玻璃基板處理裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種玻璃基板處理裝置，該玻璃基板處理裝置包括風(fēng)刀和設(shè)于風(fēng)刀后側(cè)的水滴檢查儀，風(fēng)刀用于將玻璃基板吹凈，水滴檢查儀用于檢測玻璃基板上是否有水滴。本發(fā)明提供的玻璃基板處理裝置可有效地檢測玻璃基板上的水滴情況，以避免后續(xù)的涂布制程中發(fā)生不良。
【專利說明】
玻璃基板處理裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及液晶面板制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種玻璃基板處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)，為平面超薄的顯示設(shè)備，液晶顯示器功耗很低，并且具有高畫質(zhì)、體積小、重量輕的特點，因此倍受大家青睞，成為顯示器的主流。目前液晶顯示器是以薄膜晶體管(Thin Film TransistorJFT)液晶顯示器為主，液晶面板是液晶顯示器的主要組件。
[0003]液晶面板通常由薄膜晶體管陣列基板、彩色濾光基板和液晶層組成。彩色濾光基板的作用是將通過液晶層的白光過濾為不同顏色的光束，各不同顏色的光束重新匯聚形成圖像畫面。
[0004]在制備彩色濾光基板的過程中，玻璃基板的清洗工藝有著重要的影響。現(xiàn)有的清洗工藝中，通常先采用清洗劑(例如去離子水)清洗玻璃基板，然后采用紅外線裝置吹干或自然干燥的方式使玻璃基板干燥。
[0005]請一并參閱圖1和圖2，其中，圖1是現(xiàn)有技術(shù)中采用風(fēng)刀吹凈玻璃基板的示意圖；圖2是玻璃基板上有水滴時涂布后的示意圖。
[0006]如圖1中所示，風(fēng)刀20朝向玻璃基板10表面吹風(fēng)，玻璃基板10向右方移動前進。
[0007]如圖2中所示，當(dāng)玻璃基板10上有水滴11殘留時，在進行涂布作業(yè)后，玻璃基板10上有水滴11的位置無法進行正常涂布，導(dǎo)致仍產(chǎn)品不良。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明提供一種玻璃基板處理裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中因玻璃基板表面有水滴導(dǎo)致產(chǎn)品不良的技術(shù)問題。
[0009]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的一個技術(shù)方案是:提供一種玻璃基板處理裝置，所述玻璃基板處理裝置包括風(fēng)刀和設(shè)于所述風(fēng)刀后側(cè)的水滴檢查儀，所述風(fēng)刀用于將玻璃基板吹凈，所述水滴檢查儀用于檢測所述玻璃基板上是否有水滴。
[0010]根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述水滴檢查儀包括投光器和受光器，所述投光器和所述受光器分別設(shè)于所述玻璃基板的兩側(cè)，所述投光器發(fā)出檢查光經(jīng)所述玻璃基板表面并由所述受光器接受，所述受光器根據(jù)接受的光量判斷所述玻璃基板表面是否有水滴。
[0011]根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述玻璃基板處理裝置還包括剔除機構(gòu)，所述剔除機構(gòu)設(shè)于所述水滴檢查儀后側(cè)，所述受光器判斷所述玻璃基板表面有水滴時，所述剔除機構(gòu)將所述玻璃基板剔除。
[0012]根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述玻璃基板處理裝置還包括傳送帶，所述玻璃基板傳送于所述傳送帶上，所述風(fēng)刀、所述水滴檢查儀以及所述剔除機構(gòu)依次設(shè)置在所述玻璃基板的流向方向上。
[0013]根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述玻璃基板處理裝置還包括涂布裝置，所述涂布裝置設(shè)于所述水滴檢查儀后側(cè)，用于對檢測后的沒有水滴的玻璃基板進行涂布作業(yè)。
[0014]根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述涂布裝置后側(cè)設(shè)有預(yù)烘烤設(shè)備，所述預(yù)烘烤設(shè)備包括:
[0015]熱板，設(shè)有多個通孔，所述熱板用于承載所述玻璃基板并對所述玻璃基板進行加執(zhí).JtW ，
[0016]承托裝置，用于穿過所述多個通孔以舉托所述玻璃基板并將所述玻璃基板下放在所述熱板上；
[0017]補償裝置，用于封閉所述多個通孔以使得所述熱板對所述玻璃基板均勻加熱。
[0018]根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述承托裝置包括底板和垂直設(shè)于所述底板上的多個承托柱，所述承托裝置通過所述多個承托柱穿過所述多個通孔以舉托所述玻璃基板。
[0019]根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述補償裝置包括多個板體和多個垂直于所述板體下的撐桿，所述多個板體與所述多個通孔相適配，所述承托裝置將所述玻璃基板下放于所述熱板上后下降并平移開，所述補償裝置平移至所述通孔下方并上升使得所述多個板體封閉所述多個通孔。
