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      Led平行曝光機的制作方法

      文檔序號:8885819閱讀:541來源:國知局
      Led平行曝光機的制作方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本實用新型屬于曝光機領(lǐng)域,具體涉及LED平行曝光機。
      【背景技術(shù)】
      [0002]一般印刷電路板或半導(dǎo)體芯片在進行曝光顯影制程時,先在被加工物表面上涂上一層光阻,再藉由光源的照射將原稿上的電路布線圖案映像至被加工物表面的光阻層上,以使光阻層的化學(xué)性質(zhì)因光源的照射而產(chǎn)生變化,然后再利用去光阻劑來將被光源照射過的光阻或未經(jīng)曝光的光阻自被加工物表面去除,以形成對應(yīng)于原稿的線路布局,這種設(shè)備稱為曝光機。
      [0003]以前的爆光機采用鹵素?zé)糇鳛闊峁庠?,功率大約20KW,發(fā)熱量大,所以需要另外加設(shè)冷卻機構(gòu)對整個曝光機進行散熱,加大了整個裝置的體積,并且增大了制造成本,不宜進行推廣。
      【實用新型內(nèi)容】
      [0004]本實用新型的目的就在于為了解決上述問題而提供的LED平行曝光機。
      [0005]本實用新型通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)上述目的:
      [0006]LED平行曝光機,包括有曝光源、燈架、底箱、機殼和控制終端,所述機殼內(nèi)部為LED平行曝光機的曝光室;所述底箱上部為LED平行曝光機的曝光平臺;所述曝光平臺上平行設(shè)置有多組托架,托架上為固定有被加工物;多組托架在LED平行曝光機的動力系統(tǒng)的作用下可以交換進出曝光室;所述底箱上部還設(shè)置有曝光源,曝光源的光向上照射。
      [0007]具體地,所述曝光源為LED燈,功率為1KW,LED燈呈矩形排列,30 X 20個,橫縱間距均為2CM。
      [0008]具體地,所述控制終端包括顯示屏、上真空控制裝置、上控溫裝置、下控溫裝置、下真空控制裝置、關(guān)閉按鍵和開啟按鍵,所述顯示屏嵌在所述機殼上,所述上真空控制裝置、所述上控溫裝置和所述開啟按鍵同一豎排設(shè)置,并設(shè)置在所述顯示屏一側(cè),所述下控溫裝置、所述下真空控制裝置和所述關(guān)閉按鍵同一豎排設(shè)置,并與所述上真空控制裝置、所述上控溫裝置和所述開啟按鍵平行設(shè)置。
      [0009]進一步地,所述曝光源外部還設(shè)置有出光罩;相對朝向該曝光平臺移動行程的部位設(shè)有一長條狀的透光槽,另設(shè)有一活動遮光板控制該透光槽開啟與否。
      [0010]更近一步地,所述機殼在相對于曝光室的外圍設(shè)有散熱排風(fēng)口及循環(huán)入風(fēng)口,并且在該循環(huán)入風(fēng)口處設(shè)有濾網(wǎng)。
      [0011]更近一步地,所述機殼內(nèi)具有一組橫向延伸配置于該機臺的曝光室內(nèi)、外區(qū)域的線性滑軌供承載該曝光平臺,設(shè)有一皮帶供與所述曝光平臺連接,以及設(shè)有一用以帶動該皮帶運轉(zhuǎn)的馬達(dá)。
      [0012]更近一步地,所述機殼的下部設(shè)置有4個支腳,可以帶動LED平行曝光機滾動。
      [0013]有益效果在于:本實用新型采用LED燈,功率小,發(fā)熱少,省去了以前必須的冷卻機構(gòu),縮小了產(chǎn)品的體積,減少了成本,此外本裝置可在曝光平臺接受平行光源照射時,有效提升曝光光源組的功率,降低曝光室的聚熱現(xiàn)象;再次整體曝光機尤適合采用連續(xù)循環(huán)輸送的方式,讓曝光平臺依序通過曝光室,然而可藉以提升曝光顯影制作的加工產(chǎn)能。
      【附圖說明】
      [0014]圖1是本實用新型LED平行曝光機的總體結(jié)構(gòu)示意圖。
      [0015]圖中:1、曝光源;2、托架;3、燈架;4、底箱;5、顯示屏;6、上真空控制裝置;7、上控溫裝置;8、下控溫裝置;9、下真空控制裝置;10、關(guān)閉按鍵;11、機殼;12、開啟按鍵;13、支腳。
      【具體實施方式】
      [0016]下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明:
      [0017]如圖1所示,LED平行曝光機,包括有曝光源1、燈架3、底箱4、機殼11和控制終端,機殼11內(nèi)部為LED平行曝光機的曝光室;底箱4上部為LED平行曝光機的曝光平臺;曝光平臺上平行設(shè)置有多組托架2,托架2上為固定有被加工物;多組托架2在LED平行曝光機的動力系統(tǒng)的作用下可以交換進出曝光室;底箱4上部還設(shè)置有曝光源1,曝光源I的光向上照射;曝光源I為LED燈,功率為1KW,LED燈呈矩形排列,30X20個,橫縱間距均為2CM ;控制終端包括顯示屏5、上真空控制裝置6、上控溫裝置7、下控溫裝置8、下真空控制裝置9、關(guān)閉按鍵10和開啟按鍵12,顯示屏5嵌在機殼11上,上真空控制裝置6、上控溫裝置7和開啟按鍵12同一豎排設(shè)置,并設(shè)置在顯示屏5 —側(cè),下控溫裝置8、下真空控制裝置9和關(guān)閉按鍵10同一豎排設(shè)置,并與上真空控制裝置6、上控溫裝置7和開啟按鍵12平行設(shè)置;曝光源I外部還設(shè)置有出光罩;相對朝向該曝光平臺移動行程的部位設(shè)有一長條狀的透光槽,另設(shè)有一活動遮光板控制該透光槽開啟與否;機殼11在相對于曝光室的外圍設(shè)有散熱排風(fēng)口及循環(huán)入風(fēng)口,并且在該循環(huán)入風(fēng)口處設(shè)有濾網(wǎng);機殼11內(nèi)具有一組橫向延伸配置于該機臺的曝光室內(nèi)、外區(qū)域的線性滑軌供承載該曝光平臺,設(shè)有一皮帶供與曝光平臺連接,以及設(shè)有一用以帶動該皮帶運轉(zhuǎn)的馬達(dá);機殼11的下部設(shè)置有4個支腳13,可以帶動LED平行曝光機滾動。
