(A1-3)可W與樹脂(A)相同方法制造。
[0153] 樹脂(A1-4)為(e)與(C)的共聚物與(b)反應(yīng)而得到的樹脂。
[0154] 樹脂(A1-4)可經(jīng)例如二階段工序制造。此時(shí)也可參考上述文獻(xiàn)《高分子合成的實(shí) 驗(yàn)法》(大津隆行著發(fā)行所(株)化學(xué)同人第1版第1次印刷1972年3月1日發(fā)行)記載的方法、 日本特開2001-89533號公報(bào)記載的方法等制造。
[0155] 首先，作為第一階段，與上述樹脂(A)的制造方法相同地，得到(e)與(C)的聚合物。
[0156] 此時(shí)，與上述同樣地，得到的共聚物可直接使用反應(yīng)后的溶液、也可使用經(jīng)濃縮或 者稀釋的溶液、也可使用W再沉淀等方法W固體(粉體)取出的物質(zhì)。另外，優(yōu)選與上述相同 的聚苯乙締換算的重均分子量及分子量分布[重均分子量(Mw)/數(shù)均分子量(Μη)]。
[0157] 但是，來自（e)及(C)的結(jié)構(gòu)單元的比率，相對構(gòu)成上述聚合物的全部結(jié)構(gòu)單元的 合計(jì)摩爾數(shù)，優(yōu)選處于W下范圍。
[0158] 來自（e)的結(jié)構(gòu)單元;5~50摩爾％ (更優(yōu)選為10~45摩爾％ )
[0159] 來自（C)的結(jié)構(gòu)單元;50~95摩爾％ (更優(yōu)選為55~90摩爾％ )
[0160] 接著，作為第二階段，使來自得到的聚合物的（e)的簇酸或簇酸酢的一部分與上述 (b)的環(huán)狀酸反應(yīng)。由于環(huán)狀酸的反應(yīng)性高、未反應(yīng)的(b)不易殘存，因此作為樹脂(A1-2)所 使用的(b)優(yōu)選(bl)或化2)、更優(yōu)選為(bl-1)。
[0161] 具體而言，接上述，將燒瓶內(nèi)氣氛由氮取代為空氣，將相對(e)的摩爾數(shù)為580摩 爾％的（b)，相對(e)、（b)及(C)的合計(jì)量為0.001~5質(zhì)量％的簇基與環(huán)狀酸的反應(yīng)催化劑 (例如Ξ(二甲基氨基甲基)酪等）、及相對(e)、（b)及(C)的合計(jì)量為0.001~5質(zhì)量％的阻聚 劑(例如對苯二酪等)置入燒瓶內(nèi)，在60~130°C進(jìn)行1~10小時(shí)反應(yīng)，能夠得到樹脂(A1-4)。 另外，與聚合條件同樣地，可考慮制造設(shè)備或聚合所致的發(fā)熱量等，適當(dāng)調(diào)整添加方法或反 應(yīng)溫度。
[0162] 另外，此時(shí)，相對(e)的摩爾數(shù)，（b)的摩爾數(shù)優(yōu)選為10~75摩爾％、更優(yōu)選為15~ 70摩爾％。通過在上述優(yōu)選范圍，感光性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性、由感光性樹脂組合物形 成圖案時(shí)的顯影性、W及得到的涂膜及圖案的耐溶劑性、耐熱性、機(jī)械強(qiáng)度及靈敏度的平衡 有變得良好的傾向。
[0163] 關(guān)于樹脂(A1-5)，作為第一階段，可與上述樹脂(A)的制造方法相同地，得到(b)與 (c)的聚合物。
[0164] 此時(shí)，與上述同樣地，得到的共聚物，可直接使用反應(yīng)后的溶液、也可使用經(jīng)濃縮 或者稀釋的溶液、也可使用W再沉淀等方法W固體(粉體)取出的物質(zhì)。
[0165] 來自（b)及(C)的結(jié)構(gòu)單元的比率，相對構(gòu)成上述聚合物的全部結(jié)構(gòu)單元的合計(jì)摩 爾數(shù)，優(yōu)選處于W下范圍。
[0166] 來自（b)的結(jié)構(gòu)單元;5~95摩爾％ (更優(yōu)選為10~90摩爾％ )
[0167] 來自（C)的結(jié)構(gòu)單元;5~95摩爾％ (更優(yōu)選為10~90摩爾％ )
[0168] 進(jìn)一步，與樹脂(A1-4)的制造方法同樣地，可通過使(b)與（C)的聚合物中來自（b) 的環(huán)狀酸與（e)所具有的簇酸或簇酸酢反應(yīng)而得到?？墒弓h(huán)狀酸與簇酸或簇酸酢的反應(yīng)產(chǎn) 生的徑基進(jìn)一步與簇酸酢反應(yīng)。
[0169] 與上述聚合物反應(yīng)的（e)的使用量，相對(b)的摩爾數(shù)，W5~80摩爾％優(yōu)選。因環(huán) 狀酸的反應(yīng)性高、未反應(yīng)的(b)不易殘存，故作為(b)W(bl)優(yōu)選、進(jìn)一步W(bl-l)優(yōu)選。
[0170] 樹脂(A1)的聚苯乙締換算的重均分子量，優(yōu)選為3,000~100,000、更優(yōu)選為5,000 ~50，000。若樹脂(A1)的重均分子量在上述優(yōu)選范圍，則有涂布性優(yōu)異的傾向，且顯影時(shí)不 易產(chǎn)生曝光部的膜減少、進(jìn)一步非曝光部易在顯影中除去。
[0171] 樹脂(A1)的分子量分布[重均分子量(Mw)/數(shù)均分子量(Μη)]，優(yōu)選為1.1~6.0、更 優(yōu)選為1.2~4.0。若分子量分布在上述優(yōu)選范圍，則有顯影性優(yōu)異的傾向。
[0172] 樹脂（Α1)的酸值為20~150m巧OH/g、優(yōu)選為40~135mgK0H/g、更優(yōu)選為50~ 135m巧OH/g。
[0173] 含有樹脂（A1)時(shí)，其含量，相對樹脂（A)及樹脂（A1)的合計(jì)量，優(yōu)選為1~80質(zhì) 量％、更優(yōu)選為1~50質(zhì)量％。若樹脂(A1)的含量在上述優(yōu)選范圍，則可使圖案W高靈敏度 形成，且顯影性優(yōu)異。
[0174] 本發(fā)明的感光性樹脂組合物含有聚合性化合物(C)。
[0175] 聚合性化合物(C)為可通過聚合引發(fā)劑(D)所產(chǎn)生的活性自由基而進(jìn)行聚合的化 合物，例如為具有締屬不飽和鍵的化合物等、優(yōu)選為（甲基)丙締酸醋化合物。
[0176] 作為具有1個(gè)締屬不飽和鍵的聚合性化合物(C)，例如可舉出與上述(a)、化)及山） 所列舉的化合物相同的化合物，其中優(yōu)選（甲基)丙締酸醋類。
[0177] 作為具有2個(gè)締屬不飽和鍵的聚合性化合物(C)，例如可舉出1,3-下二醇二（甲基） 丙締酸醋、1,3-下二醇（甲基)丙締酸醋、1,6-已二醇二（甲基炳締酸醋、乙二醇二（甲基)丙 締酸醋、二乙二醇二（甲基)丙締酸醋、新戊基二醇二（甲基)丙締酸醋、Ξ乙二醇二（甲基)丙 締酸醋、四乙二醇二（甲基）丙締酸醋、聚乙二醇二丙締酸醋、雙酪A的雙（丙締酷氧基乙基） 酸、乙氧基化雙酪A二（甲基)丙締酸醋、丙氧基化新戊基二醇二（甲基）丙締酸醋、乙氧基化 新戊基二醇二（甲基)丙締酸醋、3-甲基戊燒二醇二（甲基)丙締酸醋等。