[0020]本發(fā)明的有益效果是:區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本發(fā)明提供的玻璃基板處理裝置可有效地檢測玻璃基板上的水滴情況，以避免后續(xù)的涂布制程中發(fā)生不良。
【附圖說明】
[0021]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖，其中:
[0022]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中采用風(fēng)刀吹凈玻璃基板的示意圖；
[0023]圖2是玻璃基板上有水滴時涂布后的示意圖；
[0024]圖3是本發(fā)明優(yōu)選實施例的檢測玻璃基板上是否有水滴的原理圖；
[0025]圖4是本發(fā)明優(yōu)選實施例的玻璃基板處理裝置的流水線示意圖；
[0026]圖5是本發(fā)明一優(yōu)選實施例提供的預(yù)烘烤設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖6是圖5中所示的預(yù)烘烤設(shè)備的工作過程示意圖；
[0028]圖7是圖5中所示的預(yù)烘烤設(shè)備的工作過程示意圖。
【具體實施方式】
[0029]下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅是本發(fā)明的一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0030]請參閱圖3和圖4，其中，圖3是本發(fā)明優(yōu)選實施例的檢測玻璃基板上是否有水滴的原理圖；圖4是本發(fā)明優(yōu)選實施例的玻璃基板處理裝置的流水線示意圖。
[0031]如圖3和圖4所示，本發(fā)明提供一種玻璃基板處理裝置，該玻璃基板處理裝置包括風(fēng)刀110和設(shè)于風(fēng)刀110后側(cè)的水滴檢查儀120，風(fēng)刀110用于將玻璃基板100吹凈，水滴檢查儀120用于檢測玻璃基板100上是否有水滴。
[0032]具體而言，水滴檢查儀120包括投光器121和受光器122，投光器121和受光器122分別設(shè)于玻璃基板100的兩側(cè)。
[0033]—般可以設(shè)置在玻璃基板100流向方向的左右兩側(cè)，投光器121發(fā)出檢查光經(jīng)玻璃基板100表面并由受光器122接受，受光器122根據(jù)接受的光量判斷玻璃基板100表面是否有水滴。
[0034]如圖3中所示，若玻璃基板100表面沒有水滴，則受光器122可顯示圖3中123所示的滿格狀態(tài)，若玻璃基板100表面有水滴，則受光器122可顯示圖3中124所示的淺格狀態(tài)。當(dāng)然，受光器122還可以以其他方式進行顯示，如數(shù)值顯示、或者檢測到玻璃基板100表面沒有水滴時綠燈顯示、或者玻璃基板100表面有水滴時紅燈顯示等。
[0035]在本發(fā)明實施例，玻璃基板處理裝置還包括剔除機構(gòu)130，剔除機構(gòu)130設(shè)于水滴檢查儀120后側(cè)，受光器122判斷玻璃基板100表面有水滴時，剔除機構(gòu)130將玻璃基板100剔除。剔除機構(gòu)130剔除的表面具有水滴的玻璃基板100可重新進行吹凈使用。
[0036]當(dāng)然，玻璃基板處理裝置也可以不設(shè)置剔除機構(gòu)130，當(dāng)水滴檢查儀120檢測玻璃基板100上有水滴時，該塊玻璃基板100不進行涂布，直接往下流，后續(xù)制程中均跳過對該玻璃基板100的處理。直至最后再回收，重新進行吹凈使用。
[0037]玻璃基板處理裝置還包括傳送帶150，玻璃基板100傳送于傳送帶150上，風(fēng)刀110、水滴檢查儀120以及剔除機構(gòu)130依次設(shè)置在玻璃基板100的流向方向上。
[0038I 玻璃基板處理裝置還包括涂布裝置140，涂布裝置140設(shè)于水滴檢查儀120后側(cè)，用于對檢測后的沒有水滴的玻璃基板100進行涂布作業(yè)。
[0039]請參閱圖5，圖5是本發(fā)明一優(yōu)選實施例提供的預(yù)烘烤設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0040]如圖5所示，本發(fā)明提供一種預(yù)烘烤設(shè)備，該預(yù)烘烤設(shè)備包括熱板200、承托裝置300以及補償裝置400。
[0041 ] 其中，熱板200設(shè)有多個通孔210(見圖6)，熱板200用于承載玻璃基板100并對玻璃基板100進行加熱。該通孔210可以是圓形、三角形、多邊形等形狀。
[0042]承托裝置300用于在熱板200的下方穿過多個通孔210以舉托熱板200上方的玻璃基板100并將玻璃基板100下放在熱板200上。
[0043]補償裝置400位于熱板200的下方，用于封閉熱板200的多個通孔210以使得熱板200對玻璃基板100均勻加熱。
[0044]本發(fā)明提供的預(yù)烘烤設(shè)備由于設(shè)置有可封閉熱板200上的多個通孔210的補償裝置400，使得玻璃基板100受熱均勻，進而使得后續(xù)制程中彩膜顏色均勻。
