無(wú)序子結(jié)構(gòu)光柵及通過(guò)二次隨機(jī)函數(shù)設(shè)計(jì)光柵的方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵,包括多個(gè)一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵,一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵包括沿X軸周期排列的周期單元,周期單元包括沿X軸排列的各不相同的若干個(gè)子結(jié)構(gòu),同一一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵中的各個(gè)周期單元的結(jié)構(gòu)相同,各個(gè)一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵沿Y軸排列獲得二維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵。本發(fā)明還公開了通過(guò)二次隨機(jī)函數(shù)設(shè)計(jì)光柵的方法,本發(fā)明將有序結(jié)構(gòu)和無(wú)序結(jié)構(gòu)融合在一起,在能繼承有序結(jié)構(gòu)優(yōu)點(diǎn)的同時(shí),獲得無(wú)序結(jié)構(gòu)在帶寬和角度等方面更強(qiáng)的操控能力,在光波長(zhǎng)為300~1000nm的大帶寬范圍內(nèi)陷光效果比其他無(wú)序結(jié)構(gòu)提高了近90%。
【專利說(shuō)明】
無(wú)序子結(jié)構(gòu)光柵及通過(guò)二次隨機(jī)函數(shù)設(shè)計(jì)光柵的方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及光柵設(shè)計(jì)技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及無(wú)序子結(jié)構(gòu)光柵,還涉及通過(guò)二次隨機(jī)函數(shù)設(shè)計(jì)光柵的方法。適用于光譜學(xué)、集成光電器件、通信、傳感、液晶面板、太陽(yáng)能電池和原子能等方面。
【背景技術(shù)】
[0002]表面光學(xué)結(jié)構(gòu)如光柵、光子晶體以及其它有序和無(wú)序的光學(xué)結(jié)構(gòu)等可以調(diào)節(jié)入射光和反射光的帶寬、偏振、角度和諧振等方面的性能,從而實(shí)現(xiàn)光耦合、光脈沖整形、光濾波、光柵反射器、光抗反射器、光吸收器和光諧振器等功能,在光譜學(xué)、集成光電器件、通信、傳感、液晶面板、太陽(yáng)能電池和原子能等方面具有廣泛應(yīng)用。
[0003]表面光學(xué)結(jié)構(gòu)從呈現(xiàn)的外在特征來(lái)看有三種類型:第一種是有序結(jié)構(gòu)周期性排列而成,如光柵和光子晶體等;第二種是隨機(jī)無(wú)序的表面結(jié)構(gòu);第三種是結(jié)合整體有序和局部無(wú)序的混合結(jié)構(gòu),即無(wú)序子結(jié)構(gòu)的長(zhǎng)周期光柵。有序結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)容易,制作工藝也相對(duì)成熟,但是存在角度譜和帶寬有限等問(wèn)題。無(wú)序結(jié)構(gòu)可以改善角度譜和帶寬上的性能,但是無(wú)序結(jié)構(gòu)通常是在材料沉淀生長(zhǎng)和圖形刻蝕等制造過(guò)程中因工藝誤差較大隨機(jī)得到的,對(duì)于具體怎樣設(shè)計(jì)無(wú)序結(jié)構(gòu),設(shè)計(jì)什么樣的無(wú)序結(jié)構(gòu)還需進(jìn)一步研究,難于通過(guò)系統(tǒng)的方法設(shè)計(jì),造成其應(yīng)用受限。
[0004]所以我們提出了一種利用隨機(jī)函數(shù)二次,在有序長(zhǎng)周期結(jié)構(gòu)中引入紊亂的無(wú)序子結(jié)構(gòu)組合成混合表面結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)方法。該方法能繼承有序結(jié)構(gòu)優(yōu)點(diǎn)的同時(shí),獲得無(wú)序結(jié)構(gòu)在帶寬和角度等方面更強(qiáng)的操控能力。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]本發(fā)明的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問(wèn)題,提供無(wú)序子結(jié)構(gòu)光柵,還提供了通過(guò)二次隨機(jī)函數(shù)設(shè)計(jì)光柵的方法,本發(fā)明利用隨機(jī)函數(shù)和編碼的方法解決了如何系統(tǒng)的設(shè)計(jì)無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵。
[0006]本發(fā)明的上述目的通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
