光罩異物檢測(cè)設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及黃光制程技術(shù)領(lǐng)域，尤其是指一種光罩異物檢測(cè)設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在顯示行業(yè)的黃光制程，需要用到曝光機(jī)設(shè)備對(duì)已完成光阻涂布的基板進(jìn)行曝光。而為了避免光罩(Mask)表面的異物對(duì)制程造成影響，需要在Mask放置在曝光機(jī)臺(tái)上開始制程前進(jìn)行異物檢測(cè)，一旦檢測(cè)到較大異物后檢測(cè)設(shè)備就會(huì)發(fā)生報(bào)警，需要工程師手動(dòng)將Mask取出并進(jìn)行檢查和清潔。
[0003]圖1是現(xiàn)有的曝光機(jī)內(nèi)的光罩異物檢測(cè)設(shè)備的示意圖，參閱圖1，曝光機(jī)內(nèi)部設(shè)置有五個(gè)光罩盒70，每個(gè)光罩盒70內(nèi)可存放一塊光罩80，通過機(jī)械手臂90將光罩80從相應(yīng)的光罩盒70內(nèi)取出，并送至異物檢測(cè)器91 (PF1D—Particle Pellicle Detect)內(nèi)進(jìn)行異物檢測(cè)。檢測(cè)OK，再通過機(jī)械手臂90將光罩80傳送至曝光機(jī)臺(tái)上，開始制程；檢測(cè)NG，通過機(jī)械手臂90將光罩80送回到光罩盒70內(nèi)，同時(shí)機(jī)臺(tái)報(bào)警，需人員手動(dòng)取出光罩80進(jìn)行清潔。
[0004]但是，完成取出、檢查、清潔動(dòng)作一次至少需要30分鐘，需要人力2人，有時(shí)這樣的取出、檢查、清潔動(dòng)作會(huì)重復(fù)多次。這樣會(huì)嚴(yán)重影響機(jī)臺(tái)稼動(dòng)率及增加相應(yīng)人力成本；同時(shí)有人為損壞Mask的風(fēng)險(xiǎn)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]有鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)中光罩檢測(cè)前表面存在異物，檢測(cè)后需人工取出光罩進(jìn)行清潔，影響機(jī)臺(tái)稼動(dòng)率及增加相應(yīng)人力成本等問題，本實(shí)用新型提供了一種光罩異物檢測(cè)設(shè)備，包括:
[0006]光罩盒，設(shè)置于一曝光機(jī)內(nèi)；
[0007]光罩，存放于所述光罩盒內(nèi)；
[0008]清潔裝置，設(shè)置于所述光罩盒的出口處，用于對(duì)移出所述光罩盒的所述光罩進(jìn)行表面清潔；以及
[0009]異物檢測(cè)器，用于對(duì)經(jīng)過所述清潔裝置清潔后的所述光罩進(jìn)行異物檢測(cè)。
[0010]本實(shí)用新型的光罩異物檢測(cè)設(shè)備，通過在光罩盒的出口處設(shè)置清潔裝置，可以在光罩移出光罩盒的同時(shí)對(duì)光罩的表面進(jìn)行清潔，實(shí)現(xiàn)了在光罩異物檢測(cè)前先進(jìn)行清潔，減少光罩表面的異物，提高了光罩異物檢測(cè)的通過率，從而降低光罩異物檢測(cè)的報(bào)警頻率，提高機(jī)臺(tái)稼動(dòng)率及節(jié)省了人力成本。
[0011]采用本實(shí)用新型的光罩異物檢測(cè)設(shè)備對(duì)光罩進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，在光罩異物檢測(cè)前先進(jìn)行清潔，減少光罩表面的異物，提高了光罩異物檢測(cè)的通過率，從而降低光罩異物檢測(cè)的報(bào)警頻率，提高機(jī)臺(tái)稼動(dòng)率及節(jié)省了人力成本。
[0012]本實(shí)用新型光罩異物檢測(cè)設(shè)備的進(jìn)一步改進(jìn)在于，還包括用于控制所述清潔裝置啟閉的光感傳感器。
[0013]本實(shí)用新型光罩異物檢測(cè)設(shè)備的進(jìn)一步改進(jìn)在于，所述光感傳感器設(shè)置于所述清潔裝置內(nèi)。
[0014]本實(shí)用新型光罩異物檢測(cè)設(shè)備的進(jìn)一步改進(jìn)在于，所述清潔裝置設(shè)置于所述光罩盒的出口處上方。
[0015]本實(shí)用新型光罩異物檢測(cè)設(shè)備的進(jìn)一步改進(jìn)在于，所述清潔裝置為風(fēng)刀。
[0016]本實(shí)用新型光罩異物檢測(cè)設(shè)備的進(jìn)一步改進(jìn)在于，述風(fēng)刀為長(zhǎng)條形風(fēng)刀，其截面呈模形。
[0017]本實(shí)用新型光罩異物檢測(cè)設(shè)備的進(jìn)一步改進(jìn)在于，所述風(fēng)刀設(shè)置成與所述光罩的表面成40°?50°的夾角，更有利于風(fēng)刀將異物吹走。
[0018]本實(shí)用新型光罩異物檢測(cè)設(shè)備的進(jìn)一步改進(jìn)在于，所述風(fēng)刀設(shè)置成與所述光罩的表面成45°的夾角。