[0178] 作為具有3個(gè)W上締屬不飽和鍵的聚合性化合物(C)，例如可舉出Ξ徑甲基丙烷Ξ (甲基）丙締酸醋、季戊四醇Ξ(甲基)丙締酸醋、立(2-徑基乙基)異氯脈酸醋Ξ(甲基）丙締 酸醋、乙氧基化Ξ徑甲基丙烷Ξ(甲基）丙締酸醋、丙氧基化Ξ徑甲基丙烷Ξ(甲基）丙締酸 醋、季戊四醇四（甲基)丙締酸醋、二季戊四醇五（甲基)丙締酸醋、二季戊四醇六（甲基)丙締 酸醋、Ξ季戊四醇四（甲基)丙締酸醋、Ξ季戊四醇五（甲基)丙締酸醋、Ξ季戊四醇六（甲基） 丙締酸醋、Ξ季戊四醇屯（甲基）丙締酸醋、Ξ季戊四醇八（甲基）丙締酸醋、季戊四醇Ξ(甲 基)丙締酸醋與酸酢的反應(yīng)物、二季戊四醇五（甲基)丙締酸醋與酸酢的反應(yīng)物、Ξ季戊四醇 屯（甲基)丙締酸醋與酸酢的反應(yīng)物、己內(nèi)醋改性Ξ徑甲基丙烷Ξ(甲基）丙締酸醋、己內(nèi)醋 改性季戊四醇Ξ(甲基)丙締酸醋、己內(nèi)醋改性立(2-徑基乙基)異氯脈酸醋Ξ(甲基)丙締酸 醋、己內(nèi)醋改性季戊四醇四（甲基)丙締酸醋、己內(nèi)醋改性二季戊四醇五（甲基)丙締酸醋、己 內(nèi)醋改性二季戊四醇六（甲基）丙締酸醋、己內(nèi)醋改性Ξ季戊四醇四（甲基）丙締酸醋、己內(nèi) 醋改性Ξ季戊四醇五（甲基）丙締酸醋、己內(nèi)醋改性Ξ季戊四醇六（甲基）丙締酸醋、己內(nèi)醋 改性Ξ季戊四醇屯（甲基）丙締酸醋、己內(nèi)醋改性Ξ季戊四醇八（甲基）丙締酸醋、己內(nèi)醋改 性季戊四醇Ξ(甲基)丙締酸醋與酸酢的反應(yīng)物、己內(nèi)醋改性二季戊四醇五（甲基)丙締酸醋 與酸酢的反應(yīng)物、己內(nèi)醋改性Ξ季戊四醇屯（甲基)丙締酸醋與酸酢的反應(yīng)物等。
[0179] 其中優(yōu)選具有3個(gè)W上締屬不飽和鍵的聚合性化合物(C)，更優(yōu)選二季戊四醇六 (甲基)丙締酸醋、立徑甲基丙烷立（甲基)丙締酸醋、季戊四醇立（甲基)丙締酸醋。
[0180] 聚合性化合物(C)的含量，相對樹脂(Α)、樹脂(Α1)及聚合性化合物(C)的合計(jì)量， 優(yōu)選為5~95質(zhì)量％、更優(yōu)選為20~80質(zhì)量％。
[0181] 若聚合性化合物(C)的含量在上述范圍，則靈敏度或得到的圖案的強(qiáng)度、平滑性、 可靠性有變得良好的傾向。
[0182] 本發(fā)明的感光性樹脂組合物含有聚合引發(fā)劑(D)。作為聚合引發(fā)劑(D)只要為可因 光或熱的作用開始聚合的化合物則不被特別限定，可使用公知的聚合引發(fā)劑。
[0183] 聚合引發(fā)劑(D)，例如可舉出0-酷基朽化合物、烷基苯基酬化合物、聯(lián)咪挫化合物、 Ξ嗦化合物及酷基麟氧化物化合物。另外，也可使用日本特開2008-181087號公報(bào)中記載的 光和/或熱陽離子聚合引發(fā)劑（例如由鐵陽離子與來自路易斯酸的陰離子所構(gòu)成的引發(fā) 劑）。其中優(yōu)選選自由聯(lián)咪挫化合物、烷基苯基酬化合物及0-酷基目虧化合物所組成的組中的 至少1種。若為含有運(yùn)些化合物的聚合引發(fā)劑，則有成為特別的高靈敏度的傾向，因而優(yōu)選。
[0184] 上述0-酷基目虧化合物為具有式(dl)所表示的局部結(jié)構(gòu)的化合物。W下，*為鍵合 玉山 乂而。
[0185]
[0186] 作為上述0-酷基朽化合物，例如可舉出N-苯甲酯基氧基-1-(4-苯基琉基苯基）下 燒-1-酬-2-亞胺、N-苯甲酯基氧基-1-( 4-苯基琉基苯基)辛燒-1-酬-2-亞胺、N-苯甲酯基氧 基-1-( 4-苯基琉基苯基)-3-環(huán)戊基丙烷-1-酬-2-亞胺、N-乙酷氧基-1-[ 9-乙基-6-( 2-甲基 苯甲酯基)-9H-R卡挫-3-基]乙燒-1-亞胺、N-乙酷氧基-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(3,3-二甲 基-2，4-二氧雜環(huán)戊烷基甲基氧基)苯甲酯基} -9H-巧挫-3-基]乙燒-1-亞胺、N-乙酷氧基- 1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酯基)-9H-巧挫-3-基]-3-環(huán)戊基丙烷-1-亞胺、N-苯甲酯基氧 基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酯基)-9H-巧挫-3-基]-3-環(huán)戊基丙烷-1-酬-2-亞胺等。也可 使用IRGACURE (注冊商標(biāo))0XE01、0XE02 (W上、BASF公司制）、N-1919 (AD邸A公司制）等市售 品。
[0187] 上述烷基苯基酬化合物為具有式(d2)所表示的局部結(jié)構(gòu)或式(d3)所表示的局部 結(jié)構(gòu)的化合物。運(yùn)些局部結(jié)構(gòu)中，苯環(huán)可具有取代基。
[018 引
[0189] 作為具有式(d2)所表示的局部結(jié)構(gòu)的化合物，例如可舉出2-甲基-2-嗎嘟代-1- (4-甲基琉基苯基)丙烷-1-酬、2-二甲基氨基-1-(4-嗎嘟代苯基)-2-芐基下燒-1-酬、2-(二 甲基氨基）-2-[(4-甲基苯基）甲基]-1-[4-(4-嗎嘟基）苯基]下燒-1-酬等。也可使用 IRGACURE(注冊商標(biāo))369、907、379(^上、8八5尸公司制)等市售品。
[0190] 作為具有式(d3)所表示的局部結(jié)構(gòu)的化合物，例如可舉出2-徑基-2-甲基-1-苯基 丙烷-1-酬、2-徑基-2-甲基-1-〔4-(2-徑基乙氧基)苯基)丙烷-1-酬、1-徑基環(huán)己基苯基酬、 2-徑基-2-甲基-1-(4-異丙締基苯基)丙烷-1-酬的低聚物、α，α-二乙氧基苯乙酬、苯偶酷二 甲基縮酬等。
[0191] 從靈敏度的觀點(diǎn)出發(fā)，作為烷基苯基酬化合物，優(yōu)選具有式(d2)所表示的局部結(jié) 構(gòu)的化合物。
[0192] 作為上述聯(lián)咪挫化合物，可舉出2,2'-雙（2-氯苯基)-4,4'，5,5'-四苯基聯(lián)咪挫、 2,2'-雙(2,3-二氯苯基)-4,4'，5,5'-四苯基聯(lián)咪挫(例如參照日本特開平6-75372號公報(bào)、 日本特開平6-75373號公報(bào)等。）、2，2 ' -雙(2-氯苯基)-4，4 '，5，5 ' -四苯基聯(lián)咪挫、2，2 ' -雙 (2-氯苯基)-4,4'，5,5'-四（烷氧基苯基)聯(lián)咪挫、2,2'-雙(2-氯苯基)-4,4'，5,5'-四（二燒 氧基苯基)聯(lián)咪挫、2，2 雙(2-氯苯基)-4，4 '，5，5 ' -四（Ξ烷氧基苯基)聯(lián)咪挫(例如參照日 本特公昭48-38403號公報(bào)、日本特開昭62-174204號公報(bào)等。）、4,4'，5,5'-位的苯基被幾基 烷氧基所取代的咪挫化合物(例如參照日本特開平7-10913號公報(bào)等。）等。優(yōu)選可舉出2， 2'-雙(2-氯苯基)-4,4'，5,5'-四苯基聯(lián)咪挫、2,2'-雙(2、3-二氯苯基)-4,4'，5,5'-四苯基 聯(lián)咪挫、2,2'-雙(2、4-二氯苯基)-4,4'，5,5'-四苯基聯(lián)咪挫。