無(wú)序子結(jié)構(gòu)光柵,包括多個(gè)一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵,一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵包括沿X軸周期排列的周期單元,周期單元包括沿X軸排列的各不相同的若干個(gè)子結(jié)構(gòu),同一一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵中的各個(gè)周期單元的結(jié)構(gòu)相同,各個(gè)一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵沿Y軸排列獲得二維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵,二維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵設(shè)置在光柵基質(zhì)上。
[0007]如上所述的一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵為Q種,Q大于等于I,Q種一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵沿Y軸排列構(gòu)成Y軸方向光柵周期單元,Y軸方向光柵周期單元沿Y軸周期排列獲得二維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵。
[0008]如上所述的光柵基質(zhì)為非晶硅基質(zhì)。
[0009]通過(guò)二次隨機(jī)函數(shù)設(shè)計(jì)光柵的方法,包括如下步驟: 步驟1、設(shè)計(jì)子結(jié)構(gòu)集合,子結(jié)構(gòu)集合內(nèi)的子結(jié)構(gòu)形狀各異,在子結(jié)構(gòu)集合中選取M個(gè)子結(jié)構(gòu)作為備選子結(jié)構(gòu),M大于I ;
步驟2、設(shè)計(jì)一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵,即沿X軸方向的一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵,具體為:
步驟2.1、利用隨機(jī)函數(shù)在M個(gè)備選子結(jié)構(gòu)中選取N個(gè)子結(jié)構(gòu),N大于等于I小于等于M,N個(gè)子結(jié)構(gòu)的編號(hào)分別標(biāo)記為O?N-1 ;
步驟2.2、利用隨機(jī)函數(shù)將N個(gè)子結(jié)構(gòu)所對(duì)應(yīng)的編號(hào)進(jìn)行隨機(jī)排序,得到隨機(jī)排序的子結(jié)構(gòu)編號(hào)順序,將N個(gè)子結(jié)構(gòu)按照子結(jié)構(gòu)編號(hào)順序進(jìn)行排列獲得周期單元;
步驟2.3、將步驟2.2獲得的周期單元沿一維方向,S卩X軸方向進(jìn)行周期排列,得到一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵;
步驟3、將一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵沿Y軸進(jìn)行排列獲得二維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵。
[0010]如上步驟2獲得的一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵為Q種,Q大于等于I,Q種一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵沿Y軸排列構(gòu)成Y軸方向光柵周期單元,Y軸方向光柵周期單元沿Y軸周期排列獲得二維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵。
[0011]本發(fā)明相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)具有以下有益效果:
1、本發(fā)明利用隨機(jī)函數(shù)將有序結(jié)構(gòu)和無(wú)序結(jié)構(gòu)融合在一起,是一種系統(tǒng)的設(shè)計(jì)無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵的方法。
[0012]2、無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵能繼承有序結(jié)構(gòu)優(yōu)點(diǎn)的同時(shí),獲得無(wú)序結(jié)構(gòu)在帶寬和角度等方面更強(qiáng)的操控能力,在光波長(zhǎng)為300?100nm的大帶寬范圍內(nèi)陷光效果比【背景技術(shù)】中涉及的其他無(wú)序結(jié)構(gòu)提尚了近90%。
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1是實(shí)施例2中選取5個(gè)子結(jié)構(gòu)作為備選子結(jié)構(gòu)的示意圖,T為子結(jié)構(gòu)周期長(zhǎng)度;
圖2是實(shí)施例2中從5個(gè)備選子結(jié)構(gòu)中取4個(gè)子結(jié)構(gòu)的示意圖;
圖3是實(shí)施例2中一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵的周期單元示意圖;
圖4是實(shí)施例2中的一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖5是實(shí)施例3從備選子結(jié)構(gòu)中選取4個(gè)子結(jié)構(gòu)的不意圖,(a)選取的子結(jié)構(gòu)的第一種情況;(b)選取的子結(jié)構(gòu)的第二種情況;(C)選取的子結(jié)構(gòu)的第三種情況;
