具有智能控制系統(tǒng)的曝光機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及曝光設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及具有智能控制系統(tǒng)的曝光機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]曝光機(jī)即電子束曝光機(jī)是集電子光學(xué)、電氣、機(jī)械、真空、計(jì)算機(jī)技術(shù)等于一體的復(fù)雜的半導(dǎo)體加工設(shè)備。在計(jì)算機(jī)的控制下，利用聚焦電子束對(duì)有機(jī)聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進(jìn)行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域，從而在抗蝕劑上形成精細(xì)圖形。
[0003]通常，曝光機(jī)照度調(diào)節(jié)采用手動(dòng)調(diào)節(jié)的方式。具體調(diào)節(jié)過(guò)程是:測(cè)試曝光照度，根據(jù)測(cè)試結(jié)果調(diào)整光照度不符合要求的區(qū)域?qū)?yīng)的狹縫的寬度，重新測(cè)試曝光照度，如該區(qū)域的曝光照片仍不符合要求，再根據(jù)以上步驟反復(fù)地進(jìn)行調(diào)整和測(cè)試，一般手動(dòng)調(diào)整六次認(rèn)上才能達(dá)到目的。因此，現(xiàn)有技術(shù)的曝光機(jī)在手動(dòng)調(diào)節(jié)程序繁瑣復(fù)雜，難以控制調(diào)節(jié)精度，影響產(chǎn)品質(zhì)量，縮短設(shè)備使用壽命。
[0004]另外，現(xiàn)有技術(shù)的曝光機(jī)的智能化程度不高，在進(jìn)行機(jī)械工作時(shí)，沒(méi)有設(shè)置有效的安全測(cè)控功能，工作臺(tái)與光掩膜板易發(fā)生碰撞，損壞等離子面板和光掩膜板，將會(huì)對(duì)設(shè)備造成嚴(yán)重影響。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型的目的是解決以上缺陷，提供具有智能控制系統(tǒng)的曝光機(jī)，其智能化程度高，提高精度和效率，可減少人工調(diào)整所需的時(shí)間。
[0006]本實(shí)用新型的目的是通過(guò)以下方式實(shí)現(xiàn)的:
[0007]具有智能控制系統(tǒng)的曝光機(jī)，包括機(jī)座，機(jī)座的前端為操作平臺(tái)，機(jī)座的中端為曝光腔室，機(jī)座的后端為冷卻機(jī)構(gòu)，操作平臺(tái)的底部設(shè)有控制電箱，操作平臺(tái)的頂部設(shè)有雙工位臺(tái)框、CCD自動(dòng)對(duì)位裝置和操控面板，CCD自動(dòng)對(duì)位裝置位于雙工位臺(tái)框的上方，雙工位臺(tái)框通過(guò)滑軌交替滑入曝光腔室內(nèi)，曝光腔室的內(nèi)部設(shè)有曝光光源組、位于曝光光源組下方的曝光臺(tái)和散熱裝置，散熱裝置位于曝光光源組的側(cè)面，該散熱裝置與冷卻機(jī)構(gòu)相連。
[0008]所述雙工位臺(tái)框上設(shè)有安全測(cè)控機(jī)構(gòu)和自動(dòng)升降機(jī)構(gòu)，曝光光源組上設(shè)置有照度自動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和曝光能量監(jiān)控機(jī)構(gòu)，安全測(cè)控機(jī)構(gòu)、自動(dòng)升降機(jī)構(gòu)、照度自動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和曝光能量監(jiān)控機(jī)構(gòu)組合構(gòu)成智能控制系統(tǒng)。其中，安全測(cè)控機(jī)構(gòu)包括用于檢測(cè)雙工位臺(tái)框位置的位移傳感器和報(bào)警器，當(dāng)檢測(cè)到雙工位臺(tái)框的位置未到達(dá)預(yù)設(shè)范圍時(shí)報(bào)警器進(jìn)行報(bào)警提醒。自動(dòng)升降機(jī)構(gòu)包括位于雙工位臺(tái)框兩側(cè)的接觸式檢測(cè)探頭、安裝于雙工位臺(tái)框前后兩末端的位置檢測(cè)器和安裝于滑軌上的升降調(diào)整裝置。照度自動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由光敏傳感器、縱向間距調(diào)節(jié)裝置和照度調(diào)節(jié)旋鈕構(gòu)成，縱向間距調(diào)節(jié)裝置位于曝光光源組的兩側(cè)，使曝光光源組能夠縱向微調(diào)，照度調(diào)節(jié)旋鈕包括手動(dòng)微調(diào)旋鈕和分段自動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕。