[0193] 作為上述Ξ嗦化合物，可舉出2,4-雙(Ξ氯甲基）-6-(4-甲氧基苯基）-1，3,5-Ξ 嗦、2,4-雙(Ξ氯甲基)-6-(4-甲氧基糞基)-1，3,5-Ξ嗦、2,4-雙(Ξ氯甲基)-6-胡椒基-1， 3,5-Ξ嗦、2,4-雙(Ξ氯甲基)-6-(4-甲氧基苯乙締基)-1，3,5-Ξ嗦、2,4-雙(Ξ氯甲基)-6- 〔2-(5-甲基巧喃-2-基）乙締基)-1，3,5-Ξ嗦、2,4-雙(Ξ氯甲基)-6-〔2-(巧喃-2-基）乙締 基)-1，3,5-Ξ嗦、2,4-雙(Ξ氯甲基)-6-〔2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基）乙締基)-1,3,5- Ξ嗦、2,4-雙(Ξ氯甲基)-6-〔2-(3,4-二甲氧基苯基）乙締基)-1，3,5-Ξ嗦等。
[0194] 作為上述酷基麟氧化物化合物，例如可舉出2,4,6-Ξ甲基苯甲酯基二苯基麟氧化 物等。
[01Μ]進(jìn)一步，作為聚合引發(fā)劑(D)，可舉出苯偶姻、苯偶姻甲基酸、苯偶姻乙基酸、苯偶 姻異丙基酸、苯偶姻異下基酸等苯偶姻化合物;二苯甲酬、鄰苯甲酯基苯甲酸甲基醋、4-苯 基二苯甲酬、4-苯甲酯基-4'-甲基二苯基硫化物、3，3'，4,4'-四（叔下基過氧幾基)二苯甲 酬、2,4,6-Ξ甲基二苯甲酬等二苯甲酬化合物；9,10-菲釀、2-乙基蔥釀、精腦釀等釀化合 物；10-下基-2-氯叮晚酬、苯偶酷、苯基乙醒酸甲基醋、二茂鐵化合物等。優(yōu)選它們與后述聚 合引發(fā)助劑(D1)組合使用。
[0196]另外，具有可引起鏈轉(zhuǎn)移的基團(tuán)的聚合引發(fā)劑，可使用日本特表2002-544205號公 報(bào)記載的聚合引發(fā)劑。
[0197] 上述具有可引起鏈轉(zhuǎn)移的基團(tuán)的聚合引發(fā)劑，也可用作為構(gòu)成樹脂(A)的成分 (C)。
[0198] 在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，可同時(shí)使用上述聚合引發(fā)劑(D)與聚合引發(fā)助 劑化1)。聚合引發(fā)助劑化1)與聚合引發(fā)劑(D)組合使用，是促進(jìn)由于聚合引發(fā)劑而引發(fā)聚合 的聚合性化合物的聚合所使用的化合物、或者敏化劑。聚合引發(fā)助劑(D1)，例如可舉出嚷噸 酬化合物、胺化合物、簇酸化合物、日本特開2008-65319號公報(bào)及日本特開2009-139932號 公報(bào)記載的化合物等。
[0199] 作為嚷噸酬化合物，例如可舉出2-異丙基嚷噸酬、4-異丙基嚷噸酬、2,4-二乙基嚷 噸酬、2,4-二氯嚷噸酬、1-氯-4-丙氧基嚷噸酬等。
[0200] 作為胺化合物，可舉出Ξ乙醇胺、甲基二乙醇胺、Ξ異丙醇胺等脂肪族胺化合物、 4-二甲基氨基苯甲酸甲基醋、4-二甲基氨基苯甲酸乙基醋、4-二甲基氨基苯甲酸異戊基醋、 4-二甲基氨基苯甲酸2-乙基己基醋、苯甲酸2-二甲基氨基乙基醋、N，N-二甲基對甲苯胺、4， 4'-雙(二甲基氨基）二苯甲酬(通稱;米氏酬）、4,4'-雙(二乙基氨基)二苯甲酬運(yùn)樣的芳香 族胺化合物。
[0201] 作為簇酸化合物，可舉出苯基琉基乙酸、甲基苯基琉基乙酸、乙基苯基琉基乙酸、 甲基乙基苯基琉基乙酸、二甲基苯基琉基乙酸、甲氧基苯基琉基乙酸、二甲氧基苯基琉基乙 酸、氯苯基琉基乙酸、二氯苯基琉基乙酸、N-苯基甘胺酸、苯氧基乙酸、糞基硫乙酸、N-糞基 甘胺酸、糞氧基乙酸等芳香族雜乙酸類。
[0202] 作為聚合引發(fā)劑(D)與聚合引發(fā)助劑(D1)的組合，可舉出烷基苯基酬化合物與嚷 噸酬化合物、烷基苯基酬化合物與芳香族胺化合物，具體而言，可舉出2-嗎嘟代-1-(4-甲基 琉基苯基)-2-甲基丙烷-1-酬與2,4-二乙基嚷噸酬、2-二甲基氨基-2-芐基-1-(4-嗎嘟代苯 基)下燒-1-酬與2,4-二乙基嚷噸酬、2-二甲基氨基-2-(4-甲基芐基)-1-(4-嗎嘟代苯基)下 燒-1-酬與2,4-二乙基嚷噸酬、2-嗎嘟代-1-(4-甲基琉基苯基)-2-甲基丙烷-1-酬與2-異丙 基嚷噸酬與4-異丙基嚷噸酬、2-嗎嘟代-1-(4-甲基琉基苯基)-2-甲基丙烷-1-酬與4,4'-雙 (二乙基氨基）二苯甲酬、2-二甲基氨基-2-芐基-1-(4-嗎嘟代苯基）下燒-1-酬與4,4'-雙 (二乙基氨基)二苯甲酬、2-二甲基氨基-2-(4-甲基芐基)-1-(4-嗎嘟代苯基)下燒-1-酬與 4,4'-雙(二乙基氨基)二苯甲酬等。
[0203] 其中，優(yōu)選烷基苯基酬化合物與嚷噸酬化合物的組合，更優(yōu)選2-甲基-2-嗎嘟代- 1-(4-甲基琉基苯基)丙烷-1-酬與2,4-二乙基嚷噸酬、2-甲基-2-嗎嘟代-1-(4-甲基琉基苯 基)丙烷-1-酬與2-異丙基嚷噸酬與4-異丙基嚷噸酬。若為運(yùn)些組合，則可得到高靈敏度、且 可見光透射率高的圖案。
[0204] 聚合引發(fā)劑(D)的含量，相對樹脂(A)、樹脂(A1)及聚合性化合物(C)的合計(jì)量100 質(zhì)量份，優(yōu)選為0.5~30質(zhì)量份、更優(yōu)選為1~20質(zhì)量份、進(jìn)一步優(yōu)選為1~10質(zhì)量份。若聚合 引發(fā)劑(D)的含量在上述優(yōu)選范圍，則可W高靈敏度得到圖案。
[0205] 聚合引發(fā)助劑(D1)的使用量，相對樹脂(A)、樹脂(A1)及聚合性化合物(C)的合計(jì) 量100質(zhì)量份，優(yōu)選為0.1~10質(zhì)量份、更優(yōu)選為0.3~7質(zhì)量份。若聚合引發(fā)助劑(D1)的量在 上述優(yōu)選范圍，則可W高靈敏度得到圖案，得到的圖案的形狀良好。
[0206] 本發(fā)明的感光性樹脂組合物可含有溶劑化）。
[0207] 作為本發(fā)明中可使用的溶劑，例如可由醋溶劑(分子內(nèi)含-C00-，不含-0-的溶劑）、 酸溶劑(分子內(nèi)含-〇-，不含-coo-的溶劑）、酸醋溶劑(分子內(nèi)含-coo-與-ο-的溶劑）、酬溶劑 (分子內(nèi)含-C0-，不含-C00-的溶劑）、醇溶劑、芳香族控溶劑、酷胺溶劑、二甲基亞諷等中選 擇使用。
[0208] 作為醋溶劑，例如可舉出乳酸甲基醋、乳酸乙基醋、乳酸下基醋、2-徑基異下燒酸 甲基醋、乙酸乙基醋、乙酸正下基醋、乙酸異下基醋、甲酸戊基醋、乙酸異戊基醋、丙酸下基 醋、下酸異丙基醋、下酸乙基醋、下酸下基醋、丙酬酸甲基醋、丙酬酸乙基醋、丙酬酸丙基醋、 乙酷乙酸甲基醋、乙酷乙酸乙醋、環(huán)己醇乙酸醋、丫-下內(nèi)醋等。
[0209] 作為酸溶劑，可舉出乙二醇單甲基酸、乙二醇單乙基酸、乙二醇單丙基酸、乙二醇 單下基酸、二乙二醇單甲基酸、二乙二醇單乙基酸、二乙二醇單下基酸、丙二醇單甲基酸、丙 二醇單乙基酸、丙二醇單丙基酸、丙二醇單下基酸、3-甲氧基-1-下醇、3-甲氧基-3-甲基下 醇、四氨巧喃、四氨化喃、1，4-二嗯燒、二乙二醇二甲基酸、二乙二醇二乙基酸、二乙二醇甲 基乙基酸、二乙二醇二丙基酸、二乙二醇二下基酸、苯甲酸、苯乙酸、甲基苯甲酸等。
[0210] 作為酸醋溶劑，例如可舉出甲氧基乙酸甲基醋、甲氧基乙酸乙基醋、甲氧基乙酸下 基醋、乙氧基乙酸甲基醋、乙氧基乙酸乙基醋、3-甲氧基丙酸甲基醋、3-甲氧基丙酸乙基醋、 3-乙氧基丙酸甲基醋、3-乙氧基丙酸乙基醋、2-甲氧基丙酸甲基醋、2-甲氧基丙酸乙基醋、 2-甲氧基丙酸丙基醋、2-乙氧基丙酸甲基醋、2-乙氧基丙酸乙基醋、2-甲氧基-2-甲基丙酸 甲基醋、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙基醋、3-甲氧基下基乙酸醋、3-甲基-3-甲氧基下基乙酸 醋、丙二醇單甲基酸乙酸醋、丙二醇單乙基酸乙酸醋、丙二醇單丙基酸乙酸醋、乙二醇單甲 基酸乙酸醋、乙二醇單乙基酸乙酸醋、二乙二醇單乙基酸乙酸醋、二乙二醇單下基酸乙酸醋 等。