圖6是實(shí)施例3中的3種一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵中的周期單元的隨機(jī)排序的子結(jié)構(gòu)編號(hào)順序,(a)無(wú)序結(jié)構(gòu)1(第一種一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵的周期單元);(b)無(wú)序結(jié)構(gòu)2(第二種一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵的周期單元);(c)無(wú)序結(jié)構(gòu)3(第三種一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵的周期單元);
圖7是實(shí)施例3中獲得的二維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵。
[0014]在圖中,數(shù)字均為編號(hào),并不代表部件的數(shù)字標(biāo)記。另4T指的是四個(gè)子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)度。
【具體實(shí)施方式】
[0015]以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明:
實(shí)施例1: 無(wú)序子結(jié)構(gòu)光柵,包括多個(gè)一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵,一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵包括沿X軸周期排列的周期單元,周期單元包括沿X軸排列的各不相同的若干個(gè)子結(jié)構(gòu),同一一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵中的各個(gè)周期單元的結(jié)構(gòu)相同,各個(gè)一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵沿Y軸排列獲得二維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵,二維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵設(shè)置在光柵基質(zhì)上。
[0016]優(yōu)選的,所述的一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵為Q種,Q大于等于1,Q種一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵沿Y軸排列構(gòu)成Y軸方向光柵周期單元,Y軸方向光柵周期單元沿Y軸周期排列獲得二維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵。
[0017]優(yōu)選的,所述的光柵基質(zhì)為非晶硅基質(zhì)。
[0018]通過(guò)二次隨機(jī)函數(shù)設(shè)計(jì)光柵的方法,包括如下步驟:
步驟1、設(shè)計(jì)子結(jié)構(gòu)集合,子結(jié)構(gòu)集合內(nèi)的子結(jié)構(gòu)形狀各異,在子結(jié)構(gòu)集合中選取M個(gè)子結(jié)構(gòu)作為備選子結(jié)構(gòu),M大于I ;
步驟2、設(shè)計(jì)一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵,即沿X軸方向的一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵,具體為:
步驟2.1、利用隨機(jī)函數(shù)在M個(gè)備選子結(jié)構(gòu)中選取N個(gè)子結(jié)構(gòu),N大于等于I小于等于M,N個(gè)子結(jié)構(gòu)的編號(hào)分別標(biāo)記為O?N-1 ;
步驟2.2、利用隨機(jī)函數(shù)將N個(gè)子結(jié)構(gòu)所對(duì)應(yīng)的編號(hào)進(jìn)行隨機(jī)排序,得到隨機(jī)排序的子結(jié)構(gòu)編號(hào)順序,將N個(gè)子結(jié)構(gòu)按照子結(jié)構(gòu)編號(hào)順序進(jìn)行排列獲得周期單元;
步驟2.3、將步驟2.2獲得的周期單元沿一維方向,S卩X軸方向進(jìn)行周期排列,得到一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵;
步驟3、將一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵沿Y軸進(jìn)行排列獲得二維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵。
[0019]優(yōu)選的,步驟2獲得的一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵為Q種,Q大于等于I,Q種一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵沿Y軸排列構(gòu)成Y軸方向光柵周期單元,Y軸方向光柵周期單元沿Y軸周期排列獲得二維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵。
[0020]實(shí)施例2:
