一種ldi雙工件曝光裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及LDI光刻機(jī)領(lǐng)域，特別是一種用于曝光PCB板的雙工件臺(tái)裝置及其曝光方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著PCB產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，單工件臺(tái)的曝光機(jī)已不能滿足生產(chǎn)的需要，更快，更高產(chǎn)能的雙工件臺(tái)曝光機(jī)應(yīng)運(yùn)而生。然而雙工件臺(tái)曝光機(jī)在帶來高效生產(chǎn)的同時(shí)，也埋下了安全事故的隱患。
[0003]雙工件臺(tái)曝光機(jī)，就是在一個(gè)機(jī)器上放置兩件工件臺(tái)，將曝光工序與放板工序在兩個(gè)工件臺(tái)上分開，但在單個(gè)工件臺(tái)上又連續(xù)，利用其中一個(gè)工件臺(tái)曝光的時(shí)間空檔，給另一個(gè)工件臺(tái)放板，如此循環(huán)罔替，從而減少時(shí)間浪費(fèi)，提高工作效率，提升產(chǎn)能。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種LDI雙工件曝光裝置，其特征在于，包括第一保護(hù)門、第二保護(hù)門、第一工件臺(tái)與第二工件臺(tái)；
[0005]所述第一工件臺(tái)、第二工件臺(tái)分別用于固定待曝光的PCB板，所述第一工件臺(tái)、第二工件臺(tái)分別具有一移動(dòng)行程，所述第一工件臺(tái)、第二工件臺(tái)在自身的移動(dòng)行程范圍內(nèi)對(duì)所述PCB板進(jìn)行曝光；
[0006]所述第一保護(hù)門、第二保護(hù)門分別設(shè)于所述第一工件臺(tái)、第二工件臺(tái)的上側(cè)并將所述第一工件臺(tái)、第二工件臺(tái)的曝光區(qū)域遮蓋，所述第一保護(hù)門、第二保護(hù)門分別平行且處于不同平面，所述第一保護(hù)門、第二保護(hù)門可沿自身所在平面位移至所述第二工件臺(tái)、第一工件臺(tái)的上側(cè)。
[0007]較佳地，其還包括設(shè)于所述第一保護(hù)門、第二保護(hù)門之間的保護(hù)擋板，所述保護(hù)擋板與所述第一保護(hù)門、第二保護(hù)門垂直，所述保護(hù)擋板用于間隔所述第一工件臺(tái)、第二工件臺(tái)。
[0008]較佳地，所述第一工件臺(tái)與第二工件臺(tái)上分別設(shè)有吸盤，所述吸盤用于吸附PCB板。
[0009]較佳地，還包括導(dǎo)軌組件，所述第一保護(hù)門、第二保護(hù)門與所述導(dǎo)軌組件連接，并在所述導(dǎo)軌組件上滑動(dòng)完成位移。
[0010]較佳地，所述第一工件臺(tái)與第二工件臺(tái)與所述導(dǎo)軌組件連接，并在所述導(dǎo)軌組件上滑動(dòng)完成位移。
[0011 ] 較佳地，還包括驅(qū)動(dòng)組件，所述驅(qū)動(dòng)組件用于驅(qū)動(dòng)所述第一保護(hù)門、第二保護(hù)門、第一工件臺(tái)、第二工件臺(tái)在所述導(dǎo)軌組件上移動(dòng)。
[0012]本實(shí)用新型具有以下有益效果:
[0013]本實(shí)用新型提供的單扇保護(hù)門寬度大于單個(gè)工件臺(tái)的行程范圍，即每個(gè)工件臺(tái)連同其搭載的吸盤只會(huì)在相應(yīng)的門寬范圍內(nèi)運(yùn)動(dòng)，使得操作者在放PCB板的過程中，因?yàn)橛虚T的阻擋，手不會(huì)移動(dòng)到另一側(cè)工件臺(tái)的移動(dòng)區(qū)域，從而避免了手被運(yùn)動(dòng)中的工件臺(tái)觸碰撞傷，大大降低了安全事故隱患的發(fā)生概率；同時(shí)本實(shí)用新型還通過保護(hù)擋板將兩工作臺(tái)隔開，可阻擋操作人員的手誤入曝光區(qū)域一側(cè)，被運(yùn)動(dòng)中的吸盤撞到。
