預烘烤設備的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種預烘烤設備，該預烘烤設備包括熱板、承托裝置以及補償裝置，其中，熱板設有多個通孔，熱板用于承載玻璃基板并對玻璃基板進行加熱；承托裝置用于穿過多個通孔以舉托玻璃基板并將玻璃基板下放在熱板上；補償裝置用于封閉多個通孔以使得熱板對玻璃基板均勻加熱。本發(fā)明提供的預烘烤設備由于設置有可封閉熱板上的多個通孔的補償裝置，使得玻璃基板受熱均勻，進而使得后續(xù)制程中彩膜顏色均勻。
【專利說明】
預烘烤設備
技術(shù)領域
[0001]本發(fā)明涉及液晶面板制造領域，特別涉及一種玻璃基板用的預烘烤設備。
【背景技術(shù)】
[0002]LTPS(Low Temperature Poly-silicon，低溫多晶娃技術(shù))Mobile產(chǎn)品日益對顏色的均一性要求越來越高，由于mobile的顏色由彩膜體現(xiàn)，所以對彩膜的顏色均一性要求的規(guī)格也越來越高。
[0003]預烘烤設備作用是將涂布在玻璃基板上的光阻70%溶劑進行揮發(fā)，加熱的原理是通過熱傳遞的方式，將熱板與玻璃基板背面進行整面的接觸進行加熱，所以熱板的傳導熱均一性就會導致玻璃上光阻揮發(fā)的程度不一樣導致整個膜面顏色不均一。
[0004]請一并參閱圖1和圖2，其中，圖1是現(xiàn)有技術(shù)中一種預烘烤設備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1中所示的預烘烤設備工作時的示意圖。
[0005]如圖1和圖2中所示，熱板20設有多個通孔21，承托裝置30設于熱板20下方，用于穿過所述熱板20上的多個通孔21以舉托所述位于熱板20上方的玻璃基板10并將所述玻璃基板10下放在所述熱板20上。
[0006]由于熱板20上需要預留承托裝置30上升下降的通孔21，導致此通孔21處沒有熱板加熱，使得玻璃基板10受熱不均。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明提供一種預烘烤設備，以解決現(xiàn)有技術(shù)中預烘烤設備對玻璃基板進行加熱時玻璃基板受熱不均的技術(shù)問題。
[0008]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的一個技術(shù)方案是:提供一種預烘烤設備，所述預烘烤設備包括:
[0009]熱板，設有多個通孔，所述熱板用于承載玻璃基板并對所述玻璃基板進行加熱；
[0010]承托裝置，用于穿過所述多個通孔以舉托所述玻璃基板并將所述玻璃基板下放在所述熱板上；
[0011]補償裝置，用于封閉所述多個通孔以使得所述熱板對所述玻璃基板均勻加熱。
[0012]根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述承托裝置包括底板和垂直設于所述底板上的多個承托柱，所述承托裝置通過所述多個承托柱穿過所述多個通孔以舉托所述玻璃基板。
[0013]根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述補償裝置包括多個板體和多個垂直于所述板體下的撐桿，所述多個板體與所述多個通孔相適配，所述承托裝置將所述玻璃基板下放于所述熱板上后下降并平移開，所述補償裝置平移至所述通孔下方并上升使得所述多個板體封閉所述多個通孔。
[0014]根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述補償裝置為活動性設于所述承托柱上的活動板，所述多個承托柱穿過所述多個通孔以舉托所述玻璃基板時，所述活板下降至所述承托柱的下側(cè)，所述承托柱將所述玻璃基板下放于所述熱板上時，所述活動板上升至所述承托柱的端部并將所述通孔封閉。
[0015]根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述補償裝置還包括限位板，所述限位板設于所述板體的下方，在所述板體適配于所述通孔時限位抵接在所述熱板的下方。
[0016]根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述板體呈錐臺狀，以在所述板體適配于所述通孔時與所述通孔限位抵接。
[0017]根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述底板上設有避讓槽，所述承托柱與所述避讓槽干涉裝配。
[0018]根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述預烘烤設備還包括升降電機，所述升降電機用于使得所述承托裝置和所述補償裝置升降。
[0019]根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述預烘烤設備還包括平移電機，所述平移電機用于使得所述承托裝置和所述補償裝置平移。
[0020]本發(fā)明的有益效果是:區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本發(fā)明提供的預烘烤設備由于設置有可封閉熱板上的多個通孔的補償裝置，使得玻璃基板受熱均勻，進而使得后續(xù)制程中彩膜顏色均勻。
【附圖說明】
[0021]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖，其中:
[0022]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中一種預烘烤設備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖2是圖1中所示的預烘烤設備工作時的示意圖；
[0024]圖3是本發(fā)明一優(yōu)選實施例提供的預烘烤設備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖4是圖3中所示的預烘烤設備的工作過程示意圖；
[0026]圖5是圖3中所示的預烘烤設備的工作過程示意圖；
[0027]圖6是圖3中所示的預烘烤設備中補償裝置的另一種示意圖；
[0028]圖7是圖3中所示的預烘烤設備的補償裝置的另一種示意圖。
【具體實施方式】
