一種電路板曝光機的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及曝光機，特別是一種電路板曝光機。
【背景技術(shù)】
[0002]曝光機是集電子光學(xué)、電氣、機械、真空、計算機技術(shù)等于一體的復(fù)雜的半導(dǎo)體加工設(shè)備，70年代以后廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路制造業(yè)，是在計算機的控制下，利用聚焦電子束對有機聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進行曝光，它常用于半導(dǎo)體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學(xué)，微機電系統(tǒng)，凹凸或覆晶設(shè)備和其他要求精細印制領(lǐng)域。
[0003]在電路板加工過程中，需要對電路板進行曝光，而目前最常用的曝光方式就是采用曝光機曝光，但是現(xiàn)有的曝光機結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜、曝光效率不高和曝光質(zhì)量不高，而且由于曝光室內(nèi)的溫度在光照的作用下，會持續(xù)升溫，曝光燈極易損壞，從而影響電路板的曝光質(zhì)量，增加設(shè)備檢修頻率，影響電路板的曝光效率，從而增加了電路板的制造成本。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點，提供一種效率高、曝光質(zhì)量好和使用壽命長的電路板曝光機。
[0005]本實用新型的目的通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn):一種電路板曝光機，它包括放板臺、曝光室、輸送導(dǎo)軌、曝光平臺和曝光燈，所述的放板臺的臺面與曝光室的入口相對應(yīng)，所述曝光燈安裝在曝光室內(nèi)的曝光平臺下方，所述的輸送導(dǎo)軌為上下平行的兩個導(dǎo)軌，且每個輸送導(dǎo)軌上滑動安裝有一曝光平臺，所述的曝光平臺包括透光平臺座和翻轉(zhuǎn)蓋，所述的翻轉(zhuǎn)蓋可轉(zhuǎn)動打開或合上的安裝在透光平臺座上，所述的翻轉(zhuǎn)蓋內(nèi)設(shè)置有一層擋光膜，所述的曝光室內(nèi)水平設(shè)置有一伸縮氣缸，伸縮氣缸的兩組活塞桿分別與曝光平臺連接，所述的曝光室內(nèi)設(shè)置有一頂升氣缸，頂升氣缸上固定安裝有一燈臺座，曝光燈安裝在燈臺座上方，所述的曝光室內(nèi)安裝有一風(fēng)機，頂升氣缸安裝在風(fēng)機上方，所述的風(fēng)機的上邊緣上連接有一燈光罩，曝光燈位于燈光罩內(nèi)，燈光罩內(nèi)設(shè)置有一溫度傳感器，溫度傳感器與風(fēng)機電性連接。
[0006]所述的曝光室上方設(shè)置有一控制室，控制室的控制元件控制伸縮氣缸與頂升氣缸運動。
[0007]所述的擋光膜為黑色擋光膜。
[0008]本實用新型具有以下優(yōu)點:本實用新型的曝光機，通過伸縮氣缸實現(xiàn)曝光平臺的交替曝光，提高了曝光機的工作效率；通過頂升氣缸控制曝光燈的距離，使曝光平臺始終處于最佳曝光位置，提高了電路板的曝光質(zhì)量；曝光平臺山的翻轉(zhuǎn)蓋上設(shè)置有一黑色擋光膜，避免了漏光現(xiàn)象，進一步地提高了電路板的曝光質(zhì)量；設(shè)置有燈光罩，燈光罩將曝光燈的光源進行反射，放射后的光源形成平行光對電路板的曝光面進行曝光，燈光罩降低了光源的流失，在相同曝光強度下，可以降低曝光燈數(shù)量，節(jié)約能耗；設(shè)置有風(fēng)機和溫度傳感器，可隨時監(jiān)測曝光室內(nèi)溫度，風(fēng)機工作，可降低曝光室內(nèi)的溫度，避免曝光燈長期處于高溫狀態(tài)下，從而延長了曝光燈的使用壽命。