[0014]當(dāng)然，實(shí)施本實(shí)用新型的任一產(chǎn)品并不一定需要同時(shí)達(dá)到以上所述的所有優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說明】
[0015]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0016]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的LDI雙工件曝光裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的第一工件臺(tái)曝光時(shí)保護(hù)門狀態(tài)示意圖；
[0018]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的第二工件臺(tái)曝光時(shí)保護(hù)門狀態(tài)示意圖；
[0019]圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的LDI雙工件曝光裝置剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其它實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0021]本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種LDI雙工件曝光裝置，如圖1與圖2所示，其包括第一保護(hù)門1、第二保護(hù)門2、第一工件臺(tái)3與第二工件臺(tái)4 ;
[0022]第一工件臺(tái)3、第二工件臺(tái)4分別用于固定待曝光的PCB板，第一工件臺(tái)3、第二工件臺(tái)4分別具有一移動(dòng)行程，第一工件臺(tái)3、第二工件臺(tái)4在自身的移動(dòng)行程范圍內(nèi)對(duì)所述PCB板進(jìn)彳丁曝光；
[0023]第一保護(hù)門1、第二保護(hù)門2分別設(shè)于第一工件臺(tái)3、第二工件臺(tái)4的上側(cè)并將第一工件臺(tái)3、第二工件臺(tái)4的曝光區(qū)域遮蓋，第一保護(hù)門1、第二保護(hù)門2分別平行且處于不同平面，第一保護(hù)門1、第二保護(hù)門2可沿自身所在平面位移至第二工件臺(tái)4、第一工件臺(tái)3的上側(cè)。
[0024]本實(shí)施例提供的LDI雙工件曝光裝置還包括設(shè)于第一保護(hù)門1、第二保護(hù)門2之間的保護(hù)擋板5，保護(hù)擋板5與第一保護(hù)門1、第二保護(hù)門2垂直，保護(hù)擋板5用于間隔第一工件臺(tái)3、第二工件臺(tái)4。本實(shí)用新型還通過保護(hù)擋板將第一工件臺(tái)3、第二工件臺(tái)4隔開，可阻擋操作人員的手誤入曝光區(qū)域一側(cè)，被運(yùn)動(dòng)中的吸盤撞到。
[0025]本實(shí)施例中第一工件臺(tái)3與第二工件臺(tái)4分別通過在設(shè)置的第一吸盤8與第二吸盤9來固定PCB板。當(dāng)然本實(shí)用新型也可以采用其他的固定結(jié)構(gòu)對(duì)PCB板固定，本實(shí)施例僅舉一較佳的實(shí)施方式進(jìn)行說明。
