一種光掩膜烘烤板架的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種半導體生產(chǎn)設備，特別是涉及一種光掩膜烘烤板架。
【背景技術】
[0002]設計與工藝制造之間的接口是版圖。版圖是一組相互套合的圖形，各層版圖相應于不同的工藝步驟，每一層版圖用不同的圖案來表示。版圖與所采用的制備工藝緊密相關。在計算機及其超大規(guī)模集成電路(Very Large Scale INTEGRATED Circuits，VLSI)設計系統(tǒng)上設計完成的集成電路版圖只是一些圖像和數(shù)據(jù)，當將設計結(jié)果送到工藝線上實驗時，還必須經(jīng)過一個重要的中間環(huán)節(jié)，即制版。
[0003]制版是通過圖形發(fā)生器完成圖形的縮小和重復。在設計完成集成電路的版圖以后，設計者得到的是一組標準的制版數(shù)據(jù)，將這組數(shù)據(jù)傳送給圖形發(fā)生器(一種制版設備)，圖形發(fā)生器(Pattern Generator, PG)根據(jù)數(shù)據(jù)，將設計的版圖結(jié)果分層轉(zhuǎn)移到光掩膜上。制版的目的就是產(chǎn)生一套分層的版圖掩膜，為將來進行圖形轉(zhuǎn)移(即光刻)做準備。
[0004]光掩膜(Photo Mask)包含了整個硅片的芯片圖形特征，其質(zhì)量的高低直接影響著半導體產(chǎn)品的最終性能，因此，在生產(chǎn)過程中，必須保證光刻光掩膜的質(zhì)量。
[0005]隨著新型光刻膠的使用，對曝光后烘烤的溫度均勻性要求很高。在傳統(tǒng)的熱風型烘箱內(nèi)，光掩模烘烤板架一般包括平行于熱風出口的兩根固定軸，光掩膜則由這兩根進行固定，使光掩膜具有圖案的一面面向熱風出口，以便于烘烤。
[0006]然而，這種針對熱風型烘烤箱的烘烤架，在實際的使用過程中，不能完全滿足整塊掩模版的溫度均勻性要求。
[0007]鑒于以上所述，提供一種能有效提高光掩膜溫度均勻性的新型烘烤板架實屬必要。
【實用新型內(nèi)容】
[0008]鑒于以上所述現(xiàn)有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種光掩膜烘烤板架，用于解決現(xiàn)有技術中針對熱風型烘烤箱的烘烤架，在實際的使用過程中，不能滿足整塊掩模板的溫度均勻性要求的問題。
[0009]為實現(xiàn)上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種光掩膜烘烤板架，所述光掩膜烘烤板架包括:
[0010]底座；
[0011]旋轉(zhuǎn)裝置，所述旋轉(zhuǎn)裝置將所述底座固定于烘烤設備底部，并通過所述旋轉(zhuǎn)裝置實現(xiàn)所述底座的旋轉(zhuǎn)；
[0012]支架，至少包括一與所述底座固定連接的傾斜面板；以及
[0013]加熱板，固定于所述支架的傾斜面板上。
[0014]作為本實用新型的光掩膜烘烤板架的一種優(yōu)選方案，所述支架包括支撐板及傾斜面板，且所述支撐板、傾斜面板及底座間形成三角固定結(jié)構(gòu)。
[0015]作為本實用新型的光掩膜烘烤板架的一種優(yōu)選方案，所述旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)角度范圍為30?90度。
[0016]作為本實用新型的光掩膜烘烤板架的一種優(yōu)選方案，所述加熱板兩側(cè)設置有固定件，所述加熱板以夾持的方式固定于所述傾斜面板。
[0017]進一步地，所述固定件上設置有把手，通過該把手實現(xiàn)所述底座的旋轉(zhuǎn)。
[0018]作為本實用新型的光掩膜烘烤板架的一種優(yōu)選方案，所述加熱板的形狀為矩形。
[0019]進一步地，所述加熱板的兩側(cè)設置有凹槽，以便于采用夾具實現(xiàn)光掩膜的放置及取出。
[0020]作為本實用新型的光掩膜烘烤板架的一種優(yōu)選方案，所述加熱板為不銹鋼板。
[0021]如上所述，本實用新型提供一種光掩膜烘烤板架，所述光掩膜烘烤板架包括:底座；旋轉(zhuǎn)裝置，所述旋轉(zhuǎn)裝置將所述底座固定于烘烤設備底部，并通過所述旋轉(zhuǎn)裝置實現(xiàn)所述底座的旋轉(zhuǎn)；支架，至少包括一與所述底座固定連接的傾斜面板；以及加熱板，固定于所述支架的傾斜面板上。本實用新型由于采用了預熱鋼板，保證了掩模版剛放置時的初期溫度，同時保證了在加熱過程中整片掩模版的均勻受熱。另外，本實用新型設計了轉(zhuǎn)動托架，保證了光掩膜裝卸的便利性。