      [0018]以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特征和優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解,本實用新型不受上述實施例的限制,上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理,在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下,本實用新型還會有各種變化和改進,這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其效物界定。
      【主權(quán)項】
      1.LED平行曝光機,其特征在于:包括曝光源、燈架、底箱、機殼和控制終端,所述機殼內(nèi)部為LED平行曝光機的曝光室;所述底箱上部為LED平行曝光機的曝光平臺;所述曝光平臺上平行設(shè)置有多組托架,托架上為固定有被加工物;多組托架在LED平行曝光機的動力系統(tǒng)的作用下可以交換進出曝光室;所述底箱上部還設(shè)置有曝光源,曝光源的光向上照射。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LED平行曝光機,其特征在于:所述曝光源為LED燈,功率為IKff, LED燈呈矩形排列,30 X 20個,橫縱間距均為2CM。
      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LED平行曝光機,其特征在于:所述控制終端包括顯示屏、上真空控制裝置、上控溫裝置、下控溫裝置、下真空控制裝置、關(guān)閉按鍵和開啟按鍵,所述顯示屏嵌在所述機殼上,所述上真空控制裝置、所述上控溫裝置和所述開啟按鍵同一豎排設(shè)置,并設(shè)置在所述顯示屏一側(cè),所述下控溫裝置、所述下真空控制裝置和所述關(guān)閉按鍵同一豎排設(shè)置,并與所述上真空控制裝置、所述上控溫裝置和所述開啟按鍵平行設(shè)置。
      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LED平行曝光機,其特征在于:所述曝光源外部還設(shè)置有出光罩;相對朝向該曝光平臺移動行程的部位設(shè)有一長條狀的透光槽,另設(shè)有一活動遮光板控制該透光槽開啟與否。
      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LED平行曝光機,其特征在于:所述機殼在相對于曝光室的外圍設(shè)有散熱排風(fēng)口及循環(huán)入風(fēng)口,并且在該循環(huán)入風(fēng)口處設(shè)有濾網(wǎng)。
      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LED平行曝光機,其特征在于:所述機殼內(nèi)具有一組橫向延伸配置于該機臺的曝光室內(nèi)、外區(qū)域的線性滑軌供承載該曝光平臺,設(shè)有一皮帶供與所述曝光平臺連接,以及設(shè)有一用以帶動該皮帶運轉(zhuǎn)的馬達(dá)。
      7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LED平行曝光機,其特征在于:所述機殼的下部設(shè)置有4個支腳,可以帶動LED平行曝光機滾動。
      【專利摘要】本實用新型公開了LED平行曝光機,包括有曝光源、燈架、底箱、機殼和控制終端,所述機殼內(nèi)部為LED平行曝光機的曝光室;所述底箱上部為LED平行曝光機的曝光平臺;所述曝光平臺上平行設(shè)置有多組托架,托架上為固定有被加工物;多組托架在LED平行曝光機的動力系統(tǒng)的作用下可以交換進出曝光室;所述底箱上部還設(shè)置有曝光源,曝光源的光向上照射。所述曝光源為LED燈,功率為1KW,LED燈呈矩形排列,60×40個,橫縱間距均為2CM。有益效果在于:本實用新型采用LED燈,功率小,發(fā)熱少,省去了以前必須的冷卻機構(gòu),縮小了產(chǎn)品的體積,減少了成本。
      【IPC分類】G03F7-20
      【公開號】CN204595428
      【申請?zhí)枴緾N201520298703
      【發(fā)明人】王建民
      【申請人】興寧市精維進電子有限公司
      【公開日】2015年8月26日
      【申請日】2015年5月11日
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