[0026]本實(shí)施例還設(shè)置有導(dǎo)軌組件，第一保護(hù)門1、第二保護(hù)門2與所述導(dǎo)軌組件連接，并在所述導(dǎo)軌組件上滑動(dòng)完成位移，第一工件臺(tái)3與第二工件臺(tái)4與所述導(dǎo)軌組件連接，并在所述導(dǎo)軌組件上滑動(dòng)完成位移。本實(shí)施例提供的導(dǎo)軌組件包括第一導(dǎo)軌6與第二導(dǎo)軌7，第一保護(hù)門1、第一工件臺(tái)3在第一導(dǎo)軌6上位移，第二保護(hù)門2.、第二工件臺(tái)4在第二導(dǎo)軌7上位移，這里導(dǎo)軌組件并不是唯一可以實(shí)現(xiàn)工件臺(tái)與保護(hù)門的位移方式，本實(shí)施例僅舉例說明。
[0027]本實(shí)施例通過驅(qū)動(dòng)組件來驅(qū)動(dòng)第一保護(hù)門1、第二保護(hù)門2、第一工件臺(tái)3、第二工件臺(tái)4在所述導(dǎo)軌組件上的移動(dòng)。驅(qū)動(dòng)組件可以通過控制器進(jìn)行控制，控制器內(nèi)可預(yù)設(shè)軟件對(duì)第一保護(hù)門1、第二保護(hù)門2、第一工件臺(tái)3、第二工件臺(tái)4的運(yùn)行進(jìn)行控制。
[0028]本實(shí)施例提供的LDI雙工件曝光裝置的曝光方法，其包括以下步驟:
[0029]S1:控制所述第一保護(hù)門、第二保護(hù)門移動(dòng)至所述第一工件臺(tái)上側(cè)；
[0030]S2:將PCB板放置在所述第二工件臺(tái)的吸盤上，開啟真空吸附將所述PCB板固定在所述第二工件臺(tái)上；
[0031 ] S3:控制所述第一保護(hù)門、第二保護(hù)門位移至所述第二工件臺(tái)上側(cè)，此時(shí)保護(hù)門的狀態(tài)如圖3所示；
[0032]S4:對(duì)所述第二工件臺(tái)上的PCB板進(jìn)行曝光，在曝光的過程中在所述第一工件臺(tái)的吸盤上放置PCB板；
[0033]S5:曝光結(jié)束后控制所述第一保護(hù)門、第二保護(hù)門位移至所述第一工件臺(tái)上側(cè)，此時(shí)保護(hù)門的狀態(tài)如圖4所示；
[0034]S6:對(duì)所述第一工件臺(tái)上的PCB板進(jìn)行曝光，在曝光的過程中將所述第二工件臺(tái)上已曝光的PCB板取下，重新放置一未曝光的PCB板；
[0035]S7:曝光結(jié)束后控制所述第一保護(hù)門、第二保護(hù)門位移至所述第二工件臺(tái)上側(cè)，并將所述第一工件臺(tái)上的已曝光的PCB板取下；
[0036]S8:執(zhí)行步驟S4至S7，直至完成所有PCB板的曝光，控制所述第一安全門與第二安全門位移至所述第一工件臺(tái)與第二工作臺(tái)的上側(cè)。
[0037]本實(shí)用新型提供的單扇保護(hù)門寬度大于單個(gè)工件臺(tái)的行程范圍，即每個(gè)工件臺(tái)連同其搭載的吸盤只會(huì)在相應(yīng)的門寬范圍內(nèi)運(yùn)動(dòng)，使得操作者在放PCB板的過程中，因?yàn)橛虚T的阻擋，手不會(huì)移動(dòng)到另一側(cè)工件臺(tái)的移動(dòng)區(qū)域，從而避免了手被運(yùn)動(dòng)中的工件臺(tái)觸碰撞傷，大大降低了安全事故隱患的發(fā)生概率；同時(shí)本實(shí)用新型還通過保護(hù)擋板將兩工作臺(tái)隔開，可阻擋操作人員的手誤入曝光區(qū)域一側(cè)，被運(yùn)動(dòng)中的吸盤撞到。
[0038]以上公開的本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例只是用于幫助闡述本實(shí)用新型。優(yōu)選實(shí)施例并沒有詳盡敘述所有的細(xì)節(jié)，也不限制該實(shí)用新型僅為所述的【具體實(shí)施方式】。顯然，根據(jù)本說明書的內(nèi)容，可作很多的修改和變化。本說明書選取并具體描述這些實(shí)施例，是為了更好地解釋本實(shí)用新型的原理和實(shí)際應(yīng)用，從而使所屬技術(shù)領(lǐng)域技術(shù)人員能很好地理解和利用本實(shí)用新型。