【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖2為本實用新型的剖視示意圖；
[0011]圖3為曝光平臺張開示意圖；
[0012]圖4為翻轉(zhuǎn)蓋俯視示意圖；
[0013]圖中，1-放板臺，2-曝光室，3-控制室，4-曝光平臺，5-輸送導(dǎo)軌，6_伸縮氣缸，7-頂升氣缸，8-燈臺座，9-翻轉(zhuǎn)蓋，10-透光平臺座，11-擋光膜，12-曝光燈，13-風(fēng)機，14-燈光罩，15-溫度傳感器，16-柵格板。
【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖對本實用新型做進一步的描述，本實用新型的保護范圍不局限于以下所述:
[0015]如圖1和圖2所示，一種電路板曝光機，它包括放板臺1、曝光室2、輸送導(dǎo)軌5、曝光平臺4和曝光燈12，所述的放板臺I的臺面與曝光室2的入口相對應(yīng)，所述曝光燈12安裝在曝光室2內(nèi)的曝光平臺4下方，所述的輸送導(dǎo)軌5為上下平行的兩個導(dǎo)軌，且每個輸送導(dǎo)軌5上滑動安裝有一曝光平臺4，如圖3所示，所述的曝光平臺4包括透光平臺座10和翻轉(zhuǎn)蓋9，所述的翻轉(zhuǎn)蓋9可轉(zhuǎn)動打開或合上的安裝在透光平臺座10上，本實用新型為了保證翻轉(zhuǎn)蓋9不產(chǎn)生漏光現(xiàn)象，如圖4所示，所述的翻轉(zhuǎn)蓋9內(nèi)設(shè)置有一層擋光膜11，為進一步地保證翻轉(zhuǎn)蓋9不漏光，擋光膜11選用黑色擋光膜，所述的曝光室2內(nèi)水平設(shè)置有一伸縮氣缸6，伸縮氣缸6的兩組活塞桿分別與曝光平臺4連接，本實施例中，當(dāng)伸縮氣缸6的一組活塞桿伸展時，另一組活塞桿就收縮，且同時停止工作。所述的曝光室2內(nèi)設(shè)置有一頂升氣缸7，頂升氣缸7上固定安裝有一燈臺座8，曝光燈12安裝在燈臺座8上方，頂升氣缸7可控制曝光燈到曝光平臺的距離，使電路板處于最佳曝光位置，所述的曝光室2內(nèi)安裝有一風(fēng)機13，頂升氣缸7安裝在風(fēng)機13上方，所述的風(fēng)機13的上邊緣上連接有一燈光罩14，曝光燈12位于燈光罩14內(nèi)，燈光罩14內(nèi)設(shè)置有一溫度傳感器15，溫度傳感器15與風(fēng)機13電性連接，當(dāng)溫度傳感器15檢測到燈光罩14內(nèi)的溫度過高時，則將信號傳遞給風(fēng)機13，風(fēng)機13工作，加速曝光室2內(nèi)空氣與外界空氣的交換，從而降低曝光室2的溫度，避免了曝光燈12長期處于高溫狀態(tài)下，延長了曝光燈12的使用壽命，所述的曝光室2的側(cè)壁上開設(shè)有柵格板16，柵格板16上端的水平高度低于燈光罩14上端的水平高度，柵格板16主要用于內(nèi)外空氣交換的通道，其上端的水平高度低于燈光罩14上端的水平高度，主要是避免漏光，影響曝光效率。
[0016]本實用新型為了提高曝光機的自動化，所述的曝光室2上方設(shè)置有一控制室3，控制室3的控制元件控制伸縮氣缸6與頂升氣缸7運動。
[0017]本實用新型的工作過程如下:操作人員手動打開曝光平臺4，將電路板放置在透光平臺座10的固定區(qū)域內(nèi)，然后合上曝光平臺4，點動啟動按鈕，控制器3控制伸縮氣缸6運動，當(dāng)伸縮氣缸6的一組活塞桿伸展時，另一組活塞桿就收縮，這樣就實現(xiàn)電路板的交替曝光，提高了工作效率。當(dāng)下層曝光平臺4移動到曝光位置后，控制器3打開曝光燈12，此時曝光平臺4與曝光燈12之間的距離為最佳位置，此距離為人工調(diào)節(jié)，并將此曝光燈12的位置為原始位置，當(dāng)上層曝光平臺4位于曝光燈12上方時，控制器3控制頂升氣缸7運動，并使曝光燈12向上，移動的距離為兩個平行導(dǎo)軌之間的中心距離，當(dāng)曝光好電路板的曝光平臺4移動到放板臺I上時，操作人員打開曝光平臺，取出電路板，并將新的電路板放入曝光平臺內(nèi)，當(dāng)溫度傳感器15檢測到燈光罩14內(nèi)的溫度過高時，則將信號傳遞給風(fēng)機13，風(fēng)機13工作，加速曝光室2內(nèi)空氣與外界空氣的交換，從而降低曝光室2的溫度，避免了曝光燈12長期處于高溫狀態(tài)下，延長了曝光燈12的使用壽命。