[0009]上述說(shuō)明中，作為優(yōu)選的方案，所述分段自動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕包括分段控制器和定位傳感器，該定位傳感器與光敏傳感器均與分段控制器連接。
[0010]上述說(shuō)明中，作為優(yōu)選的方案，所述縱向間距調(diào)節(jié)裝置包括驅(qū)動(dòng)器、傳動(dòng)座、螺紋旋桿、縱向氣缸和縱向氣缸臂，傳動(dòng)座與螺紋旋桿傳動(dòng)連接，縱向氣缸固定在傳動(dòng)座上，縱向氣缸臂設(shè)置在縱向氣缸上并與驅(qū)動(dòng)器連接。
[0011 ] 上述說(shuō)明中，作為優(yōu)選的方案，該智能控制系統(tǒng)還包括文件自動(dòng)檢查機(jī)構(gòu)，該文件自動(dòng)檢查機(jī)構(gòu)設(shè)置在控制電箱內(nèi)，其包括文件存儲(chǔ)模塊、信息導(dǎo)出模塊、打印模塊和數(shù)據(jù)處理模塊。
[0012]上述說(shuō)明中，作為優(yōu)選的方案，所述CCD自動(dòng)對(duì)位裝置包括由桿件和板件構(gòu)成支撐架，支撐架內(nèi)設(shè)有平面移動(dòng)平臺(tái)，平面移動(dòng)平臺(tái)上垂直設(shè)有旋轉(zhuǎn)支撐軸，旋轉(zhuǎn)支撐軸上端連接有真空吸附基板，旋轉(zhuǎn)支撐軸連接有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，支撐架上設(shè)有邊緣感測(cè)器，邊緣感測(cè)器設(shè)在真空吸附基板的一側(cè)。
[0013]上述說(shuō)明中，作為優(yōu)選的方案，在支撐架上還設(shè)有調(diào)整滑道，調(diào)整滑道上設(shè)有用于安裝邊緣感測(cè)器的支撐框架，邊緣感測(cè)器與支撐框架連接。
[0014]本實(shí)用新型所產(chǎn)生的有益效果如下:
[0015]I)可根據(jù)控制信息對(duì)照度進(jìn)行調(diào)節(jié)，以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)控，從而簡(jiǎn)化照度調(diào)節(jié)程序，便于實(shí)現(xiàn)對(duì)每個(gè)照度調(diào)節(jié)的單獨(dú)控制，提高了了照度調(diào)節(jié)的精度和效率；
[0016]2)智能控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)有利于提高產(chǎn)品的良品率，同時(shí)減少人為調(diào)節(jié)所需的時(shí)間；
[0017]3)安全測(cè)控機(jī)構(gòu)能夠確保曝光機(jī)在工作時(shí)的出錯(cuò)率，同時(shí)確保出現(xiàn)錯(cuò)誤時(shí)對(duì)產(chǎn)品本身的身我保護(hù)；
[0018]4)通過(guò)曝光能量監(jiān)控機(jī)構(gòu)可時(shí)刻監(jiān)控曝光過(guò)程的所有數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)透切的監(jiān)控過(guò)程，避免出現(xiàn)任何錯(cuò)誤和問(wèn)題，進(jìn)而提高了曝光機(jī)的正確率和工作效率。
【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中智能控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)框架圖；
[0021]圖中，I為操作平臺(tái)，2為曝光腔室，3為冷卻機(jī)構(gòu)，4為控制電箱，5為雙工位臺(tái)框，6為滑軌。
【具體實(shí)施方式】
[0022]下面結(jié)合附圖與【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0023]本實(shí)施例，參照?qǐng)D1和圖2，其具體實(shí)施的曝光機(jī)包括機(jī)座，機(jī)座的前端為操作平臺(tái)1，機(jī)座的中端為曝光腔室2，機(jī)座的后端為冷卻機(jī)構(gòu)3。操作平臺(tái)I的底部設(shè)有控制電箱4，操作平臺(tái)I的頂部設(shè)有雙工位臺(tái)框5、CCD自動(dòng)對(duì)位裝置和操控面板，CCD自動(dòng)對(duì)位裝置位于雙工位臺(tái)框5的上方，雙工位臺(tái)框5通過(guò)滑軌6交替滑入曝光腔室2內(nèi)，曝光腔室2的內(nèi)部設(shè)有曝光光源組、位于曝光光源組下方的曝光臺(tái)和散熱裝置，散熱裝置位于曝光光源組的側(cè)面，該散熱裝置與冷卻機(jī)構(gòu)3相連。