[0045]具體而言，承托裝置300包括底板310和垂直設(shè)于底板310上的多個承托柱320，承托裝置300通過多個承托柱320穿過多個通孔210以舉托玻璃基板100。
[0046]在本發(fā)明一優(yōu)選實施例中，補償裝置400包括多個板體410和多個垂直于板體410下的撐桿420，多個板體410與多個通孔210相適配。
[0047]請一并參閱圖6和圖7，圖6和圖7是圖5中所示的預(yù)烘烤設(shè)備的工作過程示意圖。
[0048]如圖6所示，承托裝置300將玻璃基板100下放于熱板200上后下降并平移開。
[0049]如圖7所示，補償裝置400平移至通孔210下方并上升使得多個板體410封閉多個通孔 210。
[0050]在本發(fā)明另一優(yōu)選實施例中，補償裝置400可為活動性設(shè)于承托柱320上的活動板，多個承托柱320穿過多個通孔210以舉托玻璃基板100時，活板下降至承托柱320的下側(cè)，承托柱320將玻璃基板100下放于熱板200上時，活動板上升至承托柱320的端部并將通孔210封閉。
[0051]在本發(fā)明優(yōu)選實施例中，底板310上設(shè)有避讓槽(圖未示)，承托柱320與避讓槽干涉裝配。
[0052]此外，預(yù)烘烤設(shè)備還包括升降電機、平移電機及對應(yīng)的傳動機構(gòu)，升降電機用于使得承托裝置300和補償裝置400升降。平移電機用于使得承托裝置300和補償裝置400平移。
[0053]本發(fā)明提供的玻璃基板處理裝置可有效地檢測玻璃基板100上的水滴情況，以避免后續(xù)的涂布制程中發(fā)生不良。
[0054]以上所述僅為本發(fā)明的實施例，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種玻璃基板處理裝置，其特征在于，所述玻璃基板處理裝置包括風(fēng)刀和設(shè)于所述風(fēng)刀后側(cè)的水滴檢查儀，所述風(fēng)刀用于將玻璃基板吹凈，所述水滴檢查儀用于檢測所述玻璃基板上是否有水滴。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板處理裝置，其特征在于，所述水滴檢查儀包括投光器和受光器，所述投光器和所述受光器分別設(shè)于所述玻璃基板的兩側(cè)，所述投光器發(fā)出檢查光經(jīng)所述玻璃基板表面并由所述受光器接受，所述受光器根據(jù)接受的光量判斷所述玻璃基板表面是否有水滴。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的玻璃基板處理裝置，其特征在于，所述玻璃基板處理裝置還包括剔除機構(gòu)，所述剔除機構(gòu)設(shè)于所述水滴檢查儀后側(cè)，所述受光器判斷所述玻璃基板表面有水滴時，所述剔除機構(gòu)將所述玻璃基板剔除。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的玻璃基板處理裝置，其特征在于，所述玻璃基板處理裝置還包括傳送帶，所述玻璃基板傳送于所述傳送帶上，所述風(fēng)刀、所述水滴檢查儀以及所述剔除機構(gòu)依次設(shè)置在所述玻璃基板的流向方向上。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的玻璃基板處理裝置，其特征在于，所述玻璃基板處理裝置還包括涂布裝置，所述涂布裝置設(shè)于所述水滴檢查儀后側(cè)，用于對檢測后的沒有水滴的玻璃基板進行涂布作業(yè)。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的玻璃基板處理裝置，其特征在于，所述涂布裝置后側(cè)設(shè)有預(yù)烘烤設(shè)備，所述預(yù)烘烤設(shè)備包括: 熱板，設(shè)有多個通孔，所述熱板用于承載所述玻璃基板并對所述玻璃基板進行加熱； 承托裝置，用于穿過所述多個通孔以舉托所述玻璃基板并將所述玻璃基板下放在所述熱板上； 補償裝置，用于封閉所述多個通孔以使得所述熱板對所述玻璃基板均勻加熱。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的玻璃基板處理裝置，其特征在于，所述承托裝置包括底板和垂直設(shè)于所述底板上的多個承托柱，所述承托裝置通過所述多個承托柱穿過所述多個通孔以舉托所述玻璃基板。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的玻璃基板處理裝置，其特征在于，所述補償裝置包括多個板體和多個垂直于所述板體下的撐桿，所述多個板體與所述多個通孔相適配，所述承托裝置將所述玻璃基板下放于所述熱板上后下降并平移開，所述補償裝置平移至所述通孔下方并上升使得所述多個板體封閉所述多個通孔。
【文檔編號】G02F1/13GK106094291SQ201610638382
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年8月5日 公開號201610638382.X, CN 106094291 A, CN 106094291A, CN 201610638382, CN-A-106094291, CN106094291 A, CN106094291A, CN201610638382, CN201610638382.X
【發(fā)明人】徐濤
【申請人】武漢華星光電技術(shù)有限公司