[0211] 作為酬溶劑，可舉出4-徑基-4-甲基-2-戊酬、丙酬、2-下酬、2-庚酬、3-庚酬、4-庚 酬、4-甲基-2-戊酬、環(huán)戊酬、環(huán)己酬、異佛爾酬等。
[0212] 作為醇溶劑，例如可舉出甲醇、乙醇、丙醇、下醇、己醇、環(huán)己醇、乙二醇、丙二醇、甘 油等。
[0213]作為芳香族控溶劑，例如可舉出苯、甲苯、二甲苯、均立甲苯等。
[0214]作為酷胺溶劑，例如可舉出Ν，Ν-二甲基甲酯胺、Ν，Ν-二甲基乙酷胺、Ν-甲基郵咯燒 酬等。
[0215] 運(yùn)些溶劑可單獨(dú)或巧巾W上組合使用。
[0216] 上述溶劑中，從涂布性、干燥性觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選latm的沸點(diǎn)為120°C W上180°C W下 的有機(jī)溶劑。其中優(yōu)選丙二醇單甲基酸、丙二醇單甲基酸乙酸醋、3-乙氧基丙酸乙基醋、二 乙二醇甲基乙基酸、3-甲氧基下基乙酸醋、3-甲氧基-1-下醇等。若溶劑巧)為運(yùn)些優(yōu)選的溶 劑，則能夠抑制涂布時(shí)的不均，可使涂膜的平坦性良好。
[0217] 本發(fā)明的感光性樹脂組合物中的溶劑化)的含量，相對感光性樹脂組合物的總量， 優(yōu)選為60~95質(zhì)量％、更優(yōu)選為70~90質(zhì)量％。
[0218] 換言之，感光性樹脂組合物的固體成分優(yōu)選為5~40質(zhì)量％、更優(yōu)選為10~30質(zhì) 量％。若溶劑化)的含量在上述優(yōu)選范圍，則有涂布感光性樹脂組合物而成的膜的平坦性提 高的傾向。在此，固體成分是指從感光性樹脂組合物中除去溶劑化)的量。
[0219] 另外，本發(fā)明的感光性樹脂組合物，可進(jìn)一步含有多官能硫醇化合物(T)。多官能 硫醇化合物(T)是指分子內(nèi)具有2個(gè)W上的琉基(-SH)的化合物。特別是若使用具有與來自 脂肪族控基的碳原子鍵合的2個(gè)W上的琉基的化合物，則有本發(fā)明的感光性樹脂組合物的 靈敏度提局的傾向。
[0220] 多官能硫醇化合物(T)，具體上可舉出己燒二硫醇、癸燒二硫醇、1,4-雙（甲基硫 基)苯、下二醇雙(3-硫基丙酸醋）、下二醇雙(3-硫基乙酸醋）、乙二醇雙(3-硫基乙酸醋）、Ξ 徑甲基丙烷Ξ(3-硫基乙酸醋）、下二醇雙（3-硫基丙酸醋）、Ξ徑甲基丙烷Ξ(3-硫基丙酸 醋）、Ξ徑甲基丙烷Ξ(3-硫基乙酸醋）、季戊四醇四（3-硫基丙酸醋）、季戊四醇四（3-硫基乙 酸醋）、Ξ徑基乙基Ξ(3-硫基丙酸醋）、季戊四醇四（3-硫基下酸醋）、1，4-雙(3-硫基下基氧 基)下燒等。
[0221] 多官能硫醇化合物(Τ)的含量，相對聚合引發(fā)劑(D)IOO質(zhì)量份，優(yōu)選為0.1~10質(zhì) 量份、更優(yōu)選為0.5~7質(zhì)量份。若多官能硫醇化合物(T)的含量在上述優(yōu)選范圍，則有感光 性樹脂組合物的靈敏度提高，且顯影性變良好的傾向，因此優(yōu)選。
[0222] 本發(fā)明的感光性樹脂組合物，可含有表面活性劑(F)(但與樹脂(B)不同。）。作為表 面活性劑，例如可舉出娃酬系表面活性劑、氣系表面活性劑、具有氣原子的娃酬系表面活性 劑等。
[0223] 作為娃酬系表面活性劑，例如可舉出具有硅氧烷鍵的表面活性劑。
[0224] 具體而言，可舉出Toray Silicone DC3PA、Toray Silicone SH7PA、Toray Silicone DCllPA、Toray Silicone SH21PA、Toray Silicone SH28PA、Toray Silicone SH29PA、Toray Silicone SH30PA、聚酸改性娃酬油細(xì)8400(商品名：Dow Corning Toray Co.，Ltd制）、邸321、邸322、陽323、邸324、邸326、邸：340、?。?41(信越化學(xué)工業(yè)株式會社制）、 TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、TSF4440、TSF4445、TSF4446、TSF4452、TSF4460 (Momentive Performance Materials Japan合同會社制）等。
[0225] 作為氣系表面活性劑，例如可舉出具有氣碳鏈的表面活性劑。
[0。6]具體而言，可舉出Fluorine!·!:(注冊商標(biāo))FC430、Fluo;rine;rt FC431 (住友3M株式 會社制KMEGAFAC(注冊商標(biāo))F142D、MEGAFAC F17UMEGAFAC F172、MEGAFAC F173、MEGAFAC F177、MEGAFAC F183、MEGAFAC R30(DIC株式會社制）、EFT0P(注冊商標(biāo)化F30UEFT0P EF303、EFT0P EF35UEFT0P EF352(S菱材料電子化成株式會社制）、Surflon(注冊商標(biāo)） S381、Surflon S382、Surflon SClOUSurflon SC105(旭硝子株式會社制）、E5844(株式會 社化化in Fine化emical研究所制）等。
[0227] 作為具有氣原子的娃酬系表面活性劑，可舉出具有硅氧烷鍵及氣碳鏈的表面活性 劑。具體而言，可舉出MEGAFAC(注冊商標(biāo)）R08、MEGAFAC BL20、MEGAFAC F475、MEGAFAC F477、MEGAFAC F443(Die株式會社制)等。優(yōu)選可舉出MEGAFAC(注冊商標(biāo))F475。
[0228] 表面活性劑(F)的含量，相對感光性樹脂組合物的總量，為0.001質(zhì)量％ ^上0.2質(zhì) 量％ W下，優(yōu)選為0.002質(zhì)量％ 1^上0.1質(zhì)量％ ^下，更優(yōu)選為0.01質(zhì)量％ ^上0.05質(zhì)量％ W下。通過含有表面活性劑在0.001質(zhì)量％ ^上〇. 2質(zhì)量％ ^下的范圍，可使涂膜的平坦性 為良好。
[0229] 本發(fā)明的感光性樹脂組合物，根據(jù)需要可含有充填劑、其他的高分子化合物、密合 促進(jìn)劑、抗氧化劑、紫外線吸收劑、光穩(wěn)定劑、鏈轉(zhuǎn)移劑等各種添加劑。
[0230] 作為密合促進(jìn)劑，例如可舉出乙締基Ξ甲氧基硅烷、乙締基Ξ乙氧基硅烷、乙締基 二(2-甲氧基乙氧基)硅烷、3-氧化縮水甘油基丙基二甲氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基甲基 二甲氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基甲基二乙氧基娃 燒、2-( 3,4-環(huán)氧環(huán)己基）乙基二甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基^甲氧基硅烷、3-氯丙基二甲氧 基硅烷、3-甲基丙締酷氧基丙基二甲氧基硅烷、3-琉基丙基二甲氧基硅烷、3-琉基丙基二甲 氧基硅烷、3-異氛酸醋丙基二乙氧基硅烷、N-2-(氨基乙基）-3-氨基丙基甲基二甲氧基娃 燒、N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二乙氧基硅烷、N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基二甲氧 基硅烷、N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基甲基^乙氧基硅烷、3-氨基丙基二甲氧基硅烷、3-氨 基丙基Ξ乙氧基硅烷、N-苯基-3-氨基丙基Ξ甲氧基硅烷、N-苯基-3-氨基丙基Ξ乙氧基娃 燒等。