如圖1?4,在本實(shí)施例的無(wú)序子結(jié)構(gòu)光柵中,一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵中的周期單元的子結(jié)構(gòu)順序?yàn)槿切巫咏Y(jié)構(gòu)、第一U形槽子結(jié)構(gòu)、方形槽子結(jié)構(gòu)、第二U形槽子結(jié)構(gòu),第一 U形槽子結(jié)構(gòu)的槽口朝上、第二 U形槽子結(jié)構(gòu)的槽口朝下。一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵為一種,一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵沿Y軸排列獲得二維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵。其他與實(shí)施例I 一致。
[0021]在本實(shí)施例的通過(guò)二次隨機(jī)函數(shù)設(shè)計(jì)光柵的方法中,周期單元的各個(gè)子結(jié)構(gòu)選自備選子結(jié)構(gòu),備選子結(jié)構(gòu)中子結(jié)構(gòu)的種類比周期單元中子結(jié)構(gòu)的種類多I個(gè)。備選子結(jié)構(gòu)包括方形子結(jié)構(gòu)、三角形子結(jié)構(gòu)、第一 U形槽子結(jié)構(gòu)、第二 U形槽子結(jié)構(gòu)、第三U形槽子結(jié)構(gòu)。第一 U形槽子結(jié)構(gòu)的槽口朝上、第二 U形槽子結(jié)構(gòu)的槽口朝下、第三U形槽子結(jié)構(gòu)的槽口朝右。
[0022]在本實(shí)施例的通過(guò)二次隨機(jī)函數(shù)設(shè)計(jì)光柵的方法中,步驟3中的一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵為一種,步驟2中從備選子結(jié)構(gòu)中選取的子結(jié)構(gòu)進(jìn)行O?3編號(hào)。編號(hào)O?3對(duì)應(yīng)的子結(jié)構(gòu)的形狀依次為方形子結(jié)構(gòu)、三角形子結(jié)構(gòu)、第一U形槽子結(jié)構(gòu)、第二U形槽子結(jié)構(gòu),第一 U形槽子結(jié)構(gòu)的槽口朝上、第二 U形槽子結(jié)構(gòu)的槽口朝下。
[0023]一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵中的周期單元的子結(jié)構(gòu)編號(hào)依次為1、2、0、3,子結(jié)構(gòu)的形狀依次為三角形子結(jié)構(gòu)、第一U形槽子結(jié)構(gòu)、方形子結(jié)構(gòu)、第二U形槽子結(jié)構(gòu),單個(gè)一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵構(gòu)成Y軸方向光柵周期單元,Y軸方向光柵周期單元沿Y軸周期排列獲得二維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵。
[0024]其他與實(shí)施例1一致。
[0025]實(shí)施例3:
如圖5?7,在本實(shí)施例中的無(wú)序子結(jié)構(gòu)光柵中,一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵為三種,三種一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵沿Y軸排列構(gòu)成Y軸方向光柵周期單元,Y軸方向光柵周期單元沿Y軸周期排列獲得二維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵。
[0026]第一種一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵中的周期單元的子結(jié)構(gòu)順序?yàn)榈诙形槽子結(jié)構(gòu)、三角形子結(jié)構(gòu)、第一 U形凹槽子結(jié)構(gòu)、方形子結(jié)構(gòu)。
[0027]第二種一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵中的周期單元的子結(jié)構(gòu)順序?yàn)槿切巫咏Y(jié)構(gòu)、第一 U形凹槽子結(jié)構(gòu)、方形子結(jié)構(gòu)、第三U形凹槽子結(jié)構(gòu)。
[0028]第三種一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵中的周期單元的子結(jié)構(gòu)順序?yàn)榈谝籙形凹槽子結(jié)構(gòu)、第二 U形凹槽子結(jié)構(gòu)、三角形子結(jié)構(gòu)、第三U形凹槽子結(jié)構(gòu)。
[0029]第一U形槽子結(jié)構(gòu)的槽口朝上、第二 U形槽子結(jié)構(gòu)的槽口朝下、第三U形槽子結(jié)構(gòu)的槽口朝右。
[0030]其他與實(shí)施例1一致。
[0031]在本實(shí)施例的通過(guò)二次隨機(jī)函數(shù)設(shè)計(jì)光柵的方法中,周期單元的各個(gè)子結(jié)構(gòu)選自備選子結(jié)構(gòu),備選子結(jié)構(gòu)中子結(jié)構(gòu)的種類比周期單元中子結(jié)構(gòu)的種類多I個(gè)。
[0032]一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵為3種,3種一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵依次沿Y軸排列構(gòu)成Y軸方向光柵周期單元,Y軸方向光柵周期單元沿Y軸周期排列獲得二維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵。