【附圖說明】
[0022]圖1顯示為本實用新型的光掩膜烘烤板架的主視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖2顯示為本實用新型的光掩膜烘烤板架的下視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]元件標號說明
[0025]10底座
[0026]50旋轉(zhuǎn)裝置
[0027]20支架
[0028]201 支撐板
[0029]202 傾斜面板
[0030]30加熱板
[0031]40固定件
[0032]401把手
【具體實施方式】
[0033]以下通過特定的具體實例說明本實用新型的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點與功效。本實用新型還可以通過另外不同的【具體實施方式】加以實施或應用，本說明書中的各項細節(jié)也可以基于不同觀點與應用，在沒有背離本實用新型的精神下進行各種修飾或改變。
[0034]請參閱圖1?圖2。需要說明的是，本實施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本實用新型的基本構(gòu)想，遂圖式中僅顯示與本實用新型中有關的組件而非按照實際實施時的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實際實施時各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復雜。
[0035]如圖1?圖2所示，本實施例提供一種光掩膜烘烤板架，所述光掩膜烘烤板架包括:
[0036]底座10 ；
[0037]旋轉(zhuǎn)裝置50，所述旋轉(zhuǎn)裝置50將所述底座10固定于烘烤設備底部，并通過所述旋轉(zhuǎn)裝置50實現(xiàn)所述底座10的旋轉(zhuǎn)；
[0038]支架20，至少包括一與所述底座10固定連接的傾斜面板202 ;以及
[0039]加熱板30，固定于所述支架20的傾斜面板202上。
[0040]所述底座10可以采用如不銹鋼、陶瓷等耐熱材質(zhì)的剛性材料制成，所述底座10的形狀可以為如十字形、矩形、圓形等形狀，且不限于此處所列舉的幾種示例。
[0041]如圖2所示，所述選裝裝置可以與所述烘烤設備固定連接，也可以直接放置于所述烘烤設備底部，所述選裝裝置的可旋轉(zhuǎn)角度范圍為30?90度。在本實施例中，所述旋轉(zhuǎn)裝置50的旋轉(zhuǎn)角度為45度。
[0042]如圖1所示，所述支架20包括支撐板201及傾斜面板202，且所述支撐板201、傾斜面板202及底座10間形成三角固定結(jié)構(gòu)。所述支架20的材質(zhì)可以采用如不銹鋼板等剛性材料制成，其與地板的連接可以采用焊接或者采用螺絲等連接件進行連接。
[0043]如圖1所示，所述加熱板30兩側(cè)設置有固定件40，所述加熱板30以夾持的方式固定于所述傾斜面板202。作為示例，所述固定件40上設置有把手401，通過該把手401實現(xiàn)所述底座10的旋轉(zhuǎn)。
[0044]作為示例，所述加熱板30為不銹鋼板，所述加熱板30的形狀為矩形。進一步地，所述加熱板30的兩側(cè)設置有凹槽，以便于采用夾具實現(xiàn)光掩膜的放置及取出。所述加熱板30作為預熱鋼板，保證了掩模版剛放置時的初期溫度，同時保證了在加熱過程中整片掩模版的均勻受熱。
[0045]本實施例的光掩膜烘烤板架的使用步驟如下:
[0046]第一步，通過所述把手401和旋轉(zhuǎn)裝置50將所述加熱板30旋轉(zhuǎn)至朝向烘烤箱一面(如與所述烘烤箱一面呈45度角)后，通過專用夾具將光掩膜放置于所述加熱板30上，放置時注意夾具與加熱板30兩側(cè)的凹槽相對應，以便于放置，當然，放置前可以先對所述加熱板30進行預熱，以提高加熱的均勻性；另外，如果先進性了預熱，可以采用如小棍等工具插入所述把手401的孔內(nèi)，再進行旋轉(zhuǎn)，以免燙傷。
[0047]第二步，光掩膜放置完成后，通過所述把手401及選裝裝置將所述加熱板30旋轉(zhuǎn)至朝向烘烤箱的出風口一面，以提高加熱的效率。
[0048]第三步，烘烤完成后，如第一步的操作將所述光掩膜取出。