[0231] 本發(fā)明的感光性樹脂組合物，實(shí)質(zhì)上不含有顏料及染料等著色劑。即，本發(fā)明的感 光性樹脂組合物中，相對組合物全體的著色劑含量，例如優(yōu)選為小于1質(zhì)量％、更優(yōu)選小于 0.5質(zhì)量％。
[0232] 本發(fā)明的感光性樹脂組合物，充填于光路長為1cm的石英比色皿，使用分光光度 計(jì)，在測定波長400~700nm的條件下測定透射率時(shí)的平均透射率優(yōu)選為70% W上、更優(yōu)選 為80%W上。
[0233] 本發(fā)明的感光性樹脂組合物，制成涂膜時(shí)，涂膜的平均透射率優(yōu)選為90% W上、進(jìn) 一步更優(yōu)選95% W上。該平均透射率為將加熱固化(例如100~250°C、5分鐘~3小時(shí)的條件 固化)后的厚度為3WI1的涂膜，使用分光光度計(jì)，在測定波長400~700nm的條件下測定時(shí)的 平均值。由此可提供在可見光領(lǐng)域的透明性優(yōu)異的涂膜。
[0234] 本發(fā)明的感光性樹脂組合物，例如可涂布于玻璃、金屬、塑料等基板、或者形成有 濾色器、各種絕緣或?qū)щ娔ぁⅡ?qū)動電路等的上述的基板上，圖案化為期望的形狀后再形成圖 案。進(jìn)而，也可使該圖案形成為顯示設(shè)備等的構(gòu)成構(gòu)件的一部分來使用。
[0235] 首先，將本發(fā)明的感光性樹脂組合物涂布于基板上。
[0236] 涂布如上述，可使用旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、狹縫&旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、狹縫涂布機(jī)、噴墨印刷、漉涂 布機(jī)、浸潰涂布機(jī)等各種涂布裝置進(jìn)行。
[0237] 接著優(yōu)選進(jìn)行干燥或預(yù)烘烤，將溶劑等揮發(fā)成分除去后進(jìn)行干燥。由此，可得到平 滑的未固化涂膜。
[0238] 此時(shí)的涂膜的膜厚沒有特別限定，可根據(jù)使用的材料、用途等適當(dāng)調(diào)整，例如為1 ~化m程度。
[0239] 進(jìn)而，對得到的未固化涂膜，透過形成目的圖案用的掩模照射光，例如從隸燈、發(fā) 光二極管所產(chǎn)生的紫外線等。此時(shí)的掩模形狀沒有特別限定，形狀或大小根據(jù)圖案的用途 需要選擇即可。
[0240] 利用近年的曝光機(jī)可將未達(dá)350皿的光，使用截取該波長域的濾色器進(jìn)行截取、或 將436nm附近、408nm附近、365nm附近的光，使用取出運(yùn)些波長域的帶通濾波器選擇性取出 后，對曝光面全體均勻地照射大致平行光線。如果使用掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)、步進(jìn)機(jī)等裝置，貝U 此時(shí)可進(jìn)行掩模與基材的正確的位置對準(zhǔn)。
[0241] 使曝光后的涂膜接觸顯影液，將特定部分、例如非曝光部（即非圖像部分)溶解，通 過顯影，可得到目的圖案形狀。
[0242]顯影方法可為液池法、浸潰法、噴霧法等任一方法。進(jìn)一步顯影時(shí)可使基材傾斜任 意角度。
[0243] 顯影使用的顯影液優(yōu)選堿性化合物的水溶液。
[0244] 堿性化合物可為無機(jī)及有機(jī)的堿性化合物的任一種。
[0245] 作為無機(jī)的堿性化合物的具體例，例如可舉出氨氧化鋼、氨氧化鐘、憐酸氨二鋼、 憐酸二氨鋼、憐酸氨二錠、憐酸二氨錠、憐酸二氨鐘、娃酸鋼、娃酸鐘、碳酸鋼、碳酸鐘、碳酸 氨鋼、碳酸氨鐘、棚酸鋼、棚酸鐘、氨等。
[0246] 作為有機(jī)的堿性化合物，例如可舉出四甲基氨氧化錠、2-徑基乙基Ξ甲基氨氧化 錠、單甲基胺、二甲基胺、Ξ甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、Ξ乙基胺、單異丙基胺、二異丙基 胺、乙醇胺等。
[0247] 運(yùn)些無機(jī)及有機(jī)的堿性化合物的水溶液中的濃度，優(yōu)選為0.01~10質(zhì)量％、更優(yōu) 選為0.03~5質(zhì)量％。
[0248] 上述顯影液可含有表面活性劑。
[0249] 作為表面活性劑，可為非離子系表面活性劑、陰離子系表面活性劑或陽離子系表 面活性劑的任一種。
[0250] 作為非離子系表面活性劑，例如可舉出聚氧化乙締烷基酸、聚氧化乙締芳基酸、聚 氧化乙締烷基芳基酸、其他的聚氧化乙締衍生物、氧化乙締/氧化丙締嵌段共聚物、山梨糖 醇酢脂肪酸醋、聚氧化乙締山梨糖醇酢脂肪酸醋、聚氧化乙締山梨醋醇脂肪酸醋、甘油脂肪 酸醋、聚氧化乙締脂肪酸醋、聚氧化乙締烷基胺等。
[0251] 作為陰離子系表面活性劑，例如可舉出月桂基醇硫酸醋鋼或油醇硫酸醋鋼運(yùn)樣的 高級醇硫酸醋鹽類、月桂基硫酸鋼或月桂基硫酸錠運(yùn)樣的烷基硫酸鹽類、十二烷基苯橫酸 鋼或十二烷基糞橫酸鋼運(yùn)樣的烷基芳基橫酸鹽類等。
[0252] 作為陽離子系表面活性劑，例如可舉出硬脂酷基胺鹽酸鹽或月桂基Ξ甲基氯化錠 運(yùn)樣的胺鹽或季錠鹽等。
[0253] 堿顯影液中的表面活性劑的濃度，優(yōu)選為0.01~10質(zhì)量％的范圍、更優(yōu)選為0.05 ~8質(zhì)量％、進(jìn)一步優(yōu)選為0.1~5質(zhì)量％。
[0254] 顯影后通過進(jìn)行水洗，可得到圖案。進(jìn)一步根據(jù)需要也可進(jìn)行曝光后烘烤。曝光后 烘烤，例如優(yōu)選在150~240°C的溫度范圍、10~180分鐘進(jìn)行。
[0255] 將未固化涂膜曝光時(shí)，通過不使用形成有圖案的掩模，整面地進(jìn)行光照射和/或省 略顯影，可得到不具有圖案的涂膜。
[0256] 作為作為本發(fā)明的顯示設(shè)備的一例，對有機(jī)化（電致發(fā)光）顯示設(shè)備進(jìn)行W下說 明。
[0257] 圖1為將本發(fā)明的顯示設(shè)備一例的顯示設(shè)備1的一部分?jǐn)U大的示意顯示的截面圖。 圖2為將本發(fā)明的顯示設(shè)備一例的顯示設(shè)備1的一部分?jǐn)U大的示意顯示的俯視圖。顯示設(shè)備 1主要由含有支承基板2、在該支承基板2上區(qū)劃出預(yù)先設(shè)定的區(qū)域的隔壁3、設(shè)置于由隔壁3 所區(qū)劃出的區(qū)域的多個(gè)有機(jī)化元件4而構(gòu)成。隔壁3相當(dāng)本發(fā)明的噴墨印刷用隔壁。
