一種具有背面對(duì)準(zhǔn)功能的無掩膜直寫光刻機(jī)吸盤結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及無掩膜直寫光刻機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體來說是一種具有背面對(duì)準(zhǔn)功能的無掩膜直寫光刻機(jī)吸盤結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]吸盤是無掩膜直寫光刻設(shè)備的重要組成部分，在工作過程中，吸盤通過真空吸附將需要刻蝕的基板緊緊貼合在工作臺(tái)面，保證在刻蝕過程中基板的平整度，實(shí)現(xiàn)背面對(duì)準(zhǔn)的圖像采集，清晰采集基底背面的參考標(biāo)記，并將采集到的圖像傳送到圖像接收系統(tǒng)中。背面對(duì)準(zhǔn)主要是通過轉(zhuǎn)像裝置觀察基底(基板)上的參考標(biāo)記，并通過轉(zhuǎn)像裝置的物像關(guān)系計(jì)算出真實(shí)基底的工作平臺(tái)坐標(biāo)，然后通過基底-工作平臺(tái)坐標(biāo)轉(zhuǎn)換關(guān)系，將基底上的坐標(biāo)點(diǎn)對(duì)映到工作平臺(tái)坐標(biāo)上來。
[0003]雖然在半導(dǎo)體光刻設(shè)備中，也有多種背面對(duì)準(zhǔn)方式，其中所采用的光機(jī)結(jié)構(gòu)也不盡相同，其均需要外加光源和圖像接收系統(tǒng)，存在占用過多空間、結(jié)構(gòu)復(fù)雜、操作復(fù)雜度高的缺點(diǎn)。如何簡(jiǎn)化基底的對(duì)準(zhǔn)方式已經(jīng)成為急需解決的技術(shù)問題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中結(jié)構(gòu)復(fù)雜、操作復(fù)雜度高的缺陷，提供一種具有背面對(duì)準(zhǔn)功能的無掩膜直寫光刻機(jī)吸盤結(jié)構(gòu)來解決上述問題。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0006]一種具有背面對(duì)準(zhǔn)功能的無掩膜直寫光刻機(jī)吸盤結(jié)構(gòu)，包括上吸盤和下吸盤，上吸盤和下吸盤兩者固定安裝，基板吸附在上吸盤的正面上，
[0007]所述的上吸盤的背面開設(shè)有左安裝槽和右安裝槽，左安裝槽和右安裝槽兩者位于上吸盤的同一條直徑上且兩者呈鏡像對(duì)應(yīng)，左圖像采集組件安裝在左安裝槽內(nèi)，右圖像采集組件安裝在右安裝槽內(nèi)，左圖像采集組件和右圖像采集組件兩者結(jié)構(gòu)相同；
[0008]上吸盤上分別設(shè)有通光孔A、通光孔B、通光孔C和通光孔D，通光孔A和通光孔B分別位于左圖像采集組件的兩個(gè)反射棱鏡的上方，通光孔C和通光孔D分別位于右圖像采集組件的兩個(gè)反射棱鏡的上方，通光孔B和通光孔C分別與基板的兩個(gè)參考標(biāo)記相對(duì)應(yīng)，通光孔A和通光孔D均位于基板的外圍。
[0009]所述的左圖像采集組件包括基座，基座安裝在左安裝槽內(nèi)，基座上依次安裝有反射棱鏡A、光學(xué)成像通道和反射棱鏡B，反射棱鏡A、光學(xué)成像通道和反射棱鏡B三者在同一條直線上，反射棱鏡A和反射棱鏡B兩者呈鏡像對(duì)應(yīng)。
[0010]所述的上吸盤上設(shè)有開口槽。
[0011]所述的上吸盤和下吸盤均覆有黑色氧化膜。
[0012]有益效果
[0013]本實(shí)用新型的一種具有背面對(duì)準(zhǔn)功能的無掩膜直寫光刻機(jī)吸盤結(jié)構(gòu)，與現(xiàn)有技術(shù)相比能夠適用于背面對(duì)準(zhǔn)的圖像采集，且吸盤體可直接置于工作平臺(tái)上工作。通過圖像采集裝置內(nèi)置于吸盤體中的設(shè)計(jì)，成像系統(tǒng)設(shè)計(jì)波段包含了無掩膜直寫光刻設(shè)備自身照明系統(tǒng)輻射源波段，這樣無需外加光源、無需外加圖像接收系統(tǒng)，直接利用直寫光刻機(jī)本身光源、圖像接收系統(tǒng)接收背面對(duì)準(zhǔn)所采集的圖像，降低了背面對(duì)準(zhǔn)的操作復(fù)雜性和成本。并可根據(jù)不同需求合理更改吸盤體及光機(jī)件尺寸，用于實(shí)現(xiàn)背面對(duì)準(zhǔn)圖像的清晰準(zhǔn)確采集，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)合理、布局巧妙的特點(diǎn)。
【附圖說明】
[0014]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)立體圖；
[0015]圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)正視圖；