[0049]可見，本實用新型由于采用了預熱鋼板，保證了掩模版剛放置時的初期溫度，同時保證了在加熱過程中整片掩模版的均勻受熱。另外，本實用新型設計了轉(zhuǎn)動托架，保證了光掩膜裝卸的便利性。
[0050]如上所述，本實用新型提供一種光掩膜烘烤板架，所述光掩膜烘烤板架包括:底座10 ;旋轉(zhuǎn)裝置50，所述旋轉(zhuǎn)裝置50將所述底座10固定于烘烤設備底部，并通過所述旋轉(zhuǎn)裝置50實現(xiàn)所述底座10的旋轉(zhuǎn)；支架20，至少包括一與所述底座10固定連接的傾斜面板202 ;以及加熱板30，固定于所述支架20的傾斜面板202上。本實用新型由于采用了預熱鋼板，保證了掩模版剛放置時的初期溫度，同時保證了在加熱過程中整片掩模版的均勻受熱。另外，本實用新型設計了轉(zhuǎn)動托架，保證了光掩膜裝卸的便利性。所以，本實用新型有效克服了現(xiàn)有技術中的種種缺點而具高度產(chǎn)業(yè)利用價值。
[0051]上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用于限制本實用新型。任何熟悉此技術的人士皆可在不違背本實用新型的精神及范疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術領域中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應由本實用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【主權(quán)項】
1.一種光掩膜烘烤板架，其特征在于，所述光掩膜烘烤板架包括: 底座； 旋轉(zhuǎn)裝置，所述旋轉(zhuǎn)裝置將所述底座固定于烘烤設備底部，并通過所述旋轉(zhuǎn)裝置實現(xiàn)所述底座的旋轉(zhuǎn)； 支架，至少包括一與所述底座固定連接的傾斜面板；以及 加熱板，固定于所述支架的傾斜面板上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掩膜烘烤板架，其特征在于:所述支架包括支撐板及傾斜面板，且所述支撐板、傾斜面板及底座間形成三角固定結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掩膜烘烤板架，其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)角度范圍為30?90度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掩膜烘烤板架，其特征在于:所述加熱板兩側(cè)設置有固定件，所述加熱板以夾持的方式固定于所述傾斜面板。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光掩膜烘烤板架，其特征在于:所述固定件上設置有把手，通過該把手實現(xiàn)所述底座的旋轉(zhuǎn)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掩膜烘烤板架，其特征在于:所述加熱板的形狀為矩形。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光掩膜烘烤板架，其特征在于:所述加熱板的兩側(cè)設置有凹槽，以便于采用夾具實現(xiàn)光掩膜的放置及取出。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掩膜烘烤板架，其特征在于:所述加熱板為不銹鋼板。
【專利摘要】本實用新型提供一種光掩膜烘烤板架，所述光掩膜烘烤板架包括：底座；旋轉(zhuǎn)裝置，所述旋轉(zhuǎn)裝置將所述底座固定于烘烤設備底部，并通過所述旋轉(zhuǎn)裝置實現(xiàn)所述底座的旋轉(zhuǎn)；支架，至少包括一與所述底座固定連接的傾斜面板；以及 加熱板，固定于所述支架的傾斜面板上。本實用新型由于采用了預熱鋼板，保證了掩模版剛放置時的初期溫度，同時保證了在加熱過程中整片掩模版的均勻受熱。另外，本實用新型設計了轉(zhuǎn)動托架，保證了光掩膜裝卸的便利性。
【IPC分類】G03F1-82
【公開號】CN204270008
【申請?zhí)枴緾N201420761811
【發(fā)明人】李勇, 鄭宏
【申請人】上海凸版光掩模有限公司
【公開日】2015年4月15日
【申請日】2014年12月5日