[0258] 隔壁3為在支承基板2上，例如形成為格子狀或條紋狀。另外在圖2中，作為一個(gè)實(shí) 施方式，示出設(shè)置有格子狀隔壁3的顯示設(shè)備1。該圖中在設(shè)置有隔壁3的區(qū)域，施W影線。
[0259] 于支承基板2上，設(shè)定W隔壁3與支承基板2所限定的多個(gè)凹部5。該凹部5相當(dāng)由隔 壁3所區(qū)劃出的區(qū)域。
[0260] 顯示設(shè)備1中的隔壁3設(shè)置為格子狀。因此由支承基板2的厚度方向Z的一方來看 (W下有時(shí)稱"W俯視"。），多個(gè)凹部5配置為矩陣狀。即設(shè)置為凹部5在行方向X隔開有特定 間隔，同時(shí)在列方向Y也隔開有特定間隔，從而進(jìn)行整列。各凹部5的俯視中的形狀沒有特別 限定。例如凹部5W俯視形成大致矩形狀、略楠圓狀及楠圓形等形狀。在本實(shí)施方式，W俯視 設(shè)置有大致矩形狀的凹部5。此外，本說明書中上述行方向X及列方向Y為垂直支承基板的厚 度方向Z且相互垂直的方向。
[0261] 另外，作為其他的實(shí)施方式，在設(shè)置有條紋狀的隔壁時(shí)，隔壁例如為在行方向X延 伸的多根的隔壁構(gòu)件，W在列方向Y上隔開有特定間隔的方式而被配置而構(gòu)成。在該方式 中，通過條紋狀的隔壁與支承基板共同區(qū)劃出條紋狀的凹部。
[0262] 隔壁W越遠(yuǎn)離支承基板寬度越窄的方式形成。例如將在列方向Y上延伸的隔壁W 垂直于其延伸方向（列方向Y)的平面切斷時(shí)的截面形狀，W隨著越遠(yuǎn)離支承基板而寬度越 窄的方式形成。在圖1中，為等腰梯形形狀的隔壁，比較上底與支承基板側(cè)的下底，下底比上 底寬。另外實(shí)際形成的隔壁的截面不一定一定要梯形形狀，梯形形狀的直線部分及角有時(shí) 帶有圓角。
[0263] 隔壁3優(yōu)選其頂面具有疏液性。此外，頂面是指在隔壁3的表面中，存在于最遠(yuǎn)離支 承基板2的位置的平面。通過隔壁3的頂面具有疏液性，可防止供給至隔壁3所包圍的區(qū)域 (凹部5)的墨液傳遞到隔壁3的頂面而溢出至相鄰區(qū)域。
[0264] 有機(jī)元件4設(shè)置于隔壁3所區(qū)劃出的區(qū)域（即凹部5)。設(shè)置顯示設(shè)備1中的格子狀 的隔壁3時(shí)，各有機(jī)化元件4分別設(shè)置于各凹部5。即有機(jī)化元件4與各凹部5同樣地配置為矩 陣狀，且在支承基板2上，在行方向X上隔開有特定間隔，同時(shí)在列方向Υ上也隔開有特定間 隔，從而進(jìn)行整列而設(shè)置。
[0265] 隔壁3的形狀及其配置根據(jù)像素?cái)?shù)及解析度等顯示設(shè)備的規(guī)格或制造的難易度等 適宜設(shè)定。例如隔壁3的行方向X或列方向Υ的寬為扣m~50皿左右、隔壁3的高度為0.5皿~5 皿左右、與行方向X或列方向Y相鄰的隔壁3間的間隔、即凹部5的行方向X或列方向Y的寬為 10皿~200皿左右。此夕h第1電極6的行方向X或列方向Y的寬各自為10皿~200皿左右。
[0266] 隔壁3,可通過由本發(fā)明的感光性樹脂組合物W上述圖案的形成方法形成。
[0267] 此外，作為其他的實(shí)施方式，設(shè)置有條紋狀的隔壁時(shí)，有機(jī)化元件4在行方向X延伸 的各凹部中，在行方向X各自隔開有特定間隔而配置。
[0268] 顯示設(shè)備1設(shè)有巧巾有機(jī)化元件4。即設(shè)置有（1)發(fā)射紅色的光的紅色有機(jī)化元件 4R、（2)發(fā)射綠色的光的綠色有機(jī)化元件4G、及(3)發(fā)射藍(lán)色的光的藍(lán)色有機(jī)化元件4B。
[0269] 有機(jī)化元件4,由支承基板側(cè)依次層疊第1電極、有機(jī)化層、第2電極而構(gòu)成。在本說 明書，將設(shè)置于第1電極6與第2電極10間的一個(gè)或多個(gè)層分別稱為有機(jī)化層。有機(jī)化元件4 具備作為有機(jī)化層的至少1層發(fā)光層。此外，有機(jī)化元件，除1層發(fā)光層外，根據(jù)需要也有還 具備與發(fā)光層不同的有機(jī)化層的情況。例如在第1電極6與第2電極10之間，作為有機(jī)化層， 設(shè)置空穴注入層、空穴輸送層、電子阻隔層、電子輸送層、及電子注入層等。此外，在第1電極 6與第2電極10間也有設(shè)置2層W上的發(fā)光層的情況。
[0270] 有機(jī)化元件4,作為由陽極及陰極所構(gòu)成的一對電極，具備第1電極6與第2電極10。 第1電極6及第2電極10中的一個(gè)電極設(shè)置作為陽極，另一個(gè)電極設(shè)置作為陰極。在顯示設(shè)備 1，按照在支承基板2上依次層疊作為陽極發(fā)揮功能的第1電極6、作為空穴注入層發(fā)揮功能 的第1有機(jī)化層7、作為發(fā)光層發(fā)揮功能的第2有機(jī)化層9、作為陰極發(fā)揮功能的第2電極10的 方式來構(gòu)成。
[0271] 第1電極6分別設(shè)置有機(jī)化元件4。即有機(jī)EL元件4與同數(shù)目的第1電極6設(shè)置于支承 基板2上。第1電極6對應(yīng)有機(jī)化元件4的配置而設(shè)置，與有機(jī)化元件4同樣地配至為矩陣狀。 此外，隔壁3,主要在不包括第1電極6的區(qū)域形成為格子狀，但進(jìn)一步W覆蓋第1電極6的周 緣部的方式形成(參照圖1)。
[0272] 與空穴注入層相當(dāng)?shù)牡?有機(jī)化層7,在凹部5中分別設(shè)于第1電極6上。該第1有機(jī) 化層7,根據(jù)需要依照有機(jī)化元件的種類而其材料或膜厚按不同方式設(shè)置。此外，由第1有機(jī) EL層7的形成工序的難易度的觀點(diǎn)出發(fā)，也可W相同材料、相同膜厚形成全部的第1有機(jī)EL 層7。
[0273] 第1有機(jī)化層7,通過如下方法形成:使含有成為第1有機(jī)化層7的材料的墨液W噴 墨法供給至由隔壁3所包圍的區(qū)域(凹部5)，接著進(jìn)行干燥、加熱和/或光照射，使墨液固化。
[0274] 作為發(fā)光層發(fā)揮功能的第2有機(jī)化層9,在凹部5中設(shè)置于第1有機(jī)化層7上。上述那 樣的發(fā)光層根據(jù)有機(jī)化元件的種類而設(shè)置。因此紅色發(fā)光層9R設(shè)置于設(shè)置紅色有機(jī)化元件 4R的凹部5,綠色發(fā)光層9G設(shè)置于設(shè)置綠色有機(jī)化元件4G的凹部5,藍(lán)色發(fā)光層9B設(shè)置于設(shè) 置藍(lán)色有機(jī)化元件4B的凹部5。
[0275] 第2電極10全面形成于設(shè)置有機(jī)化元件4的顯示區(qū)域中。即第2電極10不僅形成在 第2有機(jī)化層9上，也形成于隔壁3上，且遍及多個(gè)有機(jī)化元件連續(xù)地形成。
[0276] 如上所述，通過使形成于支承基板2上的多個(gè)有機(jī)化元件4被密封層及密封基板覆 蓋(未圖示），可制造有機(jī)化顯示設(shè)備。