[0033]本實(shí)施例的通過(guò)二次隨機(jī)函數(shù)設(shè)計(jì)光柵的方法中,步驟I中的備選子結(jié)構(gòu)包括方形子結(jié)構(gòu)、三角形子結(jié)構(gòu)、第一 U形槽子結(jié)構(gòu)、第二 U形槽子結(jié)構(gòu)、第三U形槽子結(jié)構(gòu)。第一 U形槽子結(jié)構(gòu)的槽口朝上、第二 U形槽子結(jié)構(gòu)的槽口朝下、第三U形槽子結(jié)構(gòu)的槽口朝右。
[0034]如圖5所示,在本實(shí)施例的通過(guò)二次隨機(jī)函數(shù)設(shè)計(jì)光柵的方法中,第一種一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵中的周期單元的子結(jié)構(gòu)從備選子結(jié)構(gòu)中選取,并進(jìn)行O?3編號(hào)。編號(hào)O?3對(duì)應(yīng)的子結(jié)構(gòu)的形狀依次為方形子結(jié)構(gòu)、三角形子結(jié)構(gòu)、第一 U形槽子結(jié)構(gòu)、第二 U形槽子結(jié)構(gòu),第一 U形槽子結(jié)構(gòu)的槽口朝上、第二 U形槽子結(jié)構(gòu)的槽口朝下。
[0035]第二種一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵中的周期單元的子結(jié)構(gòu)從備選子結(jié)構(gòu)中選取,并進(jìn)行O?3編號(hào)。編號(hào)O?3對(duì)應(yīng)的子結(jié)構(gòu)的形狀依次為方形子結(jié)構(gòu)、三角形子結(jié)構(gòu)、第一U形槽子結(jié)構(gòu)、第三U形槽子結(jié)構(gòu),第一U形槽子結(jié)構(gòu)的槽口朝上,第三U形槽子結(jié)構(gòu)的槽口朝右。
[0036]第三種一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵中的周期單元的子結(jié)構(gòu)從備選子結(jié)構(gòu)中選取,并進(jìn)行O?3編號(hào)。編號(hào)O?3對(duì)應(yīng)的子結(jié)構(gòu)的形狀依次為三角形子結(jié)構(gòu)、第一U形槽子結(jié)構(gòu)、第三U形槽子結(jié)構(gòu)、第二 U形槽子結(jié)構(gòu)。第一 U形槽子結(jié)構(gòu)的槽口朝上、第二 U形槽子結(jié)構(gòu)的槽口朝下、第三U形槽子結(jié)構(gòu)的槽口朝右。
[0037]圖6是本實(shí)施例的通過(guò)二次隨機(jī)函數(shù)設(shè)計(jì)光柵的方法中的3種一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵中的周期單元的隨機(jī)排序的子結(jié)構(gòu)編號(hào)順序,(a)無(wú)序結(jié)構(gòu)1(第一種一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵的周期單元,記第一周期單元,利用步驟2隨機(jī)排列后的子結(jié)構(gòu)編號(hào)為3、1、
2、0,對(duì)應(yīng)的子結(jié)構(gòu)形狀依次為第三U形槽子結(jié)構(gòu)、三角形子結(jié)構(gòu)、第一 U形凹槽子結(jié)構(gòu)、方形子結(jié)構(gòu));(b)無(wú)序結(jié)構(gòu)2(第二種一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵的周期單元,記第二周期單元,利用步驟2隨機(jī)排列后的子結(jié)構(gòu)編號(hào)為1、2、0、3,對(duì)應(yīng)的子結(jié)構(gòu)形狀為三角形子結(jié)構(gòu)、第一 U形凹槽子結(jié)構(gòu)、方形子結(jié)構(gòu)、第三U形凹槽子結(jié)構(gòu));(c)無(wú)序結(jié)構(gòu)3(第三種一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵的周期單元,記第三周期單元,利用步驟2隨機(jī)排列后的子結(jié)構(gòu)編號(hào)為1、3、0、2,對(duì)應(yīng)的子結(jié)構(gòu)形狀為第一 U形凹槽子結(jié)構(gòu)、第二 U形凹槽子結(jié)構(gòu)、三角形子結(jié)構(gòu)、第三U形凹槽子結(jié)構(gòu));
如圖7所示,3種一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵沿Y軸分布構(gòu)成Y軸方向光柵周期單元,Y軸方向光柵周期單元沿Y軸周期排列獲得二維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵。其他與實(shí)施例1相同。
[0038]本實(shí)施例獲得的無(wú)序子結(jié)構(gòu)光柵,在帶寬和角度等方面更強(qiáng)的操控能力,在光波長(zhǎng)為300?100nm的大帶寬范圍內(nèi)陷光效果比【背景技術(shù)】中涉及到的現(xiàn)有無(wú)序結(jié)構(gòu)提高了近90% ο