[0019]本實(shí)用新型光罩異物檢測(cè)設(shè)備的進(jìn)一步改進(jìn)在于，所述風(fēng)刀的長(zhǎng)度與所述光罩的寬度相對(duì)應(yīng)。
[0020]本實(shí)用新型光罩異物檢測(cè)設(shè)備的進(jìn)一步改進(jìn)在于，還包括用于抓取和移動(dòng)所述光罩的機(jī)械手臂，設(shè)置于所述曝光機(jī)內(nèi)。
【附圖說明】
[0021]圖1是現(xiàn)有的曝光機(jī)內(nèi)的光罩異物檢測(cè)設(shè)備的示意圖。
[0022]圖2是本實(shí)用新型光罩異物檢測(cè)設(shè)備的示意圖。
[0023]圖3是采用本實(shí)用新型光罩異物檢測(cè)設(shè)備的異物檢測(cè)方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0024]為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0025]圖2是本實(shí)用新型光罩異物檢測(cè)設(shè)備的示意圖，參閱圖2，本實(shí)用新型的光罩異物檢測(cè)設(shè)備，包括:
[0026]光罩盒10，設(shè)置于一曝光機(jī)內(nèi)。
[0027]光罩20，存放于光罩盒10內(nèi)。
[0028]機(jī)械手臂30，設(shè)置于曝光機(jī)內(nèi)，用于抓取和移動(dòng)光罩20。
[0029]清潔裝置，設(shè)置于光罩盒10的出口處，用于對(duì)移出光罩盒10的光罩20進(jìn)行表面清潔。優(yōu)選地，清潔裝置40為長(zhǎng)條形風(fēng)刀，其截面呈楔形，所述風(fēng)刀的長(zhǎng)度與光罩20的寬度相對(duì)應(yīng)，所述風(fēng)刀設(shè)置于光罩盒10的出口處上方并設(shè)置成與光罩20的表面成40°?50°的夾角，優(yōu)選地為45°，更有利于將異物吹走。
[0030]光感傳感器，設(shè)置于清潔裝置40內(nèi)，用于控制清潔裝置40的啟閉。當(dāng)光感傳感器感知到光罩20被取出，啟動(dòng)電磁閥(即打開風(fēng)刀的氣閥)，使氣體從風(fēng)刀上端較寬的一端進(jìn)入，從風(fēng)刀下端較窄的一端吹出，開始清潔光罩20的表面。當(dāng)光感傳感器感知到光罩20的取出動(dòng)作結(jié)束后，關(guān)閉電磁閥(即關(guān)閉風(fēng)刀的氣閥)，風(fēng)刀清潔動(dòng)作結(jié)束。
[0031]異物檢測(cè)器50，用于對(duì)經(jīng)過清潔裝置40清潔后的光罩20進(jìn)行異物檢測(cè)。
[0032]本實(shí)用新型的光罩異物檢測(cè)設(shè)備，通過在光罩盒的出口處設(shè)置清潔裝置，可以在光罩移出光罩盒的同時(shí)對(duì)光罩的表面進(jìn)行清潔，實(shí)現(xiàn)了在光罩異物檢測(cè)前先進(jìn)行清潔，減少光罩表面的異物，提高了光罩異物檢測(cè)的通過率，從而降低光罩異物檢測(cè)的報(bào)警頻率，提高機(jī)臺(tái)稼動(dòng)率及節(jié)省了人力成本。
[0033]配合參閱圖3所示，是采用本實(shí)用新型光罩異物檢測(cè)設(shè)備的異物檢測(cè)方法的流程圖，包括以下步驟:
[0034]SI提供光罩盒，將光罩存放于所述光罩盒內(nèi)。
[0035]S2將所述光罩從所述光罩盒中移出，通過設(shè)置于所述光罩盒的出口處的清潔裝置對(duì)所述光罩進(jìn)行表面清潔。優(yōu)選地，所述清潔裝置為長(zhǎng)條形風(fēng)刀，其截面呈楔形，所述風(fēng)刀的長(zhǎng)度與所述光罩的寬度相對(duì)應(yīng)，所述風(fēng)刀設(shè)置于所述光罩盒的出口處上方并設(shè)置成與所述光罩的表面成40°?50°的夾角，優(yōu)選地為45°，更有利于將異物吹走。
[0036]S3將經(jīng)過所述清潔裝置清潔后的所述光罩移送至異物檢測(cè)器，由所述異物檢測(cè)器對(duì)所述光罩進(jìn)行異物檢測(cè)。
[0037]具體地，當(dāng)光罩通過機(jī)械手臂從光罩盒中被移出時(shí)，光感傳感器感知到光罩被取出，啟動(dòng)電磁閥(即打開風(fēng)刀的氣閥)，使氣體從風(fēng)刀上端較寬的一端進(jìn)入，從風(fēng)刀下端較窄的一端吹出，開始清潔光罩的表面。當(dāng)光感傳感器感知到光罩的取出動(dòng)作結(jié)束后，關(guān)閉電磁閥(即關(guān)閉風(fēng)刀的氣閥)，風(fēng)刀清潔動(dòng)作結(jié)束，再通過機(jī)械手臂將清潔完成后的光罩傳送至異物檢測(cè)器進(jìn)行異物檢測(cè)。檢測(cè)OK，將光罩傳送至曝光機(jī)臺(tái)上，開始制程，然后開始進(jìn)行下一組光罩的異物檢測(cè)；檢測(cè)NG，機(jī)臺(tái)報(bào)警后，光罩會(huì)通過機(jī)械手臂自動(dòng)退回到光罩盒內(nèi)，此時(shí)由工程師手動(dòng)取出光罩進(jìn)行人工清潔，清潔后再將光罩重新放回光罩盒中，循環(huán)上述清潔與異物檢測(cè)步驟進(jìn)行第二次的異物檢測(cè)，直到檢測(cè)合格，再將光罩傳送至曝光機(jī)臺(tái)上，開始制程。