[0016]圖3為本實(shí)用新型中上吸盤背面的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖4為本實(shí)用新型中下吸盤的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖5為本實(shí)用新型中左圖像采集組件的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖6為本實(shí)用新型的工作原理示意圖；
[0020]其中，1-上吸盤、2-下吸盤、4-參考標(biāo)記、5-吸盤體、6-氣道、7_抽氣孔、8_聯(lián)通孔、9-定位孔、10-吸氣孔、11-開口槽、14-反射棱鏡B、15-通光孔E、16-光學(xué)成像通道、17-通光孔F、18-反射棱鏡A、19-娃板定位反射鏡、20-參考標(biāo)記的反射成像、21-投影系統(tǒng)、22-基板、24-左安裝槽、25-右安裝槽、26-左圖像采集組件、27-右圖像采集組件、28-基座、31-通光孔A、32-通光孔B、33-通光孔C、34_通光孔D。
【具體實(shí)施方式】
[0021]為使對(duì)本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)特征及所達(dá)成的功效有更進(jìn)一步的了解與認(rèn)識(shí)，用以較佳的實(shí)施例及附圖配合詳細(xì)的說明，說明如下:
[0022]如圖1所示，本實(shí)用新型所述的一種具有背面對(duì)準(zhǔn)功能的無掩膜直寫光刻機(jī)吸盤結(jié)構(gòu)，包括上吸盤1和下吸盤2，上吸盤1的結(jié)構(gòu)如圖3所示，下吸盤2的結(jié)構(gòu)如圖4所示，上吸盤1和下吸盤2兩者固定安裝，組成在一起形成吸盤體5。如圖2和圖3所示，吸盤體5內(nèi)按現(xiàn)有技術(shù)方式設(shè)有正常抽真空工作所需的氣道6、抽氣孔7、聯(lián)通孔8、基板22定位所需的定位孔9、吸氣孔10，基板22吸附在吸盤體5上，即上吸盤1的正面上。為了方便基板22在吸盤體5上的拿取，在上吸盤1上還設(shè)有開口槽11。為了保證圖像對(duì)比度，還可以將上吸盤1和下吸盤2進(jìn)行發(fā)黑處理，即均覆有黑色氧化膜。
[0023]如圖3所示，上吸盤1的背面開設(shè)有左安裝槽24和右安裝槽25，左安裝槽24和右安裝槽25用于和左圖像采集組件26和右圖像采集組件27的基座安裝，可以將左安裝槽24和右安裝槽25設(shè)計(jì)為凹形結(jié)構(gòu)，基座直接插在左安裝槽24或右安裝槽25的凹形結(jié)構(gòu)內(nèi)。左安裝槽24和右安裝槽25兩者位于上吸盤1的同一條直徑上且兩者呈鏡像對(duì)應(yīng)，由于上吸盤1的背面的氣道6設(shè)計(jì)，左安裝槽24和右安裝槽25兩者安裝在兩條氣道6的之間。左圖像采集組件26安裝在左安裝槽24內(nèi)，右圖像采集組件27安裝在右安裝槽25內(nèi)，左圖像采集組件26和右圖像采集組件27兩者結(jié)構(gòu)相同。如圖5所示，左圖像采集組件26包括基座28，基座28安裝在左安裝槽24內(nèi)，同理，右圖像采集組件27也通過其自身的基座安裝在右安裝槽25內(nèi)?；?8上依次安裝有反射棱鏡A18、光學(xué)成像通道16和反射棱鏡B14，反射棱鏡A18、光學(xué)成像通道16和反射棱鏡B14三者在同一條直線上，反射棱鏡A18和反射棱鏡B14兩者呈鏡像對(duì)應(yīng)，光學(xué)成像通道16即光學(xué)成像系統(tǒng)，其上設(shè)有通光孔E15和通光孔F17。
[0024]上吸盤1上分別設(shè)有通光孔A31、通光孔B32、通光孔C33和通光孔D34，用于左圖像采集組件26和右圖像采集組件27的四個(gè)反射棱鏡使用。通光孔A31和通光孔B32分別位于左圖像采集組件26的兩個(gè)反射棱鏡的上方，即通光孔A31位于反射棱鏡B14上方，通光孔B32位于反射棱鏡A18上方，同理，通光孔C33和通光孔D34分別位于右圖像采集組件27的兩個(gè)反射棱鏡的上方。通光孔B32和通光孔C33分別與基板22的兩個(gè)參考標(biāo)記4相對(duì)應(yīng)，即與基板22上的兩個(gè)硅板定位反射鏡19相對(duì)應(yīng)。通光孔A31和通光孔D34均位于基板22的外圍，用于和投影系統(tǒng)21相對(duì)應(yīng)。
[0025]實(shí)際使用時(shí)，如圖6所示，基板22吸附在上吸盤1上，投影系統(tǒng)21發(fā)出光線，穿過通光孔A31，進(jìn)入到左圖像采集組件26的反射棱鏡B14上，通過反射棱鏡B14進(jìn)行90°轉(zhuǎn)折，轉(zhuǎn)折后的光線經(jīng)過通光孔E15進(jìn)入到內(nèi)部的光學(xué)成像通道16再經(jīng)通光孔F17出射到反射棱鏡A18上，光線經(jīng)反射棱鏡A18再發(fā)生90°轉(zhuǎn)折經(jīng)過通光孔B32最終到達(dá)基板22的娃板定位反射鏡19處。娃板定位反射鏡19上設(shè)有參考標(biāo)記4，娃板定位反射鏡19本身具有光線反射功能。光線經(jīng)硅板定位反射鏡19反射回來，在此參考硅板定位反射鏡19的參考標(biāo)記4為光學(xué)系統(tǒng)的物面。經(jīng)基板22的硅板定位反射鏡19的反射光再通過反射棱鏡A18、通光孔F17、光學(xué)成像通道16、通光孔E15和反射棱鏡B14后產(chǎn)生參考標(biāo)記的反射成像20，參考標(biāo)記的反射成像20即為娃板定位反射鏡19的參考標(biāo)記4的像面。參考標(biāo)記的反射成像20再通過通光孔A31返回到投影系統(tǒng)21上，光路再經(jīng)折轉(zhuǎn)最后由光刻系統(tǒng)自身的圖像接收系統(tǒng)接收，實(shí)現(xiàn)背面對(duì)準(zhǔn)圖像的準(zhǔn)確采集。
