一種用于無掩膜光刻直寫系統(tǒng)的調(diào)焦裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及光學技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種用于無掩膜光刻直寫系統(tǒng)的調(diào)焦裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在無掩膜光刻直寫系統(tǒng)中，光刻物鏡的焦面調(diào)節(jié)直接影響著光刻產(chǎn)品的質(zhì)量。分辨率較高的光刻物鏡焦深較小，而印刷線路板的板厚差別通常遠遠超出焦深范圍。目前無掩膜光刻直寫系統(tǒng)中的調(diào)焦裝置大多只在小范圍內(nèi)實現(xiàn)調(diào)焦功能，在板厚差距較大時選用不同墊板調(diào)整焦面，這樣在生產(chǎn)中對于不同規(guī)格板厚的印刷線路板要多次更換墊板，降低了產(chǎn)能，直接影響生產(chǎn)效益。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的在于提供一種用于無掩膜光刻直寫系統(tǒng)的調(diào)焦裝置，在選用厚度差別較大的承印材料時無需更換墊板，實現(xiàn)無掩膜光刻直寫系統(tǒng)的大范圍連續(xù)調(diào)焦。
[0004]本實用新型的技術(shù)方案為:
[0005]一種用于無掩膜光刻直寫系統(tǒng)的調(diào)焦裝置，該裝置包括設(shè)置在光刻物鏡與承印材料之間的連續(xù)調(diào)焦組和固定調(diào)焦組，所述連續(xù)調(diào)焦組包括第一直線驅(qū)動電機、第一直角楔形棱鏡和第二直角楔形棱鏡，所述固定調(diào)焦組包括第二直線驅(qū)動電機和臺階棱鏡；
[0006]所述第一直角楔形棱鏡和第二直角楔形棱鏡的斜面貼合在一起，兩者倒置配合構(gòu)成一個平行平板；所述臺階棱鏡的上表面為平面，下表面為由若干平行于上表面的平面連接而成的階梯面，使得所述臺階棱鏡的厚度呈階梯變化；
[0007]所述第一直線驅(qū)動電機，用于帶動所述第一直角楔形棱鏡和第二直角楔形棱鏡中的至少一個沿兩者的斜面方向運動，改變曝光光軸方向上所述平行平板的厚度進而改變光程進行連續(xù)調(diào)焦；
[0008]所述第二直線驅(qū)動電機，用于帶動所述臺階棱鏡運動到一定位置，調(diào)整曝光光軸方向上所述臺階棱鏡的厚度區(qū)域進而改變光程進行固定調(diào)焦。
[0009]所述的用于無掩膜光刻直寫系統(tǒng)的調(diào)焦裝置，所述平行平板和臺階棱鏡的上表面均垂直于曝光光軸。
[0010]所述的用于無掩膜光刻直寫系統(tǒng)的調(diào)焦裝置，所述第一直角楔形棱鏡和第二直角楔形棱鏡的楔角相等。
[0011]所述的用于無掩膜光刻直寫系統(tǒng)的調(diào)焦裝置，所述臺階棱鏡的相鄰厚度區(qū)域的厚度差相等。
[0012]由上述技術(shù)方案可知，本實用新型綜合連續(xù)調(diào)焦組與固定調(diào)焦組的特點，將兩者混合使用，可以實現(xiàn)大范圍內(nèi)的連續(xù)調(diào)焦，設(shè)計合理，方便快捷，易于實現(xiàn)，可以大大提高生產(chǎn)效率。
【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型的裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2是本實用新型的兩個楔形棱鏡結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖3是本實用新型的臺階棱鏡結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖和具體實施例進一步說明本實用新型。
[0017]如圖1所示，一種用于無掩膜光刻直寫系統(tǒng)的調(diào)焦裝置，包括設(shè)置在光刻物鏡1與承印材料7之間的連續(xù)調(diào)焦組和固定調(diào)焦組，連續(xù)調(diào)焦組包括第一直線驅(qū)動電機2、第一直角楔形棱鏡3和第二直角楔形棱鏡4，固定調(diào)焦組包括第二直線驅(qū)動電機5和臺階棱鏡6。連續(xù)調(diào)焦組和固定調(diào)焦組的上下位置關(guān)系可互換。
[0018]如圖2所示，第一直角楔形棱鏡3和第二直角楔形棱鏡4的大小和形狀完全相同，兩者的斜面可以貼合在一起，倒置配合構(gòu)成一個平行平板。平行平板的上、下表面均垂直于曝光光軸。
[0019]如圖3所示，臺階棱鏡6的上表面61為平面且垂直于曝光光軸，下表面62為由若干平行于上表面61的平面連接而成的階梯面，使得臺階棱鏡6的厚度呈階梯變化，并且相鄰厚度區(qū)域的厚度差相等。
[0020]第一直線驅(qū)動電機2的動力輸出軸通過連接件與第一直角楔形棱鏡3連接，第二直角楔形棱鏡4固定在支架上，第一直線驅(qū)動電機2帶動第一直角楔形棱鏡3沿其斜面方向運動，從而改變曝光光軸方向上平行平板的厚度進而改變光程實現(xiàn)連續(xù)調(diào)焦。