[0277] 由本發(fā)明的感光性樹脂組合物所得到的圖案，為W隔壁與基板所區(qū)劃出的凹部基 板表面的潤濕性高、隔壁上表面的疏液性高的圖案，因此作為W噴墨法制作濾色器、液晶顯 示元件的口 0電極、有機(jī)化顯示元件及電路布線基板等所使用的隔壁而特別有用。進(jìn)而作為 例如構(gòu)成濾色器基板和/或陣列板的一部分的感光性間隔材(Photo Spacer)、可圖案化的 保護(hù)膜、層間絕緣膜、液晶取向控制用突起、微透鏡、膜厚調(diào)整用的涂布層等觸控面板用的 構(gòu)件而有用，上述那樣得到的不具有圖案的涂膜，可用作為構(gòu)成濾色器基板和/或陣列板的 一部分的保護(hù)膜。上述濾色器基板及陣列基板適合用于液晶顯示設(shè)備、有機(jī)化顯示設(shè)備及 電子紙等。
[027引實(shí)施例
[0279] W下W實(shí)施例將本發(fā)明更詳細(xì)說明。例中的及"份"在不特別說明的情況下， 為質(zhì)量％及質(zhì)量份。
[0280] (合成例1)
[0281] 在具備回流冷卻器、滴液漏斗及攬拌機(jī)的燒瓶中，適量流入氮并替換為氮?dú)夥?，?入丙二醇單甲基酸乙酸醋166份、甲氧基丙醇52份，邊攬拌邊加熱至85°C。接著耗時(shí)4小時(shí)將 3,4-環(huán)氧Ξ環(huán)[5.2.1.02'6]癸燒-8或/和9-基丙締酸醋的混合物233份、對乙締基苯甲酸77 份、丙二醇單甲基酸乙酸醋125份、甲氧基丙醇115份的混合溶液滴下。另一方面，將2,2-偶 氮雙(2,4-二甲基戊臘)32份溶解于丙二醇單甲基酸乙酸醋210份的混合溶液耗時(shí)5小時(shí)滴 下。滴下完畢后維持3小時(shí)該溫度后，冷卻至室溫，得到B型粘度（23°C)46m化S、固體成分 33.7%、溶液酸值83m巧OH/g的共聚物(樹脂Ala)溶液。
[0282] 得到的樹脂Ala的重均分子量Mw為7.7 X103、分子量分布為1.90。樹脂Ala具有W 下的結(jié)構(gòu)單元。
[0283]
[0284] (合成例2)
[0285] 在具備回流冷卻器、滴液漏斗及攬拌機(jī)的燒瓶中，使氮W0.02L/分鐘流入，設(shè)定成 氮?dú)夥?，加?-甲氧基-1-下醇200份及3-甲氧基下基乙酸醋105份，邊攬拌邊加熱至70°C。 接著，溶解甲基丙締酸60質(zhì)量份、3,4-環(huán)氧；環(huán)[5.2.1.02'6]癸基丙締酸醋(式(1-1)所表示 的化合物及式（Π -1)所表示的化合物W摩爾比計(jì)為50:50進(jìn)行混合。）240份及、3-甲氧基下 基乙酸醋140份來調(diào)制溶液，使用滴液漏斗，耗時(shí)4小時(shí)，滴下該溶解液至保溫在70°C的燒瓶 內(nèi)。
[0286]
[0287]另一方面，將聚合引發(fā)劑2,2'-偶氮雙(2,4-二甲基戊臘)30份溶于3-甲氧基下基 乙酸醋225份的溶液，使用另外的滴液漏斗耗時(shí)4小時(shí)滴下至燒瓶內(nèi)。聚合引發(fā)劑的溶液滴 下完畢后，4小時(shí)、維持于70°C，之后冷卻至室溫，得到固體成分32.6%、酸值1 lOmgKOH/g(固 體成分換算）的共聚物(樹脂Alb)的溶液。得到的樹脂Mb的重均分子量Mw為1.3X104、分子 量分布為2.50。樹脂Alb具有W下的結(jié)構(gòu)單元。
[028引
[0289] (合成例3)
[0290] 在具備回流冷卻管、氮導(dǎo)入管、溫度計(jì)及攬拌裝置的四口燒瓶中，加入α-氯丙締酸 3,3,4,4,5,5,6,6,6-九氣己基醋78份、甲基丙締酸19.5份、甲基丙締酸異冰片基醋19.5份、 甲基丙締酸縮水甘油基醋13份、十二燒硫醇12.7份、丙二醇單甲基酸乙酸醋266份，加熱至 70°C后，在氮?dú)饬飨逻M(jìn)行攬拌30分鐘。在其中添加偶氮雙異下臘1份，進(jìn)行18小時(shí)聚合，得到 固體成分33%、酸值68mg-K0H/g(固體成分換算）的共聚物(樹脂Ba)的溶液。得到的樹脂Ba 的重均分子量為7.5X103。樹脂Ba具有W下的結(jié)構(gòu)單元。
[0291]
[0292] W合成例1~3得到的樹脂的重均分子量(Mw)及數(shù)均分子量(Μη)的測定使用GPC 法，用W下的條件進(jìn)行。
[0293] 裝置;Κ2479((株)島津制作所制）
[0294] 色譜柱；SHIMADZU Slim-pack GPC-80M
[0295] 柱溫;40°C
[0296] 溶劑;THF(四氨巧喃）
[0297] 流速；l.OmL/min [029引偵測器;RI
[0299] W上述得到的聚苯乙締換算的重均分子量及數(shù)均分子量的比(Mw/Mn)作為分子量 分布。
[0300] (實(shí)施例1~4W及比較例）
[0301 ] <感光性樹脂組合物的調(diào)制〉
[0302] 各自混合表3的成分，得到感光性樹脂組合物。
[0303] [表 3]
[0304]
[0305] 表3中各成分如下。樹脂欄記載的份數(shù)為固體成分換算的質(zhì)量份。
[0306] 樹脂(A);Aa:對徑基苯乙締與甲基丙締酸甲醋的共聚物〔共聚合比為50:50、重均 分子量;8,000~12,000)(1日1'址日1^7]1州1'(注冊商標(biāo))〔11;丸善石油化學(xué)(株）制）
[0307] 樹脂(A1) ;Ala:合成例1得到的樹脂Ala
[0308] 樹脂(A1);A化:合成例2得到的樹脂A化
[0309] 樹脂(B) ;Ba:合成例3得到的樹脂Ba
[0310] 聚合性化合物(C);化:Ξ徑甲基丙烷Ξ丙締酸醋(A-TMPT;新中村化學(xué)工業(yè)(株） 制）
[0311] 聚合性化合物(C);化:二季戊四醇六丙締酸醋化AYARAD(注冊商標(biāo))DPHA;日本化 藥(株)制）
[0312] 聚合引發(fā)劑(D);Da:2-甲基-2-嗎嘟代-1-(4-甲基硫基苯基)丙烷-1-酬（IRGACURE (注冊商標(biāo))907;BASF公司制）
[0313] 聚合引發(fā)劑(D);抓：乙酬，1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酯基)-9H-巧挫-3-基]-，1- (0-乙酷基朽KIRGACURE (注冊商標(biāo))0XE02;BASF公司制）
[0314]聚合引發(fā)助劑(D1);4,4'-雙仁乙基氨基)二苯甲酬(EAB-F;保上谷化學(xué)工業(yè)(株） 制）
[0315]溶劑(E);Ea;丙二醇單甲基酸乙酸醋 [0316] 溶劑化）；化；二乙二醇乙基甲基酸 [0317] 溶劑(E);Ec;3-甲氧基1-T醇 [0318]溶劑(E);Ed;3-甲氧基T基乙酸醋
[0319] 溶劑化)為感光性樹脂組合物的固體成分量W表3的"固體成分量（％)"那樣混合， 溶劑化)中的溶劑成分化a)~化d)的值為溶劑化)中的質(zhì)量比。
[0320] <組合物的平均透射率〉
[0321] 上述所得到的感光性樹脂組合物，各自使用紫外可見近紅外分光光度計(jì)(V-650; 日本分光(株)制）（石英比色皿、光路長；1cm)，測定400~700皿中的平均透射率（％)。結(jié)果 如表3。
[0；3剖 < 涂膜的制作〉