[0026]以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理、主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型的范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求的保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等同物界定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種具有背面對(duì)準(zhǔn)功能的無掩膜直寫光刻機(jī)吸盤結(jié)構(gòu)，包括上吸盤(1)和下吸盤(2)，上吸盤(1)和下吸盤(2)兩者固定安裝，基板(22)吸附在上吸盤(1)的正面上，其特征在于: 所述的上吸盤(1)的背面開設(shè)有左安裝槽(24)和右安裝槽(25)，左安裝槽(24)和右安裝槽(25 )兩者位于上吸盤(1)的同一條直徑上且兩者呈鏡像對(duì)應(yīng)，左圖像采集組件(26 )安裝在左安裝槽(24)內(nèi)，右圖像采集組件(27 )安裝在右安裝槽(25 )內(nèi)，左圖像采集組件(26 )和右圖像采集組件(27)兩者結(jié)構(gòu)相同； 上吸盤(1)上分別設(shè)有通光孔A (31)、通光孔8 (32)、通光孔0 (33)和通光孔D (34)，通光孔A (31)和通光孔B (32)分別位于左圖像采集組件(26)的兩個(gè)反射棱鏡的上方，通光孔C (33)和通光孔D (34)分別位于右圖像采集組件(27)的兩個(gè)反射棱鏡的上方，通光孔B (32)和通光孔C (33)分別與基板(22)的兩個(gè)參考標(biāo)記(4)相對(duì)應(yīng)，通光孔A (31)和通光孔D (34)均位于基板(22)的外圍。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有背面對(duì)準(zhǔn)功能的無掩膜直寫光刻機(jī)吸盤結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的左圖像采集組件(26)包括基座(28)，基座(28)安裝在左安裝槽(24)內(nèi)，基座(28)上依次安裝有反射棱鏡A (18)、光學(xué)成像通道(16)和反射棱鏡B (14)，反射棱鏡A(18)、光學(xué)成像通道(16)和反射棱鏡B (14)三者在同一條直線上，反射棱鏡A (18)和反射棱鏡B (14)兩者呈鏡像對(duì)應(yīng)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有背面對(duì)準(zhǔn)功能的無掩膜直寫光刻機(jī)吸盤結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的上吸盤(1)上設(shè)有開口槽(11)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有背面對(duì)準(zhǔn)功能的無掩膜直寫光刻機(jī)吸盤結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的上吸盤(1)和下吸盤(2)均覆有黑色氧化膜。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種具有背面對(duì)準(zhǔn)功能的無掩膜直寫光刻機(jī)吸盤結(jié)構(gòu)，與現(xiàn)有技術(shù)相比解決了結(jié)構(gòu)復(fù)雜、操作復(fù)雜度高的缺陷。本實(shí)用新型中上吸盤的背面開設(shè)有左安裝槽和右安裝槽，右圖像采集組件安裝在右安裝槽內(nèi)，左圖像采集組件和右圖像采集組件兩者結(jié)構(gòu)相同；上吸盤上分別設(shè)有通光孔A、通光孔B、通光孔C和通光孔D，通光孔A和通光孔B分別位于左圖像采集組件的兩個(gè)反射棱鏡的上方，通光孔C和通光孔D分別位于右圖像采集組件的兩個(gè)反射棱鏡的上方，通光孔B和通光孔C分別與基板的兩個(gè)參考標(biāo)記相對(duì)應(yīng)，通光孔A和通光孔D均位于基板的外圍。本實(shí)用新型能夠適用于背面對(duì)準(zhǔn)的圖像采集，且吸盤體可直接置于工作平臺(tái)上工作。
【IPC分類】G03F7/20
【公開號(hào)】CN204989749
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520764902
【發(fā)明人】曹常瑜
【申請(qǐng)人】合肥芯碁微電子裝備有限公司
【公開日】2016年1月20日
【申請(qǐng)日】2015年9月30日