[0021]第二直線驅(qū)動電機5的動力輸出軸通過連接件與臺階棱鏡6連接，帶動臺階棱鏡6運動到一定位置，從而調(diào)整曝光光軸方向上臺階棱鏡6的厚度區(qū)域進而改變光程實現(xiàn)固定調(diào)焦。
[0022]本實用新型的工作原理:
[0023]當承印材料7的厚度變化較小時，選定固定調(diào)焦組中臺階棱鏡6的一個特定厚度區(qū)域保持不變，第一直角楔形棱鏡3在第一直線驅(qū)動電機2的帶動下沿斜面運動，系統(tǒng)的曝光焦面會沿光軸方向連續(xù)微量變化，實現(xiàn)系統(tǒng)在小范圍內(nèi)調(diào)焦。當承印材料7的厚度變化較大時，連續(xù)調(diào)焦組受第一直線驅(qū)動電機2行程的限制，無法將承印材料7表面調(diào)整至系統(tǒng)的曝光焦深范圍內(nèi)，此時在第二直線驅(qū)動電機5的帶動下將固定調(diào)焦組中的臺階棱鏡6移動至適當?shù)暮穸葏^(qū)域，系統(tǒng)的曝光焦面會沿光軸方向?qū)?yīng)變化一固定量，可實現(xiàn)系統(tǒng)在較大范圍內(nèi)調(diào)焦。
[0024]本實用新型利用連續(xù)調(diào)焦組和固定調(diào)焦組各自的特點，即連續(xù)調(diào)焦組可以在小范圍內(nèi)實現(xiàn)連續(xù)調(diào)焦，固定調(diào)焦組可以在大范圍內(nèi)固定改變調(diào)焦量，兩者混合使用后可以實現(xiàn)大范圍連續(xù)調(diào)焦。
[0025]以上所述實施方式僅僅是對本實用新型的優(yōu)選實施方式進行描述，并非對本實用新型的范圍進行限定，在不脫離本實用新型設(shè)計精神的前提下，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員對本實用新型的技術(shù)方案作出的各種變形和改進，均應(yīng)落入本實用新型的權(quán)利要求書確定的保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種用于無掩膜光刻直寫系統(tǒng)的調(diào)焦裝置，其特征在于:該裝置包括設(shè)置在光刻物鏡與承印材料之間的連續(xù)調(diào)焦組和固定調(diào)焦組，所述連續(xù)調(diào)焦組包括第一直線驅(qū)動電機、第一直角楔形棱鏡和第二直角楔形棱鏡，所述固定調(diào)焦組包括第二直線驅(qū)動電機和臺階棱鏡; 所述第一直角楔形棱鏡和第二直角楔形棱鏡的斜面貼合在一起，兩者倒置配合構(gòu)成一個平行平板；所述臺階棱鏡的上表面為平面，下表面為由若干平行于上表面的平面連接而成的階梯面，使得所述臺階棱鏡的厚度呈階梯變化； 所述第一直線驅(qū)動電機，用于帶動所述第一直角楔形棱鏡和第二直角楔形棱鏡中的至少一個沿兩者的斜面方向運動，改變曝光光軸方向上所述平行平板的厚度進而改變光程進行連續(xù)調(diào)焦； 所述第二直線驅(qū)動電機，用于帶動所述臺階棱鏡運動到一定位置，調(diào)整曝光光軸方向上所述臺階棱鏡的厚度區(qū)域進而改變光程進行固定調(diào)焦。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于無掩膜光刻直寫系統(tǒng)的調(diào)焦裝置，其特征在于:所述平行平板和臺階棱鏡的上表面均垂直于曝光光軸。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于無掩膜光刻直寫系統(tǒng)的調(diào)焦裝置，其特征在于:所述第一直角楔形棱鏡和第二直角楔形棱鏡的楔角相等。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于無掩膜光刻直寫系統(tǒng)的調(diào)焦裝置，其特征在于:所述臺階棱鏡的相鄰厚度區(qū)域的厚度差相等。
【專利摘要】本實用新型提供一種用于無掩膜光刻直寫系統(tǒng)的調(diào)焦裝置，包括設(shè)置在光刻物鏡與承印材料之間的連續(xù)調(diào)焦組和固定調(diào)焦組，所述連續(xù)調(diào)焦組包括第一直線驅(qū)動電機、第一直角楔形棱鏡和第二直角楔形棱鏡，所述固定調(diào)焦組包括第二直線驅(qū)動電機和臺階棱鏡。本實用新型綜合連續(xù)調(diào)焦組與固定調(diào)焦組的特點，將兩者混合使用，可以實現(xiàn)大范圍內(nèi)的連續(xù)調(diào)焦，設(shè)計合理，方便快捷，易于實現(xiàn)，可以大大提高生產(chǎn)效率。
【IPC分類】G03F7/207, G02B7/18, G03F7/20
【公開號】CN204989751
【申請?zhí)枴緾N201520693468
【發(fā)明人】曹常瑜
【申請人】合肥芯碁微電子裝備有限公司
【公開日】2016年1月20日
【申請日】2015年9月9日