[0323] 將2英寸方形玻璃基板化AGLEXG;康寧公司制）依次W中性洗劑、水及醇洗涂后進(jìn) 行干燥。在該玻璃基板上，使上述所得到的感光性樹脂組合物各自W曝光后烘烤后的膜厚 成為3.Own的方式進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂布，利用減壓干燥機(jī)(MICROTEK(株)制)使減壓度設(shè)至66k化而 進(jìn)行減壓干燥后，W加熱板在80°C進(jìn)行2分鐘預(yù)烘烤使其干燥。冷卻后，使用曝光機(jī)(TME- 150RSK;拓普康(株)制、光源:超高壓隸燈），大氣環(huán)境下、照射曝光量50mJ/cm2(365nm基準(zhǔn)） 的光。另外，此時(shí)對感光性樹脂組合物的照射使用超高壓隸燈。光照射后，在含有非離子系 表面活性劑0.12%與氨氧化鐘0.04%的水系顯影液中，使上述涂膜在23°C進(jìn)行60秒鐘浸 潰、搖動而使之接觸，然后，在烘箱中23(TC進(jìn)行20分加熱(曝光后烘烤)后，得到涂膜。
[0324] <涂膜平均透射率〉
[0325] 對得到的涂膜，使用顯微分光測光裝置(0SP-SP200;0LYMPUS公司制），測定400~ 700nm中的平均透射率（％ )。透射率變高是指吸收變小。結(jié)果如表3。
[0326] <接觸角〉
[0327] 對得到的涂膜，使用接觸角計(jì)(DGDFast/60;GBX公司制），測定苯甲酸的接觸角。
[0328] 接觸角越高為疏液性越高。若涂膜中的接觸角高，則使用相同感光性樹脂組合物 形成的圖案中接觸角也高。W接觸角高的感光性樹脂組合物形成隔壁，在該隔壁包圍中W 噴墨印刷裝置印刷（印寫）墨液時(shí)，易排斥墨液。因此，例如W噴墨法制作濾色器時(shí)，不易產(chǎn) 生相鄰的圖像區(qū)域間的墨液混色。結(jié)果如表5。
[0329] <圖案形成〉
[0330] 將2英寸方形玻璃基板化AGLEXG;康寧公司制）依次W中性洗劑、水及醇洗涂后進(jìn) 行干燥。在該玻璃基板上，使上述感光性樹脂組合物分別W曝光后烘烤后的膜厚成為3.5μπι 的方式進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂布，利用減壓干燥機(jī)(MICROTEK株式會社制）在減壓度設(shè)為達(dá)到66kPa的 方式進(jìn)行減壓干燥后，W加熱板在80°C進(jìn)行2分鐘預(yù)烘烤使其干燥。冷卻后使涂布有該感光 性樹脂組合物的基板與石英玻璃制光掩模的間隔為ΙΟμπι，使用曝光機(jī)(TME-150RSK;拓普康 (株）制、光源:超高壓隸燈），大氣環(huán)境下、照射曝光量50mJ/cm2(365nm基準(zhǔn)）的光。另外，此 時(shí)對感光性樹脂組合物的照射通過將來自超高壓隸燈的放射光通過光學(xué)濾波器(UV-33;朝 日分光(株)制）來進(jìn)行。另外，作為光掩模，使用同一平面上形成有圖案(具有1邊為13WI1的 正方形透光部，且該正方形間隔為100μπι)(即透光部）的光掩模。
[0331] 光照射后、在含有非離子系表面活性劑0.12%與氨氧化鐘0.04%的水系顯影液中 使上述涂膜在25Γ進(jìn)行100秒鐘浸潰、搖動而進(jìn)行顯影，并水洗，然后在烘箱中，在235Γ進(jìn) 行15分鐘曝光后烘烤，得到圖案。
[0332] <潤濕性〉
[0333] [潤濕性評估用溶液制作]
[0334] 作為實(shí)施隔壁的潤濕性評估的溶劑，選擇Ν，Ν-二甲基乙酷胺（和光純藥股份公司 制、99.5 % W上）、1，3-二甲基-2-咪挫嘟酬(東京化成工業(yè)股份公司制、99.0 % W上）的巧中。 選擇的巧巾溶劑，由于粘度低，因此為可利用噴墨印刷裝置將液充填至隔壁，添加環(huán)己醇(和 光純藥股份公司制、98.0%?上)作為粘度調(diào)整材料，W混合溶劑形式使用。
[0335] 另外，關(guān)于溶劑單體，由于難W用顯微鏡觀察到干燥后的涂布范圍，因此使用羅丹 明B(東京化成工業(yè)股份公司制、純度95 % W上)作為溶質(zhì)。
[0336] 溶液制作下述表4的巧中。
[0337] [表 4]
[0：3：38]_
[0339] ~[潤濕性評價(jià)] '
' ' '
[0340] 在隔壁內(nèi)使用噴墨印刷裝置化LVAC公司制Litlexl2化），將上述記載的溶液，W每 200化充填于1000處的隔壁的方式填充在各隔壁內(nèi)，干燥后使用顯微鏡（0LIMPUS公司制 MX61L、鏡片LCPFLN20XLCD)，進(jìn)行30處溶質(zhì)是否擴(kuò)散至隔壁端部的觀察。表4所示的全部的 溶液中，30處全部蔓延時(shí)，潤濕性良好為〇,其W外為X。結(jié)果如表5。 幽][表5]
[0；342]

[0343] 由實(shí)施例結(jié)果可知，由本發(fā)明的感光性樹脂組合物可得到在維持不產(chǎn)生墨液混色 的接觸角的情況下潤濕性優(yōu)異的涂膜及圖案。
[0344] 產(chǎn)業(yè)可利用性
[0345] 根據(jù)本發(fā)明的感光性樹脂組合物，可得到潤濕性優(yōu)異的圖案、即W隔壁與基板所 區(qū)劃出的凹部基板表面的潤濕性高、且隔壁上表面的疏液性高的圖案。
[CX346] 符號說明
[0；347] 1 ...顯示設(shè)備
[0；34引 2 · · ·支承基板
[0349] 3 ...隔壁
[0；350] 4· · ·有機(jī)EL元件
[0351] 5 · · ·凹部
[0；352] 6· · ·第1 電極
[0353] 7· · ·第1有機(jī)化層(空穴注入層）
[0354] 9. · ·第巧機(jī)EL層(發(fā)光層）
[0；355] 10 · · ·第2電極
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種感光性樹脂組合物，其含有(A)、（B)、（C)及(D)， (A) 具有具酚性羥基的結(jié)構(gòu)單元、且不具有含碳數(shù)4~6的全氟烷基的結(jié)構(gòu)單元的聚合 物， (B) 含有含碳數(shù)4~6的全氟烷基的結(jié)構(gòu)單元的聚合物， (C) 聚合性化合物， (D) 聚合引發(fā)劑。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中， (B)為進(jìn)一步具有來自選自由不飽和羧酸及不飽和羧酸酐所組成的組中的至少1種單 體的結(jié)構(gòu)單元的聚合物。3. 如權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中， (D)為含有選自由聯(lián)咪唑化合物、烷基苯基酮化合物及0-?；炕衔锼M成的組中 的至少1種的聚合引發(fā)劑。4. 一種圖案，由權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物所形成。5. -種噴墨印刷用隔壁，由權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物所形成。6. -種顯示設(shè)備，包含權(quán)利要求4所述的圖案。7. -種顯示設(shè)備，包含權(quán)利要求5所述的噴墨印刷用隔壁。
【文檔編號】G03F7/033GK105992974SQ201480075564
【公開日】2016年10月5日
【申請日】2014年6月6日
【發(fā)明人】河西裕, 井上裕康, 山下和貴
【申請人】住友化學(xué)株式會社