[0024]為了提高本實(shí)用新型的曝光機(jī)的智能控制能力，確保智能化操作，其增設(shè)有由安全測(cè)控機(jī)構(gòu)、自動(dòng)升降機(jī)構(gòu)、照度自動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和曝光能量監(jiān)控機(jī)構(gòu)組合構(gòu)成的智能控制系統(tǒng)。另外，該智能控制系統(tǒng)還包括文件自動(dòng)檢查機(jī)構(gòu)，該文件自動(dòng)檢查機(jī)構(gòu)設(shè)置在控制電箱4內(nèi)，其包括文件存儲(chǔ)模塊、信息導(dǎo)出模塊、打印模塊和數(shù)據(jù)處理模塊。
[0025]其中，雙工位臺(tái)框5上設(shè)有安全測(cè)控機(jī)構(gòu)和自動(dòng)升降機(jī)構(gòu)，曝光光源組上設(shè)置有照度自動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和曝光能量監(jiān)控機(jī)構(gòu)。安全測(cè)控機(jī)構(gòu)包括用于檢測(cè)雙工位臺(tái)框5位置的位移傳感器和報(bào)警器，當(dāng)檢測(cè)到雙工位臺(tái)框5的位置未到達(dá)預(yù)設(shè)范圍時(shí)報(bào)警器進(jìn)行報(bào)警提醒。自動(dòng)升降機(jī)構(gòu)包括位于雙工位臺(tái)框5兩側(cè)的接觸式檢測(cè)探頭、安裝于雙工位臺(tái)框5前后兩末端的位置檢測(cè)器和安裝于滑軌6上的升降調(diào)整裝置。照度自動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由光敏傳感器、縱向間距調(diào)節(jié)裝置和照度調(diào)節(jié)旋鈕構(gòu)成，縱向間距調(diào)節(jié)裝置位于曝光光源組的兩側(cè)，使曝光光源組能夠縱向微調(diào)，照度調(diào)節(jié)旋鈕包括手動(dòng)微調(diào)旋鈕和分段自動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕。分段自動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕包括分段控制器和定位傳感器，該定位傳感器與光敏傳感器均與分段控制器連接。所述縱向間距調(diào)節(jié)裝置包括驅(qū)動(dòng)器、傳動(dòng)座、螺紋旋桿、縱向氣缸和縱向氣缸臂，傳動(dòng)座與螺紋旋桿傳動(dòng)連接，縱向氣缸固定在傳動(dòng)座上，縱向氣缸臂設(shè)置在縱向氣缸上并與驅(qū)動(dòng)器連接。
[0026]以上內(nèi)容是結(jié)合具體的優(yōu)選實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型所作的進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，不能認(rèn)定本實(shí)用新型的具體實(shí)施只局限于這些說(shuō)明。對(duì)于本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干簡(jiǎn)單推演或替換，都應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.具有智能控制系統(tǒng)的曝光機(jī)，包括機(jī)座，機(jī)座的前端為操作平臺(tái)，機(jī)座的中端為曝光腔室，機(jī)座的后端為冷卻機(jī)構(gòu)，操作平臺(tái)的底部設(shè)有控制電箱，操作平臺(tái)的頂部設(shè)有雙工位臺(tái)框、CCD自動(dòng)對(duì)位裝置和操控面板，CCD自動(dòng)對(duì)位裝置位于雙工位臺(tái)框的上方，雙工位臺(tái)框通過(guò)滑軌交替滑入曝光腔室內(nèi)，曝光腔室的內(nèi)部設(shè)有曝光光源組、位于曝光光源組下方的曝光臺(tái)和散熱裝置，散熱裝置位于曝光光源組的側(cè)面，該散熱裝置與冷卻機(jī)構(gòu)相連，其特征在于:所述雙工位臺(tái)框上設(shè)有安全測(cè)控機(jī)構(gòu)和自動(dòng)升降機(jī)構(gòu)，曝光光源組上設(shè)置有照度自動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和曝光能量監(jiān)控機(jī)構(gòu)，安全測(cè)控機(jī)構(gòu)、自動(dòng)升降機(jī)構(gòu)、照度自動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和曝光能量監(jiān)控機(jī)構(gòu)組合構(gòu)成智能控制系統(tǒng)；其中，安全測(cè)控機(jī)構(gòu)包括用于檢測(cè)雙工位臺(tái)框位置的位移傳感器和報(bào)警器，當(dāng)檢測(cè)到雙工位臺(tái)框的位置未到達(dá)預(yù)設(shè)范圍時(shí)報(bào)警器進(jìn)行報(bào)警提醒，自動(dòng)升降機(jī)構(gòu)包括位于雙工位臺(tái)框兩側(cè)的接觸式檢測(cè)探頭、安裝于雙工位臺(tái)框前后兩末端的位置檢測(cè)器和安裝于滑軌上的升