[0029]下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅是本發(fā)明的一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0030]請參閱圖3，圖3是本發(fā)明一優(yōu)選實施例提供的預烘烤設備的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0031]如圖3所示，本發(fā)明提供一種預烘烤設備，該預烘烤設備包括熱板200、承托裝置300以及補償裝置400。
[0032]其中，熱板200設有多個通孔210(見圖4)，熱板200用于承載玻璃基板100并對玻璃基板100進行加熱。該通孔210可以是圓形、三角形、多邊形等形狀。
[0033]承托裝置300用于在熱板200的下方穿過多個通孔210以舉托熱板200上方的玻璃基板100并將玻璃基板100下放在熱板200上。
[0034]補償裝置400位于熱板200的下方，用于封閉熱板200的多個通孔210以使得熱板200對玻璃基板100均勻加熱。
[0035]具體而言，承托裝置300包括底板310和垂直設于底板310上的多個承托柱320，承托裝置300通過多個承托柱320穿過多個通孔210以舉托玻璃基板100。
[0036]在本發(fā)明一優(yōu)選實施例中，補償裝置400包括多個板體410和多個垂直于板體410下的撐桿420，多個板體410與多個通孔210相適配。
[0037]請一并參閱圖4和圖5，圖4和圖5是圖3中所示的預烘烤設備的工作過程示意圖。
[0038]如圖4所示，承托裝置300將玻璃基板100下放于熱板200上后下降并平移開。
[0039]如圖5所示，補償裝置400平移至通孔210下方并上升使得多個板體410封閉多個通孔 210。
[0040]在本發(fā)明另一優(yōu)選實施例中，補償裝置400可為活動性設于承托柱320上的活動板，多個承托柱320穿過多個通孔210以舉托玻璃基板100時，活板下降至承托柱320的下側(cè)，承托柱320將玻璃基板100下放于熱板200上時，活動板上升至承托柱320的端部并將通孔210封閉。
[0041]請一并參閱圖6和圖7，圖6和圖7是圖3中所示的預烘烤設備中補償裝置的其他實施方式的示意圖。
[0042]如圖6所示，在本實施例中，補償裝置400還包括限位板430，限位板430設于板體410的下方，在板體410適配于通孔210時限位抵接在熱板200的下方。
[0043]如圖7所示，在本實施例中，板體410’呈錐臺狀，可以在板體410適配于通孔210時與通孔210限位抵接。
[0044]在本發(fā)明優(yōu)選實施例中，底板310上設有避讓槽(圖未示)，承托柱320與避讓槽干涉裝配。
[0045]此外，預烘烤設備還包括升降電機、平移電機及對應的傳動機構(gòu)，升降電機用于使得承托裝置300和補償裝置400升降。平移電機用于使得承托裝置300和補償裝置400平移。
[0046]綜上所述，本領域技術(shù)人員容易理解，本發(fā)明提供的預烘烤設備由于設置有可封閉熱板200上的多個通孔210的補償裝置400，使得玻璃基板100受熱均勻，進而使得后續(xù)制程中彩膜顏色均勻。
[0047]以上所述僅為本發(fā)明的實施例，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相關(guān)的技術(shù)領域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種預烘烤設備，其特征在于，所述預烘烤設備包括: 熱板，設有多個通孔，所述熱板用于承載玻璃基板并對所述玻璃基板進行加熱； 承托裝置，用于穿過所述多個通孔以舉托所述玻璃基板并將所述玻璃基板下放在所述熱板上； 補償裝置，用于封閉所述多個通孔以使得所述熱板對所述玻璃基板均勻加熱。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預烘烤設備，其特征在于，所述承托裝置包括底板和垂直設于所述底板上的多個承托柱，所述承托裝置通過所述多個承托柱穿過所述多個通孔以舉托所述玻璃基板。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的預烘烤設備，其特征在于，所述補償裝置包括多個板體和多個垂直于所述板體下的撐桿，所述多個板體與所述多個通孔相適配，所述承托裝置將所述玻璃基板下放于所述熱板上后下降并平移開，所述補償裝置平移至所述通孔下方并上升使得所述多個板體封閉所述多個通孔。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的預烘烤設備，其特征在于，所述補償裝置為活動性設于所述承托柱上的活動板，所述多個承托柱穿過所述多個通孔以舉托所述玻璃基板時，所述活板下降至所述承托柱的下側(cè)，所述承托柱將所述玻璃基板下放于所述熱板上時，所述活動板上升至所述承托柱的端部并將所述通孔封閉。5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的預烘烤設備，其特征在于，所述補償裝置還包括限位板，所述限位板設于所述板體的下方，在所述板體適配于所述通孔時限位抵接在所述熱板的下方。6.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的預烘烤設備，其特征在于，所述板體呈錐臺狀，以在所述板體適配于所述通孔時與所述通孔限位抵接。7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的預烘烤設備，其特征在于，所述底板上設有避讓槽，所述承托柱與所述避讓槽干涉裝配。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的預烘烤設備，其特征在于，所述預烘烤設備還包括升降電機，所述升降電機用于使得所述承托裝置和所述補償裝置升降。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的預烘烤設備，其特征在于，所述預烘烤設備還包括平移電機，所述平移電機用于使得所述承托裝置和所述補償裝置平移。
【文檔編號】G03F7/38GK106054541SQ201610664069
【公開日】2016年10月26日
【申請日】2016年8月12日 公開號201610664069.3, CN 106054541 A, CN 106054541A, CN 201610664069, CN-A-106054541, CN106054541 A, CN106054541A, CN201610664069, CN201610664069.3
【發(fā)明人】徐濤, 祖?zhèn)?
【申請人】武漢華星光電技術(shù)有限公司