本實(shí)用新型僅受權(quán)利要求書及其全部范圍和等效物的限制。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種LDI雙工件曝光裝置，其特征在于，包括第一保護(hù)門、第二保護(hù)門、第一工件臺(tái)與第二工件臺(tái)； 所述第一工件臺(tái)、第二工件臺(tái)分別用于固定待曝光的PCB板，所述第一工件臺(tái)、第二工件臺(tái)分別具有一移動(dòng)行程，所述第一工件臺(tái)、第二工件臺(tái)在自身的移動(dòng)行程范圍內(nèi)對(duì)所述PCB板進(jìn)行曝光； 所述第一保護(hù)門、第二保護(hù)門分別設(shè)于所述第一工件臺(tái)、第二工件臺(tái)的上側(cè)并將所述第一工件臺(tái)、第二工件臺(tái)的曝光區(qū)域遮蓋，所述第一保護(hù)門、第二保護(hù)門分別平行且處于不同平面，所述第一保護(hù)門、第二保護(hù)門可沿自身所在平面位移至所述第二工件臺(tái)、第一工件臺(tái)的上側(cè)。2.如權(quán)利要求1所述的LDI雙工件曝光裝置，其特征在于，其還包括設(shè)于所述第一保護(hù)門、第二保護(hù)門之間的保護(hù)擋板，所述保護(hù)擋板與所述第一保護(hù)門、第二保護(hù)門垂直，所述保護(hù)擋板用于間隔所述第一工件臺(tái)、第二工件臺(tái)。3.如權(quán)利要求1或2所述的LDI雙工件曝光裝置，其特征在于，所述第一工件臺(tái)與第二工件臺(tái)上分別設(shè)有吸盤，所述吸盤用于吸附PCB板。4.如權(quán)利要求3所述的LDI雙工件曝光裝置，其特征在于，還包括導(dǎo)軌組件，所述第一保護(hù)門、第二保護(hù)門與所述導(dǎo)軌組件連接，并在所述導(dǎo)軌組件上滑動(dòng)完成位移。5.如權(quán)利要求3所述的LDI雙工件曝光裝置，其特征在于，所述第一工件臺(tái)與第二工件臺(tái)與所述導(dǎo)軌組件連接，并在所述導(dǎo)軌組件上滑動(dòng)完成位移。6.如權(quán)利要求5所述的LDI雙工件曝光裝置，其特征在于，還包括驅(qū)動(dòng)組件，所述驅(qū)動(dòng)組件用于驅(qū)動(dòng)所述第一保護(hù)門、第二保護(hù)門、第一工件臺(tái)、第二工件臺(tái)在所述導(dǎo)軌組件上移動(dòng)。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種LDI雙工件曝光裝置，其包括第一保護(hù)門、第二保護(hù)門、第一工件臺(tái)與第二工件臺(tái)；所述第一工件臺(tái)、第二工件臺(tái)分別用于固定待曝光的PCB板，所述第一工件臺(tái)、第二工件臺(tái)在自身的移動(dòng)行程范圍內(nèi)對(duì)PCB板進(jìn)行曝光；所述第一保護(hù)門、第二保護(hù)門分別設(shè)于所述第一工件臺(tái)、第二工件臺(tái)的上側(cè)，所述第一保護(hù)門、第二保護(hù)門分別平行且處于不同平面，所述第一保護(hù)門、第二保護(hù)門可沿自身所在平面位移至所述第二工件臺(tái)、第一工件臺(tái)的上側(cè)。本實(shí)用新型提供的曝光裝置通過設(shè)置安全門，避免操作人員觸碰到運(yùn)動(dòng)中的工件臺(tái)；還通過保護(hù)擋板將工件臺(tái)隔開，可阻擋操作人員的手誤入曝光區(qū)域一側(cè)，被運(yùn)動(dòng)的吸盤撞到。
【IPC分類】G03F7/20
【公開號(hào)】CN205028025
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520536036
【發(fā)明人】張磊, 王曉光, 衛(wèi)功文
【申請(qǐng)人】合肥芯碩半導(dǎo)體有限公司
【公開日】2016年2月10日
【申請(qǐng)日】2015年7月21日