[0038]采用本實(shí)用新型光罩異物檢測(cè)設(shè)備的異物檢測(cè)方法，在光罩異物檢測(cè)前先進(jìn)行清潔，減少光罩表面的異物，提高了光罩異物檢測(cè)的通過率，從而降低光罩異物檢測(cè)的報(bào)警頻率，提高機(jī)臺(tái)稼動(dòng)率及節(jié)省了人力成本。
[0039]以上所述僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本實(shí)用新型做任何形式上的限制，雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本實(shí)用新型，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光罩異物檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，包括: 光罩盒，設(shè)置于一曝光機(jī)內(nèi)； 光罩，存放于所述光罩盒內(nèi)； 清潔裝置，設(shè)置于所述光罩盒的出口處，用于對(duì)移出所述光罩盒的所述光罩進(jìn)行表面清潔；以及 異物檢測(cè)器，用于對(duì)經(jīng)過所述清潔裝置清潔后的所述光罩進(jìn)行異物檢測(cè)。2.如權(quán)利要求1所述的光罩異物檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，還包括用于控制所述清潔裝置啟閉的光感傳感器。3.如權(quán)利要求2所述的光罩異物檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述光感傳感器設(shè)置于所述清潔裝置內(nèi)。4.如權(quán)利要求1所述的光罩異物檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述清潔裝置設(shè)置于所述光罩盒的出口處上方。5.如權(quán)利要求1所述的光罩異物檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述清潔裝置為風(fēng)刀。6.如權(quán)利要求5所述的光罩異物檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述風(fēng)刀為長(zhǎng)條形風(fēng)刀，其截面呈楔形。7.如權(quán)利要求6所述的光罩異物檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述風(fēng)刀設(shè)置成與所述光罩的表面成40°?50°的夾角。8.如權(quán)利要求7所述的光罩異物檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述風(fēng)刀設(shè)置成與所述光罩的表面成45°的夾角。9.如權(quán)利要求5所述的光罩異物檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述風(fēng)刀的長(zhǎng)度與所述光罩的寬度相對(duì)應(yīng)。10.如權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的光罩異物檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，還包括用于抓取和移動(dòng)所述光罩的機(jī)械手臂，設(shè)置于所述曝光機(jī)內(nèi)。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種光罩異物檢測(cè)設(shè)備，包括：光罩盒，設(shè)置于一曝光機(jī)內(nèi)；光罩，存放于所述光罩盒內(nèi)；清潔裝置，設(shè)置于所述光罩盒的出口處，用于對(duì)移出所述光罩盒的所述光罩進(jìn)行表面清潔；異物檢測(cè)器，用于對(duì)經(jīng)過所述清潔裝置清潔后的所述光罩進(jìn)行異物檢測(cè)。本實(shí)用新型的光罩異物檢測(cè)設(shè)備，通過在光罩盒的出口處設(shè)置清潔裝置，可以在光罩移出光罩盒的同時(shí)對(duì)光罩的表面進(jìn)行清潔，實(shí)現(xiàn)了在光罩異物檢測(cè)前先進(jìn)行清潔，減少光罩表面的異物，提高了光罩異物檢測(cè)的通過率，從而降低光罩異物檢測(cè)的報(bào)警頻率，提高機(jī)臺(tái)稼動(dòng)率及節(jié)省了人力成本。
【IPC分類】G03F7/20
【公開號(hào)】CN204667040
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520329839
【發(fā)明人】劉剛, 徐勇
【申請(qǐng)人】上海和輝光電有限公司
【公開日】2015年9月23日
【申請(qǐng)日】2015年5月21日