[0039]綜上所述本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于:利用編碼和隨機(jī)函數(shù),在有序長(zhǎng)周期結(jié)構(gòu)中引入紊亂的無(wú)序子結(jié)構(gòu)組合成混合表面結(jié)構(gòu),該方法能繼承有序結(jié)構(gòu)優(yōu)點(diǎn)的同時(shí),獲得無(wú)序結(jié)構(gòu)在帶寬和角度等方面更強(qiáng)的操控能力,形成了一種新型的較為系統(tǒng)的設(shè)計(jì)含無(wú)序子結(jié)構(gòu)的長(zhǎng)周期光柵的方法。
[0040]本文中所描述的具體實(shí)施例僅僅是對(duì)本發(fā)明精神作舉例說(shuō)明。本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)所描述的具體實(shí)施例做各種各樣的修改或補(bǔ)充或采用類似的方式替代,但并不會(huì)偏離本發(fā)明的精神或者超越所附權(quán)利要求書所定義的范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.無(wú)序子結(jié)構(gòu)光柵,其特征在于,包括多個(gè)一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵,一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵包括沿X軸周期排列的周期單元,周期單元包括沿X軸排列的各不相同的若干個(gè)子結(jié)構(gòu),同一一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵中的各個(gè)周期單元的結(jié)構(gòu)相同,各個(gè)一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵沿Y軸排列獲得二維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵,二維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵設(shè)置在光柵基質(zhì)上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無(wú)序子結(jié)構(gòu)光柵,其特征在于,所述的一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵為Q種,Q大于等于I,Q種一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵沿Y軸排列構(gòu)成Y軸方向光柵周期單元,Y軸方向光柵周期單元沿Y軸周期排列獲得二維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵。3.根據(jù)權(quán)利要求1?2所述的任意無(wú)序子結(jié)構(gòu)光柵,其特征在于,所述的光柵基質(zhì)為非晶娃基質(zhì)。4.通過(guò)二次隨機(jī)函數(shù)設(shè)計(jì)光柵的方法,其特征在于,包括如下步驟: 步驟1、設(shè)計(jì)子結(jié)構(gòu)集合,子結(jié)構(gòu)集合內(nèi)的子結(jié)構(gòu)形狀各異,在子結(jié)構(gòu)集合中選取M個(gè)子結(jié)構(gòu)作為備選子結(jié)構(gòu),M大于I ; 步驟2、設(shè)計(jì)一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵,即沿X軸方向的一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵,具體為: 步驟2.1、利用隨機(jī)函數(shù)在M個(gè)備選子結(jié)構(gòu)中選取N個(gè)子結(jié)構(gòu),N大于等于I小于等于M,N個(gè)子結(jié)構(gòu)的編號(hào)分別標(biāo)記為O?N-1 ; 步驟2.2、利用隨機(jī)函數(shù)將N個(gè)子結(jié)構(gòu)所對(duì)應(yīng)的編號(hào)進(jìn)行隨機(jī)排序,得到隨機(jī)排序的子結(jié)構(gòu)編號(hào)順序,將N個(gè)子結(jié)構(gòu)按照子結(jié)構(gòu)編號(hào)順序進(jìn)行排列獲得周期單元; 步驟2.3、將步驟2.2獲得的周期單元沿一維方向,S卩X軸方向進(jìn)行周期排列,得到一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵; 步驟3、將一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵沿Y軸進(jìn)行排列獲得二維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的通過(guò)二次隨機(jī)函數(shù)設(shè)計(jì)光柵的方法,其特征在于,步驟2獲得的一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵為Q種,Q大于等于1,Q種一維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵沿Y軸排列構(gòu)成Y軸方向光柵周期單元,Y軸方向光柵周期單元沿Y軸周期排列獲得二維無(wú)序子結(jié)構(gòu)長(zhǎng)周期光柵。
【文檔編號(hào)】G02B27/00GK106066501SQ201610542029
【公開日】2016年11月2日
【申請(qǐng)日】2016年7月12日
【發(fā)明人】侯金, 楊春勇, 洪衛(wèi)
【申請(qǐng)人】中南民族大學(xué)