降調(diào)整裝置；照度自動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由光敏傳感器、縱向間距調(diào)節(jié)裝置和照度調(diào)節(jié)旋鈕構(gòu)成，縱向間距調(diào)節(jié)裝置位于曝光光源組的兩側(cè)，使曝光光源組能夠縱向微調(diào)，照度調(diào)節(jié)旋鈕包括手動(dòng)微調(diào)旋鈕和分段自動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述具有智能控制系統(tǒng)的曝光機(jī)，其特征在于:所述分段自動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕包括分段控制器和定位傳感器，該定位傳感器與光敏傳感器均與分段控制器連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述具有智能控制系統(tǒng)的曝光機(jī)，其特征在于:所述縱向間距調(diào)節(jié)裝置包括驅(qū)動(dòng)器、傳動(dòng)座、螺紋旋桿、縱向氣缸和縱向氣缸臂，傳動(dòng)座與螺紋旋桿傳動(dòng)連接，縱向氣缸固定在傳動(dòng)座上，縱向氣缸臂設(shè)置在縱向氣缸上并與驅(qū)動(dòng)器連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述具有智能控制系統(tǒng)的曝光機(jī)，其特征在于:該智能控制系統(tǒng)還包括文件自動(dòng)檢查機(jī)構(gòu)，該文件自動(dòng)檢查機(jī)構(gòu)設(shè)置在控制電箱內(nèi)，其包括文件存儲(chǔ)模塊、信息導(dǎo)出模塊、打印模塊和數(shù)據(jù)處理模塊。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述具有智能控制系統(tǒng)的曝光機(jī)，其特征在于:所述CCD自動(dòng)對(duì)位裝置包括由桿件和板件構(gòu)成支撐架，支撐架內(nèi)設(shè)有平面移動(dòng)平臺(tái)，平面移動(dòng)平臺(tái)上垂直設(shè)有旋轉(zhuǎn)支撐軸，旋轉(zhuǎn)支撐軸上端連接有真空吸附基板，旋轉(zhuǎn)支撐軸連接有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，支撐架上設(shè)有邊緣感測(cè)器，邊緣感測(cè)器設(shè)在真空吸附基板的一側(cè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述具有智能控制系統(tǒng)的曝光機(jī)，其特征在于:在支撐架上還設(shè)有調(diào)整滑道，調(diào)整滑道上設(shè)有用于安裝邊緣感測(cè)器的支撐框架，邊緣感測(cè)器與支撐框架連接。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了曝光設(shè)備領(lǐng)域的曝光機(jī)，包括機(jī)座，機(jī)座的前端為操作平臺(tái)，機(jī)座的中端為曝光腔室，機(jī)座的后端為冷卻機(jī)構(gòu)，操作平臺(tái)的頂部設(shè)有雙工位臺(tái)框、CCD自動(dòng)對(duì)位裝置和操控面板，曝光腔室的內(nèi)部設(shè)有曝光光源組、位于曝光光源組下方的曝光臺(tái)和散熱裝置，所述雙工位臺(tái)框上設(shè)有安全測(cè)控機(jī)構(gòu)和自動(dòng)升降機(jī)構(gòu)，曝光光源組上設(shè)置有照度自動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和曝光能量監(jiān)控機(jī)構(gòu)，安全測(cè)控機(jī)構(gòu)、自動(dòng)升降機(jī)構(gòu)、照度自動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和曝光能量監(jiān)控機(jī)構(gòu)組合構(gòu)成智能控制系統(tǒng)。智能控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)有利于提高產(chǎn)品的良品率，同時(shí)減少人為調(diào)節(jié)所需的時(shí)間；同時(shí)確保出現(xiàn)錯(cuò)誤時(shí)對(duì)產(chǎn)品本身的身我保護(hù)；避免出現(xiàn)任何錯(cuò)誤和問(wèn)題，進(jìn)而提高了曝光機(jī)的正確率和工作效率。
【IPC分類】G03F7-20
【公開(kāi)號(hào)】CN204347433
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420807123
【發(fā)明人】袁強(qiáng), 劉長(zhǎng)征
【申請(qǐng)人】東莞市海圣光電科技有限公司
【公開(kāi)日】2015年5月20日
【申請(qǐng)日】2014年12月17日