【主權(quán)項】
1.一種電路板曝光機，它包括放板臺(I)、曝光室(2)、輸送導(dǎo)軌(5)、曝光平臺(4)和曝光燈(12)，所述的放板臺(I)的臺面與曝光室(2)的入口相對應(yīng)，所述曝光燈(12)安裝在曝光室(2)內(nèi)的曝光平臺(4)下方，其特征在于:所述的輸送導(dǎo)軌(5)為上下平行的兩個導(dǎo)軌，且每個輸送導(dǎo)軌(5)上滑動安裝有一曝光平臺(4)，所述的曝光平臺(4)包括透光平臺座(10 )和翻轉(zhuǎn)蓋(9 )，所述的翻轉(zhuǎn)蓋(9 )可轉(zhuǎn)動打開或合上的安裝在透光平臺座(10 )上，所述的翻轉(zhuǎn)蓋(9)內(nèi)設(shè)置有一層擋光膜(11)，所述的曝光室(2)內(nèi)水平設(shè)置有一伸縮氣缸(6)，伸縮氣缸(6)的兩組活塞桿分別與曝光平臺(4)連接，所述的曝光室(2)內(nèi)設(shè)置有一頂升氣缸(7 )，頂升氣缸(7 )上固定安裝有一燈臺座(8 )，曝光燈(12)安裝在燈臺座(8 )上方，所述的曝光室(2)內(nèi)安裝有一風(fēng)機(13)，頂升氣缸(7)安裝在風(fēng)機(13)上方，所述的風(fēng)機(13)的上邊緣上連接有一燈光罩(14)，曝光燈(12)位于燈光罩(14)內(nèi)，燈光罩(14)內(nèi)設(shè)置有一溫度傳感器(15 )，溫度傳感器(15 )與風(fēng)機(13 )電性連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電路板曝光機，其特征在于:所述的曝光室(2)上方設(shè)置有一控制室(3)，控制室(3)的控制元件控制伸縮氣缸(6)與頂升氣缸(7)運動。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電路板曝光機，其特征在于:所述的擋光膜(11)為黑色擋光膜。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電路板曝光機，其特征在于:所述的曝光室(2)的側(cè)壁上開設(shè)有柵格板(16)，柵格板(16)上端的水平高度低于燈光罩(14)上端的水平高度。
【專利摘要】本實用新型公開了一種電路板曝光機，它包括放板臺（1）、曝光室（2）、輸送導(dǎo)軌（5）、曝光平臺（4）和曝光燈（12），放板臺（1）的臺面與曝光室（2）的入口相對應(yīng)，輸送導(dǎo)軌（5）為上下平行的兩個導(dǎo)軌，輸送導(dǎo)軌（5）上滑動安裝曝光平臺（4），曝光平臺（4）包括透光平臺座（10）和翻轉(zhuǎn)蓋（9），翻轉(zhuǎn)蓋（9）內(nèi)設(shè)置有擋光膜（11），曝光室（2）內(nèi)設(shè)置有伸縮氣缸（6），伸縮氣缸（6）的兩組活塞桿分別與曝光平臺（4）連接，曝光室（2）內(nèi)設(shè)置有頂升氣缸（7），頂升氣缸（7）上安裝有燈臺座（8），曝光燈（12）安裝在燈臺座（8）上方。本實用新型的有益效果是：它具有結(jié)構(gòu)簡單、曝光效率高和曝光質(zhì)量好的優(yōu)點。
【IPC分類】G03F7/20
【公開號】CN204740422
【申請?zhí)枴緾N201520360226
【發(fā)明人】陳勝燕, 莫軍
【申請人】遂寧威士凱科技有限公司
【公開日】2015年11月4日